JP2013215813A - 両頭平面研削におけるワーク搬入出方法及び両頭平面研削盤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対の静圧パッド1,2により静圧保持された薄板状のワークWをキャリア7により回転させながら、一対の研削砥石によりワークWの両面を研削する両頭平面研削において、搬入出手段8,9によりワークWを吸着して両静圧パッド1,2間のキャリア7に対してワークWを搬入出するに際し、搬入出手段8,9と右静圧パッド2とによりキャリア7内のワークWを挟んだ後、その状態でキャリア7内のワークWを前進保持位置X1にある右静圧パッド2により吸着する。
【選択図】図1
Description
1,2 静圧パッド
5,6 研削砥石
7 キャリア
8 搬入手段
9 搬出手段
16 吸着孔
17 ノッチ部
18 係合突部
37 支持枠
40 フローティング枠
41 案内手段
42 案内ローラ
X1 前進保持位置
X2 後退位置
Claims (8)
- 一対の静圧パッドにより静圧保持された薄板状のワークをキャリアにより回転させながら、一対の研削砥石により前記ワークの両面を研削する両頭平面研削において、搬入出手段により前記ワークを吸着して前記両静圧パッド間の前記キャリアに対して前記ワークを搬入出するに際し、前記キャリア内の前記ワークを前進保持位置にある一方の前記静圧パッドにより吸着することを特徴とする両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
- 前記搬入出手段と前記一方の静圧パッドとにより前記キャリア内の前記ワークを挟んだ後、その状態で前記搬入出手段と前記一方の静圧パッドとの間で前記ワークを受け渡すことを特徴とする請求項1に記載の両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
- 前記搬入手段により吸着された前記ワークを前記キャリア内に挿入して、該搬入手段と前記一方の静圧パッドとにより挟んだ後、該一方の静圧パッドによる前記ワークの吸着と略同時に、又は該一方の静圧パッドによる前記ワークの吸着と相前後して、前記搬入手段による前記ワークの吸着を解除することを特徴とする請求項1又は2に記載の両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
- 他方の前記静圧パッドを前記前進保持位置へと前進させた後に、前記一方の静圧パッドによる前記ワークの吸着を解除し、前記各静圧パッドに静圧流体を供給して前記ワークを静圧保持することを特徴とする請求項3に記載の両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
- 前記前進保持位置にある前記両静圧パッドによる前記ワークの静圧保持を解除し、前記一方の静圧パッドにより前記キャリア内の前記ワークを吸着した後、他方の静圧パッドを前記前進保持位置から後退させることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
- 前記一方の静圧パッドによる前記ワークの吸着と略同時に、又は前記一方の静圧パッドによる前記ワークの吸着と相前後して、前記他方の静圧パッドから静圧流体を供給して該他方の静圧パッドと前記ワークとの表面張力を解除することを特徴とする請求項4に記載の両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
- 前記キャリア内の前記ワークを前記搬出手段と前記一方の静圧パッドとにより挟んだ後、前記搬出手段による前記ワークの吸着と略同時に、又は前記搬出手段による前記ワークの吸着と相前後して、前記一方の静圧パッドによる前記ワークの吸着を解除し、前記一方の静圧パッドから静圧流体を供給して、前記ワークを前記一方の静圧パッドから離すことを特徴とする請求項6に記載の両頭平面研削におけるワーク搬入出方法。
- 薄板状のワークを回転させるキャリアと、該キャリア内の前記ワークを静圧保持する一対の静圧パッドと、該静圧パッドにより静圧保持されて前記キャリアにより回転する前記ワークの両面を研削する一対の研削砥石と、前記ワークを吸着して前記一対の静圧パッド間に対して搬入出する搬入出手段とを備えた両頭平面研削盤において、一方の前記静圧パッドは前記キャリア内の前記ワークを吸着する吸着孔を、前記ワークのノッチ部に係合する係合突部の近傍を含む周方向の複数箇所に備えたことを特徴とする両頭平面研削盤。
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