JP5427854B2 - Fan filter unit - Google Patents
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Description
本発明は、例えば半導体工場や精密機械工場等のクリーンルームのように、クリーン度が要求される室内に設置されるファンフィルタユニットに関する。 The present invention relates to a fan filter unit installed in a room where cleanliness is required, such as a clean room such as a semiconductor factory or a precision machine factory.
従来より、この種のファンフィルタユニットは、筐体内にファンと集塵フィルタとが収容されていて、特にクリーンルームの天井部に設置されて、クリーンルーム内の空気を浄化するようにしている(例えば特開2004−225982号公報参照)。
ところで、ファンフィルタユニットを、クリーンルームの天井部ではなくて、クリーンルーム内に設置される装置(例えば半導体製造装置やFPD製造装置等)に取り付けるようにすれば、その装置からの発塵によるクリーンルーム内の汚染を防止することができて好ましい。 By the way, if the fan filter unit is attached to a device (for example, a semiconductor manufacturing device or an FPD manufacturing device) installed in the clean room instead of the ceiling of the clean room, the fan filter unit is installed in the clean room due to dust generation from the device. It is preferable because contamination can be prevented.
このようにファンフィルタユニットを前記装置に設置する場合、ファンフィルタユニットは、天井部に設置する場合とは異なり、比較的小型のものになる。このような小型のものは、大型のものに比べて空気浄化能力がどうしても劣るため、空気浄化効率を出来る限り向上させる必要がある。 Thus, when installing a fan filter unit in the said apparatus, a fan filter unit becomes a comparatively small thing unlike the case where it installs in a ceiling part. Such a small one has an air purification capability that is inevitably inferior to that of a large one, and therefore it is necessary to improve the air purification efficiency as much as possible.
ここで、ファンフィルタユニットを、空気吸込み口及び空気吐出口を有するファンケースを有するファンユニットと、内部に集塵フィルタが設けられたフィルタケースを有するフィルタユニットと、これらを収容する筐体とで構成すれば、ファンフィルタユニットの組立作業が簡単になる。この場合、筐体には、フィルタケースより導出された、浄化された空気を筐体外へ吹き出す吹出し口と、ファンケースの空気吸込み口を筐体の外側と連通させるための連通孔とが形成される。 Here, the fan filter unit is composed of a fan unit having a fan case having an air suction port and an air discharge port, a filter unit having a filter case provided with a dust collecting filter therein, and a housing for housing these. If it comprises, the assembly operation of a fan filter unit will become easy. In this case, the housing is formed with a blow-out port that is led out from the filter case and blows out purified air to the outside of the housing, and a communication hole for communicating the air intake port of the fan case with the outside of the housing. The
仮に、前記連通孔が筐体内部の空間と連通していると、前記連通孔から汚染空気が筐体内部の空間に進入し、その進入した汚染空気が、集塵フィルタにより浄化された空気と混じって前記吹出し口より吹き出すことになるため、空気浄化効率を向上させることが困難になる。 If the communication hole communicates with the space inside the housing, the contaminated air enters the space inside the housing from the communication hole, and the contaminated air that has entered the air purified by the dust collection filter Since it mixes and it blows out from the said blower outlet, it becomes difficult to improve air purification efficiency.
そこで、前記連通孔における空気吸込み口の周囲を封止剤等により封止することが考えられる。しかし、封止する部分の直ぐ近傍には空気吸込み口があるため、封止剤の使用量が多すぎると、封止剤が空気吸込み口を塞いでしまう可能性がある一方、少なすぎると、確実に封止することが困難になる。このため、封止剤の使用量を厳密に管理する必要があり、この点で作業性が悪いという問題がある。 Therefore, it is conceivable to seal the periphery of the air suction port in the communication hole with a sealant or the like. However, because there is an air suction port in the immediate vicinity of the portion to be sealed, if the amount of sealant used is too much, the sealant may block the air suction port, while if too little, It becomes difficult to ensure sealing. For this reason, it is necessary to strictly manage the amount of sealant used, and there is a problem that workability is poor in this respect.
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、筐体内に、空気吸込み口及び空気吐出口を有するファンケースを有するファンユニットと、内部に集塵フィルタが設けられたフィルタケースを有するフィルタユニットとが収容されたファンフィルタユニットにおいて、簡単な作業で、前記連通孔から汚染空気が筐体内部の空間に進入することを防止し、ファンフィルタユニットによる空気浄化効率を向上させることができるようにすることにある。 The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide a fan unit having a fan case having an air suction port and an air discharge port in a housing, and a dust collecting filter inside. In a fan filter unit in which a filter unit having a provided filter case is accommodated, the air purification by the fan filter unit is achieved by preventing contaminated air from entering the space inside the housing through the communication hole by a simple operation. It is to be able to improve efficiency.
