JP2013053355A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板保持部材20に設けた基板保持凹部23に基板22を保持し、加熱手段によって加熱される基板保持部材を介して基板を加熱するとともに、基板上に原料ガスを供給して基板表面に薄膜を形成する気相成長装置において、基板保持凹部は、基板の裏面に平行な平面部26と、平面部から上方に突出して上端に基板載置部27aが設けられた基板支持凸部27と、基板支持凸部に隣接する平面部に設けられた凹溝部28とを備えている。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- 基板保持部材に設けた基板保持凹部に基板を保持し、加熱手段によって加熱される前記基板保持部材を介して前記基板を加熱するとともに、該基板上に原料ガスを供給して前記基板の表面に薄膜を形成する気相成長装置において、前記基板保持凹部は、前記基板の裏面に平行な平面部と、該平面部から上方に突出して上端に基板載置部が設けられた基板支持凸部と、該基板支持凸部に隣接する前記平面部に設けられた凹溝部とを備えている気相成長装置。
- 前記基板支持凸部が円柱状に形成されている請求項1記載の気相成長装置。
- 前記凹溝部が前記円柱状の基板支持凸部の周囲にリング状に設けられている請求項2記載の気相成長装置。
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- 2011-09-05 JP JP2011193100A patent/JP2013053355A/ja active Pending
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