JP2013225608A - エネルギ変換素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エネルギ変換素子は、機械エネルギを電気エネルギに変換するものである。このエネルギ変換素子は、樹脂およびゴムを含有するマトリクス層中に圧電体粒子が均一に分散混合された複合体を有する。複合体は過酸化物架橋処理されたものである。
【選択図】図1
Description
なお、高誘電性フィラーとして、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ランタンドープチタン酸ジルコン酸鉛(PLZT)、チタン酸ストロンチウム、チタン酸鉛、チタン酸ビスマス、チタン酸ビスマスバリウムが挙げられている。
積層素子は、複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された積層体と、積層体の側面に形成された一対の外部電極とを備え、複数の内部電極層が、一対の外部電極と交互に導通されたものであり、一対の各外部電極と、各々の外部電極と導通された内部電極層とが連続した金属層からなるものである。誘電体層は、シアノエチル化プルランを主成分とする樹脂中にセラミックス粉体が分散されたコンポジット層である。
ニトリルブタジエンゴムは、シアノエチル系樹脂に対して質量比で1%以上80%未満含有することが好ましい。
シリコンゴムは、シアノエチル系樹脂に対して質量比で1%以上60%未満含有することが好ましい。
例えば、圧電体粒子は、ペロブスカイト型結晶構造を有する粒子からなる。この場合、粒子は、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸バリウムとビスマスフェライトの固溶体またはリラクサー系圧電材料により構成されることが好ましい。
複合体は、例えば、振動源に設置されており、機械エネルギは、振動源の振動エネルギである。振動源は、例えば、タイヤである。
さらに、複合体に分極処理を施す工程を有することが好ましい。
ゴムは、例えば、ニトリルブタジエンゴムまたはシリコンゴムであり、比誘電率が10〜30であることが好ましい。
シリコンゴムは、シアノエチル系樹脂に対して質量比で1%以上60%未満含有することが好ましい。
例えば、圧電体粒子は、ペロブスカイト型結晶構造を有する粒子からなる。この場合、粒子は、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸バリウムとビスマスフェライトの固溶体またはリラクサー系圧電材料により構成されることが好ましい。
本発明のエネルギ変換素子の製造方法によれば、上述の性能を有するエネルギ変換素子を製造することができる。
図1は、本発明の実施形態のエネルギ変換素子を示す模式的断面図である。図2は、本発明の実施形態のエネルギ変換素子の使用形態の一例を示す模式的断面図である。
エネルギ変換素子10は、複合体20と、複合体20の下面20bに接続される下部電極22と、複合体20の上面20aに接続される上部電極24とを有する。
複合体20は、発電部材として機能するものであり、振動源12の機械エネルギを電気エネルギに変換する。複合体20で変換されて得られた電気エネルギは下部電極22および上部電極24により外部に導出される。
接着層14に用いられる接着剤は、振動源12の振動によって、振動源12からエネルギ変換素子10がはがれなければ、特に限定されるものではない。また、接着層14の厚さ、すなわち、接合面に塗布される接着剤の厚さは、どのような厚さであっても良く、接着強度も特に限定されるものではない。接着層14には、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤等の接着剤が用いられる。
マトリクス層30は、樹脂およびゴムを含有するものであり、過酸化物架橋処理されている。なお、マトリクス層30は樹脂およびゴム以外に、無機材料等を含んでもよい。
一方、一般的な硫黄架橋等では、160〜200℃以上の架橋温度が必要であるため、上記樹脂が劣化を起こし、複合体20としての機能が発揮できない。
ここで、連続耐熱温度とは、電気用品安全法による、「有機材料の使用温度の上限値」により定められた上限温度のことである。
なお、一般的な硫黄架橋では、加硫特有の助剤、例えば、酸化亜鉛などの影響により、複合体20の電気特性が低下する。さらに樹脂は、連続耐熱温度が160℃以下であることが多く、160℃〜200℃以上が必要な硫黄架橋等は適さないことが多い。一方、過酸化物架橋は、低温で架橋可能であり、また添加剤が少なくてすむため、複合体20の電気特性に及ぼす影響が少ない。
また、上記ゴムは、比誘電率が10〜30であることが好ましい。上記ゴムの比誘電率が10未満である場合、十分な発生電圧が得られない虞がある。比誘電率が10以上であれば、十分なポーリングが行える。一方、上記ゴムの比誘電率が30を越えるものは、現状存在しない。
圧電体粒子32を構成する粒子は、セラミックス粒子で構成してもよい。この場合、セラミックス粒子は、単結晶粒子であっても、コアシェル構造の粒子であってもよい。
また、分極処理の際に複合体20に所定の電圧を印加できる導電性のものであってよく、この場合、下部電極22および上部電極24は、例えば、C、Pd、Fe、Sn、Al、Ni、Pt、Au、Ag、Cu、Cr、Mo等またはこれらの合金により構成することができる。
