JPS602310A - 内周式切断機 - Google Patents
内周式切断機Info
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- JPS602310A JPS602310A JP10937683A JP10937683A JPS602310A JP S602310 A JPS602310 A JP S602310A JP 10937683 A JP10937683 A JP 10937683A JP 10937683 A JP10937683 A JP 10937683A JP S602310 A JPS602310 A JP S602310A
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- base metal
- cutting
- compressed air
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は内周式切断機に係シ、たとえばシリコン、ＧＧ
Ｇなどの高価な試料を小さな切代で、且つ高精度に切断
するだめの内周式切断機に関するものである。
Ｇなどの高価な試料を小さな切代で、且つ高精度に切断
するだめの内周式切断機に関するものである。
内周式切断機は、ドーナツ状の砥石地金に砥粒層を形成
した内周砥石を、砥石面内で回転させながら、前記内周
砥石の内周側に配設され、試料テーブルで保持された試
料を該内周砥石の半径方向に移動させることにより、前
記砥粒層で前記試料を切断するものであり、この内周式
切断機は、大断面積の試料を高精度に且つ小さな切代で
切断するだめに使用されている。
した内周砥石を、砥石面内で回転させながら、前記内周
砥石の内周側に配設され、試料テーブルで保持された試
料を該内周砥石の半径方向に移動させることにより、前
記砥粒層で前記試料を切断するものであり、この内周式
切断機は、大断面積の試料を高精度に且つ小さな切代で
切断するだめに使用されている。
しかし、従来の内周式切断機には、■切代の最小限界が
０．２８〜０．３５ ａｍであるので、材料歩留りが悪
い、■切断面にうねシを生ずるので、試料を高精度にス
ライスすることができない、という問題点があった。
０．２８〜０．３５ ａｍであるので、材料歩留りが悪
い、■切断面にうねシを生ずるので、試料を高精度にス
ライスすることができない、という問題点があった。
これらの問題点を、第１図を使用して説明する。
第１図は、従来の内周式切断機によって試料を切断して
いる状態を示す要部断面図である。
いる状態を示す要部断面図である。
この第１図において、１１は、ドーナツ状の砥石地金３
の内周に沿って砥粒層１を形成してなる内周砥石、５は
、この内周砥石１１の内周側に配設された、試料に係る
切断用インゴット（たとえばシリコンのインゴット）、
６は、この切断用インゴット５から切断されるウェハ、
２は、切断用インゴット５の切断溝、１２は、ウェハ６
と砥石地金３との間隙を流れるクーラントである。そし
て矢印は切断用インゴット５の移動方向であり、内周砥
石１１は、紙面と垂直方向に回転する。
の内周に沿って砥粒層１を形成してなる内周砥石、５は
、この内周砥石１１の内周側に配設された、試料に係る
切断用インゴット（たとえばシリコンのインゴット）、
６は、この切断用インゴット５から切断されるウェハ、
２は、切断用インゴット５の切断溝、１２は、ウェハ６
と砥石地金３との間隙を流れるクーラントである。そし
て矢印は切断用インゴット５の移動方向であり、内周砥
石１１は、紙面と垂直方向に回転する。
このように構成した内周式切断機において、内周砥石１
１を回転（紙面と垂直方向）させ、切断用インゴット５
を矢印方向へ移動させながら、クーラント１２を供給し
た状態で、砥粒層１によって切断用インゴット５を切断
する。
１を回転（紙面と垂直方向）させ、切断用インゴット５
