JP2013197239A - Processing device - Google Patents

Processing device Download PDF

Info

Publication number
JP2013197239A
JP2013197239A JP2012061524A JP2012061524A JP2013197239A JP 2013197239 A JP2013197239 A JP 2013197239A JP 2012061524 A JP2012061524 A JP 2012061524A JP 2012061524 A JP2012061524 A JP 2012061524A JP 2013197239 A JP2013197239 A JP 2013197239A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
remarks column
screen
display
column
displayed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012061524A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshige Okubo
広成 大久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Abrasive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Abrasive Systems Ltd filed Critical Disco Abrasive Systems Ltd
Priority to JP2012061524A priority Critical patent/JP2013197239A/en
Publication of JP2013197239A publication Critical patent/JP2013197239A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Dicing (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform evocation, or the like, at a desired position of an operating panel without concealing the display on a set screen by a translucent write-free remark column.SOLUTION: An operation panel (51) displays a set screen for controlling each part of a processing device, and is configured so that a translucent write-free remark column (57) is displayed at an arbitrary screen position on the front surface of the set screen, and the remark column (57) is associated with each type of the set screen so that the remark column (57) is displayed only on the set screen.

Description

本発明は、タッチ式の操作パネルを備える加工装置に関し、特に被加工物のフルオートメーション加工に対応した加工装置に関する。   The present invention relates to a processing apparatus including a touch-type operation panel, and more particularly to a processing apparatus that supports full automation processing of a workpiece.

半導体デバイスの製造工程では、被加工物の表面には格子状の分割予定ラインが形成されており、この分割予定ラインに区画された各領域にIC、LSI等のデバイスが形成されている。被加工物は、所定厚みまで裏面研削された後にダイシング装置等の加工装置に搬入され、分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割される。分割された個々のデバイスは、携帯電話やパソコン等の電子機器に広く利用されている。加工装置の各種操作は、加工装置に設置された表示モニタのタッチ式の操作パネルで行われる(例えば、特許文献1参照)。   In the manufacturing process of a semiconductor device, grid-like division planned lines are formed on the surface of a workpiece, and devices such as ICs and LSIs are formed in the respective regions partitioned by the division planned lines. The workpiece is ground back to a predetermined thickness, and then carried into a processing apparatus such as a dicing apparatus, and is divided into individual devices along a predetermined division line. The divided individual devices are widely used in electronic devices such as mobile phones and personal computers. Various operations of the processing apparatus are performed by a touch-type operation panel of a display monitor installed in the processing apparatus (see, for example, Patent Document 1).

特開2005−166991号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2005-166991

ところで、操作パネルの誤入力等を抑制するために、操作パネル上の所望の位置に入力操作時の注意を促すメモ紙が操作者によって付着される場合がある。このようなメモ紙は、操作パネルに表示された設定画面に対応して操作者に注意喚起等を行うが、設定画面が切り替わることで新たな設定画面の表示を隠してしまうという問題がある。   By the way, in order to suppress an erroneous input or the like on the operation panel, a note paper that calls attention at the time of an input operation may be attached by an operator at a desired position on the operation panel. Such a memo paper alerts the operator in response to the setting screen displayed on the operation panel, but there is a problem that the display of a new setting screen is hidden when the setting screen is switched.

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、設定画面の表示を隠すことなく、操作パネルの所望の位置で注意喚起等を行うことができる加工装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of calling attention at a desired position on an operation panel without hiding the display of a setting screen.

本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、前記保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、前記加工手段および前記撮像手段を含む当前記加工装置の構成要素を制御する制御手段と、前記制御手段に対してパラメータを入力設定する操作パネルとを備える加工装置であって、前記操作パネルには、操作者が所望する前記操作パネル内の任意の画面位置に、書き込み自由な半透明の備考欄を表示させることを特徴とする。   The processing apparatus of the present invention includes a holding unit that holds a workpiece, a processing unit that processes the workpiece held by the holding unit, and an image that images the surface of the workpiece held by the holding unit. A processing device comprising: means; a control means for controlling components of the processing apparatus including the processing means and the imaging means; and an operation panel for inputting and setting parameters for the control means. The panel is characterized in that a semi-transparent remarks column which can be freely written is displayed at an arbitrary screen position in the operation panel desired by the operator.

この構成によれば、操作パネルの任意の画面位置に表示される備考欄によって、操作者に対する注意喚起等を画面上で行うことができる。また、備考欄は半透明に表示されるため、設定画面の表示が備考欄に隠れることがない。   According to this configuration, the operator can be alerted on the screen by the remarks column displayed at any screen position on the operation panel. In addition, since the remarks column is displayed translucently, the setting screen display is not hidden in the remarks column.

本発明によれば、書き込み自由な半透明な備考欄によって、設定画面の表示を隠すことなく、操作パネルの所望の位置で注意喚起等を行うことができる。   According to the present invention, it is possible to call attention or the like at a desired position on the operation panel without hiding the display of the setting screen by using a semi-transparent remarks column that can be freely written.

本実施の形態に係る切削装置のハウジングの正面図である。It is a front view of the housing of the cutting device concerning this embodiment. 本実施の形態に係るハウジング内の切削機構の斜視図である。It is a perspective view of the cutting mechanism in the housing which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る設定画面を示す図である。It is a figure which shows the setting screen which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る備考欄の表示処理を示す機能ブロック図の一例である。It is an example of the functional block diagram which shows the display process of the remarks column which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る備考欄の表示処理の流れを示すフローチャートの一例である。It is an example of the flowchart which shows the flow of the display process of the remarks column which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る備考欄の自動調整処理の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the automatic adjustment process of the remarks column which concerns on this Embodiment.

以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態に係るハウジングの正面図である。図2は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、以下においては、加工装置として切削装置を例示した構成について説明するが、この構成に限定されない。本発明は、タッチ式の操作パネルを備えた加工装置に適用可能である。   Hereinafter, the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a front view of a housing according to the present embodiment. FIG. 2 is a perspective view of the cutting device according to the present embodiment. In addition, although the structure which illustrated the cutting device as a processing apparatus is demonstrated below, it is not limited to this structure. The present invention is applicable to a processing apparatus provided with a touch-type operation panel.

図1に示すように、切削装置1は、直方体状のハウジング2を有し、ハウジング2の内部には切削機構3が収容されている(図2参照)。ハウジング2の正面2aには、タッチ式の操作パネル51が設けられた表示モニタ4が設置されている。表示モニタ4の操作パネル51には、切削装置1の各種処理に関する設定画面等が表示されている。操作者は、ハウジング2の正面に立って操作パネル51に指先で直接触れることで、切削装置1の動作条件の設定等を実施する。なお、本実施の形態に係る操作パネル51は、操作時の注意喚起のために、書き込み自由な備考欄57(図3参照)が表示可能に構成されている。   As shown in FIG. 1, the cutting device 1 has a rectangular parallelepiped housing 2, and a cutting mechanism 3 is accommodated in the housing 2 (see FIG. 2). On the front surface 2a of the housing 2, a display monitor 4 provided with a touch type operation panel 51 is installed. On the operation panel 51 of the display monitor 4, setting screens related to various processes of the cutting apparatus 1 are displayed. The operator stands up in front of the housing 2 and directly touches the operation panel 51 with a fingertip to set the operating conditions of the cutting apparatus 1 and the like. Note that the operation panel 51 according to the present embodiment is configured to be able to display a rewriteable remarks column 57 (see FIG. 3) for alerting at the time of operation.

