JP2013198859A - 保護膜塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保護膜塗布装置としての保護膜形成兼洗浄手段70はウエーハの上面に保護膜を被覆する。保護膜形成兼洗浄手段70はウエーハを吸引保持し回転可能なスピンナーテーブル71とウエーハの上面に保護膜となる液状樹脂を塗布する塗布ノズル73とスピンナーテーブル71と塗布ノズル73を収容する筐体72とを含んで構成されている。筐体72の筒部76aの内面と底部76bの上面と蓋77の下面には積層シートが敷設されている。筐体72の筒部76aの内面と底部76bの上面と蓋77の下面において積層シートは一面が粘着面で構成された粘着シートを複数枚互いに剥離可能に積層している。
【選択図】図4
Description
図1は、実施形態に係る保護膜塗布装置としての保護膜形成兼洗浄手段を備えたレーザー加工装置の構成例を示す図である。図2は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段により保護膜が被覆されるウエーハの斜視図である。図3は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段の積層シートを構成する粘着シートの断面図である。図4は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段の構成例を示す図である。図5は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段がウエーハの上面に液状樹脂を滴下した状態を示す図である。図6は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段が上面に液状樹脂が滴下されたウエーハを回転している状態を示す図である。図7は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段から保護膜により上面が被覆されたウエーハが取り外される状態を示す図である。図8は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段の筐体の内面から積層シートの最上層の粘着シートなどが剥離される状態を示す図である。図9は、実施形態に係る保護膜形成兼洗浄手段の筐体の内面から積層シートの最上層の粘着シートなどが剥離される状態を示す平面図である。
71 スピンナーテーブル
72 筐体
73 塗布ノズル(保護膜塗布手段)
75 積層シート
78 粘着シート
78a 粘着面
78b 反対側の面
F 環状フレーム
J 液状樹脂(液体)
P 保護膜
T 粘着テープ
W ウエーハ
WS 上面
Claims (2)
- 環状フレームの開口に粘着テープを介して貼着されたウエーハの上面に保護膜を被覆する保護膜塗布装置であって、
該粘着テープを介して該ウエーハを吸引保持する回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルで吸引保持された該ウエーハの上面に該保護膜となる液体を塗布する保護膜塗布手段と、該スピンナーテーブルと該保護膜塗布手段とを収容する筐体とを含んで構成され、
該筐体の内側の少なくとも一部には、一面が粘着面で構成された粘着シートを複数枚互いに剥離可能に積層した積層シートが敷設され、
該スピンナーテーブルに吸引保持されて回転する該ウエーハに該保護膜塗布手段で該保護膜となる液体を塗布する際に、該筐体の内側に飛散して該積層シートに付着した該液体が、該筐体の内側に露出した最上層の積層シートが剥離されることで該筐体から除去可能であることを特徴とする保護膜塗布装置。 - 前記積層シートは、前記粘着シートの前記粘着面の反対側の面が吸水性又は親水性を有する材料で構成され、飛散によって付着した前記液体が前記筐体の内側に露出した該反対側の面により該積層シートから剥離又は流れ落ちることを予防することを特徴とする請求項1記載の保護膜塗布装置。
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