JP2013179135A - ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 - Google Patents
ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013179135A JP2013179135A JP2012041499A JP2012041499A JP2013179135A JP 2013179135 A JP2013179135 A JP 2013179135A JP 2012041499 A JP2012041499 A JP 2012041499A JP 2012041499 A JP2012041499 A JP 2012041499A JP 2013179135 A JP2013179135 A JP 2013179135A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- represented
- wafer
- carbon atoms
- groups
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 0 CC[C@](C1)C2*C1=CC2 Chemical compound CC[C@](C1)C2*C1=CC2 0.000 description 6
- XEUJSBZUUZFTKZ-UHFFFAOYSA-N OC1=C[I]=CC=C1 Chemical compound OC1=C[I]=CC=C1 XEUJSBZUUZFTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Oc1ccccc1 Chemical compound Oc1ccccc1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68327—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/6834—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used to protect an active side of a device or wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
Abstract
【解決手段】 支持体上に仮接着材層が形成され、該仮接着材層上に、表面に回路面を有し、裏面を加工すべきウエハが積層されてなるウエハ加工体であって、前記仮接着材層が、前記ウエハの表面に剥離可能に接着された非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層と、該第一仮接着層に積層され、前記支持体に剥離可能に接着された熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)からなる第二仮接着層を備えたウエハ加工体。
【選択図】図1
Description
前記仮接着材層が、前記ウエハの表面に剥離可能に接着された非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層と、該第一仮接着層に積層され、前記支持体に剥離可能に接着された熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)からなる第二仮接着層を備えたウエハ加工体を提供する。
前記仮接着材層が、前記支持体に剥離可能に接着された熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)からなる第二仮接着層と、該第二仮接着層上に積層され、前記ウエハの表面に剥離可能に接着可能な非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層を備えたウエハ加工用部材を提供する。
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜30モル%が炭素数2〜7のアルケニル基であるアルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)と、
下記平均組成式(1)
R7 aR8 bHcSiO(4−a−b―c)/2 (1)
(式中R7はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R8は2価の有機基である。a、b、及びcは0<a≦2.5、0≦b≦1、0.75≦a+b≦2.5、0.005≦c≦1、かつ0.8≦a+b+c≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するヒドロシリル基含有化合物であって、前記アルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)の総アルケニル基に対して総SiH基が0.4〜1.0倍となる量の前記ヒドロシリル基含有化合物(A2)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることが好ましい。
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜20モル%が水素原子であるヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)と、
下記平均組成式(2)
R9 dR10 eR11 fSiO(4−d−e―f)/2 (2)
(但し、式中R9はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R10は2価の有機基である。R11は炭素数2〜6のアルケニル基である。d、e、fは0<d≦2、0≦e≦1、0.75≦d+e≦3、0.01≦f≦1、かつ0.8≦d+e+f≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するアルケニル基含有化合物であって、前記ヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)の総SiH基に対して総アルケニル基が1.0〜2.5倍となる量の前記アルケニル基含有化合物(A4)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることが好ましい。
(a)前記ウェーハ加工体に対し、前記ウエハの回路非形成面を研削又は研磨する工程、
(b)前記ウエハの回路非形成面に加工を施す工程、
(c)前記加工を施したウエハを前記支持体から剥離する工程
を含むことを特徴とする薄型ウエハの製造方法を提供する。
加工を施したウエハの加工面にダイシングテープを接着し、該ダイシングテープ面を吸着面に真空吸着し、前記吸着面の温度が10℃から100℃の温度範囲で、前記支持体を前記加工を施したウエハからピールオフにて剥離することにより行うことが好ましい。
(d)前記剥離したウエハの回路形成面に残存する非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)を除去する工程を行うことが好ましい。
(A)の非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(第一仮接着層)と、
(B)の熱硬化性変性シロキサン重合体層(第二仮接着層)
との2層系からなる仮接着材層を、ウエハと支持体の接合に使用することで、この仮接着材層を使用して貫通電極構造や、バンプ接続構造を有する薄型ウエハを、簡単に製造する方法を見出した。
また、本発明のウエハ加工用部材は、上記支持体2と、その上に積層された熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)と、その上に積層された非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)とを有するものであり、本発明のウエハ加工用仮接着材は、上記層(A)、(B)の積層体からなるものである。
<仮接着材層>
−仮接着層(A)/非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層−
非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)としては、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンの層が挙げられる。
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
このような分析、解析が可能なGPC装置としては、東ソー製のHLC−8120GPC、HLC−8220GPC、HLC−8230GPCが使用できる。
このような高分子量化したオルガノポリシロキサンとしては、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンのうち、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜30モル%が炭素数2〜7のアルケニル基であるアルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)と、