図2に示すように、切削機構3は、切削ブレード42を有するブレードユニット(加工手段)15と被加工物Wを保持したチャックテーブル(保持手段)13とを相対移動させて、被加工物Wを切削するように構成されている。被加工物Wの表面には格子状に分割予定ラインが形成されており、分割予定ラインに区画された各領域にはデバイスが配設されている。被加工物Wは、デバイスが配設された表面を下向きにして、リングフレーム81に張られた粘着テープ82に貼着されている。   As shown in FIG. 2, the cutting mechanism 3 moves the workpiece W by relatively moving a blade unit (processing means) 15 having a cutting blade 42 and a chuck table (holding means) 13 holding the workpiece W. Is configured to cut. Divided lines are formed in a lattice pattern on the surface of the workpiece W, and devices are arranged in the respective areas partitioned by the divided lines. The workpiece W is attached to an adhesive tape 82 stretched on the ring frame 81 with the surface on which the device is disposed facing downward.

なお、本実施の形態においては、被加工物Wとしてシリコンウェーハ、ガリウムヒソ等の半導体ウェーハを例に挙げて説明するが、この構成に限定されるものではない。半導体ウェーハの裏面に設けられるDAF(Die Attach Film)等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミック、ガラス、サファイア(Al2O3)系の無機材料基板、各種電気部品やミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料を被加工物Wとしてもよい。 In the present embodiment, a semiconductor wafer such as a silicon wafer or a gallium strain is described as an example of the workpiece W. However, the present invention is not limited to this configuration. Adhesive members such as DAF (Die Attach Film) provided on the backside of semiconductor wafers, semiconductor product packages, ceramics, glass, sapphire (Al 2 O 3 ) based inorganic material substrates, various electrical components and micron-order processing position accuracy It is good also considering the various processing materials as which the required is W.

切削機構3の基台11上にはチャックテーブル13をX軸方向に移動するチャックテーブル移動機構12が設けられている。チャックテーブル移動機構12は、基台11上面に配置されたX軸方向に平行な一対のガイドレール21と、一対のガイドレール21にスライド可能に設置されたモータ駆動のX軸テーブル22とを有している。X軸テーブル22の上部には、チャックテーブル13が設けられている。また、X軸テーブル22の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ23が螺合されている。ボールネジ23の一端部には、駆動モータ24が連結されている。駆動モータ24によりボールネジ23が回転駆動されることで、チャックテーブル13がガイドレール21に沿ってX軸方向に移動される。   A chuck table moving mechanism 12 for moving the chuck table 13 in the X-axis direction is provided on the base 11 of the cutting mechanism 3. The chuck table moving mechanism 12 has a pair of guide rails 21 arranged on the upper surface of the base 11 and parallel to the X-axis direction, and a motor-driven X-axis table 22 slidably installed on the pair of guide rails 21. doing. A chuck table 13 is provided above the X-axis table 22. A nut portion (not shown) is formed on the back side of the X-axis table 22, and a ball screw 23 is screwed to the nut portion. A drive motor 24 is connected to one end of the ball screw 23. When the ball screw 23 is rotationally driven by the drive motor 24, the chuck table 13 is moved along the guide rail 21 in the X-axis direction.

チャックテーブル13は、X軸テーブル22の上面に固定されたZ軸回りに回転可能なθテーブル25と、θテーブル25の上部に設けられ、被加工物Wを吸着保持する保持部27とを有している。保持部27は、所定の厚みを有する円盤状であり、上面中央部分にはポーラスセラミック材により吸着面28が形成されている。吸着面28は、負圧により被加工物Wを吸着し、θテーブル25の内部の配管を介して吸引源に接続されている。また、保持部27の周囲には、被加工物Wの周囲のリングフレーム81を挟持固定する4つのクランプ部29が設けられている。   The chuck table 13 includes a θ table 25 that is fixed to the upper surface of the X-axis table 22 and that can rotate around the Z-axis, and a holding unit 27 that is provided on the top of the θ table 25 and holds the workpiece W by suction. doing. The holding portion 27 has a disk shape having a predetermined thickness, and an adsorption surface 28 is formed of a porous ceramic material at a central portion of the upper surface. The suction surface 28 sucks the workpiece W by a negative pressure and is connected to a suction source via a pipe inside the θ table 25. Further, around the holding portion 27, four clamp portions 29 that clamp and fix the ring frame 81 around the workpiece W are provided.

切削装置1の基台11上には、ブレードユニット15をチャックテーブル13の上方でY軸方向及びZ軸方向に移動するブレードユニット移動機構(駆動手段)14が設けられている。ブレードユニット移動機構14は、基台11上面に配置されたY軸方向に平行な一対のガイドレール31と、一対のガイドレール31にスライド可能に設置されたモータ駆動のY軸テーブル32とを有している。Y軸テーブル32は上面視矩形状に形成されており、そのX軸方向における一端部には側壁部33が立設している。   On the base 11 of the cutting apparatus 1, a blade unit moving mechanism (driving means) 14 that moves the blade unit 15 in the Y-axis direction and the Z-axis direction above the chuck table 13 is provided. The blade unit moving mechanism 14 has a pair of guide rails 31 arranged on the upper surface of the base 11 and parallel to the Y-axis direction, and a motor-driven Y-axis table 32 slidably installed on the pair of guide rails 31. doing. The Y-axis table 32 is formed in a rectangular shape when viewed from above, and a side wall 33 is erected at one end in the X-axis direction.

