JP2013101161A - 角度測定方法及び角度測定システム - Google Patents
角度測定方法及び角度測定システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013101161A JP2013101161A JP2013044319A JP2013044319A JP2013101161A JP 2013101161 A JP2013101161 A JP 2013101161A JP 2013044319 A JP2013044319 A JP 2013044319A JP 2013044319 A JP2013044319 A JP 2013044319A JP 2013101161 A JP2013101161 A JP 2013101161A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- rotary encoder
- encoder
- rotation angle
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
【解決手段】エンコーダ本体2aに対する回転軸3の相対的な回転角を検出するロータリエンコーダ2と、エンコーダ本体2a及び回転軸3から切り離され、エンコーダ本体2aの回転角を検出する非接触角度検出手段20(レーザ干渉式検出手段)とを備える。これにより、ロータリエンコーダ2が検出した回転角を、非接触角度検出手段20で検出した回転角に基づいて補正することができ、回転角を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
図9は、第2実施形態における角度測定システムの一例の全体構成図である。図9にて、図1〜8に示した第1実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付した。以下では、第1実施形態で説明した内容については説明を省略し、主として第1実施形態と異なる点を説明する。
Claims (8)
- 基準体に対する回転体の相対的な回転角を検出するロータリエンコーダと、
前記基準体及び前記回転体から切り離され、前記基準体の回転角を検出するレーザ干渉式検出手段と、
を備えたことを特徴とする角度測定システム。 - 前記レーザ干渉式検出手段は、前記ロータリエンコーダによる相対的な回転角の検出と同時に前記基準体の回転角を検出することを特徴とする請求項1に記載の角度測定システム。
- 前記ロータリエンコーダが検出した回転角を、前記レーザ干渉式検出手段で検出した回転角に基づいて補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の角度測定システム。
- 前記基準体の回転角を一定範囲内に規制する規制部材を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の角度測定システム。
- 前記規制部材は、前記基準体の基準位置を鉛直下方に付勢する錘部材からなることを特徴とする請求項4に記載の角度測定システム。
- 基準体に対する回転体の相対的な回転角を検出するロータリエンコーダと、前記基準体及び前記回転体から切り離され、前記基準体の回転角を検出するレーザ干渉式検出手段と、を備える角度測定システムにおける角度測定方法であって、
前記ロータリエンコーダにより前記基準体に対する回転体の相対的な回転角を検出する第1の検出ステップと、
前記レーザ干渉式検出手段により前記基準体の回転角を検出する第2の検出ステップと、
を含むことを特徴とする角度測定方法。 - 前記第2の検出ステップは、前記第1の検出ステップにおける相対的な回転角度の検出と同時に前記基準体の回転角を検出する請求項6に記載の角度測定方法。
- 前記第1の検出ステップで検出した回転角を、前記第2の検出ステップで検出した回転角に基づいて補正する補正ステップを含むことを特徴とする請求項6または7に記載の角度測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013044319A JP5633981B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | 回転角度測定方法及び回転角度測定システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013044319A JP5633981B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | 回転角度測定方法及び回転角度測定システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013010062A Division JP5224206B2 (ja) | 2013-01-23 | 2013-01-23 | 角度測定方法及び角度測定システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013101161A true JP2013101161A (ja) | 2013-05-23 |
JP5633981B2 JP5633981B2 (ja) | 2014-12-03 |
Family
ID=48621848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013044319A Active JP5633981B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | 回転角度測定方法及び回転角度測定システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5633981B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104848804A (zh) * | 2014-02-17 | 2015-08-19 | 协调工程企业股份有限公司 | 切割角测定器 |
CN108151786A (zh) * | 2018-02-13 | 2018-06-12 | 吉林宇恒光电仪器有限责任公司 | 光电编码器角度误差自动检测***及***误差修正方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106092832B (zh) * | 2016-06-08 | 2018-10-02 | 清华大学 | 基于干涉的接触角光学测量方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05500864A (ja) * | 1990-06-15 | 1993-02-18 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 角度変位測定の方法および装置 |
JPH11132752A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Canon Inc | 3次元形状測定装置 |
JP2000275030A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-06 | Nec Corp | 移動ステージのローリング角度測定方法及び装置 |
JP2007333712A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 傾斜角測定装置、これを搭載した工作機械および工作機械の傾斜角校正方法 |
-
2013
- 2013-03-06 JP JP2013044319A patent/JP5633981B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05500864A (ja) * | 1990-06-15 | 1993-02-18 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 角度変位測定の方法および装置 |
JPH11132752A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Canon Inc | 3次元形状測定装置 |
JP2000275030A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-06 | Nec Corp | 移動ステージのローリング角度測定方法及び装置 |
JP2007333712A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 傾斜角測定装置、これを搭載した工作機械および工作機械の傾斜角校正方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6013024603; CUI Chengri, 高橋和也 (東京農工大 大学院), 堤正臣, 佐藤隆太 (東京農工大 大学院共生科学技術研究院): '5軸制御マシニングセンタの傾斜回転軸位置決め精度測定方法の開発-ロータリエンコーダと水準器を使った傾' 精密工学会誌(CD-ROM) Vol.73 No.9, 20070905, p.1040-1045 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104848804A (zh) * | 2014-02-17 | 2015-08-19 | 协调工程企业股份有限公司 | 切割角测定器 |
CN108151786A (zh) * | 2018-02-13 | 2018-06-12 | 吉林宇恒光电仪器有限责任公司 | 光电编码器角度误差自动检测***及***误差修正方法 |
CN108151786B (zh) * | 2018-02-13 | 2024-04-12 | 吉林宇恒光电仪器有限责任公司 | 光电编码器角度误差自动检测***及***误差修正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5633981B2 (ja) | 2014-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9574908B2 (en) | Angle measuring method and angle measuring system | |
JP5733461B2 (ja) | 角度測定方法及び角度測定システム | |
JP5682802B2 (ja) | 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 | |
JP5224206B2 (ja) | 角度測定方法及び角度測定システム | |
JP5115872B2 (ja) | 角度測定方法及び角度測定システム | |
JP2008064471A (ja) | レーザ干渉追尾測長方法及び装置 | |
JP5633981B2 (ja) | 回転角度測定方法及び回転角度測定システム | |
JP6281106B2 (ja) | 角度測定方法及び角度測定システム | |
KR20100041024A (ko) | 2차원 회절 격자를 이용한 6 자유도 측정 장치 | |
JP2011064610A (ja) | 追尾式レーザ干渉測長計 | |
JP5656110B2 (ja) | 角度測定方法及び角度測定システム | |
JP6104708B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計 | |
JP5187607B2 (ja) | 角度測定方法及び角度測定システム | |
JP6292428B2 (ja) | 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 | |
TWI712773B (zh) | 雷射干涉儀定位系統 | |
JP2014098619A (ja) | リニアエンコーダ及びワークの加工方法 | |
JP5868058B2 (ja) | 位置計測装置、光学部品の製造方法、および型の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130308 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20130308 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20130325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130627 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131024 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20131031 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20140110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141010 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5633981 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |