JP2013225632A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 第１基板と第２基板とを結合して構成された固体撮像装置であって、
   前記第１基板は、光電変換部と、前記光電変換部において生じた電荷を保持する保持部と、前記光電変換部において生じた電荷を前記保持部に転送する転送部と、前記保持部に接続された第１電極と、を備え、
   前記第２基板は、第２電極と、前記第２電極に接続され、前記保持部の信号を増幅する増幅部と、を備え、
   前記保持部と前記増幅部とが、前記第１電極と前記第２電極とにより形成された容量によって電気的に接続されている、
   ことを特徴とする固体撮像装置。
2. 第１基板と第２基板とを結合して構成された固体撮像装置であって、
   前記第１基板は、光電変換部と、前記光電変換部において生じた電荷を保持する保持部と、前記光電変換部において生じた電荷を前記保持部に転送する転送部と、前記保持部に接続された第１電極と、を備え、
   前記第２基板は、第２電極と、前記第２電極に接続され、前記保持部の信号を増幅する増幅部と、を備え、
   前記保持部に接続された前記第１電極と、前記増幅部に接続された前記第２電極との間で、容量性結合により前記電荷に基づく信号が伝達される、
   ことを特徴とする固体撮像装置。
3. 前記第１基板は、前記転送部を制御するための制御信号を伝搬する第１配線を有し、前記第２基板は、前記制御信号を伝搬する第２配線を有し、
   前記第１配線に接続された電極と前記第２配線に接続された電極とは、直接又は導電体を介して接触している、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の固体撮像装置。
4. 前記固体撮像装置は複数の画素と前記複数の画素からの信号を出力するための信号線とを備えており、前記複数の画素のそれぞれは、前記光電変換部、前記保持部、前記転送部、前記第１電極、前記第２電極および前記増幅部を含む
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
5. 前記第１基板は、前記複数の画素を駆動するための駆動信号を伝搬する第３配線を有し、前記第２基板は、前記駆動信号を伝搬する第４配線を有し、
   前記第３配線に接続された電極と前記第４配線に接続された電極とは、直接又は導電体を介して接触している
   ことを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置。
6. 前記第１電極と前記第２電極との間には絶縁体が配されている、
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
7. 前記第１基板は、前記保持部の電位をリセットするための第１リセットトランジスタを備え、前記第２基板は、前記増幅部の入力の電位の電位をリセットするための第２リセットトランジスタを備える、
   ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
8. 前記第１基板において、前記転送部はＭＯＳＦＥＴで構成され、前記第１リセット部はＪ−ＦＥＴで構成されている、
   ことを特徴とする請求項７に記載の固体撮像装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の固体撮像装置を備える
   ことを特徴とするカメラ。
10. 固体撮像装置の製造方法であって、
    前記固体撮像装置は、第１基板及び第２基板を備え、前記第１基板は、光電変換部、前記光電変換部において生じた電荷を保持する保持部、前記光電変換部において生じた電荷を前記保持部に転送する転送部、及び前記保持部に接続された第１電極を備え、前記第２基板は、第２電極、前記第２電極に接続され、前記保持部の信号を増幅する増幅部を備え、
    固体撮像装置の製造方法は、前記第１基板と前記第２基板とを結合し、前記第１電極と前記第２電極とが容量を形成することによって、前記保持部と前記増幅部とを電気的に接続する接続工程を含む、
    ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
11. 前記接続工程は、前記第１基板の前記第１電極が配された面及び前記第２基板の前記第２電極が配された面の少なくともいずれか一方に絶縁体を堆積してから為される、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の固体撮像装置の製造方法。