下記平均組成式(1)
R7 aR8 bHcSiO(4−a−b―c)/2 (1)
(式中R7はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R8は2価の有機基である。a、b、及びcは0<a≦2.5、0≦b≦1、0.75≦a+b≦2.5、0.005≦c≦1、かつ0.8≦a+b+c≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するヒドロシリル基含有化合物であって、前記アルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)の総アルケニル基に対して総SiH基が0.4〜1.0倍となる量の前記ヒドロシリル基含有化合物(A2)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させた高分子量化したオルガノポリシロキサンが挙げられる。
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜20モル%が水素原子であるヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)と、
下記平均組成式(2)
R9 dR10 eR11 fSiO(4−d−e―f)/2 (2)
(但し、式中R9はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R10は2価の有機基である。R11は炭素数2〜6のアルケニル基である。d、e、fは0<d≦2、0≦e≦1、0.75≦d+e≦3、0.01≦f≦1、かつ0.8≦d+e+f≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するアルケニル基含有化合物であって、前記ヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)の総SiH基に対して総アルケニル基が1.0〜2.5倍となる量の前記アルケニル基含有化合物(A4)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて高分子量化したオルガノポリシロキサンが挙げられる。
これらヒドロシリル化付加反応後のオルガノポリシロキサンの分子量は、仮接着材の特性、特に加熱時の熱変形、接着界面でのボイド発生等に影響する。
下記一般式(5)あるいは(6)のいずれかで示される熱硬化性変性シロキサン重合体を主成分とする熱硬化性組成物の硬化物の層を、仮接着層(B)として使用することができる。
下記一般式(5)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のシルフェニレン含有高分子化合物。
この場合、R18〜R21の具体例としては、メチル基、エチル基、フェニル基等が挙げられ、mは、好ましくは3〜60、より好ましくは8〜40の整数である。また、B/Aは0〜20、特に0.5〜5である。
下記一般式(6)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のエポキシ基含有シリコーン高分子化合物。
(式中、Zは
この場合、R18〜R21、mの具体例は上記と同様である。
本発明の薄型ウエハの製造方法は、半導体回路等を有するウエハと支持体との接着層として、前述の(A)層と(B)層の2層とからなる仮接着材層を用いることを特徴とする。本発明の製造方法により得られる薄型ウエハの厚さは、典型的には5〜300μm、より典型的には10〜100μmである。
(a)前述のウェーハ加工体に対し、前記ウエハの回路非形成面を研削又は研磨する工程、
(b)前記ウエハの回路非形成面に加工を施す工程、
(c)前記加工を施したウエハを前記支持体から剥離する工程。
(d)前記剥離したウエハの回路形成面に残存する非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)を除去する工程を行うことが好ましい。
ウェーハ加工体は、表面に回路形成面及び裏面に回路非形成面を有するウエハの回路形成面を、上述した第一仮接着層(A)と第二仮接着層(B)の2層からなる仮接着材層を介して支持体と接合することで得ることができる。
回路形成面及び回路非形成面を有するウエハは、一方の面が回路形成面であり、他方の面が回路非形成面であるウエハである。本発明が適用できるウエハは、通常、半導体ウエハである。該半導体ウエハの例としては、シリコンウエハのみならず、ゲルマニウムウエハ、ガリウム−ヒ素ウエハ、ガリウム−リンウエハ、ガリウム−ヒ素−アルミニウムウエハ等が挙げられる。該ウエハの厚さは、特に制限はないが、典型的には600〜800μm、より典型的には625〜775μmである。
支持体としては、シリコンウエハやガラス、石英ウエハ等の基板が使用可能である。本発明においては、支持体を通して仮接着材層に放射エネルギー線を照射する必要はなく、支持体の光線透過性は不要である。
ウエハ貼り合わせ装置としては、市販のウエハ接合装置、例えばEVG社のEVG520IS、850TB、SUSS社のXBC300等が挙げられる。
その後、100〜260℃、好ましくは140〜220℃で10分〜5時間、好ましくは30分〜2時間加熱することによって、熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)の硬化を行ってウェーハ加工体とすることが好ましい。
工程(a)は、支持体と接合したウエハの回路非形成面を研削又は研磨する工程、即ち、上記のように貼り合わせて得られたウエハ加工体のウエハ裏面側を研削又は研磨して、該ウエハの厚みを薄くしていく工程である。ウエハ裏面の研削加工の方式には特に制限はなく、公知の研削方式が採用される。研削は、ウエハと砥石(ダイヤモンド等)に水をかけて冷却しながら行うことが好ましい。ウエハ裏面を研削加工する装置としては、例えば(株)ディスコ製DAG−810(商品名)等が挙げられる。
工程(b)は、回路非形成面を研削したウエハ加工体、即ち、裏面研削によって薄型化されたウエハ加工体の回路非形成面に加工を施す工程である。この工程にはウエハレベルで用いられる様々なプロセスが含まれる。例としては、電極形成、金属配線形成、保護膜形成等が挙げられる。より具体的には、電極等の形成のための金属スパッタリング、金属スパッタリング層をエッチングするウェットエッチング、金属配線形成のマスクとするためのレジストの塗布、露光、及び現像によるパターンの形成、レジストの剥離、ドライエッチング、金属めっきの形成、TSV形成のためのシリコンエッチング、シリコン表面の酸化膜形成など、従来公知のプロセスが挙げられる。
工程(c)は、工程(b)で加工を施したウエハをウエハ加工体から剥離する工程、即ち、薄型化したウエハに様々な加工を施した後、ダイシングする前にウエハ加工体から剥離する工程である。剥離方法としては、主にウエハと支持体を加熱(好ましくは200〜250℃)しながら、水平方向に沿って反対方向にスライドさせることにより両者を分離する方法、ウエハ加工体のウエハ又は支持体の一方を水平に固定しておき、他方を水平方向から一定の角度を付けて持ち上げる方法、及び、加工を施したウエハの加工面に保護フィルムを貼り、ウエハと保護フィルムをピール方式でウエハ加工体から剥離する方法等が挙げられるが、特に制限なく採用することができる。
本発明には、これらの剥離方法すべてに適用可能であるが、ウエハ加工体のウエハ又は支持体の一方を水平に固定しておき、他方を水平方向から一定の角度を付けて持ち上げる方法、及び、加工を施したウエハの加工面に保護フィルムを貼り、ウエハと保護フィルムをピール方式で剥離する方法等がより適している。これらの剥離方法は、通常、室温で実施される。
工程(d)は、剥離したウエハの回路形成面に仮接着層(A)が一部残存した場合に、これを除去する工程である。工程(c)により支持体より剥離されたウエハの回路形成面には、第一仮接着層(A)が一部残存している場合があり、この第一仮接着層(A)の除去は、例えば、ウエハを洗浄することにより行うことができる。
工程(d)の洗浄には、仮接着材層中の(A)層である非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンを溶解するような洗浄液であればすべて使用可能であり、具体的には、ペンタン、へキサン、シクロヘキサン、デカン、イソドデカン、リモネンなどの洗浄液が挙げられる。これらの溶剤は、1種単独でも2種以上組み合わせて用いてもよい。また、除去しにくい場合は、上記溶剤に、塩基類、酸類を添加してもよい。塩基類の例としては、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、アンモニア等のアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアンモニウム塩類が使用可能である。酸類としては、酢酸、シュウ酸、ベンゼンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸などの有機酸が使用可能である。添加量は、洗浄液中濃度で、0.01〜10質量%、好ましくは0.1〜5質量%である。また、残存物の除去性を向上させるため、既存の界面活性剤を添加してもよい。洗浄方法としては、上記液を用いてパドルでの洗浄を行う方法、スプレー噴霧での洗浄方法、洗浄液槽に浸漬する方法が可能である。温度は10〜80℃、好ましくは15〜65℃が好適であり、必要があれば、これらの溶解液で(A)層を溶解したのち、最終的に水洗又はアルコールによるリンスを行い、乾燥処理させて、薄型ウエハを得ることも可能である。
(合成例1)
攪拌装置、冷却装置、温度計を取り付けた1Lフラスコに、水234g(13モル)、トルエン35gを仕込み、オイルバスにて80℃に加熱した。滴下ロートにノルボルニルトリクロルシラン183.6g(0.8モル)、ジメチルジクロルシラン12.9g(0.1モル)、トリメチルクロルシラン10.9g(0.1モル)を仕込み、フラスコ内に攪拌しながら1時間で滴下し、滴下終了後、さらに80℃で1時間攪拌熟成を行った。室温まで冷却しながら静置して、分離してきた水相を除去し、引き続き10%硫酸ナトリウム水溶液を混合して10分間撹拌後、30分間静置し、分離してきた水相を除去する水洗浄操作をトルエン相が中性になるまで繰り返して反応を停止した。エステルアダプターを取り付け、オルガノポリシロキサンを含むトルエン相を加熱還流してトルエン相から水を除去し、内温が110℃に達してから更に1時間続けた後、室温まで冷却した。得られたオルガノポリシロキサン溶液を濾過して不溶物を除去し、引き続き減圧蒸留によりトルエンを除去して、固体のオルガノポリシロキサン(樹脂1)134gを得た。
得られたオルガノポリシロキサン(樹脂1)は、T単位80モル%とD単位10モル%とM単位10モル%とを含み、末端はオルガノポリシロキサン(樹脂1)100gあたりシラノール基を0.1モル含有し、外観は無色透明固体で重量平均分子量は7,100であった。全有機基及び水素原子中のノルボルニル基含有量は61%であった。また、R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の80%がノルボルニル基であった。このオルガノポリシロキサン(樹脂1)をイソドデカン溶液に固形分濃度20%で溶解し、0.2μmのメンブレンフィルターで濾過して、樹脂溶液(A−1)を得た。
合成例1と同様に、1Lフラスコに、水234g(13モル)、トルエン35gを仕込み、オイルバスにて80℃に加熱した。滴下ロートにノルボルニルトリクロルシラン206.6g(0.9モル)、メチルビニルジクロルシラン7.1g(0.05モル)、トリメチルクロルシラン5.4g(0.05モル)を仕込んだ以外は合成例1と同様に調製して、固体のオルガノポリシロキサン(樹脂2)140gを得た。
得られたオルガノポリシロキサンは、T単位90モル%とD単位5モル%とM単位5モル%とを含み、末端はオルガノポリシロキサン100gあたりシラノール基を0.1モル、ビニル基を0.034モル含有する。外観は無色透明固体で重量平均分子量は5,900であった。全有機基及び水素原子中のノルボルニル基含有量は78モル%、ビニル基は4.3モル%であった。また、R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の90%がノルボルニル基であった。
アルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)として、合成例2で得た固形のオルガノポリシロキサン(樹脂2)100gをトルエン100gに溶解し、固形分濃度50%の溶液を調製した。この溶液に、白金触媒を樹脂に対して白金原子で20ppm添加し、60℃に加温した状態で、ヒドロシリル基含有化合物(A2)として、下記式(9)で示される化合物(SiH当量 1473g/mol)27.5gを滴下したところ、反応による発熱を観測した。この量は、H/Vi比(総アルケニル基に対するSiH基の比率)で0.55に相当する。100℃で2時間反応を行い、反応を完結させた。その後、減圧留去にて濃縮し、トルエンを留去して反応生成物を固形化した後、イソドデカンにて再溶解し、0.2μmのメンブレンフィルターで濾過して、固形分濃度20%の樹脂溶液(A−2)を得た。また、固形分濃度65%のイソドデカン溶液を、1.0μmのメンブレンフィルターで濾過して、樹脂溶液(A−3)を得た。また、この樹脂をGPCにて重量平均分子量Mwを測定したところ30,000であった。
撹拌機、温度計、窒素置換装置及び還流冷却器を具備したフラスコ内に9,9’−ビス(3−アリル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン(M−1)43.1g、平均構造式(M−3)で示されるオルガノハイドロジェンシロキサン29.5g、トルエン135g、塩化白金酸0.04gを仕込み、80℃に昇温した。その後、1,4−ビス(ジメチルシリル)ベンゼン(M−5)17.5gを1時間掛けてフラスコ内に滴下した。このとき、フラスコ内温度は、85℃まで上昇した。滴下終了後、更に80℃で2時間熟成した後、トルエンを留去すると共に、シクロヘキサノンを43g添加して、樹脂固形分濃度65質量%のシクロヘキサノンを溶剤とする樹脂溶液を得た。この溶液の樹脂分の分子量をGPCにより測定すると、ポリスチレン換算で重量平均分子量45,000であった。更に、この樹脂溶液50gに、ヘキサメトキシメチロールメラミン((株)三和ケミカル製、ニカラックMW−390)を5g、ビス(t−ブチルスルホニル)ジアゾメタン(和光純薬工業(株)製、BSDM)を0.2g添加し、1.0μmのメンブレンフィルターで濾過して、樹脂溶液(B−1)を得た。
撹拌機、温度計、窒素置換装置及び還流冷却器を具備した5Lフラスコ内に化合物(M−1)396.9g、化合物(M−2)45.0gをトルエン1,875gに溶解後、化合物(M−3)949.6g、化合物(M−4)6.1gを加え、60℃に加温した。その後、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、内部反応温度が65〜67℃に昇温するのを確認後、更に、3時間90℃まで加温後、再び60℃まで冷却して、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、化合物(M−5)107.3gを1時間掛けてフラスコ内に滴下した。このときフラスコ内温度は、78℃まで上昇した。滴下終了後、更に、90℃で3時間熟成し、次いで室温まで冷却後、メチルイソブチルケトン(MIBK)1,700gを加え、本反応溶液をフィルターにて加圧濾過することで白金触媒を取り除いた。更に、得られた高分子化合物溶液に純水760gを加えて撹拌、静置分液を行い、下層の水層を除去した。この分液水洗操作を6回繰り返し、高分子化合物溶液中の微量酸成分を取り除いた。この樹脂溶液中の溶剤を減圧留去すると共に、シクロペンタノンを767g添加して、固形分濃度60質量%のシクロペンタノンを溶剤とする樹脂溶液を得た。この樹脂溶液中の樹脂の分子量をGPCにより測定すると、ポリスチレン換算で重量平均分子量62,000であり、式(6)における(i+j)/(g+h+i+j)は0.10である。更にこの樹脂溶液100gにクレゾールノボラックのエポキシ体(日本化薬(株)製、EOCN1020−55)を16g、テトラヒドロ無水フタル酸(新日本理化(株)製、リカシッドHH−A)0.2gを添加して、1.0μmのメンブレンフィルターで濾過して、樹脂溶液(B−2)を得た。
表面に高さ50μm、直径60μmの銅ポストが全面に形成された200mmシリコンウエハ(厚さ:725μm)にスピンコートにて(A−1)及び(A−2)を表1に示す膜厚で、ウエハバンプ形成面に成膜した。このとき、樹脂をコート後、150℃で2分間ホットプレート上で加熱処理した。一方、直径200mm(厚さ:700μm)のガラス板を支持体とし、この支持体に(B−1)、(B−2)はスピンコートにて、表1の膜厚のフィルムを成型した。このとき、樹脂をコート後、120℃で2分間ホットプレート上で加熱処理した。この両方あるいは片方に樹脂層を有するシリコンウエハ及びガラス板をそれぞれ、樹脂面が合わされるように、真空貼り合わせ装置内で接合し、積層体基板を作製した(圧着条件)。200mmのウエハ接合は、EVG社のウエハ接合装置EVG520ISを用いて行った。接合温度は表1に記載の値、接合時のチャンバー内圧力は10-3mbar以下、荷重は5kNで実施した。
その後、下記試験を行った。結果を表1に示す。
接合後、一旦、180℃で1時間オーブンを用いて基板を加熱し、第二仮接着層(B)の硬化を実施したのち、室温まで冷却した後の界面の接着状況を目視で確認し、界面での気泡などの異常が発生しなかった場合を良好と評価して「○」で示し、異常が発生した場合を不良と評価して「×」で示した。
グラインダー(DISCO製、DAG810)でダイヤモンド砥石を用いてシリコンウエハの裏面研削を行った。最終基板厚50μmまでグラインドした後、光学顕微鏡(100倍)にてクラック、剥離等の異常の有無を調べた。異常が発生しなかった場合を良好と評価して「○」で示し、異常が発生した場合を不良と評価して「×」で示した。
シリコンウエハを裏面研削した後の積層体を窒素雰囲気下の250℃オーブンに2時間入れた後、270℃のホットプレート上で10分加熱した後の外観異常の有無を調べた。外観異常が発生しなかった場合を良好と評価して「○」で示し、外観異常が発生した場合を不良と評価して「×」で示した。
基板の剥離性は、50μmまで薄型化したウエハ側にダイシングフレームを用いてダイシングテープを貼り、このダイシングテープ面を真空吸着によって、吸着版にセットした。その後、室温にて、ガラスの1点をピンセットにて持ち上げることで、ガラス基板を剥離した。ガラス支持体及び50μmのウエハを割ることなく剥離できた場合を「○」で示し、割れなどの異常が発生した場合を不良と評価して「×」で示した。
上記剥離性試験終了後のダイシングテープを介してダイシングフレームに装着された200mmウエハ(耐熱性試験条件に晒されたもの)を、接着層を上にしてスピンコーターにセットし、洗浄溶剤としてイソドデカンを3分間噴霧したのち、ウエハを回転させながらイソプロピルアルコール(IPA)を噴霧にてリンスを行った。その後、外観を観察して残存する接着材樹脂の有無を目視でチェックした。樹脂の残存が認められないものを良好と評価して「○」で示し、樹脂の残存が認められたものを不良と評価して「×」で示した。
Claims (21)
- 支持体上に仮接着材層が形成され、該仮接着材層上に、表面に回路面を有し、裏面を加工すべきウエハが積層されてなるウエハ加工体であって、
前記仮接着材層が、前記ウエハの表面に剥離可能に接着された非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層と、該第一仮接着層に積層され、前記支持体に剥離可能に接着された熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)からなる第二仮接着層を備えたウエハ加工体。 - 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項1に記載のウエハ加工体。
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
- 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンのうち、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜30モル%が炭素数2〜7のアルケニル基であるアルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)と、
下記平均組成式(1)
R7 aR8 bHcSiO(4−a−b―c)/2 (1)
(式中R7はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R8は2価の有機基である。a、b、及びcは0<a≦2.5、0≦b≦1、0.75≦a+b≦2.5、0.005≦c≦1、かつ0.8≦a+b+c≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するヒドロシリル基含有化合物であって、前記アルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)の総アルケニル基に対して総SiH基が0.4〜1.0倍となる量の前記ヒドロシリル基含有化合物(A2)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項1に記載のウエハ加工体。 - 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンのうち、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜20モル%が水素原子であるヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)と、
下記平均組成式(2)
R9 dR10 eR11 fSiO(4−d−e―f)/2 (2)
(但し、式中R9はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R10は2価の有機基である。R11は炭素数2〜6のアルケニル基である。d、e、fは0<d≦2、0≦e≦1、0.75≦d+e≦3、0.01≦f≦1、かつ0.8≦d+e+f≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するアルケニル基含有化合物であって、前記ヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)の総SiH基に対して総アルケニル基が1.0〜2.5倍となる量の前記アルケニル基含有化合物(A4)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項1に記載のウエハ加工体。 - 前記重合体層(B)が、下記一般式(5)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のシルフェニレン含有高分子化合物、又は下記一般式(6)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のエポキシ基含有シリコーン高分子化合物からなる熱硬化性変性シロキサン重合体100質量部に対して、架橋剤としてホルマリン又はホルマリン−アルコールにより変性されたアミノ縮合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、1分子中に平均して2個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物、及び1分子中に平均して2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物から選ばれるいずれか1種以上を0.1〜50質量部含有する組成物の硬化物層であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のウエハ加工体。
- (a)請求項1乃至6のいずれか1項に記載のウェーハ加工体に対し、前記ウエハの回路非形成面を研削又は研磨する工程、
(b)前記ウエハの回路非形成面に加工を施す工程、
(c)前記加工を施したウエハを前記支持体から剥離する工程
を含むことを特徴とする薄型ウエハの製造方法。 - 前記(c)加工を施したウエハを前記支持体から剥離する工程は、
加工を施したウエハの加工面にダイシングテープを接着し、該ダイシングテープ面を吸着面に真空吸着し、前記吸着面の温度が10℃から100℃の温度範囲で、前記支持体を前記加工を施したウエハからピールオフにて剥離することにより行うことを特徴とする請求項7に記載の薄型ウエハの製造方法。 - 前記(c)加工を施したウエハを前記支持体から剥離する工程後に、
(d)前記剥離したウエハの回路形成面に残存する非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)を除去する工程
を行うことを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の薄型ウエハの製造方法。 - 支持体上に仮接着材層が形成され、該仮接着材層上に、表面に回路面を有し、裏面を加工すべきウエハが仮接着されるウエハ加工用部材であって、
前記仮接着材層が、前記支持体に剥離可能に接着された熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)からなる第二仮接着層と、該第二仮接着層上に積層され、前記ウエハの表面に剥離可能に接着可能な非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層を備えたウエハ加工用部材。 - 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項10に記載のウエハ加工用部材。
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
- 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンのうち、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜30モル%が炭素数2〜7のアルケニル基であるアルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)と、
下記平均組成式(1)
R7 aR8 bHcSiO(4−a−b―c)/2 (1)
(式中R7はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R8は2価の有機基である。a、b、及びcは0<a≦2.5、0≦b≦1、0.75≦a+b≦2.5、0.005≦c≦1、かつ0.8≦a+b+c≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するヒドロシリル基含有化合物であって、前記アルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)の総アルケニル基に対して総SiH基が0.4〜1.0倍となる量の前記ヒドロシリル基含有化合物(A2)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項10に記載のウエハ加工用部材。 - 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンのうち、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜20モル%が水素原子であるヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)と、
下記平均組成式(2)
R9 dR10 eR11 fSiO(4−d−e―f)/2 (2)
(但し、式中R9はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R10は2価の有機基である。R11は炭素数2〜6のアルケニル基である。d、e、fは0<d≦2、0≦e≦1、0.75≦d+e≦3、0.01≦f≦1、かつ0.8≦d+e+f≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するアルケニル基含有化合物であって、前記ヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)の総SiH基に対して総アルケニル基が1.0〜2.5倍となる量の前記アルケニル基含有化合物(A4)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項10に記載のウエハ加工用部材。 - 重合体層(B)が、下記一般式(5)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のシルフェニレン含有高分子化合物、又は下記一般式(6)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のエポキシ基含有シリコーン高分子化合物からなる熱硬化性変性シロキサン重合体100質量部に対して、架橋剤としてホルマリン又はホルマリン−アルコールにより変性されたアミノ縮合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、1分子中に平均して2個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物、及び1分子中に平均して2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物から選ばれるいずれか1種以上を0.1〜50質量部含有する組成物の硬化物層であることを特徴とする請求項10乃至請求項14のいずれか一項に記載のウエハ加工用部材。
- 表面に回路面を有し、裏面を加工すべきウエハを支持体に仮接着するためのウエハ加工用仮接着材であって、前記ウエハの表面に接着かつ剥離可能な非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層と、該第一仮接着層に積層され、前記支持体に接着かつ剥離可能な熱硬化性変性シロキサン重合体層(B)からなる第二仮接着層とを有するウエハ加工用仮接着材。
- 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項16に記載のウエハ加工用仮接着材。
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
- 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンのうち、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜30モル%が炭素数2〜7のアルケニル基であるアルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)と、
下記平均組成式(1)
R7 aR8 bHcSiO(4−a−b―c)/2 (1)
(式中R7はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R8は2価の有機基である。a、b、及びcは0<a≦2.5、0≦b≦1、0.75≦a+b≦2.5、0.005≦c≦1、かつ0.8≦a+b+c≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するヒドロシリル基含有化合物であって、前記アルケニル基含有オルガノポリシロキサン(A1)の総アルケニル基に対して総SiH基が0.4〜1.0倍となる量の前記ヒドロシリル基含有化合物(A2)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項16に記載のウエハ加工用仮接着材。 - 前記重合体層(A)が、下記(I)〜(III)で示される単位を含む非芳香族飽和炭化水素基含有オルガノポリシロキサンのうち、
(I)R1SiO3/2で表されるシロキサン単位(T単位):40〜99モル%
(II)R2R3SiO2/2で表されるシロキサン単位(D単位):59モル%以下
(III)R4R5R6SiO1/2で表されるシロキサン単位(M単位):1〜30モル%
(前記R1〜R6は一価の有機基又は水素原子であり、前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の50モル%以上は炭素数3〜20の非芳香族飽和炭化水素基であり、且つ、前記R1〜R3で示される全有機基及び水素原子中の40モル%以上は、同一又は異なる、炭素数5〜7の下記環状構造を含む非芳香族飽和炭化水素基であり、
前記R1〜R6で示される全有機基及び水素原子中の2〜20モル%が水素原子であるヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)と、
下記平均組成式(2)
R9 dR10 eR11 fSiO(4−d−e―f)/2 (2)
(但し、式中R9はアルケニル基を除く1価の有機基であり、R10は2価の有機基である。R11は炭素数2〜6のアルケニル基である。d、e、fは0<d≦2、0≦e≦1、0.75≦d+e≦3、0.01≦f≦1、かつ0.8≦d+e+f≦4を満たす正数である。)
で示され、1分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するアルケニル基含有化合物であって、前記ヒドロシリル基含有オルガノポリシロキサン(A3)の総SiH基に対して総アルケニル基が1.0〜2.5倍となる量の前記アルケニル基含有化合物(A4)とを、白金族金属系触媒の存在下でヒドロシリル化反応させて得たオルガノポリシロキサンの重合体層であることを特徴とする請求項16に記載のウエハ加工用仮接着材。 - 前記重合体層(B)が、下記一般式(5)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のシルフェニレン含有高分子化合物、又は下記一般式(6)で示される繰り返し単位を有する重量平均分子量が3,000〜500,000のエポキシ基含有シリコーン高分子化合物からなる熱硬化性変性シロキサン重合体100質量部に対して、架橋剤としてホルマリン又はホルマリン−アルコールにより変性されたアミノ縮合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、1分子中に平均して2個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物、及び1分子中に平均して2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物から選ばれるいずれか1種以上を0.1〜50質量部含有する組成物の硬化物層であることを特徴とする請求項16乃至請求項20のいずれか一項に記載のウエハ加工用仮接着材。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012041499A JP5687230B2 (ja) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
US13/770,513 US8999817B2 (en) | 2012-02-28 | 2013-02-19 | Wafer process body, wafer processing member, wafer processing temporary adhesive material, and method for manufacturing thin wafer |
TW102106040A TWI545171B (zh) | 2012-02-28 | 2013-02-21 | Wafer processing body, wafer processing member, temporary adhesive material for wafer processing, and manufacturing method of thin wafer |
EP13000966.5A EP2634794B1 (en) | 2012-02-28 | 2013-02-26 | Adhesive layer for use in temporarily supporting a wafer during processing, wafer support with adhesive layer for processing wafer, wafer-adhesive-support composite and method of manufacturing a thin wafer |
KR1020130021057A KR101907010B1 (ko) | 2012-02-28 | 2013-02-27 | 웨이퍼 가공체, 웨이퍼 가공용 부재, 웨이퍼 가공용 가접착재 및 박형 웨이퍼의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012041499A JP5687230B2 (ja) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013179135A true JP2013179135A (ja) | 2013-09-09 |
JP5687230B2 JP5687230B2 (ja) | 2015-03-18 |
Family
ID=49270528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012041499A Active JP5687230B2 (ja) | 2012-02-28 | 2012-02-28 | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5687230B2 (ja) |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015053132A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-16 | 東レ株式会社 | 素子加工用積層体、素子加工用積層体の製造方法、およびこれを用いた薄型素子の製造方法 |
WO2015072418A1 (ja) * | 2013-11-12 | 2015-05-21 | 信越化学工業株式会社 | シリコーン接着剤組成物及び固体撮像デバイス |
JP2015154063A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
WO2015190438A1 (ja) * | 2014-06-10 | 2015-12-17 | 日産化学工業株式会社 | 仮接着剤を用いた積層体 |
KR20160020349A (ko) | 2014-08-13 | 2016-02-23 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 적층체, 기재의 처리 방법, 가고정용 조성물 및 반도체 장치 |
JP2016122730A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 信越化学工業株式会社 | ウエハ加工体、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
KR20160090819A (ko) | 2013-11-26 | 2016-08-01 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 적층체, 기재의 처리 방법, 가고정용 조성물 및 반도체 장치 |
JP2017013311A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 信越化学工業株式会社 | ウエハ加工用仮接着材、ウエハ加工体、及び薄型ウエハの製造方法 |
JP2017050322A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | Jsr株式会社 | 基材の処理方法、半導体装置およびその製造方法 |
JP2017112298A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャックの製造方法 |
WO2018216732A1 (ja) | 2017-05-24 | 2018-11-29 | 日産化学株式会社 | エポキシ変性ポリシロキサンを含有する仮接着剤 |
KR20180133213A (ko) * | 2017-06-05 | 2018-12-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 기판 가공용 가접착 필름 롤, 박형 기판의 제조 방법 |
WO2019009365A1 (ja) | 2017-07-06 | 2019-01-10 | 日産化学株式会社 | フェニル基含有ポリシロキサンを含有する仮接着剤 |
KR20190019932A (ko) | 2016-06-22 | 2019-02-27 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 폴리디메틸실록산을 함유하는 접착제 |
WO2019212008A1 (ja) | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 日産化学株式会社 | 耐熱性重合禁止剤を含むポリシロキサンを含有する仮接着剤 |
WO2020100966A1 (ja) | 2018-11-16 | 2020-05-22 | 日産化学株式会社 | 赤外線剥離用接着剤組成物、積層体、積層体の製造方法及び剥離方法 |
WO2020100965A1 (ja) | 2018-11-16 | 2020-05-22 | 日産化学株式会社 | 積層体の剥離方法、積層体及び積層体の製造方法 |
WO2020111069A1 (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 日産化学株式会社 | 接着剤組成物、積層体及び積層体の製造方法並びに半導体形成基板を薄化する方法 |
CN114096633A (zh) * | 2019-07-11 | 2022-02-25 | 信越化学工业株式会社 | 基板加工用临时粘合材料及层叠体的制造方法 |
WO2022045026A1 (ja) | 2020-08-27 | 2022-03-03 | 日産化学株式会社 | 積層体及び剥離剤組成物 |
TWI797062B (zh) * | 2015-08-18 | 2023-04-01 | 日商信越化學工業股份有限公司 | 晶圓加工用接著材、晶圓層合體及薄型晶圓之製造方法 |
CN113840670B (zh) * | 2019-05-22 | 2024-05-10 | 信越化学工业株式会社 | 清洗剂组合物、基板的清洗方法和支承体或基板的清洗方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005142401A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 半導体装置製造用接着シート、並びに、半導体装置及びその製造方法 |
JP2006104293A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Dow Corning Toray Co Ltd | ポリオルガノシロキサン及びそれを含む硬化性シリコーン組成物並びにその用途 |
JP2007138149A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-06-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 接着剤組成物及び該接着剤からなる接着層を備えたシート |
JP2007150065A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ダイシング・ダイボンド用接着テープ |
JP2008034623A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ウエハの接着方法、薄板化方法、及び剥離方法 |
JP2008184571A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シルフェニレン骨格含有高分子化合物及び光硬化性樹脂組成物並びにパターン形成方法及び基板回路保護用皮膜 |
JP2008532313A (ja) * | 2005-03-01 | 2008-08-14 | ダウ・コーニング・コーポレイション | 半導体加工のための一時的なウェハ結合法 |
JP2011094115A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | エポキシ基含有高分子化合物、これを用いた光硬化性樹脂組成物、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
JP2011155065A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体ウェハ加工用接着フィルム及びその製造方法 |
JP2012012573A (ja) * | 2010-06-04 | 2012-01-19 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 仮接着材組成物、及び薄型ウエハの製造方法 |
JP2012033737A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハの取り扱い方法 |
JP2013048215A (ja) * | 2011-07-27 | 2013-03-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
-
2012