を矢印方向へ移動させながら、クーラント１２を供給し
た状態で、砥粒層１によって切断用インゴット５を切断
する。
この場合、ウェハ６と砥石地金３との間隙を流れるクー
ラント１２および空気などにより、ウェハ６と砥石地金
３との間に吸引力が生じ、ウェハ６が砥石地金３に接触
して砥石地金３にきすをつけるおそれがある。また、ウ
ェハ６の両面の加工変質層に生ずる内部応力の不均衡の
ために、ウェハ６が曲がって砥石地金３にきすをつける
おそれもある。砥石地金３にきすがつくと内周砥石１１
を短寿命化するので、従来、砥粒層１と砥石地金３との
間に、寸法ｅ＝６５〜８０μｍの段差を両側に設けるこ
とにより、前記接触を防止するようにしていた。
ラント１２および空気などにより、ウェハ６と砥石地金
３との間に吸引力が生じ、ウェハ６が砥石地金３に接触
して砥石地金３にきすをつけるおそれがある。また、ウ
ェハ６の両面の加工変質層に生ずる内部応力の不均衡の
ために、ウェハ６が曲がって砥石地金３にきすをつける
おそれもある。砥石地金３にきすがつくと内周砥石１１
を短寿命化するので、従来、砥粒層１と砥石地金３との
間に、寸法ｅ＝６５〜８０μｍの段差を両側に設けるこ
とにより、前記接触を防止するようにしていた。
一方、切断の精度を良くするだめには、内周砥石１１の
剛性を一定値以上にする必要があり、このために砥石地
金３の厚さｔｂを少なくとも０．１〜０．１４ｍにしな
ければならない。
剛性を一定値以上にする必要があり、このために砥石地
金３の厚さｔｂを少なくとも０．１〜０．１４ｍにしな
ければならない。
しだがって内周砥石１１の厚さｔは、最小でもｔ＝ｔ、
＋２ｅ ＝０２３〜０．３０■ となる。これに内周砥石１１の振れδ（−５０μｍ）が
あるので、切代の最小限界は、前記したように、を十δ
＝０．２８〜０．３５ｍであった。
＋２ｅ ＝０２３〜０．３０■ となる。これに内周砥石１１の振れδ（−５０μｍ）が
あるので、切代の最小限界は、前記したように、を十δ
＝０．２８〜０．３５ｍであった。
ところで、前記したように、段差の寸法をｅ−６５〜８
０μｍにとったとしても、ウェハ６と砥石地金３とが接
触することがしばしばあシ、内周砥石１１の寿命にはほ
とんど影響がないものの、この接触によって生ずる押圧
力、および内周砥石１１の振動によって内周砥石１１が
変位し、砥粒層１の位置が変化する。このため、前記し
たように、ウェハ６の切断面にうねりが生じ、切断の精
度を低下させるものであった。
０μｍにとったとしても、ウェハ６と砥石地金３とが接
触することがしばしばあシ、内周砥石１１の寿命にはほ
とんど影響がないものの、この接触によって生ずる押圧
力、および内周砥石１１の振動によって内周砥石１１が
変位し、砥粒層１の位置が変化する。このため、前記し
たように、ウェハ６の切断面にうねりが生じ、切断の精
度を低下させるものであった。
本発明は、上記した従来技術の欠点を除去して、切代が
小さく且つ高精度に切断することができる内周式切断機
の提供を、その目的とするものである。
小さく且つ高精度に切断することができる内周式切断機
の提供を、その目的とするものである。
本発明に係る内周式切断機の構成は、ドーナツ状の砥石
地金に砥粒層を形成してなる内周砥石を、砥石面内で回
転させながら、前記内周砥石の内周側に配設され、試料
テーブルで保持された試料を該内周砥石の半径方向に移
動させることにより、前記砥粒層で前記試料を切断する
ようにした内周式切断機において、内周砥石を、砥石地
金の内周の砥粒を付着させる部分を他の部分よりも薄肉
にし、この部分に砥粒層を形成した内周砥石にし、試料
に形成される切断溝の砥石入口部へ前記内周砥石の上下
側から圧縮空気もしくは空気を流入させることができる
圧縮空気流入装置もしくは空気流入ガイドを、試料テー
ブルに保持せしめて前記試料と同期して移動させるよう
にしたものである。
地金に砥粒層を形成してなる内周砥石を、砥石面内で回
転させながら、前記内周砥石の内周側に配設され、試料
テーブルで保持された試料を該内周砥石の半径方向に移
動させることにより、前記砥粒層で前記試料を切断する
ようにした内周式切断機において、内周砥石を、砥石地
金の内周の砥粒を付着させる部分を他の部分よりも薄肉
にし、この部分に砥粒層を形成した内周砥石にし、試料
に形成される切断溝の砥石入口部へ前記内周砥石の上下
側から圧縮空気もしくは空気を流入させることができる
圧縮空気流入装置もしくは空気流入ガイドを、試料テー
ブルに保持せしめて前記試料と同期して移動させるよう
にしたものである。
さらに詳しくは、次の通シである。
前述した切代の成分かられかるように、切断の精度を劣
化させずに切代を小さくするには、前記段差の寸法ｅを
小さくするとともに、振れδを小さくする必要がある。
化させずに切代を小さくするには、前記段差の寸法ｅを
小さくするとともに、振れδを小さくする必要がある。
これを実施するために、内周砥石を、砥石地金の内周の
砥粒付着部を薄肉にし、この砥粒伺着部に砥粒層を形成
したものにし、且つ切断溝の砥石入口部に、前記切断溝
へ圧縮空気を流入することができる圧縮空気流入装置を
設けるようにしたものである。
砥粒付着部を薄肉にし、この砥粒伺着部に砥粒層を形成
したものにし、且つ切断溝の砥石入口部に、前記切断溝
へ圧縮空気を流入することができる圧縮空気流入装置を
設けるようにしたものである。
以下、本発明を実施例によって説明する。
嬉２図は、本発明の一実施例に係る内周式切断機の要部
を示す平面図、第３図は、第２図の■−−ｍ断面図、第
４図は、第２図の■−■断面拡大図、第５図は、第３図
における切断溝の砥石入口部へ圧縮空気を流入させたと
きの、砥石回転方向に沿っての圧力分布図、第６図は、
前記圧縮空気によるウェハの変形量を示すウェハの変形
特性図、第７図は、前記圧縮空気による砥石地金の変形
量を示す砥石地金の髪形特性図、第８図は、第２図に係
る内周式切断機によって切断したウエノ・の切断面形状
を拡大して示す模式図である。
を示す平面図、第３図は、第２図の■−−ｍ断面図、第
４図は、第２図の■−■断面拡大図、第５図は、第３図
における切断溝の砥石入口部へ圧縮空気を流入させたと
きの、砥石回転方向に沿っての圧力分布図、第６図は、
前記圧縮空気によるウェハの変形量を示すウェハの変形
特性図、第７図は、前記圧縮空気による砥石地金の変形
量を示す砥石地金の髪形特性図、第８図は、第２図に係
る内周式切断機によって切断したウエノ・の切断面形状
を拡大して示す模式図である。
各図において、第１図と同−奇岩を付したものは同一部
分である。そして１１Ａは、第４図にその詳細を示すよ
うに、砥石地金３Ａの内周の砥粒を付着させる部分（以
下砥粒付着部３ａという）を他の部分よりも薄肉（たと
えばエツチングによる薄肉）にし、との砥粒付着部３ａ
に砥粒層ｌを形成した内周砥石である。したがって、こ
の内周砥石１１Ａは、その砥粒層１および砥石地金３Ａ
の厚さは従来のものと変ることはなく（すなわち砥石寿
命、砥石地金３Ａの剛性は低下することなく）、段差の
寸法ｅ′を小さくしたために、内周砥石ｌＩＡの厚さｔ
′を従来よりも薄くすることができる。なお、１０ば、
内周砥石１１． Ａを張り上げて固定するだめの地金チ
ャックボデーである。
分である。そして１１Ａは、第４図にその詳細を示すよ
うに、砥石地金３Ａの内周の砥粒を付着させる部分（以
下砥粒付着部３ａという）を他の部分よりも薄肉（たと
えばエツチングによる薄肉）にし、との砥粒付着部３ａ
に砥粒層ｌを形成した内周砥石である。したがって、こ
の内周砥石１１Ａは、その砥粒層１および砥石地金３Ａ
の厚さは従来のものと変ることはなく（すなわち砥石寿
命、砥石地金３Ａの剛性は低下することなく）、段差の
寸法ｅ′を小さくしたために、内周砥石ｌＩＡの厚さｔ
′を従来よりも薄くすることができる。なお、１０ば、
内周砥石１１． Ａを張り上げて固定するだめの地金チ
ャックボデーである。
４は、切断用インゴット５に形成される切断溝２の砥石
入口部２ａへ、内周砥石１１Ａの上下側から圧縮空気を
流入させることができる圧縮空気流入装置（詳細後述）
であり、この圧縮空気流入装置４は、試料テーブル（図
示せず）に保持され、切断用インゴット５と同期して移
動可能である。
入口部２ａへ、内周砥石１１Ａの上下側から圧縮空気を
流入させることができる圧縮空気流入装置（詳細後述）
であり、この圧縮空気流入装置４は、試料テーブル（図
示せず）に保持され、切断用インゴット５と同期して移
動可能である。
圧縮空気流入装置４は、圧縮空気導入部４ａを有し、複
数個の圧縮空気吐出孔４ｂを分布して穿設した、断面形
状がＨ形で、蓋付き円弧状の一対の上ノズル４ｃ、下ノ
ズル４ｄを、所定間隔ｄだけ離間して対向して配設し、
前記圧縮空気導入部４ａに、コンプレッサ（図示せず）
と接続されている圧縮空気供給ホース１３を嵌入してな
るものである。
数個の圧縮空気吐出孔４ｂを分布して穿設した、断面形
状がＨ形で、蓋付き円弧状の一対の上ノズル４ｃ、下ノ
ズル４ｄを、所定間隔ｄだけ離間して対向して配設し、
前記圧縮空気導入部４ａに、コンプレッサ（図示せず）
と接続されている圧縮空気供給ホース１３を嵌入してな
るものである。
このように構成した内周式切断機をＯＮにすると、内周
砥石１１Ａが砥石回転方向１５へ回転し、切断用インゴ
ット５が、圧縮空気流入装置４とともに試料移動方向１
６へ移動する。そして、内周砥石１１Ａが圧縮空気流入
装置４の上ノズル４Ｃと下ノズル４ｄとの間に位置した
状態で、砥粒層１によって切断用インゴット５の切断が
行なわれる。切断溝２の砥石地金３Ａとウエノ・６との
間にクーラント（図示せず）が供給されるとともに、圧
縮空気流入装置４の圧縮空気導入部４ａへ供給された圧
縮空気（この供給空気の圧力を一次空気圧という）が圧
縮空気吐出孔４ｂを経て、矢印１４で示すように、内周
砥石１１への両側から切断溝２の砥石入口部２ａへ入り
、砥石地金３Ａと切断用インゴット５との間隙、および
砥石地金３Ａとウェー・６との間隙へ流れる。それぞれ
の間隙へ流入した圧縮空気の砥石回転方向１５に沿って
の圧力分布は、第５図に示すようになる。この圧力分布
を有する圧縮空気の作用によって、砥石地金３Ａとウェ
ハ６との間に斥力が働く。この斥力の大きさは、前記し
た吸引力よりも大きく、まだ、ウェハ６の両面の加工変
質層に生ずる内部応力のアンバランスによる曲げモーメ
ントよりも犬きい。この斥力によるウエノ・６の変形量
は、砥石切込量Ｃ（第２図参照）に対して、第６図の曲
線８（−次空気圧＝＝＝ １１．、 ／ Ｃ，、の場合
）９曲線７（−次空気圧−２Ｋｇ／ ｃｒｌの場合）の
ようになり、たとえば−次空気圧が２ Ｋｇ／ ｃｒｔ
ｔ 、切込量８０配の場合、ウェハ６は砥石地金３Ａか
ら約８０μｍ引き離されて、砥石地金３八に接触するこ
とはない。これに対して、圧縮空気を流入させない場合
（従来の内周式切断機によって切断した糊合）には、曲
線９のようになり、砥石切込量が９５ｍ以上（たたし、
ウェハ６の直径１００闘の場合）になると、ウェハ６が
砥石地金３に吸引されて接触してしまう。
砥石１１Ａが砥石回転方向１５へ回転し、切断用インゴ
ット５が、圧縮空気流入装置４とともに試料移動方向１
６へ移動する。そして、内周砥石１１Ａが圧縮空気流入
装置４の上ノズル４Ｃと下ノズル４ｄとの間に位置した
状態で、砥粒層１によって切断用インゴット５の切断が
行なわれる。切断溝２の砥石地金３Ａとウエノ・６との
間にクーラント（図示せず）が供給されるとともに、圧
縮空気流入装置４の圧縮空気導入部４ａへ供給された圧
縮空気（この供給空気の圧力を一次空気圧という）が圧
縮空気吐出孔４ｂを経て、矢印１４で示すように、内周
砥石１１への両側から切断溝２の砥石入口部２ａへ入り
、砥石地金３Ａと切断用インゴット５との間隙、および
砥石地金３Ａとウェー・６との間隙へ流れる。それぞれ
