JPH0717319U - Filter unit - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 プレス加工等により成形された継ぎ目のない
有底筒状部材２の開口部に仕切板３をシール部材５を介
して取り付けチャンバ室１０を形成した状態で筐体１内
のブランケット６に取り付けるようにした。尚、仕切板
３にはチャンバ室１０に臨む開口部１３を開設し、そこ
にエアフィルタ１２を交換自在に取り付け、送風機１１
からの空気をエアフィルタ１２で清浄しパンチングプレ
ート１４からクリーンルームへと供給するようにした。 【効果】 簡単な作業で、かつ熟練を有することなくチ
ャンバ室の気密を確実に確保することができ、更に、予
めフィルタユニットを筐体外で組み立てることができる
ので作業性が向上する。 (57) [Summary] [Structure] A casing in a state in which a partition plate 3 is attached to an opening of a seamless bottomed tubular member 2 formed by press working or the like via a seal member 5 to form a chamber chamber 10. The blanket 6 in 1 was attached. It should be noted that the partition plate 3 is provided with an opening 13 facing the chamber 10 and an air filter 12 is attached to the opening 13 so that the air blower 11 can be replaced.
The air from was cleaned by the air filter 12 and supplied from the punching plate 14 to the clean room. [Effect] With a simple operation, the airtightness of the chamber can be surely ensured without any skill, and the workability is improved because the filter unit can be assembled in advance outside the housing.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、例えば半導体産業やバイオ産業において必要とされるクリーンルー ムに使用される空気清浄用のフィルタユニットに関する。 The present invention relates to a filter unit for air cleaning used in a clean room required in, for example, the semiconductor industry or the biotechnology industry.

【０００２】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

上記クリーンルーム内に清浄な空気を供給するため、送風機の下流側にチャン バ室を介してエアフィルタが取り付けられたフィルタユニットが用いられている 。このような従来のフィルタユニットの構造を図２を用いて説明すると、クリー ンルーム（図示せず）に固定される筐体ａ内に空気の流れ方向に沿って距離Ｈを 存して対峙するように２枚の仕切板ｂ・ｃを筐体ａの内周面に溶接し、該２枚の 仕切板ｂ・ｃに挟まれた空間をチャンバ室ｄとする。そして、上流側の仕切板ｂ の中央部分にチャンバ室ｄに連通する送風機取付口ｅを設け、該送風機取付口ｅ に送風機ｆの吹出口を連結する。一方、下流側の仕切板ｃの中央部分に開口部ｇ を開設し、該開口部ｇをチャンバ室ｄの外側から覆うようにエアフィルタｈを取 り付け、パンチングプレートｉからなる吹出口から清浄な空気をクリーンルーム へと供給するようにしている。 In order to supply clean air into the clean room, a filter unit in which an air filter is attached downstream of the blower via a chamber is used. The structure of such a conventional filter unit will be described with reference to FIG. 2, in which a housing a fixed to a clean room (not shown) is faced with a distance H along the air flow direction. The two partition plates b and c are welded to the inner peripheral surface of the casing a, and the space sandwiched between the two partition plates b and c is defined as a chamber chamber d. Then, a blower mounting port e communicating with the chamber d is provided in the central portion of the upstream partition b, and the blower outlet of the blower f is connected to the blower mounting port e. On the other hand, an opening g is opened in the central portion of the partition plate c on the downstream side, an air filter h is attached so as to cover the opening g from the outside of the chamber d, and the air is cleaned from the air outlet formed by the punching plate i. The clean air is supplied to the clean room.

【０００３】[0003]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

上記従来のフィルタユニットでは、チャンバ室ｄ内の気密を確保するために２ 枚の仕切板ｂ・ｃの溶接部分をチャンバ室ｄの内側から全周にわたってシリコン シール剤等を塗布しなければならない。ところが、この作業はエアフィルタｈを 取り付ける前に開口部ｇから手を挿入して行なわなければならず、作業性が悪い ため作業に長時間と熟練とを要するという不具合がある。また、シール剤の塗布 部分を確認しづらいため、特に２枚の仕切板ｂ・ｃの間隔Ｈが短い場合にはシー ル剤を完全に塗布できずチャンバ室ｄの気密を確保できないおそれがある。 そこで本考案は、上記の問題点に鑑み、簡単に、かつ確実にチャンバ室の気密 を確保することのできるフィルタユニットを提供することを目的とする。 In the above-mentioned conventional filter unit, in order to ensure airtightness in the chamber chamber d, the welded portions of the two partition plates b and c must be coated with a silicone sealant or the like from the inside of the chamber chamber d to the entire circumference. However, this work has to be performed by inserting a hand through the opening g before attaching the air filter h, and the workability is poor, which requires a long time and skill. Further, since it is difficult to confirm the applied portion of the sealing agent, there is a possibility that the sealing agent cannot be applied completely and the airtightness of the chamber chamber d cannot be secured, especially when the distance H between the two partition plates b and c is short. . In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a filter unit that can easily and reliably ensure the airtightness of a chamber.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記目的を達成するために、請求項１の考案は、送風機から空気が圧送される チャンバ室に臨ませてエアフィルタを密設させたフィルタユニットにおいて、プ レス加工等により成形された継ぎ目のない有底筒状部材の内部空間をチャンバ室 にすると共に、有底円筒部材の開口部にシール部材を介してエアフィルタを取り 付け、かつ有底筒状部材の壁部にチャンバ室に連通する送風機取付口を設けたこ とを特徴とする。 また、請求項２の考案は、請求項１の考案において、上記有底筒状部材を、エ アフィルタ及び送風機を取り付けた状態で筐体内に着脱自在に設けたことを特徴 とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the invention of claim 1 is a filter unit in which an air filter is densely placed so as to face a chamber chamber in which air is pressure-fed by a blower, and there is no joint formed by press working or the like. A blower that makes the inner space of the bottomed cylindrical member a chamber, attaches an air filter to the opening of the bottomed cylindrical member via a seal member, and communicates with the chamber of the wall of the bottomed cylindrical member. It is characterized by having a mounting port. A second aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect of the invention, the bottomed tubular member is detachably provided in the housing with the air filter and the blower attached.

【０００５】[0005]

【作用】[Action]

チャンバ室をプレス加工等により成形した有底筒状部材で形成することにより シール剤を塗布しなければならないような溶接部分を無くし、この有底筒状部材 の開口部分にシール部材を介してエアフィルタを取り付けることによりチャンバ 室の気密を確保するようにした。 そして、これらの作業を筐体外で行ない気密が確保された状態で筐体内に取り 付けるようにすることにより、作業性をより向上させるようにした。 By forming the chamber with a bottomed tubular member formed by press work, etc., the welded part where the sealant has to be applied is eliminated, and the air is inserted into the opening of this bottomed tubular member through the seal member. The filter was attached to ensure the airtightness of the chamber. The workability is further improved by performing these operations outside the housing and mounting them inside the housing while ensuring airtightness.

【０００６】[0006]

【実施例】【Example】

以下、本考案フィルタユニットの実施例を図面に基づき説明する。 図１を参照して、１はフィルタユニットを格納する筐体であり、図外のクリー ンルームに固定されている。本考案によるフィルタユニットは該筐体１の外で予 め組み立てるもので、プレス加工により一体に成形された継ぎ目のない有底筒状 部材２を仕切板３にビス４によりねじ留めすることにより組み立てる。このねじ 留めに際し、有底筒状部材２の開口部と仕切板３との間にはシール部材５を介在 させて気密を確保するようにした。一方、筐体１の内周面には仕切板３の取付金 具であるブランケット６を予め溶接等により固定しておき、有底筒状部材２を取 り付けた状態の仕切板３を有底筒状部材１の開口部８側から挿入して該ブランケ ット６に対してビス７により取り付けるようにした。 Hereinafter, embodiments of the filter unit of the present invention will be described with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, reference numeral 1 is a housing for housing a filter unit, which is fixed to a clean room (not shown). The filter unit according to the present invention is preassembled outside the housing 1, and is assembled by screwing a seamless bottomed cylindrical member 2 integrally formed by press working with a partition plate 3 with a screw 4. .. At the time of this screwing, a seal member 5 is interposed between the opening of the bottomed tubular member 2 and the partition plate 3 to ensure airtightness. On the other hand, on the inner peripheral surface of the housing 1, a blanket 6 which is a mounting tool for the partition plate 3 is fixed in advance by welding or the like, and the partition plate 3 with the bottomed tubular member 2 attached thereto is provided. The bottom tubular member 1 was inserted from the opening 8 side and attached to the blanket 6 with screws 7.

【０００７】 ところで、上記有底筒状部材２の底部には該有底筒状部材２の内部空間である チャンバ室１０に連通する送風機取付口９を突設し、該送風機取付口９に送風機 １１の吹出口を連結させた。また、仕切板３には予めチャンバ室１０に対して開 口する位置に開口部１３を開設しておき、該開口部１３を介してチャンバ室１０ に臨むようにエアフィルタ１２を交換自在に取り付けるようにした。そして、エ アフィルタ１２を取り付けた後、上記開口部８をパンチングプレート１４で覆い 該パンチングプレート１４の開口を吹出口としてクリーンルーム内へ清浄な空気 を供給するようにした。By the way, the bottom of the bottomed tubular member 2 is provided with a blower attachment port 9 that communicates with a chamber 10 that is an internal space of the bottomed tubular member 2, and the blower attachment port 9 is provided with a blower. 11 outlets were connected. Further, an opening portion 13 is previously formed in the partition plate 3 at a position where it is opened to the chamber chamber 10, and an air filter 12 is replaceably attached so as to face the chamber chamber 10 through the opening portion 13. I did it. Then, after the air filter 12 was attached, the opening 8 was covered with a punching plate 14 so that clean air was supplied into the clean room using the opening of the punching plate 14 as a blowout port.

【０００８】 上記構成によれば、チャンバ室１０は有底筒状部材２を仕切板３に取り付ける ことにより形成されるが、有底筒状部材２には上述のごとく継ぎ目がないのでシ ール剤等を塗布する必要がなく、また仕切板３に対して取り付ける際にシール部 材５を介在させているので確実に気密を確保することができる。そしてこの仕切 板３への取り付け作業を筐体１の外部で行なうことができるのできわめて容易に 作業を行なうことができ、また、チャンバ室１０の気密テストも容易に行なうこ とができる。According to the above configuration, the chamber chamber 10 is formed by attaching the bottomed tubular member 2 to the partition plate 3, but since the bottomed tubular member 2 is seamless as described above, it is a seal. It is not necessary to apply an agent or the like, and since the seal member 5 is interposed when the partition plate 3 is attached, airtightness can be reliably ensured. Since the work of attaching to the partition plate 3 can be performed outside the housing 1, the work can be performed very easily, and the airtightness test of the chamber 10 can be performed easily.

【０００９】[0009]

【考案の効果】[Effect of device]

以上の説明から明らかなように、請求項１の考案によれば、簡単な作業で、か つ熟練を有することなくチャンバ室の気密を確実に確保することができる。 また、請求項２の考案によれば、予めフィルタユニットを筐体外で組み立てる ことができるので、更に作業性が向上すると共に、チャンバ室の気密テスト等を 容易に行なえ、チャンバ室の気密に対する信頼性を向上させることができる。 As is clear from the above description, according to the first aspect of the invention, the airtightness of the chamber can be surely ensured by a simple work and without skill. Further, according to the invention of claim 2, since the filter unit can be assembled in advance outside the housing, the workability is further improved, and the airtightness test of the chamber can be easily performed, and the reliability of the airtightness of the chamber is improved. Can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本考案の一実施例の構成を示す断面図FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an embodiment of the present invention.

【図２】従来のフィルタユニットの構成を示す断面図FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional filter unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 筐体 ２ 有底筒状部材 ３ 仕切板 ５ シール部材 ９ 送風機取付口 １０ チャンバ室 １１ 送風機 １２ エアフィルタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 2 Bottomed tubular member 3 Partition plate 5 Sealing member 9 Blower mounting port 10 Chamber chamber 11 Blower 12 Air filter

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】 送風機から空気が圧送されるチャンバ
室に臨ませてエアフィルタを密設させたフィルタユニッ
トにおいて、プレス加工等により成形された継ぎ目のな
い有底筒状部材の内部空間をチャンバ室にすると共に、
有底筒状部材の開口部にシール部材を介してエアフィル
タを取り付け、かつ有底筒状部材の壁部にチャンバ室に
連通する送風機取付口を設けたことを特徴とするフィル
タユニット。1. In a filter unit in which an air filter is closely arranged so as to face a chamber chamber to which air is blown from a blower, an inner space of a seamless bottomed cylindrical member formed by press working or the like is defined as the chamber chamber. As well as
An air filter is attached to an opening of a bottomed tubular member via a seal member, and a blower attachment port communicating with a chamber is provided on a wall of the bottomed tubular member. 【請求項２】 上記有底筒状部材を、エアフィルタ及
び送風機を取り付けた状態で筐体内に着脱自在に設けた
ことを特徴とする請求項１記載のフィルタユニット。2. The filter unit according to claim 1, wherein the bottomed tubular member is detachably provided in the housing with the air filter and the blower attached.