JP2013047587A - Fan filter unit - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば半導体工場や精密機械工場等のクリーンルームのように、クリーン度が要求される室内に設置されるファンフィルタユニットに関する。 The present invention is, for example, as in the clean rooms of semiconductor factories or precision machine shops, relates fan filter unit to be installed in a room where cleanliness is required.
従来より、この種のファンフィルタユニットは、筐体内にファンと集塵フィルタとが収容されていて、特にクリーンルームの天井部に設置されて、クリーンルーム内の空気を浄化するようにしている（例えば特開２００４−２２５９８２号公報参照）。
ところで、ファンフィルタユニットを、クリーンルームの天井部ではなくて、クリーンルーム内に設置される装置（例えば半導体製造装置やＦＰＤ製造装置等）に取り付けるようにすれば、その装置からの発塵によるクリーンルーム内の汚染を防止することができて好ましい。 By the way, if the fan filter unit is attached to a device (for example, a semiconductor manufacturing device or an FPD manufacturing device) installed in the clean room instead of the ceiling of the clean room, the fan filter unit is installed in the clean room due to dust generation from the device. It is preferable because contamination can be prevented.
このようにファンフィルタユニットを前記装置に設置する場合、ファンフィルタユニットは、天井部に設置する場合とは異なり、比較的小型のものになる。このような小型のものは、大型のものに比べて空気浄化能力がどうしても劣るため、空気浄化効率を出来る限り向上させる必要がある。 When such installing the fan filter unit to the device, the fan filter unit is different from that when installed in the ceiling portion, a relatively small one. Such a small one has an air purification capability that is inevitably inferior to that of a large one, and therefore it is necessary to improve the air purification efficiency as much as possible.
ここで、ファンフィルタユニットを、空気吸込み口及び空気吐出口を有するファンケースを有するファンユニットと、内部に集塵フィルタが設けられたフィルタケースを有するフィルタユニットと、これらを収容する筐体とで構成すれば、ファンフィルタユニットの組立作業が簡単になる。この場合、筐体には、フィルタケースより導出された、浄化された空気を筐体外へ吹き出す吹出し口と、ファンケースの空気吸込み口を筐体の外側と連通させるための連通孔とが形成される。 Here, the fan filter unit is composed of a fan unit having a fan case having an air suction port and an air discharge port, a filter unit having a filter case provided with a dust collecting filter therein, and a housing for housing these. If it comprises, the assembly operation of a fan filter unit will become easy. In this case, the housing is formed with a blow-out port that is led out from the filter case and blows out purified air to the outside of the housing, and a communication hole for communicating the air intake port of the fan case with the outside of the housing. The
仮に、前記連通孔が筐体内部の空間と連通していると、前記連通孔から汚染空気が筐体内部の空間に進入し、その進入した汚染空気が、集塵フィルタにより浄化された空気と混じって前記吹出し口より吹き出すことになるため、空気浄化効率を向上させることが困難になる。 If the communication hole communicates with the space inside the housing, the contaminated air enters the space inside the housing from the communication hole, and the contaminated air that has entered the air purified by the dust collection filter since that will be blown from the air outlet and mixed, it is difficult to improve the air purification efficiency.
そこで、前記連通孔における空気吸込み口の周囲を封止剤等により封止することが考えられる。しかし、封止する部分の直ぐ近傍には空気吸込み口があるため、封止剤の使用量が多すぎると、封止剤が空気吸込み口を塞いでしまう可能性がある一方、少なすぎると、確実に封止することが困難になる。このため、封止剤の使用量を厳密に管理する必要があり、この点で作業性が悪いという問題がある。 Therefore, it is conceivable to seal the periphery of the air suction port in the communication hole with a sealant or the like. However, because there is an air suction port in the immediate vicinity of the portion to be sealed, if the amount of sealant used is too much, the sealant may block the air suction port, while if too little, It becomes difficult to ensure sealing. For this reason, it is necessary to strictly manage the amount of sealant used, and there is a problem that workability is poor in this respect.
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、筐体内に、空気吸込み口及び空気吐出口を有するファンケースを有するファンユニットと、内部に集塵フィルタが設けられたフィルタケースを有するフィルタユニットとが収容されたファンフィルタユニットにおいて、簡単な作業で、前記連通孔から汚染空気が筐体内部の空間に進入することを防止し、ファンフィルタユニットによる空気浄化効率を向上させることができるようにすることにある。 The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide a fan unit having a fan case having an air suction port and an air discharge port in a housing, and a dust collecting filter inside. In a fan filter unit in which a filter unit having a provided filter case is accommodated, the air purification by the fan filter unit is achieved by preventing contaminated air from entering the space inside the housing through the communication hole by a simple operation. It is to be able to improve efficiency.