- 2012-02-28 JP JP2012041499A patent/JP5687230B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005142401A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Tomoegawa Paper Co Ltd | 半導体装置製造用接着シート、並びに、半導体装置及びその製造方法 |
JP2006104293A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Dow Corning Toray Co Ltd | ポリオルガノシロキサン及びそれを含む硬化性シリコーン組成物並びにその用途 |
JP2008532313A (ja) * | 2005-03-01 | 2008-08-14 | ダウ・コーニング・コーポレイション | 半導体加工のための一時的なウェハ結合法 |
JP2007138149A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-06-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 接着剤組成物及び該接着剤からなる接着層を備えたシート |
JP2007150065A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ダイシング・ダイボンド用接着テープ |
JP2008034623A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ウエハの接着方法、薄板化方法、及び剥離方法 |
JP2008184571A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シルフェニレン骨格含有高分子化合物及び光硬化性樹脂組成物並びにパターン形成方法及び基板回路保護用皮膜 |
JP2011094115A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | エポキシ基含有高分子化合物、これを用いた光硬化性樹脂組成物、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
JP2011155065A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体ウェハ加工用接着フィルム及びその製造方法 |
JP2012012573A (ja) * | 2010-06-04 | 2012-01-19 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 仮接着材組成物、及び薄型ウエハの製造方法 |
JP2012033737A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハの取り扱い方法 |
JP2013048215A (ja) * | 2011-07-27 | 2013-03-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
Cited By (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2015053132A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2017-03-09 | 東レ株式会社 | 素子加工用積層体、素子加工用積層体の製造方法、およびこれを用いた薄型素子の製造方法 |
WO2015053132A1 (ja) * | 2013-10-07 | 2015-04-16 | 東レ株式会社 | 素子加工用積層体、素子加工用積層体の製造方法、およびこれを用いた薄型素子の製造方法 |
WO2015072418A1 (ja) * | 2013-11-12 | 2015-05-21 | 信越化学工業株式会社 | シリコーン接着剤組成物及び固体撮像デバイス |
TWI635152B (zh) * | 2013-11-12 | 2018-09-11 | 信越化學工業股份有限公司 | 聚矽氧接著劑組成物及固體攝影裝置 |
US9796892B2 (en) | 2013-11-12 | 2017-10-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicone adhesive composition and solid-state imaging device |
JPWO2015072418A1 (ja) * | 2013-11-12 | 2017-03-16 | 信越化学工業株式会社 | シリコーン接着剤組成物及び固体撮像デバイス |
US10086583B2 (en) | 2013-11-26 | 2018-10-02 | Jsr Corporation | Stack, method for treating substrate material, temporary fixing composition, and semiconductor device |
KR20160090819A (ko) | 2013-11-26 | 2016-08-01 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 적층체, 기재의 처리 방법, 가고정용 조성물 및 반도체 장치 |
JP2015154063A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
KR20170016331A (ko) | 2014-06-10 | 2017-02-13 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | 가접착제를 이용한 적층체 |
WO2015190438A1 (ja) * | 2014-06-10 | 2015-12-17 | 日産化学工業株式会社 | 仮接着剤を用いた積層体 |
KR102316850B1 (ko) * | 2014-06-10 | 2021-10-25 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 가접착제를 이용한 적층체 |
JPWO2015190438A1 (ja) * | 2014-06-10 | 2017-04-20 | 日産化学工業株式会社 | 仮接着剤を用いた積層体 |
US10903106B2 (en) | 2014-06-10 | 2021-01-26 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Layered body of temporary adhesive |
KR20160020349A (ko) | 2014-08-13 | 2016-02-23 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 적층체, 기재의 처리 방법, 가고정용 조성물 및 반도체 장치 |
JP2016122730A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 信越化学工業株式会社 | ウエハ加工体、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
JP2017013311A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 信越化学工業株式会社 | ウエハ加工用仮接着材、ウエハ加工体、及び薄型ウエハの製造方法 |
TWI797062B (zh) * | 2015-08-18 | 2023-04-01 | 日商信越化學工業股份有限公司 | 晶圓加工用接著材、晶圓層合體及薄型晶圓之製造方法 |
JP2017050322A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | Jsr株式会社 | 基材の処理方法、半導体装置およびその製造方法 |
JP2017112298A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャックの製造方法 |
US11183415B2 (en) | 2016-06-22 | 2021-11-23 | Nissan Chemical Corporation | Adhesive containing polydimethyl siloxane |
KR20190019932A (ko) | 2016-06-22 | 2019-02-27 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 폴리디메틸실록산을 함유하는 접착제 |
KR20230074835A (ko) | 2017-05-24 | 2023-05-31 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 에폭시변성 폴리실록산을 함유하는 가접착제 |
KR20200010207A (ko) | 2017-05-24 | 2020-01-30 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 에폭시변성 폴리실록산을 함유하는 가접착제 |
WO2018216732A1 (ja) | 2017-05-24 | 2018-11-29 | 日産化学株式会社 | エポキシ変性ポリシロキサンを含有する仮接着剤 |
JP2018203880A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | 信越化学工業株式会社 | 基板加工用仮接着フィルムロール、薄型基板の製造方法 |
KR102440639B1 (ko) | 2017-06-05 | 2022-09-06 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 기판 가공용 가접착 필름 롤, 박형 기판의 제조 방법 |
US10796939B2 (en) | 2017-06-05 | 2020-10-06 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Temporary adhesive film roll for substrate processing, method for manufacturing thin wafer |
KR20180133213A (ko) * | 2017-06-05 | 2018-12-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 기판 가공용 가접착 필름 롤, 박형 기판의 제조 방법 |
KR20200026895A (ko) | 2017-07-06 | 2020-03-11 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 페닐기함유 폴리실록산을 함유하는 가접착제 |
WO2019009365A1 (ja) | 2017-07-06 | 2019-01-10 | 日産化学株式会社 | フェニル基含有ポリシロキサンを含有する仮接着剤 |
US11345837B2 (en) | 2017-07-06 | 2022-05-31 | Nissan Chemical Corporation | Temporary adhesive containing phenyl group-containing polysiloxane |
WO2019212008A1 (ja) | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 日産化学株式会社 | 耐熱性重合禁止剤を含むポリシロキサンを含有する仮接着剤 |
KR20210005028A (ko) | 2018-05-01 | 2021-01-13 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 내열성 중합금지제를 포함하는 폴리실록산을 함유하는 가접착제 |
KR20210092776A (ko) | 2018-11-16 | 2021-07-26 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 적층체의 박리 방법, 적층체 및 적층체의 제조 방법 |
KR20210090693A (ko) | 2018-11-16 | 2021-07-20 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 적외선 박리용 접착제 조성물, 적층체, 적층체의 제조 방법 및 박리 방법 |
WO2020100965A1 (ja) | 2018-11-16 | 2020-05-22 | 日産化学株式会社 | 積層体の剥離方法、積層体及び積層体の製造方法 |
WO2020100966A1 (ja) | 2018-11-16 | 2020-05-22 | 日産化学株式会社 | 赤外線剥離用接着剤組成物、積層体、積層体の製造方法及び剥離方法 |
KR20210096144A (ko) | 2018-11-28 | 2021-08-04 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 접착제 조성물, 적층체 및 적층체의 제조 방법, 그리고 반도체 형성 기판을 박화하는 방법 |
WO2020111069A1 (ja) | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 日産化学株式会社 | 接着剤組成物、積層体及び積層体の製造方法並びに半導体形成基板を薄化する方法 |
US11776837B2 (en) | 2018-11-28 | 2023-10-03 | Nissan Chemical Corporation | Adhesive agent composition, layered product and production method for layered product, and method for reducing thickness of semiconductor forming substrate |
CN113840670B (zh) * | 2019-05-22 | 2024-05-10 | 信越化学工业株式会社 | 清洗剂组合物、基板的清洗方法和支承体或基板的清洗方法 |
CN114096633A (zh) * | 2019-07-11 | 2022-02-25 | 信越化学工业株式会社 | 基板加工用临时粘合材料及层叠体的制造方法 |
WO2022045026A1 (ja) | 2020-08-27 | 2022-03-03 | 日産化学株式会社 | 積層体及び剥離剤組成物 |
KR20230058653A (ko) | 2020-08-27 | 2023-05-03 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 적층체 및 박리제 조성물 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5687230B2 (ja) | 2015-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5687230B2 (ja) | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 | |
JP5767159B2 (ja) | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 | |
KR101907010B1 (ko) | 웨이퍼 가공체, 웨이퍼 가공용 부재, 웨이퍼 가공용 가접착재 및 박형 웨이퍼의 제조 방법 | |
JP6130522B2 (ja) | ウエハ加工体、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 | |
JP5983519B2 (ja) | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 | |
JP5846060B2 (ja) | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 | |
JP5958262B2 (ja) | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 | |
JP6589766B2 (ja) | ウエハ加工用接着材、ウエハ積層体及び薄型ウエハの製造方法 | |
JP6023737B2 (ja) | ウエハ加工体、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 | |
KR101924403B1 (ko) | 웨이퍼 가공용 가접착재, 이를 이용한 웨이퍼 가공용 부재, 웨이퍼 가공체, 및 박형 웨이퍼의 제조 방법 | |
JP6225894B2 (ja) | ウエハの仮接着方法及び薄型ウエハの製造方法 | |
JP5409695B2 (ja) | オルガノポリシロキサン、オルガノポリシロキサンを含む仮接着剤組成物、及びそれを用いた薄型ウエハの製造方法 | |
JP2014241399A (ja) | ウエハ用仮接着材料、それらを用いた仮接着用フィルム、及びウエハ加工体並びにそれらを使用した薄型ウエハの製造方法 | |
JP5767155B2 (ja) | ウエハ加工体、支持体の再生方法及びウエハ加工用仮接着材 | |
JP7045765B2 (ja) | 回路付基板加工体及び回路付基板加工方法 | |
JP7454922B2 (ja) | 基板加工用仮接着材料及び積層体の製造方法 | |
JP2020097217A (ja) | 積層体の製造方法、及び基板の製造方法 | |
JP7351260B2 (ja) | デバイス基板用仮接着剤、デバイス基板積層体及びデバイス基板積層体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140415 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140417 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140606 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5687230 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |