JP2013219542A - 圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 励振電極膜が形成される振動腕部13と、該振動腕部13と繋がる支持部14と、該支持部14に設けられ、外部との導通を図る電極部15とを備える圧電振動子11において、前記電極部15が支持部14の基材表面に形成された導電膜15aからなり、この導電膜15aの表面に導電性を備えた複数の溝部23を設けた。
【選択図】 図3
Description
13 振動腕部(振動部)
14 支持部
15 電極部
15a 導電膜
16 基部
17 支持腕部
18 パッケージ
20 マウント部
21 導電性接着剤
22 平面部
23 溝部(凹部)
23a 開口側
23b 底部側
24 バインダー樹脂
25 導電フィラー
26 孔部(凹部)
27 フィラーリッチ層
Claims (5)
- 励振電極膜が形成される振動部と、該振動部と繋がる支持部と、該支持部に設けられ、外部との導通を図る電極部とを備える圧電振動子において、
前記電極部が支持部の基材表面に形成された導電膜からなり、この導電膜には表面が導電性を備えた複数の凹部が設けられていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記凹部は、底部の方がすぼまる形状である請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記凹部は、断面形状が略V字状又は略U字状である請求項1又は2に記載の圧電振動子。
- 前記凹部は、電極部に塗布された導電性接着剤のバインダー樹脂が底部側付近に集中し、導電フィラーが開口側付近に集中する形状からなる請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記凹部は、筋状の溝部又はドット状の孔部によって形成されている請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電振動子。
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