また、ブレードユニット移動機構14は、側壁部33の壁面に設置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール34と、一対のガイドレール34にスライド可能に設置されたZ軸テーブル35とを有している。Z軸テーブル35には、チャックテーブル13に向ってY軸方向に延在するスピンドル41が片持で支持されている。また、Y軸テーブル32、Z軸テーブル35の背面側には、それぞれ図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ36(Z軸のボールネジは不図示)が螺合されている。各ボールネジ36の一端部には、それぞれ駆動モータ38、39が連結されている。駆動モータ38、39によりボールネジが回転駆動され、ブレードユニット15がガイドレール31、34に沿ってY軸方向及びZ軸方向に移動される。   The blade unit moving mechanism 14 includes a pair of guide rails 34 that are installed on the wall surface of the side wall portion 33 and parallel to the Z-axis direction, and a Z-axis table 35 that is slidably installed on the pair of guide rails 34. doing. A spindle 41 extending in the Y-axis direction toward the chuck table 13 is supported by the Z-axis table 35 in a cantilever manner. Further, nut portions (not shown) are formed on the back sides of the Y-axis table 32 and the Z-axis table 35, and a ball screw 36 (Z-axis ball screw not shown) is screwed to these nut portions. Drive motors 38 and 39 are connected to one end of each ball screw 36, respectively. The ball screw is rotationally driven by the drive motors 38 and 39, and the blade unit 15 is moved along the guide rails 31 and 34 in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

ブレードユニット15は、Y軸回りに回転するスピンドル41の先端に設けられた円盤状の切削ブレード42と、切削部分に切削水を噴射する図示しないノズルとを有している。ブレードユニット15は、切削ブレード42を高速回転させ、複数のノズルから切削位置に切削水を噴射しつつ被加工物Wを切削加工する。また、ブレードユニット15には、アライメント用の撮像機構(撮像手段)43が設けられている。撮像機構43は、被加工物Wの表面を照らす光源(不図示)を有している。撮像機構43による撮像画像に含まれるチップパターン(アライメントターゲット)と予め登録された基準パターンとのマッチングにより、アライメント処理が行われる。   The blade unit 15 includes a disk-shaped cutting blade 42 provided at the tip of a spindle 41 that rotates about the Y axis, and a nozzle (not shown) that injects cutting water onto the cutting portion. The blade unit 15 rotates the cutting blade 42 at high speed, and cuts the workpiece W while spraying cutting water from a plurality of nozzles to a cutting position. The blade unit 15 is provided with an imaging mechanism (imaging means) 43 for alignment. The imaging mechanism 43 has a light source (not shown) that illuminates the surface of the workpiece W. An alignment process is performed by matching a chip pattern (alignment target) included in a captured image by the imaging mechanism 43 with a reference pattern registered in advance.

ハウジング2内には、切削装置1の各部を統括制御する制御部(制御手段)16が設けられている。制御部16には、表示モニタ4の操作パネル51から各種指令(パラメータ)が入力設定され、各種指令に基づいて切削装置1の各処理を制御している。制御部16は、切削装置1の各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成されている。メモリは、用途に応じてROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。   In the housing 2, a control unit (control means) 16 that performs overall control of each unit of the cutting apparatus 1 is provided. Various commands (parameters) are input and set to the control unit 16 from the operation panel 51 of the display monitor 4, and each process of the cutting apparatus 1 is controlled based on the various commands. The control unit 16 is configured by a processor, a memory, and the like that execute various processes of the cutting device 1. The memory is composed of one or a plurality of storage media such as a ROM (Read Only Memory) and a RAM (Random Access Memory) depending on the application.

このように構成された切削装置1においては、Y軸テーブル32の移動によって切削ブレード42が被加工物Wの分割予定ラインに位置合わせされる。次に、Z軸テーブル35の移動によって回転された切削ブレード42の被加工物Wに対する切り込み深さが調整される。そして、高速回転された切削ブレード42に対してX軸テーブル22が相対移動されることで、被加工物Wが分割予定ラインに沿って切削されて個々のデバイスチップに分割される。   In the cutting apparatus 1 configured as described above, the cutting blade 42 is aligned with the planned division line of the workpiece W by the movement of the Y-axis table 32. Next, the cutting depth of the cutting blade 42 rotated by the movement of the Z-axis table 35 with respect to the workpiece W is adjusted. Then, the X-axis table 22 is relatively moved with respect to the cutting blade 42 rotated at a high speed, whereby the workpiece W is cut along the planned division lines and divided into individual device chips.

図3を参照して、操作パネルに表示される備考欄について説明する。図3は、本実施の形態に係る設定画面を示す図である。なお、図3Aは多品種フルオートメーション画面を示し、図3Bは単品種フルオートメーション画面を示す。以下の説明では、多品種フルオートメーション画面及び単品種フルオートメーション画面に備考欄が表示される一例について説明するが、これに限定されない。例えば、トップメニュー画面やデバイスデータ設定画面に備考欄を表示させることも可能である。   The remarks column displayed on the operation panel will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram showing a setting screen according to the present embodiment. 3A shows a multi-product full automation screen, and FIG. 3B shows a single product full automation screen. In the following description, an example in which the remarks column is displayed on the multi-product full automation screen and the single product full automation screen will be described, but the present invention is not limited to this. For example, a remarks column can be displayed on the top menu screen or device data setting screen.

図3Aに示すように、多品種フルオートメーション画面53は、備考欄57を所望の位置に表示できるように構成されている。画面右端には、フルオートメーション加工を開始するSTARTボタン61、指定位置での操作を決定するENTERボタン62、前画面に戻るEXITボタン63が配置されている。画面左端には、カセット数をプルダウン形式で表示する表示欄64、カセット段数の開始及び終了をプルダウン形式で表示する表示欄65が配置されている。表示欄64、65には、切削装置1に1つのカセットが配置され、カセット段数の1段目から11段目までデバイス(被加工物W)が収容されていることが表示されている。   As shown in FIG. 3A, the multi-product full automation screen 53 is configured to display the remarks column 57 at a desired position. At the right end of the screen, a START button 61 for starting full automation processing, an ENTER button 62 for determining an operation at a specified position, and an EXIT button 63 for returning to the previous screen are arranged. A display field 64 for displaying the number of cassettes in a pull-down format and a display field 65 for displaying the start and end of the number of cassette stages in a pull-down format are arranged at the left end of the screen. In the display fields 64 and 65, it is displayed that one cassette is arranged in the cutting apparatus 1 and devices (workpieces W) are accommodated from the first stage to the eleventh stage of the number of cassette stages.

画面中央上側には、カセット内のデバイス毎に加工開始段数をプルダウン形式で表示する表示欄66が配置されている。この表示欄66には、カセット内にデバイスNo.000のSAMPLE0がカセット段数の1段目から3段目、デバイスNo.111のSAMPLE1がセット段数の4段目から11段目にそれぞれ収容されていることが表示されている。画面中央下側には、デバイスデータをリスト形式で表示する表示欄67が配置されている。このリストからデバイスデータを選択することで、デバイスデータに対応したデバイスデータ設定画面に切り替わる。   In the upper center of the screen, a display field 66 for displaying the number of processing start stages for each device in the cassette in a pull-down format is arranged. In the display column 66, the device number in the cassette is displayed. 000 SAMPLE0 is the first to third stage of the number of cassette stages, device No. It is displayed that 111 SAMPLEs 1 are accommodated in the fourth to eleventh stages of the set stage number, respectively. A display column 67 for displaying device data in a list format is arranged at the lower center of the screen. By selecting device data from this list, the screen is switched to a device data setting screen corresponding to the device data.

また、画面下端には、多品種フルオートメーション画面53に備考欄57を生成する備考欄生成ボタン68が配置されている。備考欄57は、多品種フルオートメーション画面53の前面に表示され、書き込み可能な半透明の矩形領域を有している。備考欄57の位置は、操作者によって指先でドラッグされることで、多品種フルオートメーション画面53上の所望の位置に位置付けられる。また、備考欄57が指先でタップされると、多品種フルオートメーション画面53上にキーボード画像(不図示)が表示される。操作者は、キーボード画像をタップすることで備考欄57に注意事項等(テキストデータ)を入力する。   In addition, a remark column generation button 68 for generating a remark column 57 on the multi-product full automation screen 53 is arranged at the lower end of the screen. The remarks column 57 is displayed on the front face of the multi-product full automation screen 53 and has a writable translucent rectangular area. The position of the remarks column 57 is positioned at a desired position on the multi-product full automation screen 53 by being dragged with the fingertip by the operator. When the remarks column 57 is tapped with a fingertip, a keyboard image (not shown) is displayed on the multi-product full automation screen 53. The operator inputs notes (text data) in the remarks column 57 by tapping the keyboard image.

このように、多品種フルオートメーション画面53の前面に表示される備考欄57によって、操作者に対する注意喚起が画面上で行われる。この場合、備考欄57を表示欄等の近くに位置付けることで、表示内容と合わせて効果的な注意喚起が可能になる。例えば、デバイス毎に加工開始段数が表示された表示欄66の近くに備考欄57を配置して、備考欄57に「カセット内の段数を目視確認すること!!」を入力する。このような注意喚起により、操作者に対して、実際のカセット内のデバイスの収容状況が表示欄64の表示内容通りか否かの目視確認を促すことができる。   Thus, the remarks column 57 displayed on the front surface of the multi-product full automation screen 53 alerts the operator on the screen. In this case, by positioning the remarks column 57 near the display column or the like, effective alerting can be performed together with the display contents. For example, the remarks column 57 is arranged near the display column 66 in which the number of machining start steps is displayed for each device, and “please visually check the number of steps in the cassette !!” is input to the remarks column 57. Such alerting can prompt the operator to visually check whether or not the actual storage status of the device in the cassette is in accordance with the display content of the display field 64.

操作者によって一通り確認をされた後に、STARTボタン61からフルオートメーション加工が開始されるので、エラーの発生率を低下させることができる。そして、エラーによる加工停止のタイムロスが減少され、生産性が向上される。また、備考欄57は、多品種フルオートメーション画面53の前面で半透明に表示されている。このため、多品種フルオートメーション画面53の前面に表示された備考欄57によって、備考欄57の裏側に表示される各種情報が隠れることがない。なお、図3では、備考欄57と共に備考欄57に書き込まれたテキストデータも半透明に表示されたが、備考欄57だけが半透明に表示されてもよい。   After full confirmation by the operator, full automation processing is started from the START button 61, so the error rate can be reduced. And the time loss of the process stop by an error is reduced, and productivity is improved. The remarks column 57 is displayed translucently on the front surface of the multi-product full automation screen 53. For this reason, various information displayed on the back side of the remarks column 57 is not hidden by the remarks column 57 displayed on the front surface of the multi-product full automation screen 53. In FIG. 3, the text data written in the remarks column 57 together with the remarks column 57 is also displayed semi-transparently, but only the remarks column 57 may be displayed translucently.

備考欄57のプロパティ画面を表示させて、備考欄57の表示色やボックスサイズ、テキストデータのフォントのサイズやスタイル等を設定することも可能である。プロパティ画面は、備考欄57のタップによって表示されてもよいし、備考欄57に別途ボタン等を設けてボタンのタップによって表示されてもよい。   It is also possible to display the property screen in the remarks column 57 and set the display color and box size of the remarks column 57, the font size and style of the text data, and the like. The property screen may be displayed by tapping the remarks column 57, or may be displayed by tapping a button with a separate button or the like provided in the remarks column 57.

この備考欄57は、多品種フルオートメーション画面53でのみ表示される。したがって、EXITボタン63によって、前画面に切り替えられた場合には、設定画面から備考欄57が消えるので、切替後の新たな設定画面で不要な注意喚起を行うことがない。そして、再び多品種フルオートメーション画面53が表示された場合には、多品種フルオートメーション画面53と共に備考欄57も表示される。すなわち、現画面で生成された備考欄57は、別画面に切り替わった場合には引き継がれない。   The remarks column 57 is displayed only on the multi-product full automation screen 53. Accordingly, when the screen is switched to the previous screen by the EXIT button 63, the remarks column 57 disappears from the setting screen, so that unnecessary alerting is not performed on the new setting screen after switching. When the multi-product full automation screen 53 is displayed again, a remarks column 57 is also displayed together with the multi-product full automation screen 53. That is, the remarks column 57 generated on the current screen is not carried over when the screen is switched to another screen.

また、多品種フルオートメーション画面53から切り替わった別画面でも、新たに備考欄57を表示させることができる。例えば、図3Bに示すように、単品種フルオートメーション画面55でも、多品種フルオートメーション画面53と同様に備考欄57を表示させて注意喚起を行うことができる。単品種フルオートメーション画面55でも、設定画面の切り替わりによって備考欄57が消え、単品種フルオートメーション画面55に戻ることで備考欄57が再び表示される。このように、備考欄57は設定画面毎に関連付けて表示される。   Also, a remarks column 57 can be newly displayed on another screen switched from the multi-product full automation screen 53. For example, as shown in FIG. 3B, the single item full automation screen 55 can display a remarks column 57 in the same way as the multi-product full automation screen 53 to call attention. Also on the single product full automation screen 55, the remarks column 57 disappears by switching the setting screen, and the remarks column 57 is displayed again by returning to the single product full automation screen 55. Thus, the remarks column 57 is displayed in association with each setting screen.

この場合、備考欄57は、多品種フルオートメーション画面53や単品種フルオートメーション画面55等の画面種別を識別する画面種別情報に関連付けられている。この画面種別情報と備考欄57との関連付けが制御部16で認識されることで、画面種別情報に示される設定画面でのみ備考欄57が表示される。なお、備考欄57は、クライアント情報、ロット情報等に関連付けられてもよい。クライアント情報やロット情報に備考欄57が関連付けられることで、クライアント別又はロット毎に備考欄57を表示させることもできる。   In this case, the remarks column 57 is associated with screen type information for identifying screen types such as the multi-product full automation screen 53 and the single product full automation screen 55. When the association between the screen type information and the remarks column 57 is recognized by the control unit 16, the remarks column 57 is displayed only on the setting screen indicated by the screen type information. Note that the remarks column 57 may be associated with client information, lot information, and the like. Since the remarks column 57 is associated with the client information and the lot information, the remarks column 57 can be displayed for each client or for each lot.

図4を参照して、本実施の形態に係る備考欄の表示処理について説明する。図4は、本実施の形態に係る備考欄の表示処理を示す機能ブロック図の一例である。なお、以下の備考欄の表示処理は一例を示すものであり、この構成に限定されない。本実施の形態に係る備考欄の表示処理は、設定画面上に半透明の表示欄を表示可能であればよい。   With reference to FIG. 4, the remarks column display processing according to the present embodiment will be described. FIG. 4 is an example of a functional block diagram showing the remarks column display processing according to the present embodiment. Note that the display processing in the following remarks column is an example, and the present invention is not limited to this configuration. The display processing of the remarks column according to the present embodiment only needs to be able to display a translucent display column on the setting screen.

図4に示すように、制御部16は、画面情報取得部71、備考欄表示部72、テキストデータ処理部73を有している。また、制御部16のメモリ(不図示)には、操作パネル51に表示された設定画面の画面情報が格納されている。画面情報には、操作ボタンや表示欄等の画像情報の他、表示欄等に表示される表示情報や上記した画面種別情報が含まれる。画面情報取得部71は、画面情報として画面種別情報を取得する。例えば、画面情報取得部71は、操作パネル51の設定画面が多品種フルオートメーション画面53の場合には、多品種フルオートメーション画面53を示す画面種別情報を取得する。画面情報取得部71は、取得した画面種別情報を備考欄表示部72に出力する。   As shown in FIG. 4, the control unit 16 includes a screen information acquisition unit 71, a remarks column display unit 72, and a text data processing unit 73. Further, screen information of a setting screen displayed on the operation panel 51 is stored in a memory (not shown) of the control unit 16. In addition to image information such as operation buttons and display fields, the screen information includes display information displayed in the display fields and the above-described screen type information. The screen information acquisition unit 71 acquires screen type information as screen information. For example, when the setting screen of the operation panel 51 is the multi-product full automation screen 53, the screen information acquisition unit 71 acquires screen type information indicating the multi-product full automation screen 53. The screen information acquisition unit 71 outputs the acquired screen type information to the remarks column display unit 72.

備考欄表示部72は、備考欄生成ボタン68(図3参照)のタップによって、操作パネル51の設定画面の前面に半透明の備考欄57を表示する。このとき、備考欄表示部72は、画面情報取得部71から入力された画面種別情報に備考欄57を関連付けて、操作パネル51の設定画面に備考欄57を表示する。この場合、備考欄表示部72は、画面種別情報に示される設定画面でのみ、画面種別情報に関連付けされた備考欄57を表示する。例えば、画面種別情報が多品種フルオートメーション画面53を示す場合、多品種フルオートメーション画面53でのみ備考欄57が表示され、設定画面が切り替わった場合には新たな設定画面上に備考欄57は表示されない。   The remarks column display unit 72 displays a semi-transparent remarks column 57 on the front of the setting screen of the operation panel 51 by tapping the remarks column generation button 68 (see FIG. 3). At this time, the remarks column display unit 72 associates the remarks column 57 with the screen type information input from the screen information acquisition unit 71 and displays the remarks column 57 on the setting screen of the operation panel 51. In this case, the remarks column display unit 72 displays the remarks column 57 associated with the screen type information only on the setting screen indicated by the screen type information. For example, when the screen type information indicates the multi-product full automation screen 53, the remarks column 57 is displayed only on the multi-product full automation screen 53, and when the setting screen is switched, the remarks column 57 is displayed on the new setting screen. Not.

また、備考欄表示部72は、表示された備考欄57の表示領域を示す領域情報をテキストデータ処理部73に出力する。例えば、備考欄表示部72は、領域情報として備考欄57の四隅の座標をテキストデータ処理部73に出力する。なお、備考欄表示部72は、備考欄57の配置箇所やボックスサイズが可変される度に、備考欄57の領域情報をテキストデータ処理部73に出力する。   In addition, the remarks column display unit 72 outputs region information indicating the display region of the displayed remarks column 57 to the text data processing unit 73. For example, the remarks column display unit 72 outputs the coordinates of the four corners of the remarks column 57 to the text data processing unit 73 as region information. Note that the remarks column display unit 72 outputs the region information of the remarks column 57 to the text data processing unit 73 every time the placement location or box size of the remarks column 57 is changed.

テキストデータ処理部73は、備考欄57のタップによってキーボード画像を表示する。キーボード画像からテキストデータが入力されると、テキストデータ処理部73は、備考欄表示部72から入力された備考欄57の領域情報に基づいて、設定画面上の備考欄57の表示領域を特定し、備考欄57の表示領域にテキストデータを表示させる。このような構成により、例えば、多品種フルオートメーション画面53上で半透明の備考欄57に注意事項を記載することが可能となる。   The text data processing unit 73 displays a keyboard image by tapping the remarks column 57. When text data is input from the keyboard image, the text data processing unit 73 specifies the display area of the remarks column 57 on the setting screen based on the region information of the remarks column 57 input from the remarks column display unit 72. The text data is displayed in the display area of the remarks column 57. With such a configuration, for example, it is possible to write notes in a semitransparent remarks column 57 on the multi-product full automation screen 53.

図5を参照して、備考欄の表示処理の流れについて説明する。図5は、本実施の形態に係る備考欄の表示処理の流れを示すフローチャートの一例である。   The flow of the remarks column display process will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an example of a flowchart showing the flow of the remarks column display process according to the present embodiment.

先ず、操作パネル51に所定の設定画面が表示されると、画面情報取得部71によって設定画面の画面情報として画面種別情報が取得される(ステップS01)。次に、備考欄生成ボタン68がタップされたか否かが判定される(ステップS02)。備考欄生成ボタン68がタップされると(ステップS02でYes)、備考欄表示部72によって設定画面の前面に半透明の備考欄57が表示される(ステップS03)。このとき、備考欄57が画面種別情報に関連付けられて表示される。なお、備考欄生成ボタン68がタップされない場合(ステップS02でNo)には、備考欄生成ボタン68がタップされるまで処理が停止される。   First, when a predetermined setting screen is displayed on the operation panel 51, screen type information is acquired as screen information of the setting screen by the screen information acquisition unit 71 (step S01). Next, it is determined whether or not the remarks column generation button 68 has been tapped (step S02). When the remarks column generation button 68 is tapped (Yes in step S02), the remarks column display unit 72 displays a semi-transparent remarks column 57 on the front of the setting screen (step S03). At this time, the remarks column 57 is displayed in association with the screen type information. If the remarks column generation button 68 is not tapped (No in step S02), the process is stopped until the remarks column generation button 68 is tapped.

