JP5100408B2 - 音叉型圧電振動子 - Google Patents
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Description
音叉型圧電振動子は電子機器のクロック周波数源として広く使われている。近年では、これらが内蔵される電子機器の小型化にともない、音叉型圧電振動子の大きさについても小型化及び薄型化が要求されている。
第5図(a)(b)及び第6図(a)(b)は従来例を説明する図で、第5図(a)は一部開放とした内部を示す音叉型圧電振動子の斜視図、同図(b)は同断面図、第6図(a)は典型的な音叉状圧電片の正面図、同図(b)は音叉状圧電片の電気的結線を示す模式的な平面図である。
しかしながら、上記構成の音叉型圧電振動子では、金属バンプ6を平坦状とすることから、引出電極10aの延出した音叉基部10の一主面における両端側では全面的に対面するとともに密接して固着される。したがって、音叉状圧電片7の固着強度は金属バンプ6に対する密接した接触面積に依存する。一方、音叉状圧電片7は外部衝撃に対する導電性接着剤8の固着強度及び電気的導通度を高めるため、金属バンプ6との接触面積(対向面積)を大きくすることが求められる。
(発明の目的)
本発明は小型化に際しての静的状態での振動特性を維持した上で固着強度を確保し、しかも落下衝撃前後での周波数変化を抑制した音叉型圧電振動子を提供することを目的とする。
本発明の請求項2では、請求項1の前記金属バンプは少なくとも一端側に斜面又は階段形状を有する。これにより、金属バンプの底面よりも上面平坦部の面積を小さくして、請求項1の効果を得る。
第1図(a)(b)(c)は本発明の第1実施形態を説明する音叉型圧電振動子の図で、同図(a)は音叉状圧電片及びカバーを除いて内部を示す一部開放の斜視図、同図(b)はカバーは除いて音叉状圧電片の固着状態を示す一部開放の斜視図、同図(c)は幅方向の断面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
第3図(a)(b)は本発明の第2実施形態を説明する音叉型圧電振動子の幅方向の断面図である。なお、前実施形態と同一部分の説明は省略又は簡略する。すなわち、第1実施形態では金属バンプ6(上面平坦部)の両端側は円弧状の曲面としたが、第2実施形態では例えば両端側を直線状の傾斜面とする「同図(a)」、あるいは階段状の段差を設ける「同図(b)」。
第4図は本発明の第3実施形態を説明する音叉型圧電振動子の長さ方向の断面図である。第1及び第2実施形態では金属バンプ6の幅方向に傾斜面又は段差を設けたが、第3実施形態では長さ方向に傾斜面あるいは階段状の段差を設ける。この場合でも、前述同様に、固着強度を維持して落下衝撃前後での周波数変化を抑制できる。
上記実施形態では金属バンプの幅又は長さ方向の両端側に傾斜面又は段差面を設けたが、金属バンプ6の例えば全外周に設けてもよく、要は、傾斜面又は段差面は音叉基部10と対面する金属バンプの少なくとも一端側に設けてあればよい。そして、金属バンプ6は矩形状としたが、これに限らず円や楕円等としてもよく、上面平坦部が底面よりも小さくなっていれば同様の効果を奏する。また、音叉状圧電片7は典型的な例で説明したが、一対の音叉腕9の両主面に電界効率を高める溝を設けたり、音叉腕9の先端側に周波数調整用の金属膜を設けたりした場合でも同様に適用できる。
Claims (2)
- 凹状とした容器本体と、前記容器本体の凹部内に設けられた電極パッドと、前記電極パッド上に形成された金属バンプと、一対の音叉腕が延出した音叉基部の一主面を導電性接着剤によって前記金属バンプに固着される音叉状圧電片と、前記容器本体の開口端面に接合して前記音叉状圧電片を密閉封入するカバーとからなる音叉型圧電振動子において、
前記金属バンプは前記音叉状圧電片の幅方向となる両端側に円弧状の曲面又は直線状の斜面もしくは階段形状の何れかを有し、
前記音叉状圧電片の音叉基部と密接して接着する前記金属バンプの上面平坦部の前記音叉状圧電片の長さ方向の寸法よりも幅方向寸法が短く、当該上面平坦部の面積が前記電極パッド上での前記金属バンプの底面積よりも小さいことを特徴とする音叉型圧電振動子。 - 前記音叉状圧電片の幅方向における前記金属バンプの上面平坦部の幅寸法は、前記金属バンプ底面の長さの20〜90%である請求項1に記載の音叉型圧電振動子。
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