JP2013222739A - 外観検査における較正用治具よび較正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外観検査において画像情報から抽出される複数の計測値を較正するための較正用治具として、複数の計測値をそれぞれ個別に較正するために設けられた輝度較正ブロック33、水平位置較正ブロック34、高さ位置較正ブロック35、模擬部品ブロック36を、基板搬送機構16によって搬送可能な治具ホルダ31aに着脱自在に保持させる構成の第1の較正用治具31を用いる。これにより、複数の検査項目毎に準備された複数種類の較正部材を必要とする場合にあっても、各項目毎に較正部材をその都度取り替える必要がない。
【選択図】図4
Description
3 ホスト装置
4 基板
4a 電極
16 基板搬送機構
21 検査ヘッド
22 3次元センサ
24 検査処理ユニット
25 搭載ヘッド
31 第1の較正用治具
31a 治具ホルダ
32 第2の較正用治具
33 輝度較正ブロック
33b 基準反射面
34 水平位置較正ブロック
34x、34y 平行マーク
35 高さ位置較正ブロック
35c 高さ基準面
36 模擬部品ブロック
36d 模擬部品プレート
37 水平位置較正板
38 輝度較正部材
38b 上面
39 電子部品
P 基準点
S 半田ペースト
M1 印刷装置
M2、M5 検査・実装装置
M2A 印刷検査装置
M5A 実装検査装置
M3、M4 電子部品実装装置
Claims (3)
- 基板に電子部品を実装して実装基板を製造する電子部品実装ラインに配置され前記基板を撮像手段によって撮像して取得した画像情報に基づいて検査対象物の外観検査を行う外観検査装置において、前記外観検査の検査項目に対応して前記画像情報から抽出される複数の計測値を較正するために用いられる外観検査における較正用治具であって、
前記複数の計測値をそれぞれ個別に較正するために設けられた個別較正ブロックと、
前記複数の個別較正ブロックを着脱自在に保持し、前記外観検査装置の基板搬送機構によって搬送可能な治具ホルダとを備えたことを特徴とする外観検査における較正用治具。 - 前記撮像手段は3次元画像情報を取得する3次元撮像手段であり、
前記複数の計測値は、前記検査対象物の検査対象位置からの反射光が前記3次元撮像手段に入射した光量を表す輝度情報、前記検査対象物の検査対象位置の水平方向および高さ方向の位置を示す3次元位置情報を含み、
前記複数の個別較正ブロックは、前記輝度情報を較正するために上面の光反射特性が所定の特性に設定された輝度較正ブロックと、
前記水平方向の位置情報を較正するために少なくとも1つの基準点および2方向の基準線が所定の位置精度で形成された水平位置較正ブロックと、
前記高さ方向の位置情報を較正するために複数の高さ基準面が所定の位置精度で形成された高さ位置較正ブロックとを含むことを特徴とする請求項1記載の外観検査における較正用治具。 - 基板に電子部品を実装して実装基板を製造する電子部品実装ラインに配置され前記基板を撮像手段によって撮像して取得した画像情報に基づいて検査対象物の外観検査を行う外観検査装置において、前記外観検査の検査項目に対応して前記画像情報から抽出される複数の計測値を較正する外観検査における較正方法であって、
前記複数の計測値をそれぞれ個別に較正するために設けられた個別較正ブロックを、前記外観検査装置の基板搬送機構によって搬送可能な治具ホルダに着脱自在に保持させた較正用治具を準備する治具準備工程と、
前記較正用治具を前記基板搬送機構によって搬送して前記外観検査装置に搬入する治具搬入工程と、
前記較正用治具を前記撮像手段によって撮像して画像情報を取得する撮像工程と、
前記画像情報から抽出された較正用の前記計測値を較正用データテーブルとして記憶させる較正データ記憶工程とを含むことを特徴とする外観検査における較正方法。
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