次に、備考欄57がタップされたか否かが判定される(ステップS04)。備考欄57がタップされると(ステップS04でYes)、テキストデータ処理部73によって設定画面にキーボード画像が表示され、備考欄57にテキストデータの入力が受け付けられる(ステップS05)。そして、備考欄57にテキストデータが入力されることで、備考欄57による効果的な注意喚起が可能になる。この場合、備考欄57は画面種別情報に関連付けられており、設定画面の切り替わりに応じて消えるので、新たな設定画面で不要な注意喚起を行うことがない。なお、備考欄57がタップされない場合(ステップS04でNo)には、備考欄57がタップされるまで処理が停止される。   Next, it is determined whether or not the remarks column 57 has been tapped (step S04). When the remarks column 57 is tapped (Yes in step S04), the text data processing unit 73 displays a keyboard image on the setting screen and accepts input of text data in the remarks column 57 (step S05). Then, by inputting text data in the remarks column 57, it is possible to effectively alert the remarks column 57. In this case, the remarks column 57 is associated with the screen type information and disappears in accordance with the switching of the setting screen, so that unnecessary alerts are not performed on the new setting screen. If the remarks column 57 is not tapped (No in step S04), the process is stopped until the remarks column 57 is tapped.

以上のように、本実施の形態に係る切削装置1によれば、操作パネル51の任意の画面位置に表示される備考欄57によって、操作者に対する注意喚起等を設定画面で行うことができる。また、備考欄57は半透明に表示されるため、設定画面の表示が備考欄57に隠れることがない。   As described above, according to the cutting apparatus 1 according to the present embodiment, the operator can be alerted on the setting screen by the remarks column 57 displayed at an arbitrary screen position of the operation panel 51. In addition, since the remarks column 57 is displayed translucently, the setting screen display is not hidden in the remarks column 57.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. In the above-described embodiment, the size, shape, and the like illustrated in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention is exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.

例えば、本実施の形態においては、画面情報としての画面種別情報に備考欄57を関連付ける構成について説明したが、この構成に限定されない。備考欄57は、画面情報としてのクライアント情報及びロット情報に関連付けられていてもよい。また、画面種別情報、クライアント情報、ロット情報は、階層構造で管理されてもよい。この場合、画面種別情報を上位階層、クライアント情報及びロット情報を下位階層として管理する。そして、備考欄57が上位の階層に関連付けられた場合には、自動的に下位の階層にも備考欄57が関連付けられるようにする。逆に、備考欄57が下位の階層に関連付けられた場合には、上位の階層には備考欄57が関連付けられないようにする。   For example, in the present embodiment, the configuration in which the remarks column 57 is associated with the screen type information as the screen information has been described, but the configuration is not limited to this configuration. The remarks column 57 may be associated with client information and lot information as screen information. The screen type information, client information, and lot information may be managed in a hierarchical structure. In this case, the screen type information is managed as an upper hierarchy, and the client information and lot information are managed as a lower hierarchy. When the remarks column 57 is associated with an upper hierarchy, the remarks column 57 is automatically associated with a lower hierarchy. Conversely, when the remarks column 57 is associated with a lower hierarchy, the remarks column 57 is not associated with the upper hierarchy.

例えば、多品種フルオートメーション画面53において、画面種別情報に備考欄57が関連付けられる場合には、多品種フルオートメーション画面53であればクライアントやロットに関わらず備考欄57が表示される。一方、クライアント情報に備考欄57が関連付けられる場合には、同じ多品種フルオートメーション画面53であっても、クライアントが異なれば備考欄57が表示されない。同様に、ロット情報に備考欄57が関連付けられる場合には、同じ多品種フルオートメーション画面53であっても、ロットが異なれば備考欄57が表示されない。   For example, when the remarks column 57 is associated with the screen type information on the multi-product full automation screen 53, the remarks column 57 is displayed for the multi-product full automation screen 53 regardless of the client or the lot. On the other hand, when the remarks column 57 is associated with the client information, the remarks column 57 is not displayed if the clients are different even in the same multi-product full automation screen 53. Similarly, when the remarks column 57 is associated with the lot information, the remarks column 57 is not displayed if the lots are different even in the same multi-product full automation screen 53.

よって、多品種フルオートメーション画面53で注意喚起したい備考欄57と、多品種フルオートメーション画面53であっても特定のクライアントやロットのときにだけ注意喚起したい備考欄57とを使い分けできる。このように、操作者に対してクライアントやロットに特化した注意喚起を行うことができる。なお、画面種別情報、クライアント情報、ロット情報に対する備考欄57の関連付けは、どのような操作方法で関連付けられてもよい。例えば、備考欄57は、初期設定では画面種別情報に関連付けられ、プロパティ画面等によって後からクライアント情報やロット情報に関連付けできるようにしてもよい。   Therefore, it is possible to selectively use the remarks column 57 to be alerted on the multi-product full automation screen 53 and the remarks column 57 to be alerted only for a specific client or lot even on the multi-product full automation screen 53. In this way, the operator can be alerted specifically to the client or lot. Note that the remarks column 57 may be associated with the screen type information, client information, and lot information by any operation method. For example, the remarks column 57 may be associated with the screen type information in the initial setting, and may be associated with the client information or the lot information later by a property screen or the like.

また、上記した階層構造は、画面種別情報、クライアント情報、ロット情報の他に、様々な画面情報を加えてもよい。例えば、画面情報としてデバイス種別を示すデバイス情報や、更に操作者を示す操作者情報を加えて階層構造を構築してもよい。さらに、全ての設定画面で備考欄57が表示されるように、画面情報として最上階層を示すルート情報を加えて階層構造を構築してもよい。   In addition to the screen type information, client information, and lot information, various screen information may be added to the hierarchical structure described above. For example, a hierarchical structure may be constructed by adding device information indicating a device type as screen information and operator information indicating an operator. Furthermore, a hierarchical structure may be constructed by adding route information indicating the highest hierarchy as screen information so that the remarks column 57 is displayed on all setting screens.

また、本実施の形態においては、備考欄の位置やサイズを操作者が手動で調整する構成としたが、この構成に限定されない。設定画面における備考欄の配置箇所に応じて、備考欄の位置やサイズが自動的に調整されてもよい。以下、図6を参照して、備考欄の自動調整処理について説明する。図6は、本実施の形態に係る備考欄の自動調整処理の一例を示す図である。以下の説明では、多品種フルオートメーション画面に備考欄が表示される一例について説明するが、これに限定されない。例えば、単品種フルオートメーション画面、トップメニュー画面やデバイスデータ設定画面に備考欄を表示させることも可能である。   In this embodiment, the operator manually adjusts the position and size of the remarks column. However, the present invention is not limited to this configuration. The position and size of the remarks column may be automatically adjusted according to the location of the remarks column on the setting screen. Hereinafter, the automatic adjustment processing in the remarks column will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram showing an example of the automatic adjustment processing in the remarks column according to the present embodiment. In the following description, an example in which the remarks column is displayed on the multi-product full automation screen will be described, but the present invention is not limited to this. For example, it is possible to display the remarks column on the single product full automation screen, the top menu screen, or the device data setting screen.

図6Aに示すように、多品種フルオートメーション画面53は、複数の領域に区画されている。画面右端には、各操作ボタンが配置される縦長の領域A1が設定されている。画面左端には、カセット数やカセット段数の開始段数及び終了段数を表示する縦長の領域A2が設定されている。画面中央上側には、カセット内のデバイス毎に加工開始段数を表示する横長の領域A3が設定されている。画面中央下側には、リスト形式でデバイスデータを表示する領域A4が設定されている。また、各領域A1−A4は、それぞれ操作ボタン及び表示欄等の表示情報が占める占有領域A1a−A4aと残りの余白領域A1b−A4bとに分けられている。   As shown in FIG. 6A, the multi-product full automation screen 53 is partitioned into a plurality of areas. At the right end of the screen, a vertically long area A1 where each operation button is arranged is set. At the left end of the screen, a vertically long area A2 for displaying the number of cassettes and the number of cassettes starting and ending is set. In the upper center of the screen, a horizontally long area A3 for displaying the number of machining start stages for each device in the cassette is set. An area A4 for displaying device data in a list format is set at the lower center of the screen. Each area A1-A4 is divided into an occupied area A1a-A4a occupied by display information such as operation buttons and display fields, and a remaining margin area A1b-A4b.

図6Bに示すように、例えば、多品種フルオートメーション画面53において、デバイス毎に加工開始段数が表示された表示欄66(領域A3)の近くに備考欄57を配置する。このとき、図6Cに示すように、備考欄57は、表示欄66の表示の邪魔とならない位置に自動的に移動されると同時に、表示欄66周辺の余白領域に合わせて自動的にサイズ調整される。具体的には、備考欄57の表示領域が占有領域A3aに重なると、占有領域A3aに対応した余白領域A3bに備考欄57が自動的に移動される。そして、横長の余白領域A3bに合わせて備考欄57が自動的に横長の表示領域となるようにサイズ調整される。   As shown in FIG. 6B, for example, a remarks column 57 is arranged near the display column 66 (area A3) in which the number of processing start stages is displayed for each device on the multi-product full automation screen 53. At this time, as shown in FIG. 6C, the remarks column 57 is automatically moved to a position where it does not interfere with the display of the display column 66, and at the same time, the size is automatically adjusted according to the margin area around the display column 66. Is done. Specifically, when the display area of the remarks column 57 overlaps the occupied area A3a, the remarks column 57 is automatically moved to the margin area A3b corresponding to the occupied area A3a. Then, the size is adjusted so that the remarks column 57 automatically becomes a horizontally long display area in accordance with the horizontally long margin area A3b.

このように、備考欄57の配置箇所に応じて、備考欄57の位置やサイズが自動調整されることで、表示欄66に対する備考欄57の位置合わせ作業が簡略化される。また、備考欄57が表示欄66に対して適切な位置に配置されるため、備考欄57と表示欄66との関連性が高められる。さらに、備考欄57は、表示欄66の占有領域A3aを避けて位置合わせされるため、設定画面の表示を隠すことなく、操作者に対して注意喚起を行うことができる。   As described above, the position and size of the remarks column 57 are automatically adjusted according to the arrangement location of the remarks column 57, thereby simplifying the alignment operation of the remarks column 57 with respect to the display column 66. Further, since the remarks column 57 is arranged at an appropriate position with respect to the display column 66, the relevance between the remarks column 57 and the display column 66 is enhanced. Furthermore, since the remarks column 57 is aligned avoiding the occupied area A3a of the display column 66, the operator can be alerted without hiding the display of the setting screen.

このような備考欄57の自動調整処理は、図4に示す機能ブロックに、備考欄の位置及びサイズを自動調整する備考欄調整部を加えることで実現される。この自動調整処理を実施する変形例では、占有領域A1a−A4a及び余白領域A1b−A4bの領域情報が、画面情報として制御部16のメモリに格納されている。備考欄調整部は、占有領域A1a−A4aの領域情報及び余白領域A1b−A4bの領域情報を取得して、備考欄57の位置及びサイズを調整するように構成されている。例えば、備考欄57の表示領域と占有領域A1a−A4aとの重なりに基づいて移動先が調整され、余白領域A1b−A4bのサイズに合わせて備考欄57の表示領域のサイズが調整される。   Such an automatic adjustment process of the remarks column 57 is realized by adding a remarks column adjustment unit that automatically adjusts the position and size of the remarks column to the functional block shown in FIG. In the modified example in which this automatic adjustment processing is performed, the area information of the occupied areas A1a-A4a and the margin areas A1b-A4b is stored in the memory of the control unit 16 as screen information. The remarks column adjustment unit is configured to acquire the region information of the occupied regions A1a to A4a and the region information of the margin regions A1b to A4b and adjust the position and size of the remarks column 57. For example, the movement destination is adjusted based on the overlap between the display area of the remarks column 57 and the occupied areas A1a-A4a, and the size of the display area of the remarks column 57 is adjusted according to the size of the margin areas A1b-A4b.

また、備考欄調整部は、備考欄57の位置及びサイズを調整する構成に限定されない。備考欄調整部は、備考欄57のパラメータを調整するものであればよく、例えば、備考欄57の表示領域の透過率を自動的に調整してもよい。この場合、備考欄57の裏側に設定画面の各種情報があるか否かに応じて透過率が調整される。備考欄57の裏側に各種情報があれば、透過率が高く調整され、備考欄57の裏側に各種情報が無ければ、透過率が低く調整される。このような構成により、操作者に対する備考欄57の視認性を向上させることができる。なお、備考欄57のパラメータとしては、表示色やフォント情報等を含むことも可能である。   Further, the remarks column adjustment unit is not limited to the configuration for adjusting the position and size of the remarks column 57. The remarks column adjustment section only needs to adjust the parameters in the remarks column 57. For example, the transmittance of the display area in the remarks column 57 may be automatically adjusted. In this case, the transmittance is adjusted according to whether there is various information on the setting screen behind the remarks column 57. If there is various information on the back side of the remarks column 57, the transmittance is adjusted to be high, and if there is no various information on the back side of the remarks column 57, the transmittance is adjusted to be low. With such a configuration, the visibility of the remarks column 57 for the operator can be improved. Note that the parameters in the remarks column 57 may include display color, font information, and the like.

また、本実施の形態においては、設定画面の表示欄等に表示される各種情報は、操作者が手動で入力されてもよいし、カセットに付着されたコード情報を読み込むことで入力されてもよい。   In the present embodiment, various information displayed in the display field of the setting screen may be manually input by the operator or may be input by reading the code information attached to the cassette. Good.

