JP5887485B2 - スクリーン印刷用のマスク製造システムおよびマスク製造方法 - Google Patents
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Description
4 スクリーン印刷装置
11 基板
11a 電極パターン
13 スクリーンマスク
13a パターン孔
13* プレート部材
17 カメラヘッドユニット
17a 基板認識カメラ
M4 部品実装装置
M5 基板検査装置
59 基板認識カメラ
60 検査ヘッド
Claims (7)
- 基板にペーストを印刷するスクリーン印刷において用いられるスクリーンマスクを製造するスクリーン印刷用のマスク製造システムであって、
前記基板を撮像して基板に形成された電極パターンの画像情報を取得する撮像手段と、
前記画像情報に基づき、前記基板における前記電極パターンの実測位置を示す実測位置データを作成する実測位置データ作成手段と、
前記実測位置データに基づいて前記スクリーンマスクを構成するプレート部材に前記電極パターンに対応したパターン孔を形成するパターン孔形成手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷用のマスク製造システム。 - 前記撮像手段は、基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられて前記基板を認識するための認識用カメラであり、
前記パターン孔形成手段は、レーザ光によって前記プレート部材を切断するレーザ加工装置であることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用のマスク製造システム。 - 前記撮像手段は、基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置に備えられて印刷後の前記基板を撮像して検査するための検査用カメラであり、
前記パターン孔形成手段は、レーザ光によって前記プレート部材を切断するレーザ加工装置であることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用のマスク製造システム。 - 前記撮像手段は、基板に電子部品を実装する部品実装装置に備えられて前記基板を認識するための認識用カメラであり、
前記パターン孔形成手段は、レーザ光によって前記プレート部材を切断するレーザ加工装置であることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用のマスク製造システム。 - 前記撮像手段は、基板を検査する検査装置に備えられて印刷後または実装後の前記基板を撮像して検査するための検査用カメラであり、
前記パターン孔形成手段は、レーザ光によって前記プレート部材を切断するレーザ加工装置であることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用のマスク製造システム。 - 前記パターン孔形成手段は、レーザ光によって前記プレート部材を切断するレーザ加工装置であり、
前記撮像手段は、前記レーザ加工装置に備えられた認識用カメラであることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷用のマスク製造システム。 - 基板にペーストを印刷するスクリーン印刷において用いられるスクリーンマスクを製造するスクリーン印刷用のマスク製造方法であって、
前記基板を撮像して基板に形成された電極パターンの画像情報を取得する撮像工程と、
前記画像情報に基づき、前記基板における前記電極パターンの実測位置を示す実測位置データを作成する実測位置データ作成工程と、
前記実測位置データに基づいて前記スクリーンマスクを構成するプレート部材に前記電極パターンに対応したパターン孔を形成するパターン孔形成工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷用のマスク製造方法。
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