JP2013169618A - 切削加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転砥石の両側面で径方向に延在して間隔を保持して該回転砥石と対向する規制板により形成される規制スリットと、規制スリット内にエアを供給するエア噴出口と、を有するユニットを配し、規制スリット内に位置する回転砥石の両側面に対して、両側面内において対向する位置に各々等しい大きさであって且つ向かい合う圧力を生成するようにエア噴出口を配置する。
【選択図】図1
Description
以下、回転砥石17のふれ幅と被加工物1の切断後の厚みのばらつきについて、本発明の実施例である研削加工装置100により得られた結果と、比較例としての従来の研削加工装置により得られた結果とを示す。条件として、回転砥石17の刃厚Tを0.2mm、規制スリット51cの幅SWを0.26mm、被加工物1の寸法を長さ70mm高さ30mmとした。また、実施例としての装置構成は第一の実施形態のもの、及び第二の実施形態のものを用い、比較例としての装置構成は第一の実施形態のものでエア供給を無くしたもの、及び規制ブロックユニット50自体を無くしたもの等を用いた。
Claims (4)
- 回転砥石の外周端面により被加工物に加工を施す研削加工装置であって、
前記回転砥石と相対的に移動可能であって前記被加工物を保持する被加工物保持ユニットと、
前記回転砥石の径方向に延在して前記回転砥石の両側面と間隔を保持して対向する規制板により形成される規制スリットと、
前記規制スリット内にエアを供給するエア噴出口と、を有し、
前記エア噴出口は、前記規制スリット内に位置する前記回転砥石の両側面に対して、前記両側面内において対向する位置に各々等しい大きさであって且つ向かい合う圧力を生成するように、前記スリット内へのエア供給を可能とする位置に配置されること、を特徴とする研削加工装置。 - 前記エア噴出口は、前記回転砥石の前記両側面と対向する前記規制スリットの内壁において互いに対向するように開口して配置されることを特徴とする請求項1に記載の研削加工装置。
- 前記エア噴出口は、前記規制スリットの内壁に開口する際に、開口径を拡大してなる噴出口拡大部を有することを特徴とする請求項2に記載の切削加工装置。
- 前記被加工物保持ユニットは、前記被加工物を保持し且つ保持状態で前記被加工物の周囲の空間に形成される保持部スリットと、前記保持部スリット内部の前記空間にエアを供給する第二のエア噴出口と、を更に有することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の切削加工装置。
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JP7072180B1 (ja) | 2021-12-20 | 2022-05-20 | 有限会社サクセス | 半導体結晶ウェハの製造方法および製造装置 |
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-
2012
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