前記の目的を達成するために、本発明は、筐体内に、空気吸込み口及び空気吐出口が形成されたファンケースを有するファンユニットと、前記ファンケースの空気吐出口より吐出された空気を浄化する集塵フィルタが内部に設けられたフィルタケースを有するフィルタユニットとが収容されたファンフィルタユニットであって、前記筐体は、厚み方向一側の面に前記ファンケース及び前記フィルタケースが当該面に沿った方向に並んで固定された基板と、該基板に、前記ファンケース及び前記フィルタケースを覆うように取り付けられたカバー部材とで構成され、前記ファンケースの空気吸込み口は、該ファンケースの基板側の面に形成され、前記基板における前記空気吸込み口に対応する部分には、該空気吸込み口を前記筐体の外側と連通させるための連通孔が形成され、前記フィルタケースには、前記ファンケースの空気吐出口と接続されかつ該空気吐出口より吐出された空気を前記フィルタケース内に導入する導入口と、前記集塵フィルタにより浄化された空気を前記フィルタケース外に導出する導出口とが形成され、前記カバー部材に、前記導出口より導出された空気を筐体外へ吹き出す吹出し口が形成され、前記基板の筐体内側の面に、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む囲繞部材が設けられ、前記基板の筐体内側の面上において前記囲繞部材と前記フィルタケースのファンケース側の面とにより囲まれた部分における前記ファンケースの周囲に、ポッティング剤が充填されている、という構成とした。 In order to achieve the above object, the present invention purifies air discharged from an air discharge port of the fan unit having a fan case in which an air suction port and an air discharge port are formed in a housing. A fan filter unit containing a filter unit having a filter case in which a dust collecting filter is provided, wherein the housing has a surface on one side in the thickness direction, and the fan case and the filter case are on the surface. And a cover member attached to the substrate so as to cover the fan case and the filter case, and the air suction port of the fan case has the fan case. Formed on the substrate-side surface of the substrate and corresponding to the air suction port of the substrate, the air suction port communicates with the outside of the housing. The filter case is connected to an air outlet of the fan case and introduces air discharged from the air outlet into the filter case; and A lead-out port through which the air purified by the filter is led out to the outside of the filter case is formed, and a blow-out port for blowing out the air led out from the lead-out port to the outside of the housing is formed in the cover member; On the inner surface, a surrounding member surrounding the periphery of the fan case is provided together with the surface of the filter case on the fan case side, and the surrounding member and the fan case side of the filter case on the inner surface of the housing are provided. It was set as the structure where the potting agent was filled in the circumference | surroundings of the said fan case in the part enclosed by the surface.
前記の構成により、ファンフィルタユニットが設置された室内の汚染空気が、ファンケースの空気吸込み口からファンケース内に吸い込まれ、その汚染空気がファンケースの空気吐出口より吐出され、その後、フィルタケース内に導入されて、フィルタケース内の集塵フィルタにより浄化された後、この浄化された空気がフィルタケースの導出口よりフィルタケース外に導出され、この導出された空気が筐体の吹出し口より吹き出す。 With the above configuration, the polluted air in the room where the fan filter unit is installed is sucked into the fan case from the air suction port of the fan case, and the polluted air is discharged from the air discharge port of the fan case. After being introduced into the interior and purified by the dust collecting filter in the filter case, the purified air is led out of the filter case from the outlet of the filter case, and the derived air is introduced from the outlet of the housing. Blow out.
ここで、汚染空気は、基板の連通孔からファンケースと基板との間の隙間部分に進入し、その隙間部分から筐体内におけるポッティング剤に対して基板とは反対側に位置する、吹出し口と連通する空間を通って吹出し口へ流動しようとするが、ファンケースの基板側の面の周縁部と基板の筐体内側の面との間の隙間がポッティング剤により封止されているので、前記汚染空気は、吹出し口と連通する空間へは進入できず、このため、集塵フィルタにより浄化された空気と混じって吹出し口より吹き出すことはない。また、連通孔が、ポッティング剤により塞がれることはない。 Here, the contaminated air enters the gap portion between the fan case and the substrate through the communication hole of the substrate, and the blowout port located on the opposite side of the substrate from the gap portion with respect to the potting agent in the housing, It tries to flow to the outlet through the communicating space, but the gap between the peripheral portion of the surface of the fan case on the substrate side and the inner surface of the substrate casing is sealed with a potting agent. The contaminated air cannot enter the space communicating with the blowout port, and therefore, it is not mixed with the air purified by the dust collecting filter and blown out from the blowout port. Further, the communication hole is not blocked by the potting agent.
さらに、前記ポッティング剤は、基板の筐体内側の面を水平にした状態で、囲繞部材とフィルタケースのファンケース側の面とにより囲まれた部分に充填することで、その囲まれた部分の外側へ流れることはなく、ポッティング剤が硬化するまで、基板の筐体内側の面の水平状態を維持しておけばよく、硬化した後は、基板をどのように傾けても逆さまにしても、ポッティング剤が筐体外に漏れることはなく、ファンフィルタユニットの取付姿勢の自由度を制限しない。 Further, the potting agent is filled in a portion surrounded by the surrounding member and the surface of the filter case on the fan case side in a state where the inner surface of the substrate of the substrate is horizontal, so that the portion of the enclosed portion is filled. It does not flow to the outside, it is only necessary to maintain the horizontal state of the inner surface of the substrate housing until the potting agent is cured, and after curing, whether the substrate is tilted or turned upside down, The potting agent does not leak out of the housing, and does not limit the degree of freedom in mounting the fan filter unit.
したがって、基板上に囲繞部材を設けてポッティング剤を充填するという簡単な作業で、ファンフィルタユニットによる空気浄化効率を向上させることができる。 Therefore, the air purification efficiency by the fan filter unit can be improved by a simple operation of providing the surrounding member on the substrate and filling the potting agent.
本発明の一実施形態によれば、前記ファンユニットは、前記ファンケースの内側から外側に延びる複数のリード線を有し、前記基板の筐体内側の面における前記ポッティング剤の充填部分に、前記複数のリード線が通過するリード線通過孔が開口している。 According to an embodiment of the present invention, the fan unit includes a plurality of lead wires extending from the inside to the outside of the fan case, and the potting agent filling portion on the inner surface of the housing of the substrate includes A lead wire passage hole through which a plurality of lead wires passes is opened.
