JP2013141735A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨パッド10を支持する研磨テーブル12と、被研磨物を回転させながら研磨パッド10に押圧するトップリング14を有する研磨ヘッド16と、研磨パッド10をドレッシングするドレッサ20を有するドレッサヘッド22とを有し、研磨ヘッド16の主要部は、内部にパージガスを導入するパージガス導入部64と内部を排気する排出部66とを有し、内部圧力が外部圧力よりやや高い圧力に設定される研磨ヘッドカバー24内に収容されている。
【選択図】図2
Description
例えば、パージガスとしてN2ガスを使用し、圧力0.2MPaで、流量50L/minのN2ガス(パージガス)をヘッドカバー内に導入することで、ヘッドカバーの内部圧力を外部圧力よりやや高い圧力に調整できる。
このように、ノルシール等の密閉シールを各部材の接合部に介装してヘッドカバーを構成することで、ヘッドカバー内部の密閉性をより高めることができる。
図1は、本発明の実施形態の研磨装置の概要を示す斜視図である。図1に示すように、この研磨装置は、上面を研磨面10aとした研磨パッド10と、上面に研磨パッド10を取付けた研磨テーブル12と、半導体ウェハなどの基板(被研磨物)を研磨パッド10の研磨面(上面)10aに摺接させて研磨するトップリング14を有する研磨ヘッド16と、研磨パッド10の研磨面10aの目立て(ドレッシング)を行うドレッサ20を有するドレッサヘッド22とを備えている。研磨テーブル12は、図示しないモータに連結されており、このモータによって、研磨テーブル12および研磨パッド10は、矢印で示す方向に回転する。
10a 研磨面
12 研磨テーブル
14 トップリング
16 研磨ヘッド
20 ドレッサ
22 ドレッサヘッド
24 研磨ヘッドカバー
26 研磨ヘッド揺動軸
28 トップリング駆動軸
30 ドレッサヘッドカバー
32 ドレッサヘッド揺動軸
34 回転軸
36 補助ドレッサ揺動アーム
38 ドレッサ駆動軸
44 トップリング揺動アーム
46 トップリング駆動用モータ
48 トップリング昇降機構
50 側板
52 端板
54 底板
56 天板
58a,58b,58c,58d,58e,58f 密閉シール
62 支持具
64 パージガス導入部
66 排気部
68 パージガス導入管
70 排気管
72 パージガス導入ライン
74 レギュレータ
76 流量計
78 排気ライン
80 側板
82 底板
84 天板
86 主ドレッサ揺動アーム
88 パージガス導入部
90 排気部
92 パージガス導入管
94 半管パイプ
96 排気路
Claims (4)
- 研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
被研磨物を回転させながら前記研磨パッドに押圧するトップリングを有する研磨ヘッドと、
前記研磨パッドをドレッシングするドレッサを有するドレッサヘッドとを有し、
前記研磨ヘッド及び前記ドレッサヘッドの少なくとも一方の主要部は、内部にパージガスを導入するパージガス導入部と内部を排気する排出部とを有し、内部圧力が外部圧力よりやや高い圧力に設定されるヘッドカバー内に収容されていることを特徴とする研磨装置。 - 前記ヘッドカバー内に導入されるパージガスの圧力は、0.15〜0.25MPaで、流量は、40〜60L/minであることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記ヘッドカバーは、複数の板状部材を接合して中空ボックス状に形成され、各部材の接合部には、密閉シールが介装されていることを特徴とする請求項1または2記載の研磨装置。
- 前記密閉シールは、ノルシールであることを特徴とする請求項3記載の研磨装置。
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