JP2013165167A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013165167A JP2013165167A JP2012027403A JP2012027403A JP2013165167A JP 2013165167 A JP2013165167 A JP 2013165167A JP 2012027403 A JP2012027403 A JP 2012027403A JP 2012027403 A JP2012027403 A JP 2012027403A JP 2013165167 A JP2013165167 A JP 2013165167A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- drift layer
- semiconductor device
- substrate
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 115
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 83
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 22
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 24
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 19
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 13
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 222
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 21
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- -1 boron ions Chemical class 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 2
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】n+型SiCからなる基板5と、基板5上に形成されたn−型SiCからなるドリフト層6と、ドリフト層6上に形成され、ドリフト層6との間にショットキー障壁を形成するアノード電極11とを含む半導体装置1において、ドリフト層6の厚さ方向中央部に対して基板5側にドリフト層6に接するように、ドリフト層6とは異なるドーパントを有する半導体または絶縁体からなる複数の容量低減層7を形成する。
【選択図】図2
Description
たとえば、特許文献1の図1は、SiCが採用されたショットキーバリアダイオードを開示している。当該ショットキーバリアダイオードは、n型4H−SiCバルク基板と、バルク基板上に成長したn型のエピタキシャル層と、エピタキシャル層の表面に形成され、エピタキシャル層の表面を部分的に露出させる酸化膜と、酸化膜の開口内に形成され、エピタキシャル層に対してショットキー接合するショットキー電極とを備えている。
このような前記容量低減層は、前記基板の一部を選択的に利用して、全体が前記基板の表面部に埋め込まれるように形成され、前記基板と前記ドリフト層との界面を形成していることが好ましい(請求項2)。
また、前記容量低減層は、前記ドリフト層の一部を選択的に利用して、全体が前記ドリフト層内において前記基板と前記ドリフト層との界面から離れた位置に埋め込まれるように形成されていてもよいし(請求項3)、前記基板および前記ドリフト層の一部を選択的に利用して、前記基板と前記ドリフト層との界面を横切って前記基板および前記ドリフト層の両方に埋め込まれるように形成されていてもよい(請求項4)。
具体的には、前記容量低減層は、ストライプ状に配列されていてもよいし(請求項6)、行列状に配列されていてもよいし(請求項7)、隣り合う前記容量低減層を互い違いにずらした千鳥状に配列されていてもよい(請求項8)。
また、前記容量低減層は、前記基板よりも高い抵抗を有する高抵抗層を含むことが好ましい(請求項9)。具体的には、前記ドリフト層が、ドーパントとしてN(窒素)、P(リン)またはAs(ひ素)を含むn型半導体からなる場合、ドーパントとしてV(バナジウム)、Ar(アルゴン)、He(ヘリウム)、B(ホウ素)またはAl(アルミニウム)を含む半導体からなっていてもよい(請求項10)。
また、この発明の半導体装置は、前記ドリフト層の表面の近傍に選択的に形成され、当該表面における電界強度を緩和するための電界緩和部をさらに含むことが好ましい(請求項12)。
前記電界緩和部は、前記ドリフト層の一部を利用して、前記ドリフト層の前記表面に形成された第2導電型の表面半導体層を含んでいてもよい(請求項13)。その場合、前記表面半導体層は、前記ドリフト層の前記表面からドーパントイオンを注入した後、1500℃未満のアニール処理をすることによって形成され、前記ドリフト層の残りの部分よりも高い抵抗を有する高抵抗層を含むことが好ましい(請求項14)。
なお、この1500℃未満のアニール処理とは、注入されたドーパントイオンの衝突によりワイドバンドギャップ半導体の結晶構造に生じた欠陥を回復させるが(結晶性回復)、注入されたドーパントイオンを活性化させない程度のアニール処理のことを意味している。
また、ワイドバンドギャップ半導体(バンドギャップが2eV以上)は、たとえば絶縁破壊電界が1MV/cmよりも大きい半導体であって(請求項17)、具体的には、SiC(たとえば、4H−SiC 絶縁破壊電界が約2.8MV/cmであり、バンドギャップの幅が約3.26eV)、GaN(絶縁破壊電界が約3MV/cmであり、バンドギャップの幅が約3.42eV)、ダイヤモンド(絶縁破壊電界が約8MV/cmであり、バンドギャップの幅が約5.47eV)等である(請求項18)。