前記の目的を達成するために、本発明は、筐体内に、空気吸込み口及び空気吐出口が形成されたファンケースを有するファンユニットと、前記ファンケースの空気吐出口より吐出された空気を浄化する集塵フィルタが内部に設けられたフィルタケースを有するフィルタユニットとが収容されたファンフィルタユニットであって、前記筐体は、厚み方向一側の面に前記ファンケース及び前記フィルタケースが当該面に沿った方向に並んで固定された基板と、該基板に、前記ファンケース及び前記フィルタケースを覆うように取り付けられたカバー部材とで構成され、前記ファンケースの空気吸込み口は、該ファンケースの基板側の面に形成され、前記基板における前記空気吸込み口に対応する部分には、該空気吸込み口を前記筐体の外側と連通させるための連通孔が形成され、前記フィルタケースには、前記ファンケースの空気吐出口と接続されかつ該空気吐出口より吐出された空気を前記フィルタケース内に導入する導入口と、前記集塵フィルタにより浄化された空気を前記フィルタケース外に導出する導出口とが形成され、前記カバー部材に、前記導出口より導出された空気を筐体外へ吹き出す吹出し口が形成され、前記基板の筐体内側の面に、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む囲繞部材が設けられ、前記基板の筐体内側の面上において前記囲繞部材と前記フィルタケースのファンケース側の面とにより囲まれた部分における前記ファンケースの周囲に、ポッティング剤が充填されている、という構成とした。 In order to achieve the above object, the present invention purifies air discharged from an air discharge port of the fan unit having a fan case in which an air suction port and an air discharge port are formed in a housing. A fan filter unit containing a filter unit having a filter case in which a dust collecting filter is provided, wherein the housing has a surface on one side in the thickness direction, and the fan case and the filter case are on the surface. And a cover member attached to the substrate so as to cover the fan case and the filter case, and the air suction port of the fan case has the fan case. is the formed on the surface on the substrate side, the part corresponding to the air inlet in the substrate, outside and communicating in the air inlet the casing The filter case is connected to an air outlet of the fan case and introduces air discharged from the air outlet into the filter case; and A lead-out port through which the air purified by the filter is led out to the outside of the filter case is formed, and a blow-out port for blowing out the air led out from the lead-out port to the outside of the housing is formed in the cover member; On the inner surface, a surrounding member surrounding the periphery of the fan case is provided together with the surface of the filter case on the fan case side, and the surrounding member and the fan case side of the filter case on the inner surface of the housing are provided. It was set as the structure where the potting agent was filled in the circumference | surroundings of the said fan case in the part enclosed by the surface.
前記の構成により、ファンフィルタユニットが設置された室内の汚染空気が、ファンケースの空気吸込み口からファンケース内に吸い込まれ、その汚染空気がファンケースの空気吐出口より吐出され、その後、フィルタケース内に導入されて、フィルタケース内の集塵フィルタにより浄化された後、この浄化された空気がフィルタケースの導出口よりフィルタケース外に導出され、この導出された空気が筐体の吹出し口より吹き出す。 With the above configuration, the polluted air in the room where the fan filter unit is installed is sucked into the fan case from the air suction port of the fan case, and the polluted air is discharged from the air discharge port of the fan case. After being introduced into the interior and purified by the dust collecting filter in the filter case, the purified air is led out of the filter case from the outlet of the filter case, and the derived air is introduced from the outlet of the housing. Blow out.
ここで、汚染空気は、基板の連通孔からファンケースと基板との間の隙間部分に進入し、その隙間部分から筐体内におけるポッティング剤に対して基板とは反対側に位置する、吹出し口と連通する空間を通って吹出し口へ流動しようとするが、ファンケースの基板側の面の周縁部と基板の筐体内側の面との間の隙間がポッティング剤により封止されているので、前記汚染空気は、吹出し口と連通する空間へは進入できず、このため、集塵フィルタにより浄化された空気と混じって吹出し口より吹き出すことはない。また、連通孔が、ポッティング剤により塞がれることはない。 Here, the contaminated air enters the gap portion between the fan case and the substrate through the communication hole of the substrate, and the blowout port located on the opposite side of the substrate from the gap portion with respect to the potting agent in the housing, It tries to flow to the outlet through the communicating space, but the gap between the peripheral portion of the surface of the fan case on the substrate side and the inner surface of the substrate casing is sealed with a potting agent. The contaminated air cannot enter the space communicating with the blowout port, and therefore, it is not mixed with the air purified by the dust collecting filter and blown out from the blowout port. Further, the communication hole is not blocked by the potting agent.
さらに、前記ポッティング剤は、基板の筐体内側の面を水平にした状態で、囲繞部材とフィルタケースのファンケース側の面とにより囲まれた部分に充填することで、その囲まれた部分の外側へ流れることはなく、ポッティング剤が硬化するまで、基板の筐体内側の面の水平状態を維持しておけばよく、硬化した後は、基板をどのように傾けても逆さまにしても、ポッティング剤が筐体外に漏れることはなく、ファンフィルタユニットの取付姿勢の自由度を制限しない。 Further, the potting agent is filled in a portion surrounded by the surrounding member and the surface of the filter case on the fan case side in a state where the inner surface of the substrate of the substrate is horizontal, so that the portion of the enclosed portion is filled. It does not flow to the outside, it is only necessary to maintain the horizontal state of the inner surface of the substrate housing until the potting agent is cured, and after curing, whether the substrate is tilted or turned upside down, The potting agent does not leak out of the housing, and does not limit the degree of freedom in mounting the fan filter unit.
したがって、基板上に囲繞部材を設けてポッティング剤を充填するという簡単な作業で、ファンフィルタユニットによる空気浄化効率を向上させることができる。 Thus, by providing a enclosing member on the substrate by a simple task of filling the potting material, it is possible to improve the air purification efficiency by the fan filter unit.
本発明の一実施形態によれば、前記ファンユニットは、前記ファンケースの内側から外側に延びる複数のリード線を有し、前記基板の筐体内側の面における前記ポッティング剤の充填部分に、前記複数のリード線が通過するリード線通過孔が開口している。 According to an embodiment of the present invention, the fan unit includes a plurality of lead wires extending from the inside to the outside of the fan case, and the potting agent filling portion on the inner surface of the housing of the substrate includes A lead wire passage hole through which a plurality of lead wires passes is opened.
すなわち、リード線通過孔により筐体の内側と外側とが連通することにより、筐体外側の汚染空気が筐体内に進入し、この進入した汚染空気が、集塵フィルタにより浄化された空気と混じって吹出し口より吹き出すことになるため、リード線通過孔を封止する必要があるが、基板の筐体内側の面におけるポッティング剤の充填部分にリード線通過孔が開口しているので、リード線通過孔は、前記ポッティング剤の充填により封止される。したがって、リード線通過孔を別途に封止する作業が不要になるとともに、その封止作業の忘れや封止剤の塗布量不足といった問題が生じるようなことはない。 That is, the inside and outside of the casing communicate with each other through the lead wire passage hole, so that the contaminated air outside the casing enters the casing, and this entering contaminated air is mixed with the air purified by the dust collecting filter. Therefore, it is necessary to seal the lead wire passage hole, but since the lead wire passage hole is opened in the potting agent filling part on the inner surface of the substrate, the lead wire The passage hole is sealed by filling the potting agent. Therefore, it is not necessary to separately seal the lead wire passage hole, and there is no problem of forgetting the sealing operation or insufficient application amount of the sealing agent.
