JP2013051089A - 電子顕微鏡の制御方法、電子顕微鏡、プログラム及び情報記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子ビームが電子顕微鏡像を構成する所与のピクセルに対応する試料上の位置を照射しているときに連続的に取得された複数の検出信号の平均値mを求める処理と、求めた平均値mに基づき、検出信号の母集団の期待値μが信頼区間m±kに位置する確率γが所定の閾値pを超えたか否かを判定する処理とを、確率γが所定の閾値pを超えるまで繰り返し、確率γが所定の閾値pを超えたと判定された場合に、求めた平均値mを当該照射位置に対応する電子顕微鏡像のピクセル値として出力し、且つ電子ビームの走査として電子ビームの照射位置を移動させるための制御を行う。
【選択図】図8
Description
前記検出器からの検出信号を取得する取得工程と、
電子ビームが電子顕微鏡像を構成する所与のピクセルに対応する試料上の位置を照射しているときに、連続的に取得された複数の検出信号の平均値を求める処理と、求めた平均値の信頼性が所定の条件を満たすか否かを判定する処理とを、前記所定の条件を満たすと判定されるまで繰り返す判定工程と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、求めた平均値を当該照射位置に対応する電子顕微鏡像のピクセル値として出力する出力工程と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、電子ビームの走査として電子ビームの照射位置を移動させるための制御を行う制御工程とを含む。
前記検出器からの検出信号を取得する取得部と、
電子ビームが電子顕微鏡像を構成する所与のピクセルに対応する試料上の位置を照射しているときに、連続的に取得された複数の検出信号の平均値を求める処理と、求めた平均値の信頼性が所定の条件を満たすか否かを判定する処理とを、前記所定の条件を満たすと判定されるまで繰り返す判定部と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、求めた平均値を当該照射位置に対応する電子顕微鏡像のピクセル値として出力する出力部と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、電子ビームの走査として電子ビームの照射位置を移動させるための制御を行う制御部とを含む。
前記判定工程において、
取得された複数の検出信号の母集団が属する分布の期待値が、求めた平均値に基づき決定される信頼区間に含まれる確率を求め、求めた確率が所定の閾値を超えた場合に、前記所定の条件を満たすと判定してもよい。
前記判定部が、
取得された複数の検出信号の母集団が属する分布の期待値が、求めた平均値に基づき決定される信頼区間に含まれる確率を求め、求めた確率が所定の閾値を超えた場合に、前記所定の条件を満たすと判定してもよい。
図1に、本実施形態に係る電子顕微鏡の構成の一例を示す。ここでは、電子顕微鏡が、走査型電子顕微鏡(SEM)の構成を有する場合について説明するが、本発明を走査透過型電子顕微鏡(STEM)に適用してもよい。なお本実施形態の電子顕微鏡は図1の構成要素(各部)の一部を省略した構成としてもよい。
次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。
次に、本実施形態の処理の一例について図8のフローチャートを用いて説明する。
Claims (6)
- 試料上で電子ビームを走査し、電子ビームの走査に基づき試料から生じる信号を検出する検出器からの検出信号に基づいて電子顕微鏡像を生成する電子顕微鏡の制御方法であって、
前記検出器からの検出信号を取得する取得工程と、
電子ビームが電子顕微鏡像を構成する所与のピクセルに対応する試料上の位置を照射しているときに、連続的に取得された複数の検出信号の平均値を求める処理と、求めた平均値の信頼性が所定の条件を満たすか否かを判定する処理とを、前記所定の条件を満たすと判定されるまで繰り返す判定工程と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、求めた平均値を当該照射位置に対応する電子顕微鏡像のピクセル値として出力する出力工程と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、電子ビームの走査として電子ビームの照射位置を移動させるための制御を行う制御工程とを含む、電子顕微鏡の制御方法。 - 請求項1において、
前記判定工程において、
取得された複数の検出信号の母集団が属する分布の期待値が、求めた平均値に基づき決定される信頼区間に含まれる確率を求め、求めた確率が所定の閾値を超えた場合に、前記所定の条件を満たすと判定する、電子顕微鏡の制御方法。 - 試料上で電子ビームを走査し、電子ビームの走査に基づき試料から生じる信号を検出する検出器からの検出信号に基づいて電子顕微鏡像を生成する電子顕微鏡であって、
前記検出器からの検出信号を取得する取得部と、
電子ビームが電子顕微鏡像を構成する所与のピクセルに対応する試料上の位置を照射しているときに、連続的に取得された複数の検出信号の平均値を求める処理と、求めた平均値の信頼性が所定の条件を満たすか否かを判定する処理とを、前記所定の条件を満たすと判定されるまで繰り返す判定部と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、求めた平均値を当該照射位置に対応する電子顕微鏡像のピクセル値として出力する出力部と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、電子ビームの走査として電子ビームの照射位置を移動させるための制御を行う制御部とを含む、電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記判定部が、
取得された複数の検出信号の母集団が属する分布の期待値が、求めた平均値に基づき決定される信頼区間に含まれる確率を求め、求めた確率が所定の閾値を超えた場合に、前記所定の条件を満たすと判定する、電子顕微鏡。 - 試料上で電子ビームを走査し、電子ビームの走査に基づき試料から生じる信号を検出する検出器からの検出信号に基づいて電子顕微鏡像を生成する電子顕微鏡が備えるコンピュータを、
前記検出器からの検出信号を取得する取得部と、
電子ビームが電子顕微鏡像を構成する所与のピクセルに対応する試料上の位置を照射しているときに、連続的に取得された複数の検出信号の平均値を求める処理と、求めた平均値の信頼性が所定の条件を満たすか否かを判定する処理とを、前記所定の条件を満たすと判定されるまで繰り返す判定部と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、求めた平均値を当該照射位置に対応する電子顕微鏡像のピクセル値として出力する出力部と、
前記所定の条件を満たすと判定された場合に、電子ビームの走査として電子ビームの照射位置を移動させるための制御を行う制御部として機能させるためのプログラム。 - コンピュータ読み取り可能な情報記憶媒体であって、請求項5に記載のプログラムを記憶した情報記憶媒体。
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JP2011187780A JP5738718B2 (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | 電子顕微鏡の制御方法、電子顕微鏡、プログラム及び情報記憶媒体 |
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2011
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