JP2013115208A - 気化原料供給装置、これを備える基板処理装置、及び気化原料供給方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体原料を貯留する貯留タンクと、前記貯留タンクを第1の温度に制御する第1の温度制御部と、前記貯留タンク内にキャリアガスを導入するキャリアガス導入管と、前記貯留タンクに接続され、前記キャリアガス導入管から前記貯留タンク内に導入された前記キャリアガスに前記液体原料の蒸気が含まれることにより生成される処理ガスを前記貯留タンクから流出させる処理ガス導出管と、前記処理ガス導出管が接続される流入口、前記流入口から流入する前記処理ガスを流出させる流出口を備える容器と、前記容器内の前記流入口と前記流出口の間に設けられ、前記処理ガスの流れを妨げる障害部材と、前記容器を前記第1の温度よりも低い第2の温度に制御する第2の温度制御部とを備える気化原料供給装置により上述の課題が達成される。
【選択図】図3
Description
図1に示すように、バブラー10は、例えば溶剤や疎水化処理剤などの常温で液体の原料Lを貯留するタンク11と、タンク11の周りに配置され、タンク11及びその内部の液体原料Lを加熱する外部ヒータ13と、タンク11及び外部ヒータ13を取り囲むように配置される断熱部材15とを備える。
なお、キャリアガスとしては、ヘリウム(He)ガスやアルゴン(Ar)ガスなどの希ガスや窒素ガスなどを用いることができる。
次に、上述のバブラーと接続される、本発明の実施形態による気化原料供給装置が備えるガス飽和器について図2を参照しながら説明する。
図2に示すように、ガス飽和器20は、ケース21と、ケース21の周りを取り囲む断熱部材23とを有している。
また、ケース21の周りを取り囲む断熱部材23は、タンク11に用いられる断熱部材15と同様に構成されている。
また、上述のとおり、ガス飽和器20のケース21の底部に形成される液体ポート21gには、戻り配管21jが接続されており、戻り配管21jは、バブラー10の上方部分に接続されている。戻り配管21jには、ポンプ36、フィルタ37、及び開閉バルブ38が設けられている。ガス飽和器20のケース21の底部に溜まった液体原料は、開閉バルブ38を開くとともにポンプ36を起動することにより、ケース21からタンク11へと還流する。
基板処理装置100には気化原料供給装置30が接続されているため、基板処理装置100の使用に際しても、気化原料供給装置30による効果が発揮される。
タンク11に貯留される液体原料としてHMDSを例示したが、これに限らず、他の疎水化処理材や、現像液、リンス液(シンナー)、純水、過酸化水素水などの液体原料を基板処理に応じて貯留し、その蒸気(又は気体)とキャリアガスとからなる処理ガスを基板処理装置へ供給してもよい。
また、上述の実施形態においては、タンク11に外部ヒータ13及び断熱部材15が設けられているが、これらに代わり恒温槽を用いてもよい。また、ガス飽和器20には温度調整板21h及び断熱部材23が設けられているが、これらに代わり恒温槽を用いてもよい。この場合、バッフル板21dは温度調整可能であっても無くても良い。また、温度調整板21hを用いない場合には、ケース21の内壁とバッフル板21dとの間に隙間ができ、これによりガス流路が形成される。
また、戻り配管21jは、タンク11の上方部分にではなく、側面部に接続されても良い。
また、ガス飽和器20内において、フィルタ21fの代わりにミストトラップを設けても良い。
Claims (11)
- 液体原料を貯留する貯留タンクと、
前記貯留タンクを第1の温度に制御する第1の温度制御部と、
前記貯留タンク内にキャリアガスを導入するキャリアガス導入管と、
前記貯留タンクに接続され、前記キャリアガス導入管から前記貯留タンク内に導入された前記キャリアガスに前記液体原料の蒸気が含まれることにより生成される処理ガスを前記貯留タンクから流出させる処理ガス導出管と、
前記処理ガス導出管が接続される流入口、及び前記流入口から流入する前記処理ガスを流出させる流出口を備える容器と、
前記容器内の前記流入口と前記流出口の間に設けられ、前記処理ガスの流れを妨げる障害部材と、
前記容器を前記第1の温度よりも低い第2の温度に制御する第2の温度制御部と
を備える気化原料供給装置。 - 前記流出口に接続される処理ガス供給管と、
前記処理ガス供給管に接続され、前記処理ガス供給管に前記キャリアガスを供給するキャリアガス供給管と
を更に備える、請求項1に記載の気化原料供給装置。 - 前記流出口に接続される処理ガス供給管と、
前記処理ガス供給管から分岐し、当該処理ガス供給管に合流するバイパス管と、
前記バイパス管に設けられる流量計と
を更に備える、請求項1に記載の気化原料供給装置。 - 前記容器が、前記障害部材と前記流出口との間に配置され、前記処理ガスの流通を許容する一又は二以上のフィルタ部材を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の気化原料供給装置。
- 前記容器と前記貯留タンクとを接続し、前記容器内で凝縮した前記液体原料を前記貯留タンクへ流す液体原料配管を更に備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の気化原料供給装置。
- 前記処理ガス導出管を前記第1の温度に調整する第3の温度調整部を更に備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の気化原料供給装置。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の気化原料供給装置における前記容器の前記流出口から前記処理ガスを導く第1の配管と、
前記第1の配管が接続され、前記処理ガスが導入されるチャンバと、
前記チャンバ内に配置され、前記処理ガスによる処理の対象となる基板が載置される載置部と
を備える基板処理装置。 - 液体原料を貯留する貯留タンクを第1の温度に維持するステップと、
前記第1の温度に前記貯留タンク内にキャリアガスを供給し、前記液体原料の蒸気と前記キャリアガスとを含む処理ガスを生成するステップと、
前記第1の温度よりも低い第2の温度に前記処理ガスを冷却するステップと
を含む、気化原料供給方法。 - 前記冷却するステップにおいて前記第2の温度に冷却された前記処理ガスに対してキャリアガスを追加するステップを更に含む、請求項8に記載の気化原料供給方法。
- 前記追加するステップにおいて前記キャリアガスの流量と、当該キャリアガスが追加された前記処理ガスの流量とから、当該キャリアガスが追加される前の前記処理ガスの流量を求めるステップを更に含む、請求項9に記載の気化原料供給方法。
- 前記冷却するステップにおいて前記処理ガスを冷却することにより結露した前記液体原料を前記貯留タンクに戻すステップを更に含む、請求項8から10のいずれか一項に記載の気化原料供給方法。
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