JP2013149877A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外的刺激を付与することで硬化する接着剤27でウエーハ11の表面を被覆する被覆ステップと、接着剤27に外的刺激を付与して半硬化状態にさせる半硬化ステップと、接着剤側から切削ブレードでウエーハ11の外周縁に沿って切り込み、少なくともウエーハ11の表面から仕上げ厚みに至る深さまでの面取り部を接着剤とともに切削して除去する切削ステップと、ウエーハ11の接着剤上に支持基板を貼着するとともに外的刺激を付与して接着剤11を完全硬化させてウエーハ11と支持基板とを貼り合わせる貼り合わせステップと、貼り合わせウエーハの支持基板側をチャックテーブルで保持してウエーハの裏面を研削し、ウエーハ11を所定の厚みへと薄化する研削ステップと、ウエーハ11の裏面をドライエッチングするエッチングステップと、を具備した。
【選択図】図5
Description
4 切削ブレード
11 半導体ウエーハ
15 半導体回路
16 研削ユニット
22 研削ホイール
23 面取り部
25 電極ポスト(埋め込み電極)
27 接着剤
30 プラズマエッチング装置
31 支持基板
32 ハウジング
33 貼り合わせウエーハ
34 プラズマエッチングチャンバー
36 上部電極
38 下部電極
Claims (2)
- 外周に面取り部を有するウエーハの加工方法であって、
外的刺激を付与することで硬化する接着剤でウエーハの表面を被覆する被覆ステップと、
該被覆ステップを実施した後、該接着剤に外的刺激を付与して接着性が残存する半硬化状態に該接着剤を半硬化させる半硬化ステップと、
該半硬化ステップを実施した後、該接着剤側から切削ブレードでウエーハの外周縁に沿って切り込み、少なくともウエーハの表面から仕上げ厚みに至る深さまでの該面取り部を該接着剤とともに切削して除去する切削ステップと、
該切削ステップを実施した後、ウエーハの該接着剤上に支持基板を貼着するとともに該外的刺激を付与して該接着剤を完全硬化させてウエーハと該支持基板とを貼り合わせ合わせて貼り合わせウエーハを形成する貼り合わせステップと、
該貼り合わせステップを実施した後、該貼り合わせウエーハの該支持基板側をチャックテーブルで保持してウエーハの裏面を研削し、ウエーハを所定の厚みへと薄化する研削ステップと、
該研削ステップを実施した後、ウエーハの該裏面をドライエッチングするエッチングステップと、
を具備したことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 前記ウエーハは少なくとも表面から仕上げ厚みに至る複数の電極ポストが内部に埋設されたウエーハから構成され、
前記研削ステップでは、ウエーハの裏面を研削して該仕上げ厚みへと薄化するとともに該裏面に該電極ポストを露出させ、
該エッチングステップでは、ウエーハの該裏面をドライエッチングして該電極ポストの端面を該裏面から突出させる請求項1記載のウエーハの加工方法。
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