JP2013047008A - 液滴射出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列;および該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材をもち、該カバー部材の厚さ対該チェンバー壁間隔の比が1以下対1である液滴射出装置。
【選択図】図5
Description
該可撓性の基材上に電導性トラックを形成して該チェンバー壁上に形成された電極への電導性接続をもたらす。
各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列;および
該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材をもち、該カバー部材の厚さ対該チェンバー壁間隔の比が1以下対1であることを特徴とする液滴射出装置。
各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列;および
該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材をもち、該カバー部材の厚さ対該チェンバー壁間隔の比が1以下対5であり、且つ該カバー部材が100×109N/m2以下のヤング率を有することを特徴とする液滴射出装置。
各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列;および
該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材をもち、その場合カバーの厚さが150μmより薄いことを特徴とする液滴射出装置。
該ノズルが該カバー部材中に形成される付記1−3の何れか1つの装置。
該カバー部材が、該チェンバーから離れて延在して流体マニホールド域と境を接している付記1−4の何れか1つの装置。
該カバー部材がポリマーから形成される付記1−5の何れか1つの装置。
該カバー部材がポリイミドから形成される付記1−6の何れか1つの装置。
該カバー部材が合金から形成される付記1−5の何れか1つの装置。
該カバー部材が100μm以下の厚さを有する付記1−8の何れか1つの装置。
該カバー部材が50μm以下の厚さを有する付記1−9の何れか1つの装置。
該カバー部材が複合構造のものである付記1−10の何れか1つの装置。
該ノズルがレーザー切断により該カバー部材中に形成される付記1−11の何れか1つの装置。
該ノズルがフォトリトグラフ方法により該カバー部材中に形成される付記1−12の何れか1つの装置。
少なくとも1つの流体チェンバー;および
該少なくとも1つの流体チェンバーと境を接し少なくとも1つのノズルを有する可撓性のカバー部材をもち;
該チェンバーは、該チェンバーから該ノズルを経て流体の射出を行わせるように電気作動作用によって体積の変化を行い、且つカバー部材の厚さは、流体の射出に必要な最低の作動電圧を生ずる値かまたはそれに近い値であることを特徴とする液滴射出装置。
カバー部材が、50μm以下であるが、流体の射出に必要な最低の作動信号電圧を生ずる厚さよりも大きい厚さを有する付記14の装置。
カバー部材が、流体の射出に必要な最低の作動信号電圧を生ずる厚さのプラスまたはマイナス10%以内の厚さを有する付記15または16の装置。
チェンバーが、作動作用によって体積の変化を行うピエゾ電気要素から構成される付記1−16の何れか1つの装置。
ピエゾ電気要素がカバー部材とは異なる付記17の装置。
各流体チェンバーがそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列;および
該チェンバーと境を接するように配置された可撓性のカバー部材を持ち、該可撓性のカバー部材は、該チェンバーから離れて延在し、さらに流体マニホールド域と境を接して構成されていることを特徴とする液滴射出装置。
その上に複数のチェンバー壁を形成した可撓性の基材を用意し;
該可撓性の基材上に電導性トラックを形成して該チェンバー壁上に形成された電極への電導性接続をもたらすことを特徴とする液滴射出装置のためのコンポーネントを製造する方法。
該基材の厚さ対チェンバー壁の厚さの比が1以下対1の比である付記20の方法。
液滴射出のためのノズルと流体連絡している少なくとも1つの流体チェンバー;および
該少なくとも1つのチェンバーと境を接する可撓性のカバー部材を持ち;
該チェンバーが該ノズルを経て該チェンバーから流体の射出を起こさせるように作動作用によって体積の変化を行い、且つカバー部材がポリマーからすべて形成されることを特徴とする液滴射出装置。
該ノズルが該カバー部材中に形成される付記22の装置。
該カバー部材が100μm以下の厚さを有する付記22または23の装置。
12 回路ボード
14 接続トラック
16 カバー
18 ノズル板
20 コーティング
22 アクチュエーター壁
23 配置
24 ノズル板
26 カバー部材
27 マニホールド
28 ピエゾ電気部材
29 チャンネル(開口)
30 ノズル
32 マニホールド
34 マニホールド
36 基材
502 基体
504 ピエゾ電気チャンネルの列
506 開口
508 マニホールド域
510 カバー部材
512 ノズル
610 カバー部材
614 壁要素
710 PZTの本体
720 チャンネル
722 カバー部材(可撓性部材)
724 ノズル板
726 開口
728 マニホールド域
730 駆動エレクトロニックス
Claims (14)
- ピエゾ電気材料から形成され、相対して配置された一対のチェンバー壁によって画成され、チェンバー壁間隔で互いに分離された複数の細長い流体チェンバーからなる列と、液滴用ノズルとの流体連絡において電場の適用を受けて変形する前記相対するチェンバー壁と、
前記ノズルが前記カバー部材に形成され、該複数のチェンバー壁の延出方向に並行な面に接合されて該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材と、を備え、
該カバー部材の厚さは150マイクロメートル以下であり、
該カバー部材がポリマーから形成される、ことを特徴とする液滴射出装置。 - 該カバー部材が、該チェンバーから離れるように延出して流体マニホールド域と境を接している、ことを特徴とする請求項1の装置。
- 該チェンバーに流体入口と流体出口とが設けられ、使用中に流体が該チェンバーの長さ方向に沿って流れ得る、ことを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 該装置の使用中に該チェンバーを通る流体の一定流をもたらす手段をさらに備える、請求項3に記載の装置。
- 該チェンバーの前記流体入口と連絡する入口マニフォールドと、該チェンバーの流体出口と連絡する相対する出口マニフォールドと、をさらに備える、請求項3または4に記載の装置。
- 該カバー部材が該チェンバーから離れるように延出して該入口マニフォールドと境を接し、かつ、該チェンバーから離れるように延出して該出口マニフォールドと境を接する、ことを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 該カバー部材の厚さが100マイクロメートル以下である、ことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 該カバー部材は、100GPa以下のヤング率を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 該カバー部材がポリイミドから形成されている、ことを特徴とする請求項1−8のいずれか1項に記載の装置。
- 該カバー部材がポリエーテルエーテルケトンから形成されている、ことを特徴とする請求項1−8のいずれか1項に記載の装置。
- 該カバー部材がフォトレジスト材料を備える、ことを特徴とする請求項1−8のいずれか1項に記載の装置。
- 該フォトレジスト材料がSU−8である、ことを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 該作動チェンバーがすべりモードで変形する、ことを特徴とする請求項1−12のいずれか1項に記載の装置。
- 該カバー厚さは、該チェンバー壁間隔の5分の1以下である、ことを特徴とする請求項1−13のいずれか1項に記載の装置。
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