すなわち、リード線通過孔により筐体の内側と外側とが連通することにより、筐体外側の汚染空気が筐体内に進入し、この進入した汚染空気が、集塵フィルタにより浄化された空気と混じって吹出し口より吹き出すことになるため、リード線通過孔を封止する必要があるが、基板の筐体内側の面におけるポッティング剤の充填部分にリード線通過孔が開口しているので、リード線通過孔は、前記ポッティング剤の充填により封止される。したがって、リード線通過孔を別途に封止する作業が不要になるとともに、その封止作業の忘れや封止剤の塗布量不足といった問題が生じるようなことはない。 That is, the inside and outside of the casing communicate with each other through the lead wire passage hole, so that the contaminated air outside the casing enters the casing, and this entering contaminated air is mixed with the air purified by the dust collecting filter. Therefore, it is necessary to seal the lead wire passage hole, but since the lead wire passage hole is opened in the potting agent filling part on the inner surface of the substrate, the lead wire The passage hole is sealed by filling the potting agent. Therefore, it is not necessary to separately seal the lead wire passage hole, and there is no problem of forgetting the sealing operation or insufficient application amount of the sealing agent.
本発明の他の実施形態によれば、前記囲繞部材は、前記ファンケースと前記基板との間に介在されかつ該基板の筐体内側の面に密着される平板状部と、該平板状部の周縁部のうち前記フィルタケース側を除く縁部から基板とは反対側に立設されて、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む立壁部とを有している。 According to another embodiment of the present invention, the surrounding member includes a flat plate portion interposed between the fan case and the substrate and in close contact with the inner surface of the housing of the substrate, and the flat plate portion. Of the peripheral edge portion of the filter case, and an upright wall portion surrounding the periphery of the fan case together with the surface of the filter case on the fan case side. .
このことにより、囲繞部材が平板状部を有していることで、平板状部がない場合に比べて立壁部の厚みを薄くすることができる。すなわち、平板状部がないと、薄い厚みの立壁部では、剛性が低くて基板上の所定位置に立てることが困難であるが、平板状部を有していれば、基板上に平板状部を固定するだけで、薄い厚みの立壁部でも、基板上の所定位置に立てることが可能になり、倒れるようなことはない。したがって、小型のファンフィルタユニットでも、囲繞部材を容易に設けることができる。 By this, since the surrounding member has a flat plate-like portion, the thickness of the standing wall portion can be reduced as compared with the case where there is no flat plate-like portion. That is, if there is no flat plate portion, the thin walled wall portion has low rigidity and is difficult to stand at a predetermined position on the substrate. It is possible to stand up at a predetermined position on the substrate even with a thin wall portion having a small thickness, without falling down. Therefore, even with a small fan filter unit, the surrounding member can be easily provided.
前記のように、基板の筐体内側の面におけるポッティング剤の充填部分にリード線通過孔が開口している場合、前記囲繞部材は、前記ファンケースと前記基板との間に介在されかつ該基板の筐体内側の面に密着される平板状部と、該平板状部の周縁部のうち前記フィルタケース側を除く縁部から基板とは反対側に立設されて、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む立壁部とを有し、前記囲繞部材の平板状部に、前記基板側に突出して前記リード線通過孔に挿入される環状突部と、該環状突部の内側に位置しかつ前記リード線が通過する貫通孔とが形成されている、ことが好ましい。 As described above, when the lead wire passage hole is opened in the potting agent filling portion on the inner surface of the substrate, the surrounding member is interposed between the fan case and the substrate and the substrate. A flat plate-like portion that is in close contact with the inner surface of the housing, and a fan case of the filter case that is erected on the opposite side of the substrate from the edge of the flat plate-like portion excluding the filter case side An annular protrusion that protrudes toward the substrate side and is inserted into the lead wire passage hole, and an annular protrusion that projects from the flat plate-like portion of the surrounding member. It is preferable that a through hole that is located inside the portion and through which the lead wire passes is formed.
このことで、リード線が通過する貫通孔の径を適切に設定しておくことで、リード線を基板に仮固定することができるとともに、このような仮固定を行うための部材を別途に設ける必要はない。そして、ポッティング剤によりリード線を基板に本固定することが容易にできる。このリード線の本固定により、リード線が筐体外側から引っ張られても、リード線のファンユニット側の端部には大きな力が作用せず、しかも、リード線とリード線通過孔の内周面との間に環状突部が介在することにより、リード線が筐体外に出た直後の箇所で曲げられても、リード線には亀裂が生じ難くなる。また、前述の如く、囲繞部材が平板状部を有していることで、平板状部がない場合に比べて立壁部の厚みを薄くすることができる。したがって、小型のファンフィルタユニットでも、囲繞部材を容易に設けることができるとともに、リード線を適切に固定しつつリード線通過孔を良好に封止することができる。 Thus, by appropriately setting the diameter of the through hole through which the lead wire passes, the lead wire can be temporarily fixed to the substrate, and a member for performing such temporary fixing is separately provided. There is no need. Then, the lead wire can be easily fixed to the substrate with the potting agent. With this lead wire fixed, even if the lead wire is pulled from the outside of the housing, a large force does not act on the end of the lead wire on the fan unit side, and the inner periphery of the lead wire and the lead wire passage hole. Since the annular protrusion is interposed between the lead wire and the surface, even if the lead wire is bent at a position immediately after coming out of the housing, the lead wire is hardly cracked. Further, as described above, since the surrounding member has the flat plate-like portion, the thickness of the standing wall portion can be reduced as compared with the case where there is no flat plate-like portion. Therefore, even with a small fan filter unit, the surrounding member can be easily provided, and the lead wire passage hole can be well sealed while the lead wire is appropriately fixed.
