CN110561630B - 缝喷嘴的制造方法和缝喷嘴 - Google Patents

Abstract

提供缝喷嘴的制造方法和缝喷嘴，在使用中不容易因施加至管材的流体的压力等而使缝的宽度变宽。该缝喷嘴的制造方法具有如下的步骤：准备切削刀具；准备筒状的管材；沿着管材的轴心方向对切削刀具的切刃进行定位，使切削刀具的切刃从管材的径向的外侧切入至管材，然后将切刃从管材拔出，从而形成第1缝；使切削刀具和管材沿着轴心方向相对地移动；沿着管材的轴心方向对切削刀具进行定位，使切削刀具的切刃从管材的径向的外侧切入至管材，然后将切刃从管材拔出，在第1缝的长度方向的延长线上按照与第1缝不连续的方式形成第2缝。

Description

缝喷嘴的制造方法和缝喷嘴

技术领域

本发明涉及从多个缝喷射流体的缝喷嘴和该缝喷嘴的制造方法。

背景技术

已知有利用环状的切削刀具对半导体晶片、陶瓷基板、树脂封装基板等板状的被加工物进行切削加工的切削装置。一边使高速旋转的切削刀具切入至被加工物，一边使切削刀具和被加工物相对地移动，从而沿着该移动的路径对被加工物进行切削。

另外，已知有通过磨削将上述被加工物加工得较薄的磨削装置。磨削装置例如具有：卡盘工作台，其对被加工物进行吸引保持；以及磨削磨轮，其配置在卡盘工作台的上方，在该磨削磨轮的下表面上固定有磨削磨具。一边使卡盘工作台和磨削磨轮相互旋转，一边将磨削磨轮下降而使磨削磨具推抵至被加工物，从而将被加工物薄化。

在利用上述的切削装置和磨削装置等加工装置对被加工物进行加工时，一边向被加工物提供加工液一边对被加工物进行加工。通过提供加工液，能够抑制加工中的加工装置与被加工物的接触部分即加工点处的发热，并且能够促进加工屑的排出。在加工结束后的被加工物上残留有加工液，因此为了将该残留的加工液去除，已知有从干燥单元对被加工物喷射空气的方式(例如，参照专利文献1)。

另外，在加工后使用将所产生的加工屑从被加工物去除的清洗装置。在清洗装置中，通过使用加压的水等的高压清洗、混合了空气和水的二流体清洗，对被加工物进行清洗。在清洗结束后的被加工物上残留有加工液，因此为了将该残留的加工液去除，已知有从干燥单元对被加工物喷射空气的内容(例如，参照专利文献2)。

在专利文献2中，作为干燥单元，记载了一种空气喷射单元，其中，沿着圆筒状的管材的轴心方向在该管材的侧面上隔开一定的间隔而设置有点状的多个喷射口。空气喷射单元通过从各喷射口喷射的空气能够形成所谓的干燥空气的壁，残留在被加工物上的加工液通过该干燥空气的壁去除。

多个喷射口沿着管材的轴心方向隔开一定的间隔而设置，并且各喷射口的点的直径与管材的侧面的面积相比是微小的。因此，上述的干燥空气的壁大多情况下沿着管材的轴心方向间断地形成(即，呈栅状形成)，并且所喷射的空气的流速比较低。

与此相对，已知有从在特定的方向上连续设置的缝按照较高的流速喷射空气的气刀喷嘴(Air knife nozzle)。关于气刀喷嘴的缝，例如在长方体形状的第1主体部的第1侧面上形成有凹部，该凹部具有从该第1侧面的高度方向的规定位置连续至底部的1mm至数mm左右的深度且沿着缝的长度方向连续，将长方体形状的第2主体部的平坦的第2侧面与第1主体部的第1侧面贴合从而形成气刀喷嘴的缝。

在该情况下，作为第1侧面与第2侧面之间的间隙的上述凹部成为空气的吹出口。该气刀喷嘴是将多个主体部组合而形成的，因此与细长的管材等相比，体积较大。因此，有时难以配置在加工装置内。另外，通常难以制造具有凹部的深度比1mm更小的狭小宽度的缝的气刀喷嘴。

专利文献1：日本特开2017-84950号公报

专利文献2：日本特开2015-115472号公报

与此相对，考虑了制造如下的缝喷嘴：在细长的管材的侧面上沿着该管材的轴心方向设置连续的缝，从该缝喷射空气，从而沿着轴心方向形成连续的空气的壁。

在该缝喷嘴中，还考虑了沿着管材的轴心方向形成细长的切口而减小与管材的轴心方向垂直的方向的缝宽度，从而能够提高空气的流速。

但是，即使沿着管材的轴心方向连续地形成狭小宽度的缝，也担心产生如下的问题：由于在缝喷嘴的使用中施加至管材的流体的压力等，缝的缘发生局部变形，缝的宽度变宽，流速变慢。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供缝喷嘴的制造方法和缝喷嘴，在缝喷嘴的使用中不容易使缝的宽度变宽。

根据本发明的一个方式，提供缝喷嘴的制造方法，该缝喷嘴从具有规定的宽度的多个缝喷射流体，该缝喷嘴的制造方法的特征在于，具有如下的步骤：切削刀具准备步骤，准备切削刀具，该切削刀具具有厚度与该缝的该规定的宽度相对应的切刃；管材准备步骤，准备筒状的管材；第1缝形成步骤，沿着该管材的轴心方向对该切削刀具进行定位，使该切削刀具的该切刃从该管材的径向的外侧切入至该管材，将所切入的该切削刀具的该切刃从该管材拔出，从而形成第1缝，该第1缝在与该规定的宽度垂直的方向上较长；移动步骤，在该第1缝形成步骤之后，使该切削刀具和该管材沿着该轴心方向相对地移动；以及第2缝形成步骤，在该移动步骤之后，沿着该管材的该轴心方向对该切削刀具进行定位，使该切削刀具的该切刃从该管材的径向的外侧切入至该管材，将所切入的该切削刀具的该切刃从该管材拔出，在该第1缝的长度方向的延长线上按照与该第1缝不连续的方式形成第2缝。

优选该第1缝和第2缝的该规定的宽度为30μm以上且200μm以下。

根据本发明的其他方式，提供缝喷嘴，其从设置于筒状的管材的多个缝喷射流体，其中，该缝喷嘴具有：第1缝和第2缝，它们沿着该管材的轴心方向设置于该管材的侧壁部；以及残留部，其设置于该第1缝与该第2缝之间，是该管材的该侧壁部的一部分，该残留部的该轴心方向的长度随着从该管材的轴心朝向该管材的径向的外侧而变短。

根据本发明的缝喷嘴的制造方法，按照与第1缝不连续的方式形成第2缝，因此与第1缝和第2缝连续的情况相比，能够抑制缝的宽度根据缝喷嘴的流体喷射时间而变宽。同样地，根据本发明的缝喷嘴，在第1缝与第2缝之间设置有残留部，因此能够抑制缝的宽度根据缝喷嘴的流体喷射时间而变宽。

附图说明

图1的(A)是缝喷嘴的仰视图，图1的(B)是图1的(A)的I-I剖视图。

图2是缝喷嘴的侧视图。

图3是切削单元的侧视图。

图4是管材的立体图。

图5是使切削刀具切入至管材时的与轴心方向垂直的平面上的管材的剖视图。

图6的(A)是使切削刀具切入至管材时的与宽度方向垂直的平面上的管材的剖视图，图6的(B)是将所切入的切削刀具从管材拔出时的管材的剖视图。

图7是管材的剖视图，示出了使切削刀具和管材沿着轴心方向相对地移动的移动步骤。

图8的(A)是使切削刀具切入至与第1缝分开的位置的管材时的与宽度方向垂直的平面上的管材的剖视图，图8的(B)是将所切入的切削刀具从管材拔出时的管材的剖视图。

图9是示出缝喷嘴的制造方法的流程图。

图10的(A)是比较例的缝喷嘴的使用前的仰视图，图10的(B)是比较例的缝喷嘴使用规定时间期间后的仰视图。

图11是示出在使切削刀具切入至管材的状态下使管材在轴心方向上移动的其他实施方式的情况的图。

标号说明

11：缝喷嘴；13：管材；13a：轴心；13b：外侧侧面；13c：内侧侧面；13d：侧壁部；15a、15b、15c：缝；17a、17b、17c、17d：残留部(壁残留部)；20：切削单元；22：主轴；24：刀具安装座；26：切削刀具；26a：切刃；26b：基台；28：切削液提供喷嘴；28a：喷射口；30：治具；32：卡盘工作台；32a：保持面；32b：多孔板；32c：流路；41：缝喷嘴；43：管材；45：缝；A：轴心方向；B：高度方向；C：宽度方向；D：宽度；E：空气；F：厚度；G：切削液。