本発明の他の実施形態によれば、前記囲繞部材は、前記ファンケースと前記基板との間に介在されかつ該基板の筐体内側の面に密着される平板状部と、該平板状部の周縁部のうち前記フィルタケース側を除く縁部から基板とは反対側に立設されて、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む立壁部とを有している。 According to another embodiment of the present invention, the surrounding member includes a flat plate portion interposed between the fan case and the substrate and in close contact with the inner surface of the housing of the substrate, and the flat plate portion. Of the peripheral edge portion of the filter case, and an upright wall portion surrounding the periphery of the fan case together with the surface of the filter case on the fan case side. .
このことにより、囲繞部材が平板状部を有していることで、平板状部がない場合に比べて立壁部の厚みを薄くすることができる。すなわち、平板状部がないと、薄い厚みの立壁部では、剛性が低くて基板上の所定位置に立てることが困難であるが、平板状部を有していれば、基板上に平板状部を固定するだけで、薄い厚みの立壁部でも、基板上の所定位置に立てることが可能になり、倒れるようなことはない。したがって、小型のファンフィルタユニットでも、囲繞部材を容易に設けることができる。 By this, since the surrounding member has a flat plate-like portion, the thickness of the standing wall portion can be reduced as compared with the case where there is no flat plate-like portion. That is, if there is no flat plate portion, the thin walled wall portion has low rigidity and is difficult to stand at a predetermined position on the substrate. only fixing the, in the vertical wall of small thickness, it is possible to stand in position on the substrate, it does not like fall. Therefore, even with a small fan filter unit, the surrounding member can be easily provided.
前記のように、基板の筐体内側の面におけるポッティング剤の充填部分にリード線通過孔が開口している場合、前記囲繞部材は、前記ファンケースと前記基板との間に介在されかつ該基板の筐体内側の面に密着される平板状部と、該平板状部の周縁部のうち前記フィルタケース側を除く縁部から基板とは反対側に立設されて、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む立壁部とを有し、前記囲繞部材の平板状部に、前記基板側に突出して前記リード線通過孔に挿入される環状突部と、該環状突部の内側に位置しかつ前記リード線が通過する貫通孔とが形成されている、ことが好ましい。 As described above, when the lead wire passage hole is opened in the potting agent filling portion on the inner surface of the substrate, the surrounding member is interposed between the fan case and the substrate and the substrate. A flat plate-like portion that is in close contact with the inner surface of the housing, and a fan case of the filter case that is erected on the opposite side of the substrate from the edge of the flat plate-like portion excluding the filter case side An annular protrusion that protrudes toward the substrate side and is inserted into the lead wire passage hole, and an annular protrusion that projects from the flat plate-like portion of the surrounding member. It is preferable that a through hole that is located inside the portion and through which the lead wire passes is formed.
このことで、リード線が通過する貫通孔の径を適切に設定しておくことで、リード線を基板に仮固定することができるとともに、このような仮固定を行うための部材を別途に設ける必要はない。そして、ポッティング剤によりリード線を基板に本固定することが容易にできる。このリード線の本固定により、リード線が筐体外側から引っ張られても、リード線のファンユニット側の端部には大きな力が作用せず、しかも、リード線とリード線通過孔の内周面との間に環状突部が介在することにより、リード線が筐体外に出た直後の箇所で曲げられても、リード線には亀裂が生じ難くなる。また、前述の如く、囲繞部材が平板状部を有していることで、平板状部がない場合に比べて立壁部の厚みを薄くすることができる。したがって、小型のファンフィルタユニットでも、囲繞部材を容易に設けることができるとともに、リード線を適切に固定しつつリード線通過孔を良好に封止することができる。 Thus, by appropriately setting the diameter of the through hole through which the lead wire passes, the lead wire can be temporarily fixed to the substrate, and a member for performing such temporary fixing is separately provided. There is no need. Then, the lead wire can be easily fixed to the substrate with the potting agent. With this lead wire fixed, even if the lead wire is pulled from the outside of the housing, a large force does not act on the end of the lead wire on the fan unit side, and the inner periphery of the lead wire and the lead wire passage hole. Since the annular protrusion is interposed between the lead wire and the surface, even if the lead wire is bent at a position immediately after coming out of the housing, the lead wire is hardly cracked. Further, as described above, since the surrounding member has the flat plate-like portion, the thickness of the standing wall portion can be reduced as compared with the case where there is no flat plate-like portion. Therefore, even with a small fan filter unit, the surrounding member can be easily provided, and the lead wire passage hole can be well sealed while the lead wire is appropriately fixed.
