JP2013201198A - 電気機械変換素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置 - Google Patents
電気機械変換素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013201198A JP2013201198A JP2012067545A JP2012067545A JP2013201198A JP 2013201198 A JP2013201198 A JP 2013201198A JP 2012067545 A JP2012067545 A JP 2012067545A JP 2012067545 A JP2012067545 A JP 2012067545A JP 2013201198 A JP2013201198 A JP 2013201198A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- electromechanical conversion
- conductive oxide
- electromechanical
- conversion element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 93
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 57
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 57
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 21
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 17
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 12
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 27
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 25
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 20
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 18
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 11
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 5
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 4
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 4
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 229940046892 lead acetate Drugs 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- -1 platinum group metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- ZGSOBQAJAUGRBK-UHFFFAOYSA-N propan-2-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] ZGSOBQAJAUGRBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000877463 Lanio Species 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- KQNKJJBFUFKYFX-UHFFFAOYSA-N acetic acid;trihydrate Chemical compound O.O.O.CC(O)=O KQNKJJBFUFKYFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 125000003158 alcohol group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005886 esterification reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000487 osmium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIWAALDUIFCBLV-UHFFFAOYSA-N oxoosmium Chemical compound [Os]=O JIWAALDUIFCBLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N oxopalladium Chemical compound [Pd]=O HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYIZHKNUQPHNJY-UHFFFAOYSA-N oxorhenium Chemical compound [Re]=O DYIZHKNUQPHNJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJLOMQIUPFZJAN-UHFFFAOYSA-N oxorhodium Chemical compound [Rh]=O SJLOMQIUPFZJAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003445 palladium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910003449 rhenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003450 rhodium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/704—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
- H10N30/077—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition
- H10N30/078—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition by sol-gel deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/704—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
- H10N30/706—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings characterised by the underlying bases, e.g. substrates
- H10N30/708—Intermediate layers, e.g. barrier, adhesion or growth control buffer layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/877—Conductive materials
- H10N30/878—Conductive materials the principal material being non-metallic, e.g. oxide or carbon based
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】本電気機械変換素子は、電気信号を機械的変位に変換し、或いは機械的変位を電気信号に変換する電気機械変換素子であって、アルミナ膜、金属膜、及び導電性酸化物膜が順次積層された下部電極と、前記下部電極の前記導電性酸化物膜上に配置された電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に配置された上部電極と、を有し、前記金属膜は、空孔の存在しない膜である。
【選択図】図1
Description
第2の実施の形態では、複数の電気機械変換素子を有する液滴吐出ヘッドの例を示す。図3は、第2の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを例示する分解斜視図である。図3を参照するに、液滴吐出ヘッド2は、大略すると、第1基板50と、第2基板60と、ノズル板70とを有する。
第3の実施の形態では、液滴吐出ヘッド2(図3参照)を搭載したインクジェット記録装置の例を示す。図4は、インクジェット記録装置を例示する斜視図である。図5は、インクジェット記録装置の機構部を例示する側面図である。