下部電極22および上部電極24を導電性ゴム基材または導電性エラストマー基材で形成する場合、例えば、マトリクス層30の軟化温度以上の温度で、複合体20の上面20aおよび下面20bに、導電性ゴム基材または導電性エラストマー基材を圧着して下部電極22および上部電極24を形成する。
まず、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジメチルホルムアミド(DMF)等の有機溶媒に、ゴムとして、例えば、ニトリルブタジエンゴムを溶解し、更に、樹脂として、例えば、シアノエチル化PVAを溶解する。次に、有機溶媒に、例えば、PZT粒子を添加し、例えば、プロペラミキサーを用いて分散させて、圧電体粒子含有塗布液を得る。圧電体粒子含有塗布液に溶解しているニトリルブタジエンゴムは、架橋する前のポリマーの状態であり、過酸化物架橋成分を含む。
次に、ポリマーの状態のニトリルブタジエンゴムを架橋させるために、膜体に、例えば、温度150℃以下で過酸化物架橋処理を施す。これにより、図1に示す複合体20が形成される。そして、複合体20の上面20aに上部電極24を形成することにより、エネルギ変換素子10を製造することができる。
そして、複合体20を、例えば、温度100℃に加熱保持した状態で、直流電源42から下部電極22とコロナ電極40との間に、数kV、例えば、6kVの直流電圧を印加してコロナ放電を生じさせ、コロナ電極40を複合体20の上面20aの上を、その上面20aに沿って移動させてポーリングをする。その後、複合体20の上面20aに上部電極24を形成することにより、エネルギ変換素子10を製造することができる。
なお、コロナ電極40の移動回数は、特に限定されるものではなく、ポーリング条件に応じて適宜設定される。
なお、下部電極22は、ポーリング後、エネルギ変換素子10を用いる態様等に応じて、下部電極22を除去することも可能である。また、コロナ電極40の数は、1本に限定されるものではなく、複数本であってもよい。
この場合、複合体20の上面20aに上部電極24を形成する。この上部電極24は、導電性ゴム基板でもよく、また、例えば、スパッタリング法を用いて形成したものであってもよい。
このポーリングでは、圧電体粒子32に対して、下部電極22と上部電極24が向き合う複合体20の厚さ方向の直流電界がかけられてポーリングされる。これにより、エネルギ変換素子10を得ることができる。
更には、上述のエネルギ変換素子10の製造方法により、上述の性能を有するエネルギ変換素子10を得ることができる。
本実施例においては、以下に示すように、シアノエチル化PVAおよびニトリルブタジエンゴム(NBR)を用い、ニトリルブタジエンゴムの混合比を変えて実施例1、実施例2のエネルギ変換素子を作製し、以下に詳細に説明する各歪量条件における発生電圧を測定した。
なお、比較例1として、ニトリルブタジエンゴム(NBR)を含まないエネルギ変換素子を作製し、同様に以下に詳細に説明する各歪量条件における発生電圧を測定した。
・PZT粒子・・・・・・・・300質量部
・シアノエチル化PVA・・・27質量部(実施例1)、6質量部(実施例2)
・NBR・・・・・・・・・・3質量部(実施例1)、24質量部(実施例2)
ただし、ニトリルブタジエンゴム(NBR)は、架橋剤などを含み、圧電体粒子含有塗布液を調製した時点では架橋処理を行っていない、ポリマーである。
NBRは、架橋を実施する前のポリマーの状態であり、過酸化物架橋成分を含むものである。
その後、コロナポーリング方法を用い、図3(a)に示す直流電源42から下部電極22とコロナ電極40との間に6kVの直流電圧を印加し、100℃の温度で、ポーリング処理を施した。その後、上部電極として導電性ゴム基板を圧着した。
その後、30mm×30mmの大きさに切りだし、実施例1、実施例2のエネルギ変換素子を作製した。
本実施例では、引張用ゴム材を図1に示す矢印aの方向に、疲労試験機マイクロサーボMMT−101NV−10(島津製作所製)を用いて10Hzのサイン波状に歪P-P量1%で1時間引っ張った後、歪P-P量3%で1時間引っ張り、実施例1、実施例2および比較例1の各エネルギ変換素子を振動させて、振動エネルギを与えた。その時に、実施例1、実施例2および比較例1の各エネルギ変換素子で発生する発生電圧の最大値を測定した。引張用ゴム材を引張った際の波形を図5に示すとともに、実施例1、実施例2および比較例1の各エネルギ変換素子で発生した発生電圧の最大値の測定結果を図6に示す。
本発明において、歪P-P量とは、波形AにおけるピークP1とピークP2の差Stのことである。このピークの差Stが1%であれば歪P-P量が1%であり、3%であれば歪P-P量が3%である。
また、図5の波形Bは、引張用ゴム材が、1パルス(1周期)分、引っ張られた際にエネルギ変換素子10で発生した発生電圧の波形の一例を示す。本実施において、発生電圧の最大値とは、波形Bにおける発生電圧の最大値Vmaxのことである。
なお、図6において、波形C1は実施例1を示し、波形C2は実施例2を示し、波形C3は比較例1を示す。
一方、比較例1は、歪量が大きくなると、それに伴い発生電圧も大きくなった。しかしながら、歪量が大きい領域では、時間経過とともに、発生電圧が大きく低下した。
なお、ゴムの添加量がシアノエチル系樹脂に対して質量比で70%を超えた実施例2は、発生電圧が低く、実用的ではない。
12 振動源
14 接着層
16 タイヤ
20 複合体
22 下部電極
24 上部電極
30 マトリクス層
32 圧電体粒子
D1 歪量1%領域
D2 歪量3%領域
Claims (25)
- 機械エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換素子であって、