以上説明したように、本発明のファンフィルタユニットによると、基板上に囲繞部材を設けてポッティング剤を充填するという簡単な作業で、ファンフィルタユニットによる空気浄化効率を向上させることができる。 As described above, according to the fan filter unit of the present invention, the air purification efficiency of the fan filter unit can be improved by a simple operation of providing the surrounding member on the substrate and filling the potting agent.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図１及び図２は、本発明の実施形態に係るファンフィルタユニットＡの外観を示す。このファンフィルタユニットＡは、工場等のクリーンルーム内に設置される装置（例えば半導体製造装置やＦＰＤ製造装置等）に取り付けられるものであって、該装置からの発塵によるクリーンルーム内の汚染を防止するものである。ファンフィルタユニットＡは、金属製の基板２と樹脂製のカバー部材３とで構成された筐体１を備えている。筐体１の一面を基板２が構成し、残りの面をカバー部材３が構成している。本実施形態では、便宜上、基板２が水平状態にありかつ基板２の筐体１内側の面が上側を向いているものとする。但し、ファンフィルタユニットＡの実際の取付状態では、これに限定するものではない。
1 and 2 show the appearance of a fan filter unit A according to an embodiment of the present invention. The fan filter unit A is attached to an apparatus (for example, a semiconductor manufacturing apparatus or an FPD manufacturing apparatus) installed in a clean room such as a factory, and prevents contamination in the clean room due to dust generated from the apparatus. Is. The fan filter unit A includes a
図３及び図４に示すように、筐体１内に、樹脂製のファンケース１２を有するファンユニット１１と、金属製のフィルタケース２２を有するフィルタユニット２１とが収容されている。ファンケース１２（つまりファンユニット１１）及びフィルタケース２２（つまりフィルタユニット２１）は、基板２の厚み方向一側の面である上面（筐体１内側の面）に、該上面に沿った方向に並んで固定されている。カバー部材３は、基板２の上面に固定されたファンケース１２及びフィルタケース２２を覆うように、基板２にネジ３１により取付固定されている。以下、ファンフィルタユニットＡにおいて、フィルタユニット２１の側を前側といい、ファンユニット１１の側を後側という。また、前側から見て左側を左側といい、前側から見て右側を右側という。
As shown in FIGS. 3 and 4, a
前記ファンケース１２は、軸心が上下方向に延びかつ上下両端部が閉塞された略円筒状をなしている。ファンケース１２の外周面の下部における周方向の３箇所には、ファンケース１２を基板２の上面にネジ３２により固定するための固定部１２ａが径方向外側に突出するように形成されている。
The
図示は省略するが、ファンケース１２内には、送風機（ファン又はブロア）が収容されている。この送風機は、遠心ファン、シロッコファン等で構成されていて、複数の羽根を有しかつ上下方向に延びる軸回りに回転可能なインペラと、このインペラの上側に位置して、該インペラを回転駆動するモータと、このモータを駆動するための回路基板とを有している。
Although illustration is omitted, a fan (fan or blower) is accommodated in the
ファンユニット１１は、ファンケース１２の内側から外側に延びる複数のリード線１４を有している。これらのリード線１４は、ファンケース１２の内側に位置する前記回路基板に接続されており、この回路基板から上側に延びた後、ファンケース１２の上端面部に設けた開口（前記モータのロータ軸の端部に抜け止めを係止するために開けられた開口（図示せず））とこの開口を閉塞する、銘板を兼ねた円板状の閉塞部材１３との間の隙間を通ってファンケース１２の外側に延びている。そして、リード線１４は、ファンケース１２の外側において、ファンケース１２の上面に沿って、前側でかつ右側（後述の接続部１２ｅとは反対側）に向かって延び、ファンケース１２の上端面部の周縁部の直ぐ外側で下側に折れ曲がって、基板２におけるファンケース１２の周側面の右前側部分とフィルタケース２２の後側の面との間の部分に、基板２の厚み方向に貫通するように形成されたリード線通過孔２ａを通って、筐体１の内側から外側へ出て行く。筐体１の外側へ出たリード線１４は、コネクタ１５（図１参照）を介して、電源を含むモータ駆動装置（図示せず）に接続される。尚、リード線１４には、必ずしもコネクタが接続されている必要はない。ファンケース１２の周側面におけるリード線１４の折れ曲がり部分の近傍には、リード線１４をリード線通過孔２ａに向かって折れ曲がるように案内するガイド部１２ｂが形成されている。このガイド部１２ｂは、フィルタケース１２の周側面と共にリード線１４の周囲を囲っている。
The
前記複数のリード線１４は、前記モータ（送風機）を駆動するためのものであって、少なくとも該モータへ電力を供給する２本の電力線を含み、これら２本の電力線に加えて、少なくとも１本の信号線を含んでいてもよい。本実施形態では、複数のリード線１４は、２本の電力線と１本の信号線との合計３本である。
The plurality of
ファンケース１２には、空気吸込み口１２ｃ（図１及び図４参照）及び空気吐出口１２ｄ（図３及び図４参照）が形成されている。空気吸込み口１２ｃは、ファンケース１２の下面（基板２側の面）における中心部（前記インペラの中心部に対応する部分）に形成されている。そして、基板２における空気吸込み口１２ｃに対応する部分には、空気吸込み口１２ｃを筐体１の外側と連通させるための連通孔２ｂが空気吸込み口１２ｃと合致するように形成されている。連通孔２ｂの筐体１側の開口は、ファンケース１２によって覆われることになる。
The
空気吐出口１２ｄは、ファンケース１２の周側面における左前側部分から前側（フィルタケース２２側）へ突出するように形成された接続部１２ｅの先端に設けられている。この接続部１２ｅの先端（空気吐出口１２ｄ）は、フィルタケース２２の後述の導入口２２ａと接続されている。
The
前記モータが駆動されて前記インペラが回転すると、このインペラにより、筐体１外の空気が、空気吸込み口１２ｃからファンケース１２内に吸い込まれ、この吸い込まれた空気がインペラの径方向外側へ吐出されて、空気吐出口１２ｄよりファンケース１２の外側へ吐出される（つまり、フィルタケース２２内に導入される）。
When the motor is driven and the impeller rotates, the air outside the
前記フィルタケース２２は、略矩形箱状をなしており、ファンケース１２よりも高さが高くされている。これに対応して、カバー部材３の上面における前側部分は、フィルタケース１２の上面に沿って水平に延びている一方、カバー部材３の上面におけ後側部分は、後側に向かって下側に傾斜している。
The
フィルタケース２２の後側（ファンケース１２側）の面における下側部分には、ファンケース１２の空気吐出口１２ｄと接続されかつ該空気吐出口１２ｄより吐出された空気をフィルタケース内に導入する導入口２２ａが形成されている。この導入口２２ａは、ファンケース１２の接続部１２ｅの先端部（空気吐出口１２ｄの周縁部）と略同じ大きさでありかつ同じ形状をなしており、接続部１２ｅの先端部が導入口２２ａに嵌合された状態で挿入されている。
The lower portion of the rear side (
フィルタケース２２内には、空気吐出口１２ｄより吐出された空気（導入口２２ａからフィルタケース２２内に導入された空気）を浄化する集塵フィルタ２３が設けられている。本実施形態では、この集塵フィルタ２３は、ＨＥＰＡフィルタとされているが、これに限らず、要求されるクリーン度に応じて、前記クリーンルーム内に設置された装置内の塵埃を除去できるものとすればよい。
In the
フィルタケース２２の前側の面（導入口２２ａが形成された面とは反対側の面）の略全体に、集塵フィルタ２３により浄化された空気（塵埃が除去された空気）をフィルタケース２２の外側へ導出する導出口２２ｂが形成されている。カバー部材３の前側の面（カバー部材３における導出口２２ｂと対向する部分）に、導出口２２ｂより導出された空気を筐体１外へ吹き出す吹出し口３ａが形成されている。この吹出し口３ａには、網目部材４が設けられており、この網目部材４の網目を通って、浄化された空気が筐体１外へ吹き出すことになる。尚、導出口２２ｂは、フィルタケース２２の前側の面に限らず、フィルタケース２２の上側、左側又は右側の面に形成してもよい。吹出し口３ａは、導出口２２ｂの近傍であればよいが、導出口２２ｂよりフィルタケース２２の外側へ導出された空気がスムーズに筐体１の外側に吹き出すように、カバー部材３において導出口２２ｂと対向する面に形成することが好ましい。
Air that has been purified by the dust collection filter 23 (air from which dust has been removed) is applied to substantially the entire front surface of the filter case 22 (the surface opposite to the surface on which the
図４に示すように、基板２の上面（筐体１内側の面）には、フィルタケース２２の後側（ファンケース１２側）の面と共にファンケース１２の周囲を囲む囲繞部材４１が設けられている。すなわち、基板２の上面に対して垂直な方向（上下方向）から見て、ファンケース１２の周囲を、フィルタケース２２の後側の面及び囲繞部材４１（詳しくは、囲繞部材４１の後述の立壁部４１ｂ）によって、略四角形状に囲んでいる。フィルタケース２２の後側の面は、ファンケース１２の前側に位置し、囲繞部材４１（立壁部４１ｂ）は、ファンケース２２の左側、後側及び右側に位置する。囲繞部材４１は、後述の如く、ファンケース１２の周囲にポッティング剤４５（図３及び図５参照）を充填する際に、そのポッティング剤４５が基板２上から漏れ出ないようにするためのものである。
As shown in FIG. 4, a surrounding
本実施形態では、図６に示すように、囲繞部材４１は、ファンケース１２と基板２との間に介在されかつ基板２の上面に接着剤により密着される平板状部４１ａと、この平板状部４１ａの周縁部のうちフィルタケース２１側を除く縁部から基板２とは反対側（上側）に立設されて、フィルタケース２１の後側の面と共にファンケース１２の周囲を囲む立壁部４１ｂとを有している。このような囲繞部材４１は、厚みの比較的薄い樹脂シート（例えばＰＥＴシート）を真空成形によって容易に成形することができる。立壁部４１ｂの厚みが薄くても、立壁部４１ｂにおける基板２側の端部全体が平板状部４１ａで繋がっていることで、立壁部４１ｂが倒れるようなことはなく、基板２上に平板状部４１ａを固定するだけで、ポッティング剤４５の漏れ防止という立壁部４１ｂの役割を果たす。本実施形態では、立壁部４１ｂの剛性をより向上させるために、立壁部４１ｂに上下方向に延びる複数のリブ４１ｃを形成している。尚、図４では、リブ４１ｃを省略している。
In this embodiment, as shown in FIG. 6, the surrounding
前記立壁部４１ｂの周方向の両端部（ファンケース１２の左側及び右側に位置する部分の前端部）には、フィルタケース２２側に延設された延設部４１ｄがそれぞれ設けられており、これら両延設部４１ｄがフィルタケース２２の左側及び右側の面における後端部に固定されている。
Extending
前記平板状部４１ａには、基板２の連通孔２ｂに対応する部分に位置しかつ連通孔２ｂと略同径である第１貫通孔４１ｅと、ファンケース１２の固定部１２ａを基板２に固定する際に用いるネジ３２が挿通される３つの第２貫通孔４１ｆと、リード線通過孔２ａに対応する部分に位置する環状突部４１ｇ（図１及び図５参照）と、この環状突部４１ｇの内側に位置する第３貫通孔４１ｈとが形成されている。
The
前記環状突部４１ｇは、図５に示すように、基板２側（下側）に突出してリード線通過孔２ａに挿入されている。この環状突部４１ｇの内側に形成された前記第３貫通孔４１ｈを前記複数のリード線１４が通過する。第３貫通孔４１ｈの内径は、複数のリード線１４が第３貫通孔４１ｈに対してリード線１４の自重では動かない程度の大きさに設定されており、リード線１４を第３貫通孔４１ｈ（つまり基板２）に仮固定することができる。尚、リード線１４の本固定は、後述の如くポッティング剤４５の充填により行う。
Said