また、本実施の形態においては、撮像機構43を備えた切削装置1の操作パネル51に備考欄57の表示処理を適用する構成について説明したが、この構成に限定されない。備考欄57の表示処理は、操作パネル51を備えた加工装置に適用可能である。   Moreover, in this Embodiment, although the structure which applies the display process of the remarks column 57 to the operation panel 51 of the cutting device 1 provided with the imaging mechanism 43 was demonstrated, it is not limited to this structure. The display process in the remarks column 57 can be applied to a processing apparatus provided with the operation panel 51.

以上説明したように、本発明は、書き込み自由な半透明な備考欄によって、設定画面の表示を隠すことなく、操作パネルの所望の位置で注意喚起等を行うことができるという効果を有し、特に、被加工物のフルオートメーション加工に対応した加工装置に有用である。   As described above, the present invention has the effect that it is possible to call attention at a desired position on the operation panel without hiding the display of the setting screen by a semi-transparent remarks column that is free to write, In particular, it is useful for a processing apparatus that supports full automation processing of a workpiece.

1 切削装置(加工装置)
13 チャックテーブル(保持手段)
15 ブレードユニット(加工手段)
16 制御部(制御手段)
43 撮像機構(撮像手段)
51 操作パネル
53 多品種フルオートメーション画面
55 単品種フルオートメーション画面
57 備考欄
68 備考欄生成ボタン
71 画面情報取得部
72 備考欄表示部
73 テキストデータ処理部
W 被加工物
1 Cutting equipment (processing equipment)
13 Chuck table (holding means)
15 Blade unit (processing means)
16 Control unit (control means)
43 Imaging mechanism (imaging means)
51 Operation Panel 53 Multiple Product Full Automation Screen 55 Single Product Full Automation Screen 57 Remarks Column 68 Remarks Column Generation Button 71 Screen Information Acquisition Unit 72 Remarks Column Display Unit 73 Text Data Processing Unit W Workpiece

Claims (1)

被加工物を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、前記保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、前記加工手段および前記撮像手段を含む当前記加工装置の構成要素を制御する制御手段と、前記制御手段に対してパラメータを入力設定する操作パネルとを備える加工装置であって、
前記操作パネルには、操作者が所望する前記操作パネル内の任意の画面位置に、書き込み自由な半透明の備考欄を表示させることを特徴とする加工装置。
Holding means for holding the workpiece, processing means for processing the workpiece held by the holding means, imaging means for imaging the surface of the workpiece held by the holding means, the processing means, A processing device comprising: control means for controlling components of the processing device including the imaging means; and an operation panel for inputting and setting parameters for the control means,
The processing apparatus displays a semi-transparent remarks column which can be freely written at an arbitrary screen position in the operation panel desired by an operator.
JP2012061524A 2012-03-19 2012-03-19 Processing device Pending JP2013197239A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012061524A JP2013197239A (en) 2012-03-19 2012-03-19 Processing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012061524A JP2013197239A (en) 2012-03-19 2012-03-19 Processing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013197239A true JP2013197239A (en) 2013-09-30

Family

ID=49395851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012061524A Pending JP2013197239A (en) 2012-03-19 2012-03-19 Processing device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013197239A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018122421A (en) * 2017-02-03 2018-08-09 株式会社ディスコ Processing device

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH052207U (en) * 1991-03-14 1993-01-14 三菱電機株式会社 Numerical control device
JPH08106315A (en) * 1994-10-03 1996-04-23 Hitachi Seiki Co Ltd Display method for handwriting input data of nc device, and nd device equipped with handwriting input function
JPH09120352A (en) * 1995-10-25 1997-05-06 Fanuc Ltd Multiwindow system
JP2003149007A (en) * 2001-11-12 2003-05-21 Omron Corp Biometric apparatus
JP2008004885A (en) * 2006-06-26 2008-01-10 Disco Abrasive Syst Ltd Processing machine
JP2009193568A (en) * 2008-01-18 2009-08-27 Brother Ind Ltd Numerical control device
JP2009206206A (en) * 2008-02-26 2009-09-10 Disco Abrasive Syst Ltd Processing device
JP2010079534A (en) * 2008-09-25 2010-04-08 Fujitsu Ltd Information display apparatus, information display method, and program

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH052207U (en) * 1991-03-14 1993-01-14 三菱電機株式会社 Numerical control device
JPH08106315A (en) * 1994-10-03 1996-04-23 Hitachi Seiki Co Ltd Display method for handwriting input data of nc device, and nd device equipped with handwriting input function
JPH09120352A (en) * 1995-10-25 1997-05-06 Fanuc Ltd Multiwindow system
JP2003149007A (en) * 2001-11-12 2003-05-21 Omron Corp Biometric apparatus
JP2008004885A (en) * 2006-06-26 2008-01-10 Disco Abrasive Syst Ltd Processing machine
JP2009193568A (en) * 2008-01-18 2009-08-27 Brother Ind Ltd Numerical control device
JP2009206206A (en) * 2008-02-26 2009-09-10 Disco Abrasive Syst Ltd Processing device
JP2010079534A (en) * 2008-09-25 2010-04-08 Fujitsu Ltd Information display apparatus, information display method, and program

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018122421A (en) * 2017-02-03 2018-08-09 株式会社ディスコ Processing device
CN108389794A (en) * 2017-02-03 2018-08-10 株式会社迪思科 Processing unit (plant)
KR20180090747A (en) * 2017-02-03 2018-08-13 가부시기가이샤 디스코 Processing apparatus
TWI730211B (en) * 2017-02-03 2021-06-11 日商迪思科股份有限公司 Processing device
KR102345188B1 (en) * 2017-02-03 2021-12-30 가부시기가이샤 디스코 Processing apparatus
CN108389794B (en) * 2017-02-03 2023-04-07 株式会社迪思科 Processing device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7017949B2 (en) Processing equipment
TWI746815B (en) Processing device
JP2010021464A (en) Chuck table of working device
JP2017013199A (en) Cutting device
TW201706828A (en) Processing system
JP2013191618A (en) Processing device
JP2015098063A (en) Processing device
JP2013197239A (en) Processing device
JP6433178B2 (en) Processing equipment
US10580670B2 (en) Laser processing apparatus
JP7321038B2 (en) processing equipment
JP6844900B2 (en) Processing equipment and input method
JP2009117648A (en) Semiconductor manufacturing equipment with built-in gui
JP2018032811A (en) Cutting device
US11256406B2 (en) Processing apparatus
KR102523322B1 (en) Processing apparatus
JP7408235B2 (en) processing equipment
JP7542366B2 (en) Processing Equipment
JP7523859B2 (en) Processing Equipment
JP7450350B2 (en) cutting equipment
JP2024089876A (en) Processing Equipment
JP2022041484A (en) Processing device
JP2022164003A (en) Substrate processing apparatus
JP2024106532A (en) Processing Equipment
JP2024039133A (en) Processing device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150217

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160203

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160223

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20160816