以上説明したように、本発明のファンフィルタユニットによると、基板上に囲繞部材を設けてポッティング剤を充填するという簡単な作業で、ファンフィルタユニットによる空気浄化効率を向上させることができる。 As described above, according to the fan filter unit of the present invention, the air purification efficiency of the fan filter unit can be improved by a simple operation of providing the surrounding member on the substrate and filling the potting agent.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1及び図2は、本発明の実施形態に係るファンフィルタユニットAの外観を示す。このファンフィルタユニットAは、工場等のクリーンルーム内に設置される装置(例えば半導体製造装置やFPD製造装置等)に取り付けられるものであって、該装置からの発塵によるクリーンルーム内の汚染を防止するものである。ファンフィルタユニットAは、金属製の基板2と樹脂製のカバー部材3とで構成された筐体1を備えている。筐体1の一面を基板2が構成し、残りの面をカバー部材3が構成している。本実施形態では、便宜上、基板2が水平状態にありかつ基板2の筐体1内側の面が上側を向いているものとする。但し、ファンフィルタユニットAの実際の取付状態では、これに限定するものではない。
1 and 2 show the appearance of a fan filter unit A according to an embodiment of the present invention. The fan filter unit A is attached to an apparatus (for example, a semiconductor manufacturing apparatus or an FPD manufacturing apparatus) installed in a clean room such as a factory, and prevents contamination in the clean room due to dust generated from the apparatus. Is. The fan filter unit A includes a
図3及び図4に示すように、筐体1内に、樹脂製のファンケース12を有するファンユニット11と、金属製のフィルタケース22を有するフィルタユニット21とが収容されている。ファンケース12(つまりファンユニット11)及びフィルタケース22(つまりフィルタユニット21)は、基板2の厚み方向一側の面である上面(筐体1内側の面)に、該上面に沿った方向に並んで固定されている。カバー部材3は、基板2の上面に固定されたファンケース12及びフィルタケース22を覆うように、基板2にネジ31により取付固定されている。以下、ファンフィルタユニットAにおいて、フィルタユニット21の側を前側といい、ファンユニット11の側を後側という。また、前側から見て左側を左側といい、前側から見て右側を右側という。
As shown in FIGS. 3 and 4, a
前記ファンケース12は、軸心が上下方向に延びかつ上下両端部が閉塞された略円筒状をなしている。ファンケース12の外周面の下部における周方向の3箇所には、ファンケース12を基板2の上面にネジ32により固定するための固定部12aが径方向外側に突出するように形成されている。
The
図示は省略するが、ファンケース12内には、送風機(ファン又はブロア)が収容されている。この送風機は、遠心ファン、シロッコファン等で構成されていて、複数の羽根を有しかつ上下方向に延びる軸回りに回転可能なインペラと、このインペラの上側に位置して、該インペラを回転駆動するモータと、このモータを駆動するための回路基板とを有している。
Although illustration is omitted, a fan (fan or blower) is accommodated in the
ファンユニット11は、ファンケース12の内側から外側に延びる複数のリード線14を有している。これらのリード線14は、ファンケース12の内側に位置する前記回路基板に接続されており、この回路基板から上側に延びた後、ファンケース12の上端面部に設けた開口(前記モータのロータ軸の端部に抜け止めを係止するために開けられた開口(図示せず))とこの開口を閉塞する、銘板を兼ねた円板状の閉塞部材13との間の隙間を通ってファンケース12の外側に延びている。そして、リード線14は、ファンケース12の外側において、ファンケース12の上面に沿って、前側でかつ右側(後述の接続部12eとは反対側)に向かって延び、ファンケース12の上端面部の周縁部の直ぐ外側で下側に折れ曲がって、基板2におけるファンケース12の周側面の右前側部分とフィルタケース22の後側の面との間の部分に、基板2の厚み方向に貫通するように形成されたリード線通過孔2aを通って、筐体1の内側から外側へ出て行く。筐体1の外側へ出たリード線14は、コネクタ15(図1参照)を介して、電源を含むモータ駆動装置(図示せず)に接続される。尚、リード線14には、必ずしもコネクタが接続されている必要はない。ファンケース12の周側面におけるリード線14の折れ曲がり部分の近傍には、リード線14をリード線通過孔2aに向かって折れ曲がるように案内するガイド部12bが形成されている。このガイド部12bは、フィルタケース12の周側面と共にリード線14の周囲を囲っている。
The
前記複数のリード線14は、前記モータ(送風機)を駆動するためのものであって、少なくとも該モータへ電力を供給する2本の電力線を含み、これら2本の電力線に加えて、少なくとも1本の信号線を含んでいてもよい。本実施形態では、複数のリード線14は、2本の電力線と1本の信号線との合計3本である。
The plurality of
ファンケース12には、空気吸込み口12c(図1及び図4参照)及び空気吐出口12d(図3及び図4参照)が形成されている。空気吸込み口12cは、ファンケース12の下面(基板2側の面)における中心部(前記インペラの中心部に対応する部分)に形成されている。そして、基板2における空気吸込み口12cに対応する部分には、空気吸込み口12cを筐体1の外側と連通させるための連通孔2bが空気吸込み口12cと合致するように形成されている。連通孔2bの筐体1側の開口は、ファンケース12によって覆われることになる。
The
空気吐出口12dは、ファンケース12の周側面における左前側部分から前側(フィルタケース22側)へ突出するように形成された接続部12eの先端に設けられている。この接続部12eの先端(空気吐出口12d)は、フィルタケース22の後述の導入口22aと接続されている。