樹脂およびゴムを含有するマトリクス層中に圧電体粒子が均一に分散混合された複合体を有し、
前記複合体は、過酸化物架橋処理されたものであることを特徴とするエネルギ変換素子。 - 前記樹脂は、連続耐熱温度が160℃以下である請求項1に記載のエネルギ変換素子。
- 前記樹脂は、シアノエチル系樹脂である請求項1または2に記載のエネルギ変換素子。
- 前記ゴムは、ニトリルブタジエンゴムまたはシリコンゴムである請求項1〜3のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。
- 前記ゴムは、比誘電率が10〜30である請求項1〜4のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。
- 前記ニトリルブタジエンゴムは、前記シアノエチル系樹脂に対して質量比で1%以上80%未満含有する請求項4に記載のエネルギ変換素子。
- 前記シリコンゴムは、前記シアノエチル系樹脂に対して質量比で1%以上60%未満含有する請求項4に記載のエネルギ変換素子。
- 前記圧電体粒子は、ペロブスカイト型結晶構造を有する粒子からなる請求項1〜7のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。
- 前記粒子は、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸バリウムとビスマスフェライトの固溶体またはリラクサー系圧電材料により構成される請求項8に記載のエネルギ変換素子。
- 前記複合体には伸縮性のある導電性基材または導電性ゴム基材が形成されている請求項1〜9のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。
- 前記伸縮性のある導電性基材は、有機高分子と導電性微粒子とからなる複合物で構成されており、前記導電性微粒子は、C、Pd、Fe、Sn、Al、Ni、Pt、Au,Ag、Cu、CrもしくはMoまたはこれらの合金で構成される請求項10に記載のエネルギ変換素子。
- 前記複合体は、振動源に設置されており、前記機械エネルギは、前記振動源の振動エネルギである請求項1〜11のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。
- 前記振動源は、タイヤである請求項12に記載のエネルギ変換素子。
- 有機溶媒に樹脂およびゴムを溶解させ、前記有機溶媒に圧電体粒子を分散させて圧電体粒子含有塗布液を得る工程と、
前記圧電体粒子含有塗布液を支持基板上に塗布し、前記有機溶媒を蒸発させて、マトリクス層となる膜体を得、前記膜体に過酸化物架橋処理を施して、マトリクス層に前記圧電体粒子が均一に分散混合された複合体を得る工程とを有することを特徴とするエネルギ変換素子の製造方法。 - さらに、前記複合体に分極処理を施す工程を有する請求項14に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記樹脂は連続耐熱温度が160℃以下であり、前記過酸化物架橋処理は150℃以下でなされる請求項14または15に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記樹脂は、シアノエチル系樹脂である請求項14〜16のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記ゴムは、ニトリルブタジエンゴムまたはシリコンゴムである請求項14〜17のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記ゴムは、比誘電率が10〜30である請求項14〜18のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記ニトリルブタジエンゴムは、前記シアノエチル系樹脂に対して質量比で1%以上80%未満含有する請求項18に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記シリコンゴムは、前記シアノエチル系樹脂に対して質量比で1%以上60%未満含有する請求項18に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記圧電体粒子は、ペロブスカイト型結晶構造を有する粒子からなる請求項14〜21のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記粒子は、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸バリウムとビスマスフェライトの固溶体またはリラクサー系圧電材料により構成される請求項22に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記支持基板は、伸縮性のある導電性基材、または導電性ゴム基材である請求項14〜23のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
- 前記伸縮性のある導電性基材は、有機高分子と導電性微粒子とからなる複合物で構成されており、前記導電性微粒子は、C、Pd、Fe、Sn、Al、Ni、Pt、Au,Ag、Cu、CrもしくはMoまたはこれらの合金で構成される請求項24に記載のエネルギ変換素子の製造方法。
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