の間隙へ流入した圧縮空気の砥石回転方向１５に沿って
の圧力分布は、第５図に示すようになる。この圧力分布
を有する圧縮空気の作用によって、砥石地金３Ａとウェ
ハ６との間に斥力が働く。この斥力の大きさは、前記し
た吸引力よりも大きく、まだ、ウェハ６の両面の加工変
質層に生ずる内部応力のアンバランスによる曲げモーメ
ントよりも犬きい。この斥力によるウエノ・６の変形量
は、砥石切込量Ｃ（第２図参照）に対して、第６図の曲
線８（−次空気圧＝＝＝ １１．、 ／ Ｃ，、の場合
）９曲線７（−次空気圧−２Ｋｇ／ ｃｒｌの場合）の
ようになり、たとえば−次空気圧が２ Ｋｇ／ ｃｒｔ
ｔ 、切込量８０配の場合、ウェハ６は砥石地金３Ａか
ら約８０μｍ引き離されて、砥石地金３八に接触するこ
とはない。これに対して、圧縮空気を流入させない場合
（従来の内周式切断機によって切断した糊合）には、曲
線９のようになり、砥石切込量が９５ｍ以上（たたし、
ウェハ６の直径１００闘の場合）になると、ウェハ６が
砥石地金３に吸引されて接触してしまう。
砥石地金３Ａとウェー・６との間隙へ流入した圧縮空気
は、前述したように、ウェハ６を砥石地金３Ａから引き
離して下方へ押下けるとともに、砥石地金３八を押上げ
ようとするが、切断用インゴット５と砥石地金３Ａとの
間隙へも圧縮空気が流入するので、上下方向から砥石地
金３Ａに加わる空気圧がバランスし、砥石地金３Ａの変
形量は、第７図の曲線１７（上ノズル４ｃの一次空気圧
＝Ｉ Ｋｇ／ ｃｔｒｌ 、下ノズル４ｄの一次空気圧
＝２にり／ｃｄとした場合）のようにきわめて少ない。
は、前述したように、ウェハ６を砥石地金３Ａから引き
離して下方へ押下けるとともに、砥石地金３八を押上げ
ようとするが、切断用インゴット５と砥石地金３Ａとの
間隙へも圧縮空気が流入するので、上下方向から砥石地
金３Ａに加わる空気圧がバランスし、砥石地金３Ａの変
形量は、第７図の曲線１７（上ノズル４ｃの一次空気圧
＝Ｉ Ｋｇ／ ｃｔｒｌ 、下ノズル４ｄの一次空気圧
＝２にり／ｃｄとした場合）のようにきわめて少ない。
なお、曲線１８．１９は、それぞれ上ノズル４ｃ（−次
空気圧” Ｉ Ｋ９／ｃｎｌ ） 、下／ ７：ｋ ４
ｄ （−次空気圧＝２ Ｋ９／ ｃｒｔｌ ）のみか
ら圧縮空気を流入させたときの砥石地金３への変形量で
ある。
空気圧” Ｉ Ｋ９／ｃｎｌ ） 、下／ ７：ｋ ４
ｄ （−次空気圧＝２ Ｋ９／ ｃｒｔｌ ）のみか
ら圧縮空気を流入させたときの砥石地金３への変形量で
ある。
このように、砥石地金３への変形量が小さく、また空気
圧による制振効果にょシ内周砥石１１Ａの振動が減少し
、さらに、ウェハ６と砥石地金３Ａとの接触がないこと
により、内周砥石１１Ａの切断加工中の変位が著しく減
少し、第８図の実線で示すように、切断面のうねりが減
少して切断の精度が向上する。なお、破線で示す曲線は
、従来の内周式切断後で切断したウェハの切断面形状で
ある。
圧による制振効果にょシ内周砥石１１Ａの振動が減少し
、さらに、ウェハ６と砥石地金３Ａとの接触がないこと
により、内周砥石１１Ａの切断加工中の変位が著しく減
少し、第８図の実線で示すように、切断面のうねりが減
少して切断の精度が向上する。なお、破線で示す曲線は
、従来の内周式切断後で切断したウェハの切断面形状で
ある。
以下具体的に、切代の低減の効果を説明する。
砥石地金３Ａの厚さｔｂ を、従来と同じ＜０．１〜０
．１４ｍとする。砥石地金３Ａの空気圧による変形量は
、第７図の曲線１７で示すように無視できる程度である
が、切断加工時の反り約２０μｍを考慮して、段差の寸
法ｅ′を安全側に見てｅ′＝３０μｍとすると、内周砥
石１１Ａの厚さｔ′は、 ｔ′” ｔ ｂ ＋２６ ’ ＝ （０，１〜０．１’４ ）＋２ Ｘ Ｏ，０３０＝
０．１６〜０．２０助 これに、砥石地金の振れ量δ′を加えるが、この振れ量
δ′は、砥石地金３Ａが空気圧で上下から押えられるの
で５０μｍから２０μｍに減少する。