実施例1では、以下の手順で、基板20上に振動板30を形成し、振動板30上に電気機械変換素子40を形成し、図1に示す液滴吐出ヘッド1を作製した。但し、圧力室21の加工、ノズル板10の接着等は行っていない。
比較例1では、アルミナ膜41aに代えて、密着層としてチタン膜をスパッタ成膜した。これ以外は、実施例1と同様にして電気機械変換素子を有する液滴吐出ヘッドを作製した。
実施例2では、図1に示す液滴吐出ヘッド1を作製した。つまり、実施例1のシリコンからなる基板20に圧力室21の加工、ノズル板10の接着等を追加した。圧力室21は、フォトリソグラフィ技術を用いて、基板20の下側を振動板30部分までICP(Inductively Coupled Plasma)エッチングで深堀することにより形成した。
10、70 ノズル板
11 ノズル
20 基板
21、61 圧力室
30 振動板
40 電気機械変換素子
41 下部電極
41a アルミナ膜
41b、43b 金属膜
41c、43a 導電性酸化物膜
42 電気機械変換膜
43 上部電極
50 第1基板
51 液供給路
60 第2基板
62 フレキシブル基板
63 共通液室
64 連通路
71 ノズル孔
81 記録装置本体
82 印字機構部
83 用紙
84 給紙カセット(或いは給紙トレイ)
85 手差しトレイ
86 排紙トレイ
91 主ガイドロッド
92 従ガイドロッド
93 キャリッジ
94 インクジェット記録ヘッド
95 インクカートリッジ
97 主走査モータ
98 駆動プーリ
99 従動プーリ
100 タイミングベルト
101 給紙ローラ
102 フリクションパッド
103 ガイド部材
104 搬送ローラ
105 搬送コロ
106 先端コロ
107 副走査モータ
109 印写受け部材
111 搬送コロ
112 拍車
113 排紙ローラ
114 拍車
115、116 ガイド部材
117 回復装置
Claims (11)
- 電気信号を機械的変位に変換し、或いは機械的変位を電気信号に変換する電気機械変換素子であって、
アルミナ膜、金属膜、及び導電性酸化物膜が順次積層された下部電極と、
前記下部電極の前記導電性酸化物膜上に配置された電気機械変換膜と、
前記電気機械変換膜上に配置された上部電極と、を有し、
前記金属膜は、空孔の存在しない膜であることを特徴とする電気機械変換素子。 - 前記導電性酸化物膜は、前記金属膜と格子定数が整合する材料からなり、
前記導電性酸化物膜の横方向の平均粒子径は、前記金属膜の横方向の平均粒子径より大きいことを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子。 - 前記金属膜は白金膜であり、前記導電性酸化物膜はルテニウム酸ストロンチウム膜であることを特徴とする請求項1又は2記載の電気機械変換素子。
- 前記ルテニウム酸ストロンチウム膜は、ペロブスカイト構造を有し、(111)が優先配向していることを特徴とする請求項3記載の電気機械変換素子。
- 前記金属膜の厚さが250nm以下であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項記載の電気機械変換素子。
- 請求項1乃至5の何れか一項記載の電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子を搭載した振動板と、を有し、
前記電気機械変換素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記振動板を前記電気機械変換素子の撓み方向に変位させることを特徴とする圧電型アクチュエータ。 - 請求項6記載の圧電型アクチュエータを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 圧力室が形成された基板を有し、
前記振動板は、前記基板の一方の面に設けられ、
前記電気機械変換素子は、前記振動板の前記圧力室と平面視において重複する位置に搭載されていることを特徴とする請求項7記載の液滴吐出ヘッド。 - 請求項7又は8記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
- 電気信号を機械的変位に変換し、或いは機械的変位を電気信号に変換する電気機械変換素子の製造方法であって、
アルミナ膜、空孔の存在しない金属膜、及び導電性酸化物膜を順次積層して下部電極を形成する工程と、
前記下部電極の前記導電性酸化物膜上に電気機械変換膜を形成する工程と、
前記電気機械変換膜上に上部電極を形成する工程と、を有し、
前記下部電極を形成する工程では、前記導電性酸化物を450℃以上600℃以下の温度において、前記金属膜上にスパッタ法で成膜することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 前記電気機械変換膜を形成する工程では、ゾルゲル法により前記電気機械変換膜を成膜することを特徴とする請求項10記載の電気機械変換素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012067545A JP2013201198A (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 電気機械変換素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置 |
US13/848,243 US8960867B2 (en) | 2012-03-23 | 2013-03-21 | Electromechanical conversion element, manufacturing method thereof, piezoelectric type actuator, liquid droplet jetting head, and inkjet recording apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012067545A JP2013201198A (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 電気機械変換素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013201198A true JP2013201198A (ja) | 2013-10-03 |
Family
ID=49211395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012067545A Pending JP2013201198A (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 電気機械変換素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8960867B2 (ja) |
JP (1) | JP2013201198A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9597872B2 (en) | 2015-02-16 | 2017-03-21 | Ricoh Company, Ltd. | Droplet discharge head and image forming apparatus incorporating same |
JP2017130624A (ja) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社リコー | Pzt前駆体溶液及びその製造方法、pzt膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2017212300A (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | Tdk株式会社 | 積層膜、電子デバイス基板、電子デバイス及び積層膜の製造方法 |
JP2020157652A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびプリンター |
WO2022024529A1 (ja) * | 2020-07-28 | 2022-02-03 | 富士フイルム株式会社 | 圧電膜付き基板及び圧電素子 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6156068B2 (ja) | 2013-03-14 | 2017-07-05 | 株式会社リコー | 圧電体薄膜素子及びインクジェット記録ヘッド、並びにインクジェット式画像形成装置 |
JP2014198461A (ja) | 2013-03-15 | 2014-10-23 | 株式会社リコー | アクチュエータ素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
JP2015023053A (ja) | 2013-07-16 | 2015-02-02 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、画像形成装置、及び、電気機械変換素子の製造方法 |
JP6341446B2 (ja) | 2014-03-13 | 2018-06-13 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