The
前記モータが駆動されて前記インペラが回転すると、このインペラにより、筐体1外の空気が、空気吸込み口12cからファンケース12内に吸い込まれ、この吸い込まれた空気がインペラの径方向外側へ吐出されて、空気吐出口12dよりファンケース12の外側へ吐出される(つまり、フィルタケース22内に導入される)。
When the motor is driven and the impeller rotates, the air outside the
前記フィルタケース22は、略矩形箱状をなしており、ファンケース12よりも高さが高くされている。これに対応して、カバー部材3の上面における前側部分は、フィルタケース12の上面に沿って水平に延びている一方、カバー部材3の上面におけ後側部分は、後側に向かって下側に傾斜している。
The
フィルタケース22の後側(ファンケース12側)の面における下側部分には、ファンケース12の空気吐出口12dと接続されかつ該空気吐出口12dより吐出された空気をフィルタケース内に導入する導入口22aが形成されている。この導入口22aは、ファンケース12の接続部12eの先端部(空気吐出口12dの周縁部)と略同じ大きさでありかつ同じ形状をなしており、接続部12eの先端部が導入口22aに嵌合された状態で挿入されている。
The lower portion of the rear side (
フィルタケース22内には、空気吐出口12dより吐出された空気(導入口22aからフィルタケース22内に導入された空気)を浄化する集塵フィルタ23が設けられている。本実施形態では、この集塵フィルタ23は、HEPAフィルタとされているが、これに限らず、要求されるクリーン度に応じて、前記クリーンルーム内に設置された装置内の塵埃を除去できるものとすればよい。
In the
フィルタケース22の前側の面(導入口22aが形成された面とは反対側の面)の略全体に、集塵フィルタ23により浄化された空気(塵埃が除去された空気)をフィルタケース22の外側へ導出する導出口22bが形成されている。カバー部材3の前側の面(カバー部材3における導出口22bと対向する部分)に、導出口22bより導出された空気を筐体1外へ吹き出す吹出し口3aが形成されている。この吹出し口3aには、網目部材4が設けられており、この網目部材4の網目を通って、浄化された空気が筐体1外へ吹き出すことになる。尚、導出口22bは、フィルタケース22の前側の面に限らず、フィルタケース22の上側、左側又は右側の面に形成してもよい。吹出し口3aは、導出口22bの近傍であればよいが、導出口22bよりフィルタケース22の外側へ導出された空気がスムーズに筐体1の外側に吹き出すように、カバー部材3において導出口22bと対向する面に形成することが好ましい。
Air that has been purified by the dust collection filter 23 (air from which dust has been removed) is applied to substantially the entire front surface of the filter case 22 (the surface opposite to the surface on which the
図4に示すように、基板2の上面(筐体1内側の面)には、フィルタケース22の後側(ファンケース12側)の面と共にファンケース12の周囲を囲む囲繞部材41が設けられている。すなわち、基板2の上面に対して垂直な方向(上下方向)から見て、ファンケース12の周囲を、フィルタケース22の後側の面及び囲繞部材41(詳しくは、囲繞部材41の後述の立壁部41b)によって、略四角形状に囲んでいる。フィルタケース22の後側の面は、ファンケース12の前側に位置し、囲繞部材41(立壁部41b)は、ファンケース22の左側、後側及び右側に位置する。囲繞部材41は、後述の如く、ファンケース12の周囲にポッティング剤45(図3及び図5参照)を充填する際に、そのポッティング剤45が基板2上から漏れ出ないようにするためのものである。
As shown in FIG. 4, a surrounding
本実施形態では、図6に示すように、囲繞部材41は、ファンケース12と基板2との間に介在されかつ基板2の上面に接着剤により密着される平板状部41aと、この平板状部41aの周縁部のうちフィルタケース21側を除く縁部から基板2とは反対側(上側)に立設されて、フィルタケース21の後側の面と共にファンケース12の周囲を囲む立壁部41bとを有している。このような囲繞部材41は、厚みの比較的薄い樹脂シート(例えばPETシート)を真空成形によって容易に成形することができる。立壁部41bの厚みが薄くても、立壁部41bにおける基板2側の端部全体が平板状部41aで繋がっていることで、立壁部41bが倒れるようなことはなく、基板2上に平板状部41aを固定するだけで、ポッティング剤45の漏れ防止という立壁部41bの役割を果たす。本実施形態では、立壁部41bの剛性をより向上させるために、立壁部41bに上下方向に延びる複数のリブ41cを形成している。尚、図4では、リブ41cを省略している。
In this embodiment, as shown in FIG. 6, the surrounding
前記立壁部41bの周方向の両端部(ファンケース12の左側及び右側に位置する部分の前端部)には、フィルタケース22側に延設された延設部41dがそれぞれ設けられており、これら両延設部41dがフィルタケース22の左側及び右側の面における後端部に固定されている。
Extending
前記平板状部41aには、基板2の連通孔2bに対応する部分に位置しかつ連通孔2bと略同径である第1貫通孔41eと、ファンケース12の固定部12aを基板2に固定する際に用いるネジ32が挿通される3つの第2貫通孔41fと、リード線通過孔2aに対応する部分に位置する環状突部41g(図1及び図5参照)と、この環状突部41gの内側に位置する第3貫通孔41hとが形成されている。
The
前記環状突部41gは、図5に示すように、基板2側(下側)に突出してリード線通過孔2aに挿入されている。この環状突部41gの内側に形成された前記第3貫通孔41hを前記複数のリード線14が通過する。第3貫通孔41hの内径は、複数のリード線14が第3貫通孔41hに対してリード線14の自重では動かない程度の大きさに設定されており、リード線14を第3貫通孔41h(つまり基板2)に仮固定することができる。尚、リード線14の本固定は、後述の如くポッティング剤45の充填により行う。
As shown in FIG. 5, the
