JP2013112532A - 脆性材料基板のスクライブ方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 112
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 28
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 32
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 9
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 231100000241 scar Toxicity 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/04—Cutting or splitting in curves, especially for making spectacle lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D3/00—Cutting work characterised by the nature of the cut made; Apparatus therefor
- B26D3/08—Making a superficial cut in the surface of the work without removal of material, e.g. scoring, incising
- B26D3/085—On sheet material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/027—Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/08—Severing cooled glass by fusing, i.e. by melting through the glass
- C03B33/082—Severing cooled glass by fusing, i.e. by melting through the glass using a focussed radiation beam, e.g. laser
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/09—Severing cooled glass by thermal shock
- C03B33/091—Severing cooled glass by thermal shock using at least one focussed radiation beam, e.g. laser beam
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】このスクライブ方法は、ガラス基板の分断予定ラインに沿ってスクライブ溝を形成する方法であって、加熱・冷却工程と走査工程とを含んでいる。加熱・冷却工程では、ガラス基板に対して吸収性及び透過性を有する波長のレーザを基板の表面近傍に焦点が位置するように集光して照射するとともに、レーザ照射領域にレーザ照射と同時に冷却媒体を噴射する。走査工程では、レーザ照射によるレーザスポット及び冷却媒体の噴射による冷却スポットを分断予定ラインに沿って走査する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施形態による方法を実施するためのスクライブ装置の概略構成を示す図である。スクライブ装置1は、例えば、1枚のマザー基板を複数のガラス基板に分断するための装置である。ここでのガラス基板は、例えばソーダガラス基板である。
まず、カッターホイール等の初期亀裂形成手段を用いて、ガラス基板Gの分断予定ラインの走査開始側の端部にスクライブの起点となる初期亀裂が形成される。
図2Aに、種々の厚みを有するソーダガラスに対するレーザ(Erファイバレーザ)の波長と透過率との関係を示している。また、図2Bに、板厚ごとの透過率と吸収率とを示している。なお、吸収率は計算値である。
図3に加工部分の詳細を拡大して示した写真を示している。図3において、中心部の円Lで示した部分がレーザの照射痕であり、円Cで示した部分が冷却媒体の噴射痕である。この図3から明らかなように、冷却スポットの中心にビームスポットが位置するように、レーザ照射及び冷却媒体の噴射が同時に実行される。
図4に、レーザの焦点位置を、基板表面(a)、基板中央(b)、基板裏面(c)とし、レーザ出力及び走査速度を種々変えて、スクライブが可能か否か、すなわち焦点位置によってスクライブマージンがどのように変わるかを実験した結果を示す。なお、この実験で用いたガラス基板は厚みが1.3mmのソーダガラスである。
図6は、本実施形態の加工方法を実施した場合に、分断予定ラインから亀裂がどの程度ずれて形成されたかを示す実験例である。横軸は分断ラインに沿った位置(0mmは初期亀裂側の基板端を示している)を示し、縦軸は分断予定ラインからのズレ量を示している。なお、実験に用いたガラス基板は、厚みが1.3mmのソーダガラスで長さは55mmである。また、レーザ出力は7.5W、走査速度は20mm/sである。
(1)レーザの焦点が基板表面近傍に設定され、かつ冷却スポットがレーザ照射位置にレーザ照射と同時に形成されるので、曲線状の分断予定ラインに沿って容易に基板をスクライブすることができる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
3 レーザ発振器
5 集光レンズ
6 冷却ノズル
Claims (6)
- 脆性材料基板の分断予定ラインに沿ってスクライブ溝を形成する脆性材料基板のスクライブ方法であって、
前記脆性材料基板に対して吸収性及び透過性を有する波長のレーザを前記基板の表面から裏面の範囲内に焦点が位置するように集光して照射するとともに、レーザ照射領域にレーザ照射と同時に冷却媒体を噴射する加熱・冷却工程と、
前記レーザ照射によるビームスポット及び冷却媒体の噴射による冷却スポットを前記分断予定ラインに沿って走査する走査工程と、
を含む脆性材料基板のスクライブ方法。 - 前記加熱・冷却工程の前工程として、前記脆性材料基板の表面の分断予定ラインの走査開始端に初期亀裂を形成する初期亀裂形成工程をさらに含む、請求項1に記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記加熱・冷却工程におけるレーザの波長は、2.7μm以上4.0μm以下である、請求項1又は2に記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記脆性材料基板の板厚はガラス基板である、請求項1から3のいずれかに記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記冷却媒体は、噴射痕の中心に前記レーザ照射による噴射加工痕が位置するように前記基板表面に噴射される、請求項1から4のいずれかに記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
- 前記加熱・冷却工程の前工程として、前記脆性材料基板のレーザ照射側の面と逆側の面にレーザを反射する反射板を設置する準備工程をさらに含む、請求項1から5のいずれかに記載の脆性材料基板のスクライブ方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011257039A JP5879106B2 (ja) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 脆性材料基板のスクライブ方法 |
TW101138193A TWI488703B (zh) | 2011-11-25 | 2012-10-17 | 脆性材料基板的切割方法及切割裝置 |
KR1020120125872A KR101440481B1 (ko) | 2011-11-25 | 2012-11-08 | 취성 재료 기판의 스크라이브 방법 및 취성 재료 기판의 스크라이브 장치 |
CN201210482627.6A CN103130409B (zh) | 2011-11-25 | 2012-11-23 | 脆性材料基板的划线方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011257039A JP5879106B2 (ja) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 脆性材料基板のスクライブ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013112532A true JP2013112532A (ja) | 2013-06-10 |
JP5879106B2 JP5879106B2 (ja) | 2016-03-08 |
Family
ID=48490924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011257039A Expired - Fee Related JP5879106B2 (ja) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 脆性材料基板のスクライブ方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5879106B2 (ja) |
KR (1) | KR101440481B1 (ja) |
CN (1) | CN103130409B (ja) |
TW (1) | TWI488703B (ja) |
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KR102216298B1 (ko) | 2020-04-28 | 2021-02-18 | 주식회사 아이티아이 | 세라믹 절단법 및 장비 |
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WO2021221378A1 (ko) | 2020-04-28 | 2021-11-04 | 주식회사 아이티아이 | 세라믹 절단법 및 장비 |
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- 2011-11-25 JP JP2011257039A patent/JP5879106B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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- 2012-10-17 TW TW101138193A patent/TWI488703B/zh not_active IP Right Cessation
- 2012-11-08 KR KR1020120125872A patent/KR101440481B1/ko active IP Right Grant
- 2012-11-23 CN CN201210482627.6A patent/CN103130409B/zh not_active Expired - Fee Related
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---|---|
KR101440481B1 (ko) | 2014-09-18 |
CN103130409B (zh) | 2016-02-10 |
JP5879106B2 (ja) | 2016-03-08 |
KR20130058604A (ko) | 2013-06-04 |
TWI488703B (zh) | 2015-06-21 |
CN103130409A (zh) | 2013-06-05 |
TW201336612A (zh) | 2013-09-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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