JP6343508B2 - コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
本実施例にて説明する画像信号処理装置は、分解能指標値を算出する分解能指標値算出手段と、当該分解能指標値に基づき、調整目標とするコントラストとブライトネスを定め、信号アンプのゲイン値とバイアス値を決定するコントラスト・ブライトネス調整手段を備えることを特徴とする。
分解能抽出部21は、画像11から分解能パラメータ23を抽出する。分解能パラメータとは、例えば、パターンエッジ部分の輝度の勾配を求め、照射するビーム径に換算した数値などの情報で構成できる。
次に、コントラスト・ブライトネス調整のON/OFFを選択する。コントラスト・ブライトネス調整フラグ506がONならば、調整を実施する。フラグ506がOFFならば調整を行わないため、コントラスト・ブライトネス調整が必要ない条件で選択することが望ましい。
11 画像
12 波形信号
13 分解能指標値算出部
14 輝度情報抽出部
15 コントラスト・ブライトネス調整部
16 分解能指標値
17 輝度情報
18 信号アンプの制御信号(ゲイン値・バイアス値)
21 分解能抽出部
22 目標分解能出力部
23 分解能パラメータ
24 目標分解能パラメータ
25 分解能乖離算出部
31 目標コントラスト決定部
32 目標ブライトネス決定部
33 目標コントラスト
34 目標ブライトネス
35 ゲイン値決定部
36 バイアス値決定部
50 調整前の波形信号
51 ゲイン値の乗算による最大値調整(目標コントラスト)
52 バイアス値の加算による平均値調整(目標ブライトネス)
53 調整後の波形信号(目標コントラストと目標ブライトネス)
60 荷電粒子線装置
61 鏡体
62 集束レンズ
63 荷電粒子線
64 ビーム源
65 対物レンズ
66 試料
67 試料ホールダ
68 XYステージ
69 検出器
70 信号アンプ
71 表示画像生成部
72 像表示器
Claims (12)
- 荷電粒子ビームを試料に走査したときに得られる画像のコントラストとブライトネスを調整するコントラスト・ブライトネス調整方法において、
前記試料への荷電粒子ビームの走査に基づいて得られた画像から求められる分解能指標値を演算し、当該分解能指標値と前記コントラスト及びブライトネスに関する情報との関係を示すテーブル、或いは演算式を用いて、前記荷電粒子ビームの走査に基づいて得られた画像の分解能指標値に応じた前記コントラスト及びブライトネスに関する情報を取得し、当該情報を用いて前記画像のコントラスト及びブライトネスを調整するコントラスト・ブライトネス調整方法。 - 請求項1において、
前記分解能指標値と、目標コントラスト、コントラスト調整量、或いは前記検出器のアンプのゲイン値との関係を登録したテーブル、又は前記分解能指標値と、目標コントラスト、コントラスト調整量、或いは前記検出器のアンプのゲイン値との関係を示す演算式に基づいて、前記コントラストを調整するための信号を発生することを特徴とするコントラスト・ブライトネス調整方法。 - 請求項1において、
前記分解能指標値と、目標ブライトネス、ブライトネス調整量、或いは前記検出器のアンプのバイアス値との関係を登録したテーブル、又は前記分解能指標値と、目標ブライトネス、ブライトネス調整量、或いは前記検出器のアンプのバイアス値との関係を示す演算式に基づいて、前記コントラストを調整するための信号を発生することを特徴とするコントラスト・ブライトネス調整方法。 - 請求項1において、
前記コントラスト・ブライトネス調整後の画像に対して、前記分解能指標値を求めることを特徴とするコントラスト・ブライトネス調整方法。 - 請求項1において、
前記画像の輝度情報と、前記分解能指標値に基づいて、前記検出器のアンプの制御信号を発生することを特徴とするコントラスト・ブライトネス調整方法。 - 荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームの試料への走査に基づいて得られる信号を検出する検出器と、当該検出器にて検出された信号に基づいて、形成された画像の分解能評価値を算出する画像信号処理装置を備えた荷電粒子線装置であって、
前記算出された分解能評価値に基づいて、前記画像のコントラストとブライトネスを調整するコントラスト・ブライトネス調整部を備えた荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記コントラスト・ブライトネス調整部は、前記分解能指標値と、目標コントラスト、コントラスト調整量、或いは前記検出器のアンプのゲイン値との関係を登録したテーブル、又は前記分解能指標値と、目標コントラスト、コントラスト調整量、或いは前記検出器のアンプのゲイン値との関係を示す演算式に基づいて、前記コントラストを調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記コントラスト・ブライトネス調整部は、前記分解能指標値と、目標ブライトネス、ブライトネス調整量、或いは前記検出器のアンプのバイアス値との関係を登録したテーブル、又は前記分解能指標値と、目標ブライトネス、ブライトネス調整量、或いは前記検出器のアンプのバイアス値との関係を示す演算式に基づいて、前記コントラストを調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記画像信号処理装置は、前記コントラスト・ブライトネス調整後の画像に対して、前記分解能指標値を求めることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記コントラスト・ブライトネス調整部は、前記画像の輝度情報と、前記分解能指標値に基づいて、前記検出器のアンプの制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子ビームを放出する荷電粒子源と、当該荷電粒子ビームの試料への照射に基づいて得られる信号を検出する検出器と、当該検出器にて検出された信号に基づいて、前記画像のコントラストとブライトネスを調整するコントラスト・ブライトネス調整部を備えた荷電粒子線装置において、
当該コントラスト・ブライトネス調整部は、前記画像の分解能指標値に基づいてコントラストとブライトネスを調整する第1の調整モードと、前記画像の輝度情報に基づいてコントラストとブライトネスを調整する第2の調整モードを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11において、
前記コントラスト・ブライトネス調整部は、前記第1の調整モードのときに、前記画像の分解能指標値を求め、当該分解能指標値に基づいて、前記画像のコントラストとブライトネスを調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014150336A JP6343508B2 (ja) | 2014-07-24 | 2014-07-24 | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014150336A JP6343508B2 (ja) | 2014-07-24 | 2014-07-24 | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016025048A JP2016025048A (ja) | 2016-02-08 |
JP6343508B2 true JP6343508B2 (ja) | 2018-06-13 |
Family
ID=55271636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014150336A Active JP6343508B2 (ja) | 2014-07-24 | 2014-07-24 | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6343508B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11754517B2 (en) | 2020-04-28 | 2023-09-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Inspection apparatus for inspecting semiconductor devices using charged particles |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017000732A1 (de) | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Mazda Motor Corporation | Motorsteuerung bzw. Regelung |
WO2020095531A1 (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-14 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置の調整方法及び荷電粒子線装置システム |
JP2021093336A (ja) | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 株式会社日立ハイテク | 画像調整方法および荷電粒子ビームシステム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5177053U (ja) * | 1974-12-13 | 1976-06-17 | ||
JP4638800B2 (ja) * | 2005-10-27 | 2011-02-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡装置における機差管理システムおよびその方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11754517B2 (en) | 2020-04-28 | 2023-09-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Inspection apparatus for inspecting semiconductor devices using charged particles |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016025048A (ja) | 2016-02-08 |
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