JP2013033028A - Bonded plate-like body inspection device and method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bonded plate-like body inspection device capable of obtaining information that can accurately show each size of many bubbles scattered in an adhesive agent.SOLUTION: A bonded plate-like body inspection device comprises: a line sensor camera 50; illumination means 51 and 52 for illuminating the line sensor camera 50 through a bonded plate-like body 10; and a processing unit for, when the line sensor camera scans the bonded plate-like body in a state of being illuminated by the illumination means, processing a picture signal to be output from the line sensor camera. The processing unit, from a gray value profile in a direction crossing a dark ring that is obtained from inspection image information consisting of a pixel-by-pixel gray value which is generated on the basis of the picture signal from the line sensor camera, generates bubble size information on the basis of distance between two dark parts corresponding to the dark ring on an inspection image.

Description

本発明は、透光性を有する２枚の板状体が接着剤にて貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して得られる検査画像情報に基づいて前記接着剤中の気泡についての検査を行う貼り合せ板状体検査装置及び方法に関する。   The present invention is to inspect the bubbles in the adhesive based on the inspection image information obtained by photographing the bonded plate-like body in which the two plate-like bodies having translucency are bonded with the adhesive. The present invention relates to a bonded plate-like body inspection apparatus and method.

従来、特許文献１に開示される気泡検査装置が知られている。この気泡検査装置は、一方の面に糊（接着剤）の塗布された透明な偏光フィルム（板状体）を当該糊によってガラス基板（板状体）に貼り付けた構造の被検査体（貼り合せ板状体）における前記糊中の気泡についての検査を行う。具体的には、被検査体の偏光フィルムに対向するように照明装置及びＣＣＤカメラが配置され、照明装置により照明がなされている状態でＣＣＤカメラが被検査体を偏光フィルム側から撮影する。そして、ＣＣＤカメラから出力される映像信号が所定の閾値をもって二値化される。糊中の気泡の表面では、照明装置からの光が反射するので、前記二値化によって得られる映像データによって表される画像では、気泡部分全面が明るく観察される。そして、その画像上において全面が明るく表される気泡部分の面積が対応する気泡の形状特徴量として計測される。   Conventionally, a bubble inspection device disclosed in Patent Document 1 is known. This bubble inspection device has a structure in which a transparent polarizing film (plate-like body) coated with glue (adhesive) on one surface is attached to a glass substrate (plate-like body) with the glue. The air bubbles in the glue in the laminated plate) are inspected. Specifically, the illumination device and the CCD camera are arranged so as to face the polarizing film of the object to be inspected, and the CCD camera takes an image of the object to be inspected from the polarizing film side while being illuminated by the illumination device. Then, the video signal output from the CCD camera is binarized with a predetermined threshold. Since the light from the lighting device is reflected on the surface of the bubble in the glue, the entire bubble portion is observed brightly in the image represented by the video data obtained by the binarization. Then, the area of the bubble portion whose entire surface is brightly displayed on the image is measured as the corresponding bubble shape feature amount.

特開平８−１８９９０３号公報JP-A-8-189903

上述したような従来の気泡検査装置では、ＣＣＤカメラからの映像信号を所定の閾値をもって二値化することにより映像データを生成しているので、映像信号中において前記閾値のレベルより低いレベルで表れる気泡については検出することができない。例えば、ＣＣＤカメラのフォーカス位置及びその近傍にない気泡については、鮮明に撮影されずに映像信号中において前記閾値のレベルより低いレベルで表されるようになる。このため、接着剤（糊）中に散在する多くの気泡を精度よく検出できない。   In the conventional bubble inspection apparatus as described above, since video data is generated by binarizing the video signal from the CCD camera with a predetermined threshold value, it appears at a level lower than the threshold level in the video signal. Bubbles cannot be detected. For example, bubbles that are not in the focus position of the CCD camera and in the vicinity thereof are not clearly captured and are represented at a level lower than the threshold level in the video signal. For this reason, many bubbles scattered in the adhesive (glue) cannot be accurately detected.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、透光性を有する２つの板状体を接着する接着剤中に散在する多くの気泡について精度良くそのサイズを表し得る情報を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置及び方法を提供するものである。   The present invention has been made in view of such circumstances, and obtains information that can accurately represent the size of many bubbles scattered in an adhesive that bonds two light-transmitting plates. The present invention provides a bonded plate-like body inspection apparatus and method.

本発明に係る貼り合せ板状体検査装置は、透光性を有する２枚の板状体が接着剤にて貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して得られる検査画像情報に基づいて前記接着剤中の気泡についての検査を行う貼り合せ板状体検査装置であって、前記貼り合せ板状体の一方の板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の他方の板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する照明手段と、前記照明手段により照明がなされている状態で前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査する際に当該ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記ラインセンサカメラからの映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段を有し、前記照明手段及び前記ラインセンサカメラの光学的条件が、前記画素単位の濃淡値からなる前記検査画像情報にて表される検査画像において気泡部分が明背景中に暗リングとして表れるように調整され、前記処理ユニットは、更に、前記検査画像情報から得られる前記暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の前記検査画像上での距離に基づいて気泡のサイズを表す気泡サイズ情報を検査結果情報として生成する気泡サイズ情報生成手段を有する構成となる。   The bonded plate-like body inspection apparatus according to the present invention is based on inspection image information obtained by photographing a bonded plate-like body in which two plate-like bodies having translucency are bonded together with an adhesive. A bonded plate inspection apparatus for inspecting bubbles in the adhesive, wherein the line sensor camera is disposed to face one plate of the bonded plate, and the bonded plate An illuminating means for illuminating the line sensor camera from the other plate-like body side of the shape-like body, and when the line sensor camera scans the bonded plate-like body in a state of being illuminated by the illumination means A processing unit for processing a video signal output from the line sensor camera, and the processing unit generates inspection image information including grayscale values in pixel units based on the video signal from the line sensor camera. Inspection image information generating means, and the optical conditions of the illuminating means and the line sensor camera are such that a bubble portion is in a light background in an inspection image represented by the inspection image information consisting of grayscale values in pixel units. The processing unit is further adjusted so as to appear as a dark ring, and the processing unit further determines, on the inspection image between the two dark portions corresponding to the dark ring, from a gray value profile in a direction across the dark ring obtained from the inspection image information. The bubble size information generating means for generating the bubble size information representing the bubble size as the inspection result information on the basis of the distance at is provided.

また、本発明に係る貼り合せ板状体検査方法は、透光性を有する２枚の板状体が接着剤にて貼り合わされてなる貼り合せ板状体の一方の板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の他方の板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する照明手段と、前記照明手段により照明がなされている状態で前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査する際に当該ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有する貼り合せ板状体検査装置を用い、前記接着剤中の気泡についての検査を行う貼り合せ板状体検査方法であって、前記処理ユニットが前記ラインセンサカメラからの映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成ステップを有し、前記照明手段及び前記ラインセンサカメラの光学的条件が、前記画素単位の濃淡値からなる前記検査画像情報にて表される検査画像において気泡部分が明背景中に暗リングとして表れるように調整されており、前記処理ユニットが、更に、前記検査画像情報から得られる前記暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の距離に基づいて気泡のサイズを表す気泡サイズ情報を検査結果情報として生成する気泡サイズ情報生成ステップを有する構成となる。   Moreover, the bonded plate-shaped body inspection method according to the present invention opposes one plate-shaped body formed by bonding two light-transmitting plate-shaped bodies with an adhesive. A line sensor camera to be arranged; illumination means for illuminating the line sensor camera from the other plate-like body side of the bonded plate-like body; and the line sensor camera being illuminated by the illumination means. Using a bonding plate inspection apparatus having a processing unit for processing a video signal output from the line sensor camera when the bonding plate is scanned, the bubbles in the adhesive are inspected. A method for inspecting a bonded plate-shaped body, wherein the processing unit generates inspection image information including grayscale values in pixel units based on a video signal from the line sensor camera. And the optical condition of the illumination means and the line sensor camera is such that a bubble portion appears as a dark ring in a light background in an inspection image represented by the inspection image information composed of grayscale values in pixel units. The processing unit further adjusts the bubble size based on the distance between the two dark portions corresponding to the dark ring from the gray value profile in the direction across the dark ring obtained from the inspection image information. It has a configuration having a bubble size information generation step of generating the bubble size information to be expressed as the inspection result information.