ES2558023B1 (es) * | 2014-07-29 | 2017-03-24 | Kerajet S.A. | Dispositivo, método y máquina de deposición de fluidos sobre una superficie. |
ES2561727B1 (es) * | 2014-08-29 | 2017-03-24 | Kerajet S.A. | Dispositivo, método y máquina de deposición de fluidos sobre una superficie |
JP6414744B2 (ja) | 2014-12-12 | 2018-10-31 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
KR102375889B1 (ko) * | 2014-12-19 | 2022-03-16 | 삼성전자주식회사 | 에너지 발생 장치 및 그 제조방법 |
JP6617268B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2019-12-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 圧電素子および圧電素子の製造方法 |
JP6903865B2 (ja) | 2016-01-22 | 2021-07-14 | 株式会社リコー | 電気機械変換素子及びその製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
JP2017199892A (ja) | 2016-02-17 | 2017-11-02 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子とその製造方法、電気−機械変換素子を備えた液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
US10160208B2 (en) | 2016-04-11 | 2018-12-25 | Ricoh Company, Ltd. | Electromechanical-transducing electronic component, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
JP6720669B2 (ja) | 2016-04-22 | 2020-07-08 | 株式会社リコー | 電気機械変換装置、センサ、アクチュエータ、及びそれらの製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
US9987843B2 (en) | 2016-05-19 | 2018-06-05 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
US10239312B2 (en) | 2017-03-17 | 2019-03-26 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
US10556431B2 (en) | 2017-06-23 | 2020-02-11 | Ricoh Company, Ltd. | Electromechanical transducer element, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
JP6939214B2 (ja) | 2017-08-01 | 2021-09-22 | 株式会社リコー | 電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及び液体を吐出する装置 |
JP7059604B2 (ja) | 2017-12-07 | 2022-04-26 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 |
JP7087413B2 (ja) | 2018-01-31 | 2022-06-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 |
JP7363067B2 (ja) * | 2019-03-19 | 2023-10-18 | 株式会社リコー | 圧電体薄膜素子、液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び圧電体薄膜素子の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08186236A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Matsushita Electron Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2000515329A (ja) * | 1996-07-25 | 2000-11-14 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 強誘電体層を有する層構造体、および層構造体の製造方法 |
JP2002289793A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2005223318A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-08-18 | Canon Inc | 誘電体素子、圧電体素子、インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP2006123212A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド |
JP2007281028A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Seiko Epson Corp | 圧電素子およびその製造方法 |
JP2008227345A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Toyohashi Univ Of Technology | 半導体基板上の積層構造 |
JP2011091138A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Ricoh Co Ltd | 電気−機械変換素子とその製造方法、及び電気−機械変換素子を有する液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置 |
JP2011249489A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Panasonic Corp | 圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5265315A (en) * | 1990-11-20 | 1993-11-30 | Spectra, Inc. | Method of making a thin-film transducer ink jet head |
DE69600167T2 (de) | 1995-04-03 | 1998-10-22 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahldruckkopf und dessen Herstellungsverfahren |
JP3517876B2 (ja) | 1998-10-14 | 2004-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体薄膜素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ |
JP2004186646A (ja) | 2002-12-06 | 2004-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電素子、インクジェットヘッド及びこれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置 |
US7419252B2 (en) * | 2004-07-13 | 2008-09-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet head, piezo-electric actuator, and method of manufacturing them |
JP4588807B1 (ja) * | 2009-04-20 | 2010-12-01 | パナソニック株式会社 | 圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
-
2012
- 2012-03-23 JP JP2012067545A patent/JP2013201198A/ja active Pending
-
2013
- 2013-03-21 US US13/848,243 patent/US8960867B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08186236A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Matsushita Electron Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2000515329A (ja) * | 1996-07-25 | 2000-11-14 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 強誘電体層を有する層構造体、および層構造体の製造方法 |
JP2002289793A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2005223318A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-08-18 | Canon Inc | 誘電体素子、圧電体素子、インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP2006123212A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド |
JP2007281028A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Seiko Epson Corp | 圧電素子およびその製造方法 |
JP2008227345A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Toyohashi Univ Of Technology | 半導体基板上の積層構造 |
JP2011091138A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Ricoh Co Ltd | 電気−機械変換素子とその製造方法、及び電気−機械変換素子を有する液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置 |
JP2011249489A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Panasonic Corp | 圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9597872B2 (en) | 2015-02-16 | 2017-03-21 | Ricoh Company, Ltd. | Droplet discharge head and image forming apparatus incorporating same |
JP2017130624A (ja) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社リコー | Pzt前駆体溶液及びその製造方法、pzt膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2017212300A (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | Tdk株式会社 | 積層膜、電子デバイス基板、電子デバイス及び積層膜の製造方法 |
JP2020157652A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびプリンター |
JP7275743B2 (ja) | 2019-03-27 | 2023-05-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびプリンター |
WO2022024529A1 (ja) * | 2020-07-28 | 2022-02-03 | 富士フイルム株式会社 | 圧電膜付き基板及び圧電素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130250009A1 (en) | 2013-09-26 |
US8960867B2 (en) | 2015-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8960867B2 (en) | Electromechanical conversion element, manufacturing method thereof, piezoelectric type actuator, liquid droplet jetting head, and inkjet recording apparatus | |
JP5811728B2 (ja) | 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP6478139B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP6525255B2 (ja) | 電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP6260858B2 (ja) | 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP2013197522A (ja) | 圧電体薄膜素子とその製造方法、該圧電体薄膜素子を用いた液滴吐出ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
JP2013012655A (ja) | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP2015079935A (ja) | 圧電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッド、並びに画像形成装置 | |
JP6939214B2 (ja) | 電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及び液体を吐出する装置 | |
JP2018125407A (ja) | 積層構造体、積層構造体の製造方法、電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び電気機械変換素子の製造方法 | |
JP6531978B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP6332735B2 (ja) | 電気機械変換部材及びその製造方法、並びに、その電気機械変換部材を備える液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP5834675B2 (ja) | 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP6606933B2 (ja) | 基板の作製方法、および液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2014054802A (ja) | 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 | |
JP2014013842A (ja) | 圧電素子及びその製造方法、並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP6142597B2 (ja) | 圧電体薄膜素子および該圧電体薄膜素子の製造方法、並びに圧電アクチュエータ、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 | |
JP6531428B2 (ja) | 電気機械変換部材、電気機械変換部材の製造方法、液滴吐出ヘッド、および画像形成装置 | |
JP2016155283A (ja) | 電気機械変換部材、液滴吐出ヘッド、画像形成装置、インクカートリッジ、マイクロポンプおよび電気機械変換部材の作製方法 | |
JP5998537B2 (ja) | 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP6287188B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、及び画像形装置 | |
JP2013065698A (ja) | 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP6102099B2 (ja) | 電気機械変換素子及びその製造方法、並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP6566323B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP5909933B2 (ja) | 酸化物導電性薄膜の処理方法、電子デバイスの製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161021 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161220 |