具体实施方式

参照图1至图9，对本发明的一个实施方式的缝喷嘴11进行说明。图1的(A)是缝喷嘴11的仰视图，图1的(B)是图1的(A)的I-I剖视图。图2是缝喷嘴11的侧视图。另外，在本实施方式中，为了便于说明，将缝喷嘴11或管材13的侧面中的设置有缝15a等的部分称为底面。

本实施方式的缝喷嘴11是不锈钢等金属制造的内部具有空洞的圆筒状的管材13。但是，管材13的内部也可以是空洞的棱柱状。在本实施方式中，管材13的侧壁部13d的壁厚约为1mm，管材13的与轴心13a大致平行的轴心方向A的长度约为300mm。

缝喷嘴11在管材13的侧壁部13d上具有多个(在本实施方式中为三个)缝15a、15b、15c。各缝15a、15b、15c设置成从管材13的内侧侧面13c贯通至管材13的外侧侧面13b，将管材13的内部与管材13的外部连接。

缝15a、15b、15c分别沿着管材13的宽度方向C具有规定的宽度D。规定的宽度D为数十μm以上数百μm以下，例如为30μm以上200μm以下。

多个缝15a、15b、15c分别沿着管材13的轴心方向A较长。在缝15a的长度方向(即轴心方向A)的延长线上设置有缝15b，在缝15b的长度方向(即轴心方向A)的延长线上设置有缝15c。多个缝15a、15b、15c沿着轴心方向A设置于相互分开的位置，各个轴心方向A的长度例如约为80mm。

另外，在本实施方式中，如图1的(A)所示，将与轴心方向A垂直且在轴心方向A与缝(例如缝15a)的中央通过的方向称为管材13的高度方向B。另外，将与轴心方向A和高度方向B这双方垂直的方向称为管材13的宽度方向C。

在沿着轴心方向A相邻的缝15a与15b之间以及缝15b与15c之间设置有作为管材13的侧壁部13d的一部分的残留部(壁残留部)17b、17c。残留部17b、17c的沿着轴心方向A的最大长度t代表地为1mm以上且10mm以下，例如为2mm以上且5mm以下。

在缝15a与管材13的左侧端部之间设置有沿着轴心方向A的长度为残留部17b、17c的长度t的约一半(t/2)的残留部17a。同样地，在缝15c与管材13的右侧端部之间也设置有沿着轴心方向A的长度为长度t的约一半(t/2)的残留部17d。

如图1的(B)所示，残留部17a、17b、17c、17d的轴心方向A的长度分别随着从管材13的轴心13a朝向管材13的径向(即，图1的(B)所示的管材13的高度方向B)的外侧而变短。

残留部17b、17c在管材13的内侧侧面13c上的轴心方向A的长度为t，轴心方向A的长度随着沿着高度方向B向外侧行进而慢慢变小，在管材13的外侧侧面13b上的轴心方向A的长度与长度t相比充分小。在管材13的外侧侧面13b上的轴心方向A的长度例如大致为零。

即，在管材13的外侧侧面13b上露出的残留部17b、17c是沿着宽度方向C呈线状(在图1的(B)所示的剖视图中呈点状)残留的侧壁部13d的一部分。残留部17a和17d在内侧侧面13c上的轴心方向A的长度为长度t的约一半(t/2)，同样地，在管材13的外侧侧面13b上的轴心方向A的长度与长度t的约一半(t/2)相比充分小，例如大致为零。