前記基板２の上面上（本実施形態では、前記平板状部４１ａの上面上であるが、平板状部４１ａは基板２の上面に密着されるので、実質的に基板２の上面上であると言える）において囲繞部材４１の立壁部４１ｂとフィルタケース２２の後側（ファンケース１２側）の面とにより囲まれた部分におけるファンケース１２の周囲（図４において斜線を施した部分）には、ポッティング剤４５（図３及び図５参照）が充填されている。このポッティング剤４５は、充填後に硬化して固まる。このようなポッティング剤４５としては、１液性エポキシ樹脂組成物接着剤のような１液性の接着剤であって、硬化前の粘度が１０Ｐａ・ｓ以上でかつ３０Ｐａ・ｓ以下のものが好ましい。また、ポッティング剤４５は、低分子シロキサンのような電子部品に悪影響を及ぼすような材料を含まないことが好ましい。尚、図４は、ポッティング剤４５を充填する前の状態を示している。
On the upper surface of the substrate 2 (in this embodiment, on the upper surface of the
前記ポッティング剤４５が硬化すると、このポッティング剤４５によりファンケース１２の下面周縁部と平板状部４１ａの上面との間の隙間が封止される。また、リード線通過孔２ａが、基板２の上面における前記ポッティング剤４５の充填部分に開口しており、これにより、ポッティング剤４５が硬化すると、リード線通過孔２ａ（平板状部４１ａの第３貫通孔４１ｈ）が封止されるとともに、リード線１４が第３貫通孔４１ｈ（つまり基板２）に本固定される。このリード線１４の本固定により、リード線１４が筐体１外側から引っ張られても、リード線１４の、前記回路基板と接続された端部には大きな力が作用せず、リード線１４が前記回路基板から外れるようなことはない。しかも、リード線１４とリード線通過孔２ａの内周面との間に樹脂製の環状突部４１ｇが介在することにより、リード線１４が筐体１外に出た直後の箇所で曲げられても、リード線１４には亀裂が生じ難くなる。
When the
ポッティング剤４５の充填量は、ファンケース１２の下面周縁部と平板状部４１ａの上面との間の隙間及びリード線通過孔２ａ（第３貫通孔４１ｈ）を確実に封止できる量とすればよく、比較的多い目に充填しても、囲繞部材４１（立壁部４１ｂ）により、充填されるポッティング剤４５が基板２上から漏れ出ることはない。このため、充填量を厳密に管理する必要はない。
The filling amount of the
ポッティング剤４５の充填前に、基板２の下面におけるリード線１４の周囲の箇所にマスキングテープを貼って、リード線通過孔２ａ（平板状部４１ａの第３貫通孔４１ｈ）をマスキングする。これにより、ポッティング剤４５が、その充填時にリード線通過孔２（第３貫通孔４１ｈ）から漏れ出るのを防止する。前記マスキングテープは、ポッティング剤４５の硬化後に取り外される。
Before filling with the
尚、ポッティング剤４５の充填時に、ポッティング剤４５がファンケース１２の下面周縁部と平板状部４１ａの上面との間に僅かな量だけ進入するが、ファンケース１２の下面と平板状部４１ａの上面との間の隙間量は極僅かであるため、その進入したポッティング剤４５が平板状部４１ａの第１貫通孔４１ｅの所まで達することはなく、第１貫通孔４１ｅ及び基板２の連通孔２ｂからポッティング剤４５が漏れ出ることはない。仮に、ポッティング剤４５が、その充填時に第１貫通孔４１ｅ及び基板２の連通孔２ｂから漏れ出る場合には、ポッティング剤４５の充填前に、基板２の連通孔２ｂもリード線通過孔２ａと同様にマスキングしておき、ポッティング剤４５の硬化後に取り外せばよい。
Note that when the
本実施形態では、ポッティング剤４５を、ファンケース１２の接続部１２ｅにおける空気吐出口１２ｄの周縁部と、ファンケース１２の上端面部における閉塞部材１３の周縁部とに塗布することで、空気吐出口１２ｄの周縁部とフィルタケース２２の導入口２２ａの周縁部との間の隙間及びファンケース１２の上端面部の開口周縁部と閉塞部材１３の周縁部との間の隙間を封止する。これにより、ファンケース１２内に吸い込まれた空気は全てフィルタケース２２内に導入される。
In the present embodiment, the
前記筐体１内におけるポッティング剤４５に対して上側（基板２とは反対側）の空間は、フィルタケース２２の上側及び左右両側の空間を介して吹出し口３ａと連通している。しかし、ファンケース１２の下面周縁部と基板２の上面との間の隙間がポッティング剤４５により封止されているので、吹出し口３ａは、ファンケース１２の下面と平板状部４１ａの上面との間の隙間部分及び基板２の連通孔２ｂ（平板状部４１ａの第１貫通孔４１ｅ）とは連通していない。
The space on the upper side (opposite side of the substrate 2) with respect to the
前記ファンフィルタユニットＡを製造するには、先ず、基板２上に、囲繞部材４１の平板状部４１ａを接着して囲繞部材４１を固定するとともに、予め作製されたフィルタユニット２１のフィルタケース２２を固定する。その後、フィルタケース２２の導入口２２ａに、予め作製されたファンユニット１１のファンケース１２の接続部１２ｅを接続しながら、基板２上に前記平板状部４１ａを介してファンケース１２をネジ３２により固定する。
In order to manufacture the fan filter unit A, first, the
続いて、ファンケース１２の外側に出ているリード線１４をガイド部１２ｂで案内しかつ基板２のリード線通過孔２ａ（囲繞部材４１の平板状部４１ａの第３貫通孔４１ｈ）を通す。これにより、図４に示す状態となる。
Subsequently, the
次いで、マスキングテープによりリード線通過孔２ａをマスキングした後、基板２を水平状態にしかつ基板２におけるファンケース１２及びフィルタケース２２を固定した面が上向きになるようにする。
Next, after masking the lead
その後、基板２の上面上（平板状部４１ａの上面上）において囲繞部材４１の立壁部４１ｂとフィルタケース２２のファンケース１２側の面とにより囲まれた部分におけるファンケース１２の周囲（図４において斜線を施した部分）にポッティング剤４５を充填する。また、ポッティング剤４５の充填前若しくは充填後又は充填時に、ポッティング剤４５を、ファンケース１２の接続部１２ｅにおける空気吐出口１２ｄの周縁部と、ファンケース１２の上端面部における閉塞部材１３の周縁部とに塗布する。
Thereafter, on the upper surface of the substrate 2 (on the upper surface of the
前記ポッティング剤４５の硬化後、基板２に、予め吹出し口３ａに網目部材４を設けたカバー部材３を、ファンケース１２（ファンユニット１１）及びフィルタケース２２（フィルタユニット２１）を覆うようにして、ネジ３１により固定し、こうしてファンフィルタユニットＡが完成する。尚、ポッティング剤４５の硬化後は、基板２をどのように傾けても、ポッティング剤４５が筐体１の外側に漏れることはない。
After the
前記ファンフィルタユニットＡが作動する（前記モータが駆動される）と、前記クリーンルーム内の汚染空気がファンケース１２の空気吸込み口１２ｃからファンケース１２内に吸い込まれ、その汚染空気がファンケース１２の空気吐出口１２ｄ及びフィルタケース２２の導入口２２ａを介してフィルタケース２２内に導入されて、フィルタケース２２内の集塵フィルタ２３により浄化される（汚染空気中の塵埃が除去される）。この浄化された空気がフィルタケース２２の導出口２２ａ及び筐体１のカバー部材３の吹出し口３ａを介して筐体１外へと吹き出す。
When the fan filter unit A is activated (the motor is driven), the contaminated air in the clean room is sucked into the
ここで、汚染空気は、基板２の連通孔２ｂ及び平板状部４１ａの第１貫通孔４１ｅから、ファンケース１２の下面と平板状部４１ａの上面との間の隙間部分に進入する。そして、汚染空気は、その隙間部分から筐体１内におけるポッティング剤４５に対して上側の空間（吹出し口３ａと連通する空間）を通って吹出し口３ａへ流動しようとするが、ファンケース１２の下面周縁部と基板２の上面との間の隙間がポッティング剤４５により封止されているので、前記汚染空気は、吹出し口３ａと連通する空間へは進入できず、このため、集塵フィルタ２３により浄化された空気と混じって吹出し口３ａより吹き出すことはない。また、ファンケース１２内に吸い込まれた空気が途中で漏れることはなく、その全ての空気がフィルタケース２２内に導入されて集塵フィルタ２３により浄化され、この浄化された空気のみが、吹出し口３ａよりクリーンルームへ吹き出すことになる。
Here, the contaminated air enters the gap portion between the lower surface of the
したがって、本実施形態では、基板２上に囲繞部材４１を設けてポッティング剤４５を充填するという簡単な作業で、ファンフィルタユニットＡによる空気浄化効率を向上させることができる。
Therefore, in this embodiment, the air purification efficiency by the fan filter unit A can be improved by a simple operation of providing the surrounding
また、基板２の上面におけるポッティング剤４５の充填部分に、ファンユニット１１に接続される複数のリード線１４が通過するリード線通過孔２ａが開口しているので、リード線通過孔２ａをポッティング剤４５の充填により封止することができ、リード線通過孔２ａを別途に封止する作業が不要になる。また、リード線通過孔２ａの封止作業の忘れや封止剤の塗布量不足といった問題が生じるようなことはなく、リード線通過孔２ａをポッティング剤４５により確実に封止することができる。
In addition, since the lead
さらに、囲繞部材４１を平板状部４１ａと立壁部４１ｂとで構成したので、囲繞部材４１を、厚みの比較的薄い樹脂シートで構成することができ、小型のファンフィルタユニットＡであっても、囲繞部材４１を容易に設けることができる。しかも、平板状部４１ａに、リード線通過孔２ａに嵌合する環状突部４１ｇと、この環状突部４１ｇの内側に位置しかつリード線１４が通過する第３貫通孔４１ｈとを形成したので、ポッティング剤４５の充填と相俟って、リード線１４を適切に固定しつつリード線通過孔２ａ（第３貫通孔４１ｈ）を良好に封止することができる。
Furthermore, since the surrounding
本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、請求の範囲の主旨を逸脱しない範囲で代用が可能である。 The present invention is not limited to the above embodiment, it is possible to substitute without departing from the scope of the claims.
例えば、前記実施形態では、リード線通過孔２ａを、基板２の上面におけるポッティング剤４５の充填部分に開口するように基板２に形成したが、これに限らず、リード線通過孔２ａを、基板２の上面におけるポッティング剤４５の非充填部分に開口するように基板２に形成してもよく、或いは、カバー部材３に形成してもよい。但し、リード線通過孔２ａが基板２の上面におけるポッティング剤４５の充填部分に開口していない場合には、ポッティング剤４５の充填に加えて、封止剤（ポッティング剤４５と同じ者であってもよく、異なるものであってもよい）によりリード線通過孔２ａを封止する作業が別途に必要になるとともに、その封止作業の忘れや封止剤の塗布量不足といった問題が生じる可能性があるため、前記実施形態のようにリード線通過孔２ａを形成することが好ましい。
For example, in the above-described embodiment, the lead
また、前記実施形態では、囲繞部材４１を平板状部４１ａと立壁部４１ｂとで構成したが、平板状部４１ａがなくて、立壁部４１ｂに相当する部分で構成してもよい。この場合、立壁部４１ｂに相当する部分の厚みを比較的厚くすることで、剛性を高くするとともに、基板２の上面への接着面積を確保するようにすることが好ましい。平板状部４１ａがない場合、リード線１４を基板２に仮固定するための部材（環状突部４１ｇに相当する部材）を別途に設けるか、又は、その部材を立壁部４１ｂに相当する部分に一体成形してもよい。
Moreover, in the said embodiment, although the surrounding
前記実施形態は単なる例示に過ぎず、本発明の範囲を限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は請求の範囲によって定義され、請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。 The above embodiments are merely examples, and the scope of the present invention should not be interpreted in a limited manner. The scope of the present invention is defined by the scope of the claims, and all modifications and changes belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.
本発明は、クリーン度が要求される室内に設置されるファンフィルタユニットに有用であり、特にそのような室内に設置される装置に取り付けられる比較的小型のファンフィルタユニットに有用である。 The present invention is useful for a fan filter unit installed in a room where cleanliness is required, and is particularly useful for a relatively small fan filter unit attached to a device installed in such a room.
Ａ ファンフィルタユニット
１ 筐体
２ 基板
２ａ リード線通過孔
２ｂ 連通孔
３ カバー部材
１１ ファンユニット
１２ ファンケース
１２ｃ 空気吸込み口
１２ｄ 空気吐出口
１２ｅ 接続部
１４ リード線
２１ フィルタユニット
２２ フィルタケース
２３ 集塵フィルタ
４１ 囲繞部材
４１ａ 平板状部
４１ｂ 立壁部
４１ｇ 環状突部
４１ｈ 第３貫通孔（環状突部の内側に位置する貫通孔）
A
Claims (4)
前記筐体は、厚み方向一側の面に前記ファンケース及び前記フィルタケースが当該面に沿った方向に並んで固定された基板と、該基板に、前記ファンケース及び前記フィルタケースを覆うように取り付けられたカバー部材とで構成され、
前記ファンケースの空気吸込み口は、該ファンケースの基板側の面に形成され、
前記基板における前記空気吸込み口に対応する部分には、該空気吸込み口を前記筐体の外側と連通させるための連通孔が形成され、
前記フィルタケースには、前記ファンケースの空気吐出口と接続されかつ該空気吐出口より吐出された空気を前記フィルタケース内に導入する導入口と、前記集塵フィルタにより浄化された空気を前記フィルタケース外に導出する導出口とが形成され、
前記カバー部材に、前記導出口より導出された空気を筐体外へ吹き出す吹出し口が形成され、
前記基板の筐体内側の面に、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む囲繞部材が設けられ、
前記基板の筐体内側の面上において前記囲繞部材と前記フィルタケースのファンケース側の面とにより囲まれた部分における前記ファンケースの周囲に、ポッティング剤が充填されている、ファンフィルタユニット。 A fan unit having a fan case in which an air suction port and an air discharge port are formed in a housing, and a filter case in which a dust collection filter for purifying air discharged from the air discharge port of the fan case is provided. A fan filter unit containing a filter unit having
The housing includes a substrate on which the fan case and the filter case are fixed side by side in a direction along the surface, and the substrate covers the fan case and the filter case. It is composed of an attached cover member,
The air inlet of the fan case is formed on the substrate side surface of the fan case,
A portion of the substrate corresponding to the air suction port is formed with a communication hole for communicating the air suction port with the outside of the housing.
The filter case is connected to an air discharge port of the fan case and introduces air discharged from the air discharge port into the filter case, and air purified by the dust collecting filter is A lead-out port leading out of the case is formed,
The cover member is formed with a blowout port for blowing out the air led out from the lead-out port to the outside of the housing,
On the inner surface of the housing of the substrate is provided a surrounding member surrounding the fan case together with the surface of the filter case on the fan case side,
A fan filter unit in which a potting agent is filled around the fan case in a portion surrounded by the surrounding member and the fan case side surface of the filter case on the inner surface of the housing of the substrate.
前記ファンユニットは、前記ファンケースの内側から外側に延びる複数のリード線を有し、
前記基板の筐体内側の面における前記ポッティング剤の充填部分に、前記複数のリード線が通過するリード線通過孔が開口している、ファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1, wherein
The fan unit has a plurality of lead wires extending from the inside to the outside of the fan case,
A fan filter unit, wherein a lead wire passage hole through which the plurality of lead wires pass is opened in a portion filled with the potting agent on the inner surface of the substrate.
前記囲繞部材は、前記ファンケースと前記基板との間に介在されかつ該基板の筐体内側の面に密着される平板状部と、該平板状部の周縁部のうち前記フィルタケース側を除く縁部から基板とは反対側に立設されて、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む立壁部とを有している、ファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1, wherein
The surrounding member is a flat plate portion that is interposed between the fan case and the substrate and is in close contact with the inner surface of the housing of the substrate, and excludes the filter case side of the peripheral portion of the flat plate portion. A fan filter unit, which has a standing wall portion standing on the opposite side of the substrate from the edge and surrounding the fan case together with the surface of the filter case on the fan case side.
前記囲繞部材は、前記ファンケースと前記基板との間に介在されかつ該基板の筐体内側の面に密着される平板状部と、該平板状部の周縁部のうち前記フィルタケース側を除く縁部から基板とは反対側に立設されて、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む立壁部とを有し、
前記囲繞部材の平板状部に、前記基板側に突出して前記リード線通過孔に挿入される環状突部と、該環状突部の内側に位置しかつ前記リード線が通過する貫通孔とが形成されている、ファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 2,
The surrounding member is a flat plate portion that is interposed between the fan case and the substrate and is in close contact with the inner surface of the housing of the substrate, and excludes the filter case side of the peripheral portion of the flat plate portion. A standing wall portion that is erected from the edge on the opposite side of the substrate and surrounds the periphery of the fan case together with the fan case side surface of the filter case;
An annular protrusion that protrudes toward the substrate and is inserted into the lead wire passage hole and a through hole that is located inside the annular protrusion and through which the lead wire passes are formed in the flat plate-like portion of the surrounding member. The fan filter unit.
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