．１４ｍとする。砥石地金３Ａの空気圧による変形量は
、第７図の曲線１７で示すように無視できる程度である
が、切断加工時の反り約２０μｍを考慮して、段差の寸
法ｅ′を安全側に見てｅ′＝３０μｍとすると、内周砥
石１１Ａの厚さｔ′は、 ｔ′” ｔ ｂ ＋２６ ’ ＝ （０，１〜０．１’４ ）＋２ Ｘ Ｏ，０３０＝
０．１６〜０．２０助 これに、砥石地金の振れ量δ′を加えるが、この振れ量
δ′は、砥石地金３Ａが空気圧で上下から押えられるの
で５０μｍから２０μｍに減少する。
したがって、切代の最小限界はｔ′＋δ′＝０１８〜０
２２鯛となり、従来の０．２８〜ｏ、３５喘に比較して
、０．１０〜０．１３ｒｒｔｍ低減する。
２２鯛となり、従来の０．２８〜ｏ、３５喘に比較して
、０．１０〜０．１３ｒｒｔｍ低減する。
以上説明した実施例によれば、切代の低減にょシ材料歩
留りが向上する。また、切断面のうねシが減少するので
、切断の次の工程でるるラッピングもしくは研削におけ
る加工代を低減でき、ウェハ、たとえばシリコン、ＧＧ
Ｇなどのウェハの製造コストを大幅に低減することがで
きる。
留りが向上する。また、切断面のうねシが減少するので
、切断の次の工程でるるラッピングもしくは研削におけ
る加工代を低減でき、ウェハ、たとえばシリコン、ＧＧ
Ｇなどのウェハの製造コストを大幅に低減することがで
きる。
また、うねりの中でも波長の太きいものは、ラッピング
で修正できないので、たとえば、ウェハ上にＬＳＩなど
のパターンを形成する工程の障害になっているが、本実
施例の内周式切断機で切断したウェハには、波長の大き
いうねりがほとんどないので、前記パターン形成工程に
おける歩留シ向上に寄与するという効果もある。
で修正できないので、たとえば、ウェハ上にＬＳＩなど
のパターンを形成する工程の障害になっているが、本実
施例の内周式切断機で切断したウェハには、波長の大き
いうねりがほとんどないので、前記パターン形成工程に
おける歩留シ向上に寄与するという効果もある。
第９図は、本発明の他の実施例に係る内周式切断機の要
部を示す平面図、第１０図は、第９図のＸ−Ｘ断面図で
ある。
部を示す平面図、第１０図は、第９図のＸ−Ｘ断面図で
ある。
各図において、第２図と同一番号を付したものは同一部
分である。そして、２０は、切断溝２の砥石入口部２ａ
へ内周砥石１１への両側から空気を流入させることがで
きる流線形状の空気導入部２０ａを有する、所定間隔ｄ
ｏだけ離間して対向して配設された一対の上ガイド２０
ｂ、下ガイド２０Ｃからなる空気流入ガイドであり、こ
の空気流入ガイド２０は、試料テーブル（図示せず）に
よって、切断用インゴット５とともに移動可能に保持さ
れている。
分である。そして、２０は、切断溝２の砥石入口部２ａ
へ内周砥石１１への両側から空気を流入させることがで
きる流線形状の空気導入部２０ａを有する、所定間隔ｄ
ｏだけ離間して対向して配設された一対の上ガイド２０
ｂ、下ガイド２０Ｃからなる空気流入ガイドであり、こ
の空気流入ガイド２０は、試料テーブル（図示せず）に
よって、切断用インゴット５とともに移動可能に保持さ
れている。
このように空気流入ガイド２０を装着せしめることによ
り、内周式切断機をＯＮにして、内周砥石１１Ａが砥石
回転方向１５へ回転すると、矢印２１で示すように、空
気導入部２０ａ近傍の空気が、砥石地金３Ａに連れ捷わ
り、砥石入口部２ａに近接するにつれて空気導入部２０
ａで圧縮されながら、内周砥石１１への両側から切断溝
２の砥石入口部２ａへ入り、砥石地金３Ａと切断用イン
ゴット５との間隙、および砥石地金３Ａとウェハ６との
間隙へ流れる。このように流入した空気は、前記実施例
における圧縮空気とほぼ同等の作用をなし、ウェハ６と
砥石地金３Ａとの接触を防止するとともに、砥石地金３
Ａの振れを小さくすることができる。したがって、切代
を小さくし、切断面のうねりを低減させるという効果が
ある。
り、内周式切断機をＯＮにして、内周砥石１１Ａが砥石
回転方向１５へ回転すると、矢印２１で示すように、空
気導入部２０ａ近傍の空気が、砥石地金３Ａに連れ捷わ
り、砥石入口部２ａに近接するにつれて空気導入部２０
ａで圧縮されながら、内周砥石１１への両側から切断溝
２の砥石入口部２ａへ入り、砥石地金３Ａと切断用イン
ゴット５との間隙、および砥石地金３Ａとウェハ６との
間隙へ流れる。このように流入した空気は、前記実施例
における圧縮空気とほぼ同等の作用をなし、ウェハ６と
砥石地金３Ａとの接触を防止するとともに、砥石地金３
Ａの振れを小さくすることができる。したがって、切代
を小さくし、切断面のうねりを低減させるという効果が
ある。
以上説明した本実施例は、空気流入ガイド２０へ圧縮空
気を供給する必要がないので、第２図に係る前記実施例
に比べて構成が簡単になるという実用的な効果があるが
、前記実施例は、それぞれ上ノズル４ｃ、下ノズル４ｄ
へ供給する圧縮空気の−医学気圧を調整することにより
、砥石地金３八に加わる空気圧をバランスさせてこの砥
石地金３Ｎの変形量を最小にすることができるという点
で本実施例よりも優れている。
気を供給する必要がないので、第２図に係る前記実施例
に比べて構成が簡単になるという実用的な効果があるが
、前記実施例は、それぞれ上ノズル４ｃ、下ノズル４ｄ
へ供給する圧縮空気の−医学気圧を調整することにより
、砥石地金３八に加わる空気圧をバランスさせてこの砥
石地金３Ｎの変形量を最小にすることができるという点
で本実施例よりも優れている。
以上詳細に説明したように本発明によれば、切代が小さ
く且つ高精度に切断することができる内周式切断機を提
供することができる。
く且つ高精度に切断することができる内周式切断機を提
供することができる。
第１図は、従来の内周式切断機によって試料を切断して
いる状態を示す要部断面図、第２図は、本発明の一実施
列に係る内周式切断機の要部を示す平面図、第３図は、
第２図の■−川川面面図第４図は、第２図のＩＶ−ＩＶ
断面拡大図、第５図は、第３図における切断溝の砥石入
口部へ圧縮空気を流入させたときの、砥石回転方向に沿
っての圧力分布図、第６図は、前記圧縮空気によるウェ
ハの変形量を示すウェハの変形特性図、第７図は、前記
圧縮空気による砥石地金の変形量を示す砥石地金の変形
特性図、第８図は、第２図に係る内周式切断機によって
切断機によって切断したウェハの切断面形状を拡大して
示す模式図、第９図は、本発明の他の実施例に係る内周
式切断機の要部を示す平面図、第１０図は、第９図のＸ
−Ｘ断面図である。 １・・・砥粒層、２・・・切断溝、２ａ・・・砥石入口
部、３Ｎ・・・砥石地金、３ａ・・・砥粒伺着部、４・
・・圧縮空気流入装置、４ｃ・・・上ノズル、４ｄ・・
・下ノズル、５・・・切断用インゴット、６・・・ウェ
ハ、１１Ａ・・・内周砥石、１５・・・砥石回転方向、
１６・・・試料移動方向、２０・・・空気流入ガイド、
２０ｂ・・・上ガイド、２０Ｃ・・・下ガイド。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 第 １ 凶 ｖ４ 図 茅ｇ 固 マ 茅７月 事 ３ 図 第 １０ 囚
いる状態を示す要部断面図、第２図は、本発明の一実施
列に係る内周式切断機の要部を示す平面図、第３図は、
第２図の■−川川面面図第４図は、第２図のＩＶ−ＩＶ
断面拡大図、第５図は、第３図における切断溝の砥石入
口部へ圧縮空気を流入させたときの、砥石回転方向に沿
っての圧力分布図、第６図は、前記圧縮空気によるウェ
ハの変形量を示すウェハの変形特性図、第７図は、前記
圧縮空気による砥石地金の変形量を示す砥石地金の変形
特性図、第８図は、第２図に係る内周式切断機によって
切断機によって切断したウェハの切断面形状を拡大して
示す模式図、第９図は、本発明の他の実施例に係る内周
式切断機の要部を示す平面図、第１０図は、第９図のＸ
−Ｘ断面図である。 １・・・砥粒層、２・・・切断溝、２ａ・・・砥石入口
部、３Ｎ・・・砥石地金、３ａ・・・砥粒伺着部、４・
・・圧縮空気流入装置、４ｃ・・・上ノズル、４ｄ・・
・下ノズル、５・・・切断用インゴット、６・・・ウェ
ハ、１１Ａ・・・内周砥石、１５・・・砥石回転方向、
１６・・・試料移動方向、２０・・・空気流入ガイド、
２０ｂ・・・上ガイド、２０Ｃ・・・下ガイド。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 第 １ 凶 ｖ４ 図 茅ｇ 固 マ 茅７月 事 ３ 図 第 １０ 囚
Claims (1)
- １、 ドーナツ状の砥石地金に砥粒層を形成してなる内
周砥石を、砥石面内で回転させながら、前記内周砥石の
内周側に配設され、試料テーブルで保持された試料を該
内周砥石の半径方向に移動させることにより、前記砥粒
層で前記試料を切断するようにしだ内り断機において、
内周砥石を、砥石地金の内周の砥粒を付着させる部分を
他の部分よりも薄肉にし、この部分に砥粒層を形成した
内周砥石にし、試料に形成される切断溝の砥石入口部へ
前記内周砥石の上下側から圧縮空気もしくは空気を流入
させることができる圧縮空気流入装置もしくは空気流入
ガイドを、試料テーブルに保持せしめて前記試料と同期
して移動させるようにしたことを特徴とする内周式切断
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10937683A JPS602310A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 内周式切断機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10937683A JPS602310A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 内周式切断機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS602310A true JPS602310A (ja) | 1985-01-08 |
Family
ID=14508668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10937683A Pending JPS602310A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 内周式切断機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS602310A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62142613A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-26 | 株式会社日立製作所 | 半導体ウェハ回収方法 |
| JP2013169618A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Tdk Corp | 切削加工装置 |
-
1983
- 1983-06-20 JP JP10937683A patent/JPS602310A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62142613A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-26 | 株式会社日立製作所 | 半導体ウェハ回収方法 |
| JP2013169618A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Tdk Corp | 切削加工装置 |
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