図1は、図1は、この発明の第1の実施形態に係る半導体装置の平面図である。図2は、図1の切断面線II−IIから見た断面図である。図3(a)〜(e)は、図1の容量低減層のレイアウト図である。
半導体装置1は、4H−SiCが採用された素子である。4H−SiCは、ワイドバンドギャップ半導体(絶縁破壊電界が2MV/cmよりも大きい半導体)であり、具体的には、その絶縁破壊電界が約2.8MV/cmであり、バンドギャップの幅が約3.26eVである。なお、半導体装置1に採用されるワイドバンドギャップ半導体は、SiCに限らず、たとえば、GaN、ダイヤモンド等であってもよい。GaNは、その絶縁破壊電界は約3MV/cmであり、バンドギャップの幅が約3.42eVである。ダイヤモンドは、その絶縁破壊電界が約8MV/cmであり、バンドギャップの幅が約5.47eVである。半導体装置1の表面は、環状のガードリング2によって、ガードリング2の内側のアクティブ領域3と、ガードリング2の外側の外周領域4とに区画されている。
容量低減層7は、基板5の一部を選択的に利用して、全体が基板5の表面部に埋め込まれるように形成されている。これにより、各容量低減層7は、基板5とドリフト層6との界面(基板5の表面5Aとドリフト層6の裏面6Bとの接触面)を形成している。複数の容量低減層7は、ドリフト層6を表面6A側から見たときに、互いに隣り合う容量低減層7間の距離に関して規則正しく配列されていることが好ましい。
図3(a)は、複数の容量低減層7が、等しい間隔D1を空けてストライプ状に配列されている例である。
図3(c)および図3(d)は、複数の容量低減層7、隣り合う容量低減層7を互い違いにずらした千鳥状に配列されている。すなわち、図の上下方向における各列の容量低減層7が、当該列の横の列の容量低減層7と隣り合わないように互い違いに配列されている。さらに、この例では、図の上下方向における各列の容量低減層7の間隔D3と、図の左右方向における各行の容量低減層の間隔D4が互いに等しくなっている(D3=D4)。また、各容量低減層7の形状は、図3(c)に示すような四角形状であってもよいし、図3(d)に示すような六角形状であってもよい。さらに、図示していないが、三角形状、五角形状、円形状等であってもよい。
ドリフト層6の表面6Aには、ドリフト層6の一部をアクティブ領域3として露出させるコンタクトホール9を有し、当該アクティブ領域3を取り囲む外周領域4を覆うフィールド絶縁膜10が形成されている。
ショットキーメタル12は、ショットキーメタル12は、ドリフト層6との間にショットキー障壁を形成している。また、ショットキーメタル12は、コンタクトホール9に埋め込まれているとともに、フィールド絶縁膜10におけるコンタクトホール9の周縁部を上から覆うように、当該コンタクトホール9の外方へフランジ状に張り出している。すなわち、フィールド絶縁膜10の周縁部は、ドリフト層6およびショットキーメタル12により、全周にわたってその上下両側から挟まれている。したがって、ドリフト層6におけるショットキー接合の外周領域は、フィールド絶縁膜10の周縁部により覆われることとなる。
半導体装置1の各部の詳細について以下に説明を加える。
ガードリング2は、たとえば、p型ドーパントを含む半導体層である。含まれるドーパントとしては、たとえば、B(ホウ素)、Al(アルミニウム)、Ar(アルゴン)等を使用できる。また、ガードリング2の深さは、1000Å〜10000Å程度であってよい。また、ガードリング2のコンタクトホール9の内側へのはみ出し量(幅)は、20μm〜80μm程度であり、コンタクトホール9の外側へのはみ出し量(幅)は、2μm〜20μm程度であってもよい。
このようなドーパントを含む容量低減層7は、この実施形態では、基板5よりも高い抵抗を有する層(高抵抗層)である。
アノード電極11のうちショットキーメタル12は、ドリフト層6に対してショットキー障壁やヘテロ接合を形成する材料、具体的には、前者の一例としての、Mo(モリブデン)、Ti(チタン)、Ni(ニッケル)、Al(アルミニウム)、後者の一例としてのポリシリコン等で構成することができる。一方、コンタクトメタル13は、たとえば、Al(アルミニウム)で構成することができる。すなわち、Al(アルミニウム)で構成された電極は、ドリフト層6にショットキー接合できると共に、コンタクトメタルとしても使用できるので、この場合には、アノード電極11をAl単層の電極として構成することができる。
この半導体装置1では、アノード電極11に正電圧、カソード電極8に負電圧が印加される順方向バイアス状態になることにより、カソード電極8からアノード電極11へと、ドリフト層6のアクティブ領域3を介して電子(キャリア)が移動して電流が流れる。これにより、半導体装置1(ショットキーバリアダイオード)が動作する。
図4Aに示すように、基板5の表面5Aに、容量低減層7の最終形状に対応したレジストパターン18を、フォトリソグラフィによって形成する。このレジストパターンをマスクとして、基板5の表面5Aへ向かって、30keV〜800keVのエネルギでドーパント(たとえば、ホウ素イオン)を注入(一段注入)する。これにより、基板5の表面部に、ホウ素イオンが高濃度に注入された高濃度ドーパント層19が形成される。
その後は、フィールド絶縁膜10、アノード電極11、表面保護膜15、カソード電極8等を形成する。こうして、図2等に示す構造の半導体装置1が得られる。
前述の第1の実施形態では、容量低減層7は、基板5の一部を選択的に利用して、全体が基板5の表面部に埋め込まれるように形成されている。また、容量低減層7は、図5に示すように、ドリフト層6の一部を選択的に利用して、全体がドリフト層6内において基板5とドリフト層6との界面から離れた位置に埋め込まれるように形成されていてもよい。より具体的には、図5の容量低減層7は、ドリフト層6の厚さ方向中央部に対して基板5側のドリフト層6の底部において、基板5とドリフト層6との界面からの距離が互いに等しくなる位置に配列されている。これにより、複数の容量低減層7が同一面内に配列されている。
この実施形態に係る半導体装置61の製造工程は、図4A〜図4Cに示した工程と実質的に同様である。ただし、基板5に対するイオン注入工程およびアニール工程を行うのに加えて、ドリフト層6の形成を、ドリフト層6の最終形状の厚さ方向中央部に対して基板5側の位置まで成長させる第1成長工程と、当該第1成長工程後、前記最終形状に至るまでにドリフト層6を成長させる第2成長工程とに分ける。当該第1成長工程後、第2成長工程前に、図4Aおよび図4Bに示したイオン注入工程およびアニール工程をドリフト層6に対して行う。このイオン注入工程は、注入したドーパントイオンがドリフト層6の裏面6Bに達するようなエネルギ条件で行う。これにより、基板5に注入されたドーパントイオンによる層と、ドリフト層6に注入されたドーパントイオンとを一体化させて、基板5とドリフト層6との界面を横切る容量低減層7を形成することができる。
この実施形態に係る半導体装置71の製造工程は、図4A〜図4Cに示した工程と実質的に同様である。ただし、基板5に対してイオン注入工程およびアニール工程を行わず(つまり、図4Aおよび図4Bの工程を省略する。)、代わりに、基板5の表面5Aから掘り下がったトレンチを形成する工程と、当該トレンチを絶縁体で埋め込む工程とを行えばよい。トレンチの形成は、たとえば、ドライエッチングによって行い、絶縁体の埋め込みは、たとえば、プラズマCVDおよびエッチバックによって行う。
また、ドリフト層6の表面6Aにおける電界強度を緩和するための構造として、図9に示す実施形態では、ドリフト層6の表面6Aには、当該表面6Aから掘り下がった電界緩和部としてのトレンチ92が形成されている。さらに、トレンチ92の内面には、第2導電型としてのp型ドーパントを含む内部半導体層93が形成されている。内部半導体層93は、トレンチ92の底面からトレンチ92の開口端に至るまで、トレンチ92の内面全域に形成されている。なお、内部半導体層93は、トレンチ92の底面のみというように、トレンチ92の内面の一部に形成されていてもよい。また、アノード電極11は、トレンチ92に埋め込まれ、トレンチ92内において内部半導体層93に接している。
当該トレンチ92の内面にイオン注入し、アニール処理することにより、トレンチ92内の一部または全部に内部半導体層93を形成する工程とを行えばよい。トレンチ92の形成は、たとえば、ドライエッチングによって行う。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
たとえば、前述の半導体装置1,51,61,71,81,91の各半導体部分の導電型を反転した構成が採用されてもよい。たとえば、半導体装置1において、p型の部分がn型であり、n型の部分がp型であってもよい。
5 基板
5A 表面
5B 裏面
6 ドリフト層
6A 表面
6B 裏面
7 容量低減層
11 アノード電極
51 半導体装置
61 半導体装置
71 半導体装置
81 半導体装置
82 表面半導体層
91 半導体装置
92 トレンチ
93 内部半導体層
Claims (18)
- 第1導電型のワイドバンドギャップ半導体からなる基板と、
前記基板上に形成された第1導電型のワイドバンドギャップ半導体からなるドリフト層と、
前記ドリフト層上に形成され、前記ドリフト層との間にショットキー障壁を形成する電極と、
前記ドリフト層の厚さ方向中央部に対して前記基板側に前記ドリフト層に接するように形成され、前記ドリフト層とは異なるドーパントを有する半導体または絶縁体からなる複数の容量低減層とを含む、半導体装置。 - 前記容量低減層は、前記基板の一部を選択的に利用して、全体が前記基板の表面部に埋め込まれるように形成され、前記基板と前記ドリフト層との界面を形成している、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記容量低減層は、前記ドリフト層の一部を選択的に利用して、全体が前記ドリフト層内において前記基板と前記ドリフト層との界面から離れた位置に埋め込まれるように形成されている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記容量低減層は、前記基板および前記ドリフト層の一部を選択的に利用して、前記基板と前記ドリフト層との界面を横切って前記基板および前記ドリフト層の両方に埋め込まれるように形成されている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記容量低減層は、前記ドリフト層を表面側から見たときに、互いに隣り合う前記容量低減層間の距離に関して規則正しく配列されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記容量低減層は、ストライプ状に配列されている、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記容量低減層は、行列状に配列されている、請求項5または6に記載の半導体装置。
- 前記容量低減層は、隣り合う前記容量低減層を互い違いにずらした千鳥状に配列されている、請求項5〜7のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記容量低減層は、前記基板よりも高い抵抗を有する高抵抗層を含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ドリフト層が、ドーパントとしてN(窒素)、P(リン)またはAs(ひ素)を含むn型半導体からなり、
前記高抵抗層が、ドーパントとしてV(バナジウム)、Ar(アルゴン)、He(ヘリウム)、B(ホウ素)またはAl(アルミニウム)を含む半導体からなる、請求項9に記載の半導体装置。 - 前記容量低減層は、SiO2(酸化シリコン)からなる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ドリフト層の表面の近傍に選択的に形成され、当該表面における電界強度を緩和するための電界緩和部をさらに含む、請求項1〜11のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記電界緩和部は、前記ドリフト層の一部を利用して、前記ドリフト層の前記表面に形成された第2導電型の表面半導体層を含む、請求項12に記載の半導体装置。
- 前記表面半導体層は、前記ドリフト層の前記表面からドーパントイオンを注入した後、1500℃未満のアニール処理をすることによって形成され、前記ドリフト層の残りの部分よりも高い抵抗を有する高抵抗層を含む、請求項13に記載の半導体装置。
- 前記電界緩和部は、前記ドリフト層の前記表面から掘り下がったトレンチを含む、請求項12〜14のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記電界緩和部は、前記トレンチ内の一部または全部に形成された第2導電型の内部半導体層をさらに含む、請求項15に記載の半導体装置。
- 前記ワイドバンドギャップ半導体の絶縁破壊電界が1MV/cmよりも大きい、請求項1〜16のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ワイドバンドギャップ半導体が、SiC、GaNまたはダイヤモンドである、請求項1〜17のいずれか一項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012027403A JP6061175B2 (ja) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012027403A JP6061175B2 (ja) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013165167A true JP2013165167A (ja) | 2013-08-22 |
JP6061175B2 JP6061175B2 (ja) | 2017-01-18 |
Family
ID=49176350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012027403A Active JP6061175B2 (ja) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6061175B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015149373A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 住友電気工業株式会社 | ダイオード |
JP2015149374A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 住友電気工業株式会社 | ダイオード |
JP2015162572A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 住友電気工業株式会社 | ワイドバンドギャップ半導体装置 |
JP2021077730A (ja) * | 2019-11-07 | 2021-05-20 | 豊田合成株式会社 | ショットキーバリアダイオードとその製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004327824A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 半導体装置 |
JP2006148015A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Toyota Motor Corp | へテロ接合型のiii−v族化合物半導体装置とその製造方法 |
JP2007305609A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007324218A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Toshiba Corp | 半導体整流素子 |
JP2007329385A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2008172008A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Toshiba Corp | SiCショットキー障壁半導体装置 |
JP2010016065A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ショットキーバリアダイオードおよびその製造方法 |
JP2010045158A (ja) * | 2008-08-12 | 2010-02-25 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体装置 |
-
2012
- 2012-02-10 JP JP2012027403A patent/JP6061175B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004327824A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 半導体装置 |
JP2006148015A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Toyota Motor Corp | へテロ接合型のiii−v族化合物半導体装置とその製造方法 |
JP2007305609A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007324218A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Toshiba Corp | 半導体整流素子 |
JP2007329385A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Denso Corp | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2008172008A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Toshiba Corp | SiCショットキー障壁半導体装置 |
JP2010016065A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ショットキーバリアダイオードおよびその製造方法 |
JP2010045158A (ja) * | 2008-08-12 | 2010-02-25 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015149373A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 住友電気工業株式会社 | ダイオード |
JP2015149374A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 住友電気工業株式会社 | ダイオード |
JP2015162572A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 住友電気工業株式会社 | ワイドバンドギャップ半導体装置 |
JP2021077730A (ja) * | 2019-11-07 | 2021-05-20 | 豊田合成株式会社 | ショットキーバリアダイオードとその製造方法 |
JP7276078B2 (ja) | 2019-11-07 | 2023-05-18 | 豊田合成株式会社 | ショットキーバリアダイオードとその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6061175B2 (ja) | 2017-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5858934B2 (ja) | 半導体パワーデバイスおよびその製造方法 | |
JP6065335B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6112600B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP6061181B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5739813B2 (ja) | 半導体装置 | |
US10361266B2 (en) | Semiconductor device | |
JP6844163B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置 | |
JP6065198B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
WO2015060441A1 (ja) | 半導体装置および半導体パッケージ | |
WO2013015421A1 (ja) | 半導体装置 | |
WO2014104100A1 (ja) | 半導体装置 | |
WO2014129404A1 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6103839B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2012186318A (ja) | 高耐圧半導体装置 | |
JP2013089723A (ja) | 半導体装置 | |
JP2018110165A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2012174895A (ja) | 高耐圧半導体装置 | |
JP5999678B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP6061175B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2019216223A (ja) | 半導体装置 | |
JP2014041920A (ja) | 半導体装置 | |
US9876124B2 (en) | Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method | |
JP2021044274A (ja) | 半導体装置 | |
JP2014086431A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP6667584B2 (ja) | ショットキーバリアダイオード |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6061175 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |