JP2013115096A - ダイヤモンド含有ヒートシンク材及びその製法 - Google Patents
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Abstract
金属マトリックス中に金属被覆ダイヤモンド粒子を含有してなる複合ヒートシンク材において、熱伝導性の改良されたヒートシンク材を提供すること。
【解決手段】
本発明のヒートシンク材は次の各工程を経て製造される:
1. 整粒されたダイヤモンド粒子の全表面に、パイロゾル法によって金属炭化物層を形成することによって被覆ダイヤモンド粒子を得る工程、
2. 前記被覆ダイヤモンド粒子とマトリックス金属材の粉末とを密に混合して混合粉とし、焼結反応容器内に充填する工程、
3. 前記混合粉を還元性雰囲気中で加熱することによって酸素を除去する工程
4. 前記反応容器をマトリックス金属材の融点以上の加熱温度及び100MPa以上の焼結圧力に供し、該金属材を溶融して被覆ダイヤモンド粒子間の空隙に流入・充填し、金属炭化物層を介してダイヤモンド粒子及び金属材を一体化させる工程。
【選択図】なし
Description
(1) 整粒されたダイヤモンド粒子の全表面に、パイロゾル法によって金属炭化物層を形成することによって被覆ダイヤモンド粒子を得る工程、
(2) 前記被覆ダイヤモンド粒子とマトリックス金属材の粉末とを密に混合して混合粉とし、焼結反応容器内に充填する工程、
(3) 前記混合粉を還元性雰囲気中で加熱することによって酸素を除去する工程、及び
(4) 前記反応容器をマトリックス金属材の融点以上の加熱温度及び100MPa以上の焼結圧力に供し、該金属材を溶融して被覆ダイヤモンド粒子間の空隙に流入・充填し、金属炭化物層を介してダイヤモンド粒子及び金属材を一体化させる工程。
次に本発明を実施例によって説明する。
Claims (10)
- 整粒されかつ粒子の全表面に被覆厚さが制御された金属炭化物層を有する被覆ダイヤモンド粒子を、高い熱伝導性を有するマトリックス金属材中に、該金属材と密に接触させて分散させたヒートシンク材。
- 前記被覆厚さが、粒子を球と仮定した計算値において、0.1μm以下である、請求項1に記載のヒートシンク材。
- 前記被覆厚さが、粒子を球と仮定した計算値において、0.02μm以下である、請求項1又は2の各項に記載のヒートシンク材。
- 前記ダイヤモンド粒子の平均粒径が100μm以下である、請求項1に記載のヒートシンク材。
- 前記金属炭化物層がTi、Cr、Zr、Hf、V、W、Mo、Nb及びTaから選ばれる1種以上の金属の炭化物を含有する、請求項1に記載のヒートシンク材。
- 前記マトリックス金属材が、主成分としてCu又はAgを含有する、請求項1に記載のヒートシンク材。
- 次の各工程を有する請求項1に記載のヒートシンク材の製法:
(1) 整粒されたダイヤモンド粒子の全表面に、パイロゾル法によって金属炭化物層を形成することによって被覆ダイヤモンド粒子を得る工程、
(2) 前記被覆ダイヤモンド粒子とマトリックス金属材の粉末とを密に混合して混合粉とし、焼結反応容器内に充填する工程、
(3) 前記混合粉を還元性雰囲気中で加熱することによって酸素を除去する工程、及び
(4) 前記反応容器をマトリックス金属材の融点以上の加熱温度及び100MPa以上の焼結圧力に供し、該金属材を溶融して被覆ダイヤモンド粒子間の空隙に流入・充填し、金属炭化物層を介してダイヤモンド粒子及び金属材を一体化させる工程。 - 前記(4)の工程において、焼結圧力が加熱温度におけるダイヤモンドの熱力学的安定領域内の圧力である、請求項7に記載のヒートシンク材の製法。
- 前記(3)の工程を水素雰囲気中、600℃以上800℃以下の温度にて行う、請求項7に記載のヒートシンク材の製法。
- 前記(1)の工程において、被覆ダイヤモンド粒子の表面にさらに金属Cu被覆層を形成する、請求項7に記載のヒートシンク材の製法。
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