JP2013086475A5 - - Google Patents
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上記課題は、以下の本発明によって解決される。即ち本発明は、インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、インク流路となる型材と前記型材を被覆するオリフィス層とを有する基板を用意する工程と、前記基板を溶剤に浸漬させて前記型材を除去する工程とを有し、前記基板を溶剤に浸漬させる工程において、前記溶剤に浸漬させた前記基板の前記型材に対してDeep−UV光を照射することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
Claims (5)
- インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
インク流路となる型材と前記型材を被覆するオリフィス層とを有する基板を用意する工程と、前記基板を溶剤に浸漬させて前記型材を除去する工程とを有し、
前記基板を溶剤に浸漬させる工程において、前記溶剤に浸漬させた前記基板の前記型材に対してDeep−UV光を照射することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記基板を溶剤に浸漬させる工程において、前記溶剤の蒸発面を覆い、前記基板と前記溶剤の蒸発面との距離を保ちながら前記基板の前記型材に対してDeep−UV光を照射する請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記Deep−UV光の照射は前記基板の前記オリフィス層側から行う請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記Deep−UV光を照射してから前記基板を溶剤に浸漬させる請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記基板を溶剤に浸漬させてから前記Deep−UV光を照射する請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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