前記基板2の上面上(本実施形態では、前記平板状部41aの上面上であるが、平板状部41aは基板2の上面に密着されるので、実質的に基板2の上面上であると言える)において囲繞部材41の立壁部41bとフィルタケース22の後側(ファンケース12側)の面とにより囲まれた部分におけるファンケース12の周囲(図4において斜線を施した部分)には、ポッティング剤45(図3及び図5参照)が充填されている。このポッティング剤45は、充填後に硬化して固まる。このようなポッティング剤45としては、1液性エポキシ樹脂組成物接着剤のような1液性の接着剤であって、硬化前の粘度が10Pa・s以上でかつ30Pa・s以下のものが好ましい。また、ポッティング剤45は、低分子シロキサンのような電子部品に悪影響を及ぼすような材料を含まないことが好ましい。尚、図4は、ポッティング剤45を充填する前の状態を示している。
On the upper surface of the substrate 2 (in this embodiment, on the upper surface of the
前記ポッティング剤45が硬化すると、このポッティング剤45によりファンケース12の下面周縁部と平板状部41aの上面との間の隙間が封止される。また、リード線通過孔2aが、基板2の上面における前記ポッティング剤45の充填部分に開口しており、これにより、ポッティング剤45が硬化すると、リード線通過孔2a(平板状部41aの第3貫通孔41h)が封止されるとともに、リード線14が第3貫通孔41h(つまり基板2)に本固定される。このリード線14の本固定により、リード線14が筐体1外側から引っ張られても、リード線14の、前記回路基板と接続された端部には大きな力が作用せず、リード線14が前記回路基板から外れるようなことはない。しかも、リード線14とリード線通過孔2aの内周面との間に樹脂製の環状突部41gが介在することにより、リード線14が筐体1外に出た直後の箇所で曲げられても、リード線14には亀裂が生じ難くなる。
When the
ポッティング剤45の充填量は、ファンケース12の下面周縁部と平板状部41aの上面との間の隙間及びリード線通過孔2a(第3貫通孔41h)を確実に封止できる量とすればよく、比較的多い目に充填しても、囲繞部材41(立壁部41b)により、充填されるポッティング剤45が基板2上から漏れ出ることはない。このため、充填量を厳密に管理する必要はない。
The filling amount of the
ポッティング剤45の充填前に、基板2の下面におけるリード線14の周囲の箇所にマスキングテープを貼って、リード線通過孔2a(平板状部41aの第3貫通孔41h)をマスキングする。これにより、ポッティング剤45が、その充填時にリード線通過孔2(第3貫通孔41h)から漏れ出るのを防止する。前記マスキングテープは、ポッティング剤45の硬化後に取り外される。
Before filling with the
尚、ポッティング剤45の充填時に、ポッティング剤45がファンケース12の下面周縁部と平板状部41aの上面との間に僅かな量だけ進入するが、ファンケース12の下面と平板状部41aの上面との間の隙間量は極僅かであるため、その進入したポッティング剤45が平板状部41aの第1貫通孔41eの所まで達することはなく、第1貫通孔41e及び基板2の連通孔2bからポッティング剤45が漏れ出ることはない。仮に、ポッティング剤45が、その充填時に第1貫通孔41e及び基板2の連通孔2bから漏れ出る場合には、ポッティング剤45の充填前に、基板2の連通孔2bもリード線通過孔2aと同様にマスキングしておき、ポッティング剤45の硬化後に取り外せばよい。
Note that when the
本実施形態では、ポッティング剤45を、ファンケース12の接続部12eにおける空気吐出口12dの周縁部と、ファンケース12の上端面部における閉塞部材13の周縁部とに塗布することで、空気吐出口12dの周縁部とフィルタケース22の導入口22aの周縁部との間の隙間及びファンケース12の上端面部の開口周縁部と閉塞部材13の周縁部との間の隙間を封止する。これにより、ファンケース12内に吸い込まれた空気は全てフィルタケース22内に導入される。
In the present embodiment, the
前記筐体1内におけるポッティング剤45に対して上側(基板2とは反対側)の空間は、フィルタケース22の上側及び左右両側の空間を介して吹出し口3aと連通している。しかし、ファンケース12の下面周縁部と基板2の上面との間の隙間がポッティング剤45により封止されているので、吹出し口3aは、ファンケース12の下面と平板状部41aの上面との間の隙間部分及び基板2の連通孔2b(平板状部41aの第1貫通孔41e)とは連通していない。
The space on the upper side (opposite side of the substrate 2) with respect to the
前記ファンフィルタユニットAを製造するには、先ず、基板2上に、囲繞部材41の平板状部41aを接着して囲繞部材41を固定するとともに、予め作製されたフィルタユニット21のフィルタケース22を固定する。その後、フィルタケース22の導入口22aに、予め作製されたファンユニット11のファンケース12の接続部12eを接続しながら、基板2上に前記平板状部41aを介してファンケース12をネジ32により固定する。
In order to manufacture the fan filter unit A, first, the
続いて、ファンケース12の外側に出ているリード線14をガイド部12bで案内しかつ基板2のリード線通過孔2a(囲繞部材41の平板状部41aの第3貫通孔41h)を通す。これにより、図4に示す状態となる。
Subsequently, the
次いで、マスキングテープによりリード線通過孔2aをマスキングした後、基板2を水平状態にしかつ基板2におけるファンケース12及びフィルタケース22を固定した面が上向きになるようにする。
Next, after masking the lead
その後、基板2の上面上(平板状部41aの上面上)において囲繞部材41の立壁部41bとフィルタケース22のファンケース12側の面とにより囲まれた部分におけるファンケース12の周囲(図4において斜線を施した部分)にポッティング剤45を充填する。また、ポッティング剤45の充填前若しくは充填後又は充填時に、ポッティング剤45を、ファンケース12の接続部12eにおける空気吐出口12dの周縁部と、ファンケース12の上端面部における閉塞部材13の周縁部とに塗布する。
Thereafter, on the upper surface of the substrate 2 (on the upper surface of the
前記ポッティング剤45の硬化後、基板2に、予め吹出し口3aに網目部材4を設けたカバー部材3を、ファンケース12(ファンユニット11)及びフィルタケース22(フィルタユニット21)を覆うようにして、ネジ31により固定し、こうしてファンフィルタユニットAが完成する。尚、ポッティング剤45の硬化後は、基板2をどのように傾けても、ポッティング剤45が筐体1の外側に漏れることはない。
After the
前記ファンフィルタユニットAが作動する(前記モータが駆動される)と、前記クリーンルーム内の汚染空気がファンケース12の空気吸込み口12cからファンケース12内に吸い込まれ、その汚染空気がファンケース12の空気吐出口12d及びフィルタケース22の導入口22aを介してフィルタケース22内に導入されて、フィルタケース22内の集塵フィルタ23により浄化される(汚染空気中の塵埃が除去される)。この浄化された空気がフィルタケース22の導出口22a及び筐体1のカバー部材3の吹出し口3aを介して筐体1外へと吹き出す。
When the fan filter unit A is activated (the motor is driven), the contaminated air in the clean room is sucked into the
ここで、汚染空気は、基板2の連通孔2b及び平板状部41aの第1貫通孔41eから、ファンケース12の下面と平板状部41aの上面との間の隙間部分に進入する。そして、汚染空気は、その隙間部分から筐体1内におけるポッティング剤45に対して上側の空間(吹出し口3aと連通する空間)を通って吹出し口3aへ流動しようとするが、ファンケース12の下面周縁部と基板2の上面との間の隙間がポッティング剤45により封止されているので、前記汚染空気は、吹出し口3aと連通する空間へは進入できず、このため、集塵フィルタ23により浄化された空気と混じって吹出し口3aより吹き出すことはない。また、ファンケース12内に吸い込まれた空気が途中で漏れることはなく、その全ての空気がフィルタケース22内に導入されて集塵フィルタ23により浄化され、この浄化された空気のみが、吹出し口3aよりクリーンルームへ吹き出すことになる。
Here, the contaminated air enters the gap portion between the lower surface of the
したがって、本実施形態では、基板2上に囲繞部材41を設けてポッティング剤45を充填するという簡単な作業で、ファンフィルタユニットAによる空気浄化効率を向上させることができる。
Therefore, in this embodiment, the air purification efficiency by the fan filter unit A can be improved by a simple operation of providing the surrounding
また、基板2の上面におけるポッティング剤45の充填部分に、ファンユニット11に接続される複数のリード線14が通過するリード線通過孔2aが開口しているので、リード線通過孔2aをポッティング剤45の充填により封止することができ、リード線通過孔2aを別途に封止する作業が不要になる。また、リード線通過孔2aの封止作業の忘れや封止剤の塗布量不足といった問題が生じるようなことはなく、リード線通過孔2aをポッティング剤45により確実に封止することができる。
In addition, since the lead
さらに、囲繞部材41を平板状部41aと立壁部41bとで構成したので、囲繞部材41を、厚みの比較的薄い樹脂シートで構成することができ、小型のファンフィルタユニットAであっても、囲繞部材41を容易に設けることができる。しかも、平板状部41aに、リード線通過孔2aに嵌合する環状突部41gと、この環状突部41gの内側に位置しかつリード線14が通過する第3貫通孔41hとを形成したので、ポッティング剤45の充填と相俟って、リード線14を適切に固定しつつリード線通過孔2a(第3貫通孔41h)を良好に封止することができる。
Furthermore, since the surrounding
本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、請求の範囲の主旨を逸脱しない範囲で代用が可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be substituted without departing from the scope of the claims.
例えば、前記実施形態では、リード線通過孔2aを、基板2の上面におけるポッティング剤45の充填部分に開口するように基板2に形成したが、これに限らず、リード線通過孔2aを、基板2の上面におけるポッティング剤45の非充填部分に開口するように基板2に形成してもよく、或いは、カバー部材3に形成してもよい。但し、リード線通過孔2aが基板2の上面におけるポッティング剤45の充填部分に開口していない場合には、ポッティング剤45の充填に加えて、封止剤(ポッティング剤45と同じ者であってもよく、異なるものであってもよい)によりリード線通過孔2aを封止する作業が別途に必要になるとともに、その封止作業の忘れや封止剤の塗布量不足といった問題が生じる可能性があるため、前記実施形態のようにリード線通過孔2aを形成することが好ましい。
For example, in the above-described embodiment, the lead
また、前記実施形態では、囲繞部材41を平板状部41aと立壁部41bとで構成したが、平板状部41aがなくて、立壁部41bに相当する部分で構成してもよい。この場合、立壁部41bに相当する部分の厚みを比較的厚くすることで、剛性を高くするとともに、基板2の上面への接着面積を確保するようにすることが好ましい。平板状部41aがない場合、リード線14を基板2に仮固定するための部材(環状突部41gに相当する部材)を別途に設けるか、又は、その部材を立壁部41bに相当する部分に一体成形してもよい。
Moreover, in the said embodiment, although the surrounding
前記実施形態は単なる例示に過ぎず、本発明の範囲を限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は請求の範囲によって定義され、請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。 The above embodiments are merely examples, and the scope of the present invention should not be interpreted in a limited manner. The scope of the present invention is defined by the scope of the claims, and all modifications and changes belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.
本発明は、クリーン度が要求される室内に設置されるファンフィルタユニットに有用であり、特にそのような室内に設置される装置に取り付けられる比較的小型のファンフィルタユニットに有用である。 The present invention is useful for a fan filter unit installed in a room where cleanliness is required, and is particularly useful for a relatively small fan filter unit attached to a device installed in such a room.
A ファンフィルタユニット
1 筐体
2 基板
2a リード線通過孔
2b 連通孔
3 カバー部材
11 ファンユニット
12 ファンケース
12c 空気吸込み口
12d 空気吐出口
12e 接続部
14 リード線
21 フィルタユニット
22 フィルタケース
23 集塵フィルタ
41 囲繞部材
41a 平板状部
41b 立壁部
41g 環状突部
41h 第3貫通孔(環状突部の内側に位置する貫通孔)
A
Claims (3)
前記筐体は、厚み方向一側の面に前記ファンケース及び前記フィルタケースが当該面に沿った方向に並んで固定された基板と、該基板に、前記ファンケース及び前記フィルタケースを覆うように取り付けられたカバー部材とで構成され、
前記ファンケースの空気吸込み口は、該ファンケースの基板側の面に形成され、
前記基板における前記空気吸込み口に対応する部分には、該空気吸込み口を前記筐体の外側と連通させるための連通孔が形成され、
前記フィルタケースには、前記ファンケースの空気吐出口と接続されかつ該空気吐出口より吐出された空気を前記フィルタケース内に導入する導入口と、前記集塵フィルタにより浄化された空気を前記フィルタケース外に導出する導出口とが形成され、
前記カバー部材に、前記導出口より導出された空気を筐体外へ吹き出す吹出し口が形成され、
前記基板の筐体内側の面に、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む囲繞部材が設けられ、
前記囲繞部材は、前記ファンケースと前記基板との間に介在されかつ該基板の筐体内側の面に密着される平板状部と、該平板状部の周縁部のうち前記フィルタケース側を除く縁部から基板とは反対側に立設されて、前記フィルタケースのファンケース側の面と共に前記ファンケースの周囲を囲む立壁部とを有し、
前記基板の筐体内側の面上において前記囲繞部材と前記フィルタケースのファンケース側の面とにより囲まれた部分における前記ファンケースの周囲に、ポッティング剤が充填されている、ファンフィルタユニット。 A fan unit having a fan case in which an air suction port and an air discharge port are formed in a housing, and a filter case in which a dust collection filter for purifying air discharged from the air discharge port of the fan case is provided. A fan filter unit containing a filter unit having
The housing includes a substrate on which the fan case and the filter case are fixed side by side in a direction along the surface, and the substrate covers the fan case and the filter case. It is composed of an attached cover member,
The air inlet of the fan case is formed on the substrate side surface of the fan case,
A portion of the substrate corresponding to the air suction port is formed with a communication hole for communicating the air suction port with the outside of the housing.
The filter case is connected to an air discharge port of the fan case and introduces air discharged from the air discharge port into the filter case, and air purified by the dust collecting filter is A lead-out port leading out of the case is formed,
The cover member is formed with a blowout port for blowing out the air led out from the lead-out port to the outside of the housing,
On the inner surface of the housing of the substrate is provided a surrounding member surrounding the fan case together with the surface of the filter case on the fan case side,
The surrounding member is a flat plate portion that is interposed between the fan case and the substrate and is in close contact with the inner surface of the housing of the substrate, and excludes the filter case side of the peripheral portion of the flat plate portion. A standing wall portion that is erected from the edge on the opposite side of the substrate and surrounds the periphery of the fan case together with the fan case side surface of the filter case;
A fan filter unit in which a potting agent is filled around the fan case in a portion surrounded by the surrounding member and the fan case side surface of the filter case on the inner surface of the housing of the substrate.
前記ファンユニットは、前記ファンケースの内側から外側に延びる複数のリード線を有し、
前記基板の筐体内側の面における前記ポッティング剤の充填部分に、前記複数のリード線が通過するリード線通過孔が開口している、ファンフィルタユニット。 The fan filter unit according to claim 1, wherein
The fan unit has a plurality of lead wires extending from the inside to the outside of the fan case,
A fan filter unit, wherein a lead wire passage hole through which the plurality of lead wires pass is opened in a portion filled with the potting agent on the inner surface of the substrate.
前記囲繞部材の平板状部に、前記基板側に突出して前記リード線通過孔に挿入される環状突部と、該環状突部の内側に位置しかつ前記リード線が通過する貫通孔とが形成されている、ファンフィルタユニット。
The fan filter unit according to claim 2 ,
An annular protrusion that protrudes toward the substrate and is inserted into the lead wire passage hole and a through hole that is located inside the annular protrusion and through which the lead wire passes are formed in the flat plate-like portion of the surrounding member. The fan filter unit.
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