残留部17b、17c的剖面具有以内侧侧面13c为底边的大致三角形形状，但该三角形形状的两边不是直线，而是朝向底边凹陷，该凹陷的部分具有与后述的圆环形状的切削刀具26的曲率相对应的曲率。

残留部17a的构成缝15a的面朝向内侧侧面13c凹陷，同样地，残留部17d的构成缝15c的面朝向内侧侧面13c凹陷。残留部17a和残留部17d的凹陷的部分具有与切削刀具26的曲率相对应的曲率。另外，各残留部17a、17b、17c、17d均在管材13的宽度方向C上具有与缝15a、15b、15c相同的宽度D。

按照规定的压力和流量将流体送入至管材13中，从多个缝15a、15b、15c喷射流体。流体例如是空气等气体或水等液体。在本实施方式中，向管材13的空洞中提供空气E，因此从多个缝15a、15b、15c喷射空气E。

在本实施方式中，使宽度D为30μm以上且200μm以下，从而与宽度D为1mm的情况相比，能够提高从缝15a等喷射的空气E的流速，能够提高加工液或清洗液等的去除效果。

在图2中示出喷射空气E的情况。图2示出图1的(B)所示的缝喷嘴11以轴心13a为中心旋转180度而将多个缝15a、15b、15c配置成朝下的状态。

缝15a、15b、15c分别形成为轴心方向A的长度从管材13的内侧侧面13c朝向外侧侧面13b增大，因此空气E按照随着从管材13的内侧行进至外侧而在轴心方向A上扩展的方式被喷射。因此，缝喷嘴11也能够对残留部17a、17b、17c、17d的正下方提供空气E，能够沿着轴心方向A形成连续的空气E的壁。

另外，在本实施方式中，与高度方向B和宽度方向C平行的平面上的管材13的剖面呈圆环状，因此与管材13的剖面呈四边形框状的情况相比，对于送入至管材13的空洞的空气E的耐压提高。

另外，图1的(A)和图1的(B)所示的管材13的两端为开放状态，但如图2那样在对管材13提供空气E而从多个缝15a、15b、15c喷射空气E时，使管材13的两端中的上游侧为开放状态，使下游侧为封闭状态。例如将管材13的下游侧用盖等密封而成为封闭状态。

这里，参照图3至图9对缝喷嘴11的制造方法进行说明。首先，为了在管材13上形成切口，准备具有切削刀具26的切削单元20(切削刀具26准备步骤S10)。图3是切削单元20的侧视图。

切削单元20例如是设置于加工装置的切削单元，该加工装置用于将半导体晶片和树脂封装基板切断。切削单元20具有主轴22，该主轴22作为与Y轴方向大致平行的旋转轴。

主轴22部分收纳于筒状的主轴壳体(未图示)，该主轴壳体能够通过所谓的空气轴承将主轴22支承为能够旋转。

切削单元20具有包含与主轴22的一端侧连结的电动机的旋转驱动源(未图示)。另外，切削单元20具有圆环状的刀具安装座24，该刀具安装座24安装于向主轴壳体的外部露出的主轴22的另一端侧。

在刀具安装座24的Y轴方向的前表面上设置有切削刀具26。切削刀具26、刀具安装座24以及主轴22通过螺栓等固定单元按照能够旋转的方式一体地进行固定。

本实施方式的切削刀具26是所谓的轮毂刀具，其具有圆环状的基台26b和设置于该基台26b的外周的圆环状的切刃26a。另外，在本实施方式中，圆环状的切刃26a的外径与内径之差(即，切刃26a的径向的长度)比管材13的壁厚约1mm大。

切刃26a例如是在金属或树脂等结合材料中混合金刚石或CBN(Cubic BoronNitride：立方氮化硼)等磨粒而形成的。另外，作为切削刀具26，也可以使用仅由切刃构成的垫圈刀具。

切削刀具26的切刃26a具有预先设定的厚度F。本实施方式的切刃26a的厚度F在将切削刀具26安装于主轴22的状态下与Y轴方向大致平行且与多个缝15a、15b、15c的各宽度D相对应。

宽度D受到加工精度的影响，可以为切刃26a的厚度的1倍以上。例如宽度D最大为切刃26a的厚度的1.2倍以下。另外，当然通过切刃26a对管材13的一部分进行切削而形成的切口宽度与缝15a等的宽度D相等。

切削单元20具有位于主轴22的下方且夹着切削刀具26的一对切削液提供喷嘴28。一对切削液提供喷嘴28分别具有位于切刃26a侧的喷射口28a。切削液提供喷嘴28在切削加工时对切刃26a提供切削液，切削液沿着切刃26a到达切刃26a与管材13的接触区域即加工点。

接着，准备供该切削单元20的切刃26a切入的管材13(管材13准备步骤S20)。图4是管材13的立体图。在图4中，示出形成缝15a等之前的管材13。另外，上述的切削刀具26准备步骤S10和管材13准备步骤S20先进行哪个步骤都可以。

在本实施方式中，在管材13准备步骤S20之后，使高速旋转的切削刀具26切入至管材13的底面。图5是使切削刀具26切入至管材13时的与轴心方向A垂直的平面上的管材13的剖视图，图6的(A)是使切削刀具26切入至管材13时的与宽度方向C垂直的平面上的管材13的剖视图。

另外，如图5和图6的(A)所示，管材13的轴心方向A与切削单元20的X轴方向大致平行，管材13的高度方向B与切削单元20的Z轴方向大致平行，管材13的宽度方向C与切削单元20的Y轴方向大致平行。

管材13按照不在轴心方向A上移动的方式被治具30固定。治具30例如具有与管材13的一部分嵌合的凹部，管材13嵌入至该凹部而相对于治具30固定。

例如在将管材13按照通过轴心13a且与轴心方向A和宽度方向C平行的平面切断成两部分的情况下，治具30具有与该切断的管材13的一方相对应的形状。本实施方式的治具30具有半圆筒形状的凹部，该凹部嵌合至与设置缝15a的管材13的底面侧相反的一侧(即管材13的上表面侧)。

在治具30的下部配置有卡盘工作台32。卡盘工作台32由具有细孔的多孔陶瓷等形成，具有俯视矩形形状的多孔板32b。多孔板32b的细孔与流路32c连接，该流路32c经由阀等(未图示)而与真空泵等吸引单元(未图示)连接。

通过吸引单元的负压，治具30的底面被吸引保持于多孔板32b的保持面32a上。由此，治具30和管材13相对于固定于加工装置内的卡盘工作台32被固定。

在使高速旋转的切削刀具26切入至管材13而进行切削加工时，首先沿着管材13的轴心方向A对切削刀具26进行定位。即，将与切削刀具26的切刃26a的厚度方向(Y轴方向)垂直的切刃26a的X-Z平面方向沿管材13的轴心方向A进行定位。

然后，使管材13和切削单元20沿着Z轴方向相对地移动，从而使切刃26a切入至管材13。另外，在切入时，从切削液提供喷嘴28的喷射口28a对切刃26a提供切削液G。

在本实施方式中，使切削刀具26沿着Z轴方向向下方移动，从而使切削刀具26从管材13的径向(即管材13的高度方向B)的外侧朝向管材13切入。

然后，不使切削刀具26和管材13在X轴方向上相对移动，而使切削刀具26沿着Z轴方向向上方移动，从而将所切入的切削刀具26从管材13拔出(所谓的断续切割(choppercut))。图6的(B)是将所切入的切削刀具26从管材13拔出时的管材13的剖面。

这样，在本实施方式中，通过使用了切削刀具26的断续切割，沿着高度方向B将管材13的侧壁部13d的壁厚的一部分切断，未将管材13的侧壁部13d的壁厚的全部切断。由此，在管材13上形成有缝15a(缝15a形成步骤S30)。

例如，形成缝15a时的切刃26a的切入深度按照如下方式进行计算。另外，沿着轴心方向A形成于外侧侧面13b和内侧侧面13c的缝15a的长度根据切刃26a的切入深度而确定。

切刃26a的半径r根据切削刀具26而预先确定。另外，切刃26a相对于卡盘工作台32的高度位置根据加工装置而预先确定，从切刃26a的旋转轴(即主轴22的轴心)至外侧侧面13b的距离L也能够根据治具30和管材13的形状和大小等信息计算得到。

因此，切刃26a对于外侧侧面13b的切入深度能够根据半径r和距离L之差(r-L)求出。另外，外侧侧面13b的轴心方向A的缝15a的长度也可确定。

另外，管材13的壁厚Δ也预先确定，因此根据切刃26a的旋转轴至内侧侧面13c的距离(L+Δ)，确定切刃26a相对于内侧侧面13c的切入深度(r-(L+Δ))。另外，内侧侧面13c的轴心方向A的缝15a的长度也可确定。

在缝15a形成步骤S30之后，使切削刀具26和管材13沿着轴心方向A相对地移动。图7是管材13的剖视图，示出了使切削刀具26和管材13沿着轴心方向A相对地移动的移动步骤(S40)。

在移动步骤S40之后，沿着管材13的轴心方向A对切削刀具26进行定位。即，将与切刃26a的厚度方向(Y轴方向)垂直的切刃26a的面即X-Z平面方向沿管材13的轴心方向A进行定位。并且，使切削刀具26从管材13的径向(即管材13的高度方向B)的外侧朝向管材13切入。

图8的(A)是使切削刀具26切入至管材13的与缝15a分开的位置时的与宽度方向C垂直的平面上的管材13的剖视图，图8的(B)是将所切入的切削刀具26从管材13拔出时的管材13的剖视图。这样，通过断续切割，形成缝15b(缝15b形成步骤S50)。另外，在缝15a与缝15b之间存在残留部17b，因此缝15a和缝15b不连续，是间断的。

在缝15b形成步骤之后，经过使切削刀具26和管材13沿着轴心方向A相对地移动的移动步骤(S60)，使切削刀具26切入至与缝15b分开的位置的管材13，然后拔出。这样，通过断续切割，形成缝15c(缝15c形成步骤S70)。另外，在缝15b与缝15c之间存在残留部17c，因此缝15b和缝15c不连续，是间断的。

在本实施方式中，经由切削刀具26准备步骤S10(图3)、管材13准备步骤S20(图4)、缝15a形成步骤S30(图5、图6的(A)、图6的(B))、移动步骤S40(图7)、缝15b形成步骤S50(图8的(A)、图8的(B))、移动步骤S60以及缝15b形成步骤S70而制造出缝喷嘴11。图9是示出缝喷嘴11的制造方法的流程图。

在本实施方式中，使多个缝15a、15b、15c分别为相同的宽度D，且在相邻的两个缝之间形成有残留部17b、17c。因此，与沿着轴心方向A连续地形成缝的情况(例如没有残留部17b、17c的情况)相比，各缝的轴心方向A的长度变短。

因此，在缝喷嘴11的使用中对于施加至管材13的空气E的压力的耐性(即耐压)提高，与沿着轴心方向A连续地形成缝的情况相比，各缝的宽度方向C的宽度D不容易变宽。

并且，由于各缝的宽度D不容易变宽，因此与沿着轴心方向A连续地形成缝的情况相比，能够更长时间沿着轴心方向A喷射大致均匀的流量的空气E。

另外，本实施方式的缝喷嘴11由一根管材13形成，因此与像以往那样将在第1侧面上具有凹部的第1主体部与第2主体部的平坦的第2侧面进行贴合而形成的气刀喷嘴相比，即使配置在加工装置内，也不妨碍切削单元20等构造体。因此，缝喷嘴11非常适合配置在加工装置内。

另外，在本实施方式中，对设置三个缝15a、缝15b、缝15c的情况进行了说明，但也可以设置两个缝。在该情况下，管材13的全长可以约为200mm。设置于管材13的缝的数量可以为四个以上。

这里，对沿着管材43的轴心方向A连续地形成缝的比较例进行说明。图10的(A)是比较例的缝喷嘴41的使用前的仰视图，图10的(B)是比较例的缝喷嘴41使用规定时间后的仰视图。

如图10的(A)所示，缝45在沿着轴心方向A的任意位置上宽度方向C的长度为D1。另外，比较例的缝喷嘴41不像本申请发明的缝喷嘴11那样具有残留部17b、17c，因此与残留部17b、17c相对应的位置上的缝45的开口缘部分的管材43的耐压比缝喷嘴11弱。

其结果是，在缝喷嘴41使用规定的时间之后，与缝15a等相比，缝45的形状容易变形，例如如图10的(B)所示，缝45的形状成为仰视大致菱形形状。

特别是，轴心方向A的中间位置上的宽度方向C的长度比其他部位大。该中间位置上的宽度方向C的长度成为比初始长度D1大的长度D2。当缝45如图10的(B)那样发生变形时，会导致缝喷嘴41无法在轴心方向A上按照大致均匀的流量喷出空气E。

与此相对，本申请发明的实施方式的缝喷嘴11具有残留部17b、17c，因此与比较例的缝喷嘴41相比，各缝15a、15b、15c的宽度D不容易变宽，能够更长时间沿着轴心方向A提供大致均匀的流量的空气E。

另外，在上述的本发明的一个实施方式中，通过切削刀具26的断续切割，形成了各缝15a、15b、15c。但是，也可以是，在使切削刀具26切入至管材13之后，使切削刀具26和管材13沿着轴心方向A相对地移动，然后将切削刀具26从管材13拔出，从而形成缝15a等。

图11是示出在使切削刀具26切入至管材13的状态下使管材13在轴心方向A上移动的其他实施方式的情况的图。在本说明书中，将在使切削刀具26切入至被加工物之后使被加工物相对于切削刀具26在加工进给方向(即X轴方向或轴心方向A)移动的情况称为横向切割(traverse cut)。

在该其他实施方式中，与上述的实施方式相比，使切削刀具26的切入深度减少，通过横向切割来调整各缝15a、15b、15c的轴心方向A的长度。

除此以外，上述实施方式的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围，则可以适当变更并实施。例如上述的实施方式的缝喷嘴11喷射空气E，但在使用缝喷嘴11作为清洗液喷射喷嘴的情况下，缝喷嘴11可以喷射水等液体。

另外，在缝喷嘴11喷射水等液体的情况下，也如上述那样能够得到对于液体的压力的耐性提高以及各缝的宽度D不容易变宽的有利效果。

Claims (2)

1.一种缝喷嘴的制造方法，该缝喷嘴从具有规定的宽度的多个缝喷射流体，该缝喷嘴的制造方法的特征在于，

具有如下的步骤：

切削刀具准备步骤，准备切削刀具，该切削刀具具有厚度与该缝的该规定的宽度相对应的切刃；

管材准备步骤，准备金属制的筒状的管材；

第1缝形成步骤，沿着该管材的轴心方向对该切削刀具进行定位，使该切削刀具的该切刃从该管材的径向的外侧切入至该管材，将所切入的该切削刀具的该切刃从该管材拔出，从而形成第1缝，该第1缝在与该规定的宽度垂直的方向上较长；

移动步骤，在该第1缝形成步骤之后，使该切削刀具和该管材沿着该轴心方向相对地移动；以及

第2缝形成步骤，在该移动步骤之后，沿着该管材的该轴心方向对该切削刀具进行定位，使该切削刀具的该切刃从该管材的径向的外侧切入至该管材，将所切入的该切削刀具的该切刃从该管材拔出，在该第1缝的长度方向的延长线上按照与该第1缝不连续的方式形成第2缝，

该第1缝和第2缝的该规定的宽度为30μm以上且200μm以下，

设置于该第1缝和第2缝之间的、作为该管材的侧壁部的一部分的残留部的该轴心方向的长度随着从该管材的轴心朝向该管材的径向的外侧而变短，所述残留部在所述管材的外侧侧面上的轴心方向的长度大致为零。

2.一种缝喷嘴，其从设置于金属制造的筒状的管材的多个缝喷射流体，其特征在于，

该缝喷嘴具有：

第1缝和第2缝，它们沿着该管材的轴心方向设置于该管材的侧壁部；以及

残留部，其设置于该第1缝与该第2缝之间，是该管材的该侧壁部的一部分，

该第1缝和第2缝的宽度为30μm以上且200μm以下，

该残留部的该轴心方向的长度随着从该管材的轴心朝向该管材的径向的外侧而变短，所述残留部在所述管材的外侧侧面上的轴心方向的长度大致为零。

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