これら本発明に係る貼り合せ板状体検査装置及び方法によれば、透光性を有する２つの板状体を接着する接着剤中に存在する多くの気泡について、精度良くそのサイズを表し得る情報を得ることができるようになる。   According to these bonded plate-shaped body inspection apparatuses and methods according to the present invention, information that can accurately represent the size of many bubbles present in an adhesive that bonds two light-transmissive plates. You will be able to get

貼り合せ板状体の一例であるセンサパネルアッセンブリの構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the sensor panel assembly which is an example of a bonding plate-shaped object. 貼り合せ板状体の一例であるセンサパネルアッセンブリの構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the sensor panel assembly which is an example of a bonding plate-shaped object. 図１Ａ及び図１Ｂに示すセンサパネルアッセンブリと液晶パネルアッセンブリとを接着剤にて貼り合せた構造のタッチパネル式の液晶表示パネルの構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the touchscreen type liquid crystal display panel of the structure which bonded together the sensor panel assembly and liquid crystal panel assembly which were shown to FIG. 1A and FIG. 1B with the adhesive agent. センサパネルアッセンブリの断面を拡大して示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which expands and shows the cross section of a sensor panel assembly. 本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の側方から見た基本的な構成を示す図である。It is a figure which shows the fundamental structure seen from the side of the bonding plate-shaped object inspection apparatus (sensor panel assembly inspection apparatus) which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の上方から見た基本的な構成を示す図である。It is a figure which shows the fundamental structure seen from the upper direction of the bonding plate-shaped object test | inspection apparatus (sensor panel assembly test | inspection apparatus) which concerns on one Embodiment of this invention. ラインセンサカメラと照明ユニットとの関係を示す図（その１）である。It is FIG. (1) which shows the relationship between a line sensor camera and an illumination unit. ラインセンサカメラと照明ユニットとの関係を示す図（その２）である。It is FIG. (2) which shows the relationship between a line sensor camera and an illumination unit. 本発明の実施の一形態に係る貼り合せ板状体検査装置（センサパネルアッセンブリ検査装置）の処理系の基本構成を示す図である。It is a figure which shows the basic composition of the processing system of the bonding plate-shaped object inspection apparatus (sensor panel assembly inspection apparatus) which concerns on one Embodiment of this invention. 気泡サイズ情報の生成に係る処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of the process which concerns on the production | generation of bubble size information. センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その１）を示す図である。It is a figure which shows the state (the 1) of the illumination light from the illumination unit which progresses in the sensor panel assembly, and the reflected light in the reflecting plate of this illumination light. センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その２）を示す図である。It is a figure which shows the state (the 2) of the illumination light from the illumination unit which advances the inside of a sensor panel assembly, and the reflected light in the reflecting plate of this illumination light. センサパネルアッセンブリ中を進む照明ユニットからの照明光と該照明光の反射板での反射光の状態（その３）を示す図である。It is a figure which shows the state (the 3) of the illumination light from the illumination unit which advances in the sensor panel assembly, and the reflected light in the reflecting plate of this illumination light. 気泡部分（暗リング）を含む検査画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the test | inspection image containing a bubble part (dark ring). 検査画像に含まれる気泡部分を表す暗リングと、該暗リングを横切る方向（主走査方向）の濃淡値プロファイルとの関係（その１）を示す図である。It is a figure which shows the relationship (the 1) between the dark ring showing the bubble part contained in a test | inspection image, and the light-and-dark value profile of the direction (main scanning direction) crossing this dark ring. 検査画像に含まれる気泡部分を表す暗リングと、該暗リングを横切る方向（主走査方向）の濃淡値プロファイルとの関係（その２）を示す図である。It is a figure which shows the relationship (the 2) between the dark ring showing the bubble part contained in a test | inspection image, and the gradation value profile of the direction (main scanning direction) crossing this dark ring. 検査画像に含まれる気泡部分を表す暗リングと、該暗リングを横切る方向（主走査方向）の濃淡値プロファイルとの関係（その３）を示す図である。It is a figure which shows the relationship (the 3) between the dark ring showing the bubble part contained in a test | inspection image, and the gradation value profile of the direction (main scanning direction) which cross | intersects this dark ring. 接着剤中においてラインセンサカメラのフォーカス位置にある気泡、及びフォーカス位置の前後にある気泡の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of the bubble in a focus position of a line sensor camera in an adhesive agent, and the bubble before and behind a focus position. ラインセンサカメラのフォーカス位置の手前にある気泡に対応した検査画像の気泡部分を表す暗リングと、該暗リングを横切る方向（主走査方向）の濃淡値プロファイルとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the dark ring showing the bubble part of the test | inspection image corresponding to the bubble in front of the focus position of a line sensor camera, and the gradation value profile of the direction (main scanning direction) across this dark ring. ラインセンサカメラのフォーカス位置にある気泡に対応した検査画像の気泡部分を表す暗リングと、該暗リングを横切る方向（主走査方向）の濃淡値プロファイルとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the dark ring showing the bubble part of the test | inspection image corresponding to the bubble in the focus position of a line sensor camera, and the gray value profile of the direction (main scanning direction) across this dark ring. ラインセンサカメラのフォーカス位置より後にある気泡に対応した検査画像の気泡部分を表す暗リングと、該暗リングを横切る方向（主走査方向）の濃淡値プロファイルとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the dark ring showing the bubble part of the test | inspection image corresponding to the bubble after the focus position of a line sensor camera, and the light-and-dark value profile of the direction (main scanning direction) across this dark ring. 気泡部分を表す暗リングを横切る主走査方向の濃淡値プロファイルから求めた気泡サイズと、該暗リングを横切る副走査方向の濃淡値プロファイルから求めた気泡サイズとの関係を示す相関図である。It is a correlation diagram showing the relationship between the bubble size obtained from the density value profile in the main scanning direction crossing the dark ring representing the bubble portion and the bubble size obtained from the density value profile in the sub-scanning direction across the dark ring. 検査画像における気泡部分に対応した暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の前記検査画像上での距離を測る方法の他の一例を示す図である。It is a figure which shows another example of the method of measuring the distance on the said test | inspection image between the two dark parts corresponding to the said dark ring from the gray value profile of the direction crossing the dark ring corresponding to the bubble part in a test | inspection image.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

検査対象となる貼り合せ板状体の一例について図１Ａ〜図１Ｃを参照して説明する。この例は、タッチパネル式の液晶表示パネルに使用されるセンサパネルアッセンブリである。なお、図１Ａは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す断面図であり、図１Ｂは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す平面図であり、図１Ｃは、センサパネルアッセンブリ１０と液晶パネルアッセンブリ２０とを接着剤にて貼り合せた構造のタッチパネル式の液晶表示パネルの構造を示す断面図である。   An example of a bonded plate-like body to be inspected will be described with reference to FIGS. 1A to 1C. This example is a sensor panel assembly used in a touch panel type liquid crystal display panel. 1A is a cross-sectional view showing the structure of the sensor panel assembly 10, FIG. 1B is a plan view showing the structure of the sensor panel assembly 10, and FIG. 1C shows the sensor panel assembly 10, the liquid crystal panel assembly 20, It is sectional drawing which shows the structure of the touchscreen liquid crystal display panel of the structure which bonded together with the adhesive agent.

図１Ａ及び図１Ｂにおいて、このセンサパネルアッセンブリ１０は、センサ素子やグリッド等の回路部品が配列形成されたセンサパネル１１（板状体）とカバーガラス１２（板状体）とが当該センサパネル１１の全面に塗布された透光性を有する接着剤１３（レジン）によって貼り合わされた構造となっている。センサパネル１１は、ガラス基板上に回路部品が形成された構造となり、全体的に透光性を有する透光領域（ただし、回路部品の部分は不透光）となっている。また、カバーガラス１２は、周辺部が所定の幅の不透光領域１２ｂ（黒色領域）となっており、その内側の領域が透光性を有する透光領域１２ａとなっている。   1A and 1B, the sensor panel assembly 10 includes a sensor panel 11 (plate-like body) in which circuit components such as sensor elements and grids are arranged and a cover glass 12 (plate-like body). It has a structure in which the light-transmitting adhesive 13 (resin) applied to the entire surface is bonded. The sensor panel 11 has a structure in which circuit components are formed on a glass substrate, and has a light-transmitting region (however, the portion of the circuit components is not light-transmitting) having overall light-transmitting properties. Further, the cover glass 12 has a translucent region 12b (black region) having a predetermined width in the peripheral portion, and a translucent region 12a having translucency in an inner region thereof.

このような構造のセンサパネルアッセンブリ１０は、図１Ｃに示すように、液晶パネルアッセンブリ２０（液晶パネル、色フィルタ、偏光板等で構成される）に透光性を有する接着剤１５によって接着されている。このように形成されたタッチパネル式の液晶表示パネルでは、液晶パネルアッセンブリ２０によって画像表示がなされるとともに、指でタッチされたカバーガラス１２上の位置に対応するセンサパネル１１上のセンサ素子から信号が出力されるようになっている。そして、このセンサパネル１１の各センサ素子から出力される信号によって液晶パネルアッセンブリ２０による画像表示を制御することができる。   As shown in FIG. 1C, the sensor panel assembly 10 having such a structure is bonded to a liquid crystal panel assembly 20 (configured by a liquid crystal panel, a color filter, a polarizing plate, etc.) with a translucent adhesive 15. Yes. In the touch panel type liquid crystal display panel formed in this way, an image is displayed by the liquid crystal panel assembly 20, and a signal is received from a sensor element on the sensor panel 11 corresponding to a position on the cover glass 12 touched with a finger. It is output. The image display by the liquid crystal panel assembly 20 can be controlled by signals output from the sensor elements of the sensor panel 11.

上述したような構造のセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ板状体）を製造する過程で、例えば、図２に示すように、接着剤１３内に気泡ＢＬが発生してしまうことがある。このように接着剤１３中に生じた気泡ＢＬについての検査装置、即ち、センサパネルアッセンブリ検査装置は、例えば、図３Ａ及び図３Ｂに示すように構成される。なお、図３Ａは、センサパネルアッセンブリ検査装置の側方から見た基本的な構成を示し、図３Ｂは、センサパネルアッセンブリ検査装置の上方から見た基本的な構成を示している。   In the process of manufacturing the sensor panel assembly 10 (bonded plate-like body) having the above-described structure, for example, bubbles BL may be generated in the adhesive 13 as shown in FIG. The inspection device for the bubbles BL generated in the adhesive 13 as described above, that is, the sensor panel assembly inspection device is configured as shown in FIGS. 3A and 3B, for example. 3A shows a basic configuration viewed from the side of the sensor panel assembly inspection apparatus, and FIG. 3B shows a basic configuration viewed from above the sensor panel assembly inspection apparatus.

図３Ａ及び図３Ｂにおいて、このセンサパネルアッセンブリ検査装置は、ラインセンサカメラ５０、照明ユニット５１、反射板５２（照明手段）、及び移動機構６０を有している。移動機構６０は、センサパネル１１を上方に、カバーガラス１２を下方にそれぞれ向けて移動経路上にセットされたセンサパネルアッセンブリ１０を所定の速度にて直線移動させる。ラインセンサカメラ５０は、例えばＣＣＤ素子列にて構成されたラインセンサ５０ａ及びレンズ群（視野を広げるための引き延ばしレンズを含み得る）等の光学系（図示略）を含み、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０のセンサパネル１１に対向するように固定配置されている。そして、ラインセンサカメラ５０の姿勢が、ラインセンサ５０ａの延びる方向がセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａを横切り（例えば、移動方向Ａと直交し）、かつ、その光軸ＡＯＰＴ１がセンサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面に直交するように調整されている。反射板５２は、入射光を乱反射するように加工された反射面を有しており、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の近傍で、その反射面がセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２に対向するように固定配置されている。このように配置された反射板５２（反射面）での反射光（照明光）により、センサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明がなされるようになる。 3A and 3B, the sensor panel assembly inspection apparatus includes a line sensor camera 50, an illumination unit 51, a reflecting plate 52 (illuminating means), and a moving mechanism 60. The moving mechanism 60 linearly moves the sensor panel assembly 10 set on the moving path with the sensor panel 11 facing upward and the cover glass 12 facing downward. The line sensor camera 50 includes, for example, a line sensor 50a configured by a CCD element array and an optical system (not shown) such as a lens group (which may include an extending lens for expanding a field of view), and a sensor panel on a moving path. The assembly 10 is fixedly arranged so as to face the sensor panel 11 of the assembly 10. The posture of the line sensor camera 50 is such that the direction in which the line sensor 50a extends crosses the movement direction A of the sensor panel assembly 10 (eg, orthogonal to the movement direction A), and the optical axis A OPT1 is the sensor panel assembly 10. It is adjusted to be orthogonal to the surface of (sensor panel 11). The reflection plate 52 has a reflection surface processed so as to diffusely reflect incident light, and the reflection surface faces the cover glass 12 of the sensor panel assembly 10 in the vicinity of the sensor panel assembly 10 on the movement path. Is fixedly arranged. Illumination is performed from the cover glass 12 side of the sensor panel assembly 10 toward the line sensor camera 50 by the reflected light (illumination light) on the reflection plate 52 (reflection surface) arranged in this way.

照明ユニット５１は、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａにおけるラインセンサカメラ５０の下流側、即ち、後述するラインセンサカメラ５０の走査方向Ｂにおける当該ラインセンサカメラ５０の上流側に、センサパネル１１に対向するように配置されている。照明ユニット５１の姿勢は、センサパネルアッセンブリ１０の斜め上方から、具体的には、センサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面の法線方向に対してその光軸ＡＯＰＴ２が所定角度αとなる方向からラインセンサカメラ５０の光軸ＡＯＰＴ１を横切ることなくセンサパネルアッセンブリ１０の表面を照明するように調整されている。そして、照明ユニット５１は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、センサパネルアッセンブリ１０の表面におけるラインセンサカメラ５０の撮影ラインＬｃからセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａの下流側（ラインセンサカメラ５０の走査方向Ｂの上流側）に所定距離だけ離れて当該撮影ラインＬｃに沿った方向に延びる所定領域（以下、照明領域という）ＥＬを照明する。照明ユニット５１によるセンサパネルアッセンブリ１０の表面での前記照明領域ＥＬの前記センサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａに直交する方向における中央に位置する照明ラインＬＬとラインセンサカメラ５０のセンサパネルアッセンブリ１０の表面での前記撮影ラインＬｃとが所定の間隔に維持され、前記照明領域ＥＬはラインセンサカメラ５０の前記撮影領域Ｅｃに重なることはない（含まれない）。 The illumination unit 51 has a sensor on the downstream side of the line sensor camera 50 in the movement direction A of the sensor panel assembly 10 on the movement path, that is, on the upstream side of the line sensor camera 50 in the scanning direction B of the line sensor camera 50 described later. It arrange | positions so that the panel 11 may be opposed. The posture of the illumination unit 51 is such that the optical axis A OPT2 is at a predetermined angle α with respect to the normal direction of the surface of the sensor panel assembly 10 (sensor panel 11) from obliquely above the sensor panel assembly 10. It is adjusted to illuminate the surface of the sensor panel assembly 10 without crossing the optical axis A OPT1 of the line sensor camera 50 from the direction. As shown in FIGS. 4A and 4B, the illumination unit 51 is arranged on the surface of the sensor panel assembly 10 from the photographing line Lc of the line sensor camera 50 to the downstream side in the moving direction A of the sensor panel assembly 10 (of the line sensor camera 50). predetermined region extending in a direction along the shooting line Lc on the upstream side) separated by a predetermined distance in the scanning direction B (hereinafter, referred to as illumination area) for illuminating the E L. The illumination line L L located at the center in the direction orthogonal to the moving direction A of the sensor panel assembly 10 in the illumination area E L on the surface of the sensor panel assembly 10 by the illumination unit 51 and the sensor panel assembly 10 of the line sensor camera 50. is said imaging line Lc on the surface of the maintenance at a predetermined interval, the illumination region E L is not overlapping the imaging area E c of the line sensor camera 50 (not included).

前述したような構造のセンサパネルアッセンブリ検査装置では、移動機構６０によりセンサパネルアッセンブリ１０が移動経路上を方向Ａに移動することにより、ラインセンサカメラ５０と照明ユニット５１との相対的な位置関係が維持されつつラインセンサカメラ５０が前記移動方向Ａと逆方向Ｂにセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査する。この走査によりラインセンサカメラ５０によるセンサパネルアッセンブリ１０の撮影がなされる。なお、ラインセンサ５０ａの長さの制約から、ラインセンサカメラ５０の一回の方向Ｂへの走査によってセンサパネルアッセンブリ１０の全面を走査することができない場合は、撮影領域Ｅｃを走査方向Ｂと直交する方向にステップ的に移動させつつ、複数回走査することによって、センサパネルアッセンブリ１０の全面についての撮影がなされる。 In the sensor panel assembly inspection apparatus having the above-described structure, the relative positional relationship between the line sensor camera 50 and the illumination unit 51 is obtained by moving the sensor panel assembly 10 in the direction A on the movement path by the movement mechanism 60. The line sensor camera 50 optically scans the sensor panel assembly 10 in the direction B opposite to the moving direction A while being maintained. By this scanning, the sensor panel assembly 10 is photographed by the line sensor camera 50. Incidentally, the restriction of the length of the line sensor 50a, if it is not possible to scan the entire surface of the sensor panel assembly 10 by scanning in a single direction B of the line sensor camera 50, the imaging region E c and the scanning direction B The entire surface of the sensor panel assembly 10 is photographed by scanning a plurality of times while moving in a stepwise manner in the orthogonal direction.

センサパネルアッセンブリ検査装置の処理系は、図５に示すように構成される。   The processing system of the sensor panel assembly inspection apparatus is configured as shown in FIG.

図５において、ラインセンサカメラ５０、表示ユニット７１及び操作ユニット７２が処理ユニット７０に接続されている。また、処理ユニット７０は、移動機構６０によるセンサパネルアッセンブリ１０の移動に同期してセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査するラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいてセンサパネルアッセンブリ１０の画像（検査画像）を表す検査画像情報を生成する。つまり、処理ユニット７０は、ラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいて検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段を有する。そして、処理ユニット７０は、前記検査画像情報に基づいてセンサパネルアッセンブリ１０の検査画像を表示ユニット７１に表示させる。この検査画像には、センサパネル１１の回路部品やセンサパネルアッセンブリ１０の接着剤１３中の異物、更に、接着剤１３の縁端部とともに、後述するように接着剤１３中の気泡が現れ得る。なお、処理ユニット７０は、操作ユニット７２の操作に応じた各種指示に係る情報を取得するとともに、前記検査画像から各種情報（気泡や異物のサイズ、接着剤１３の縁端部の位置等）を生成し、それを検査結果情報として表示ユニット７１に表示させることができる。   In FIG. 5, the line sensor camera 50, the display unit 71, and the operation unit 72 are connected to the processing unit 70. Further, the processing unit 70 synchronizes with the movement of the sensor panel assembly 10 by the moving mechanism 60, and the image (inspection) of the sensor panel assembly 10 based on the video signal from the line sensor camera 50 that optically scans the sensor panel assembly 10. Inspection image information representing an image) is generated. That is, the processing unit 70 includes inspection image information generation means for generating inspection image information based on the video signal from the line sensor camera 50. Then, the processing unit 70 causes the display unit 71 to display an inspection image of the sensor panel assembly 10 based on the inspection image information. In this inspection image, bubbles in the adhesive 13 may appear together with the circuit components of the sensor panel 11, foreign matter in the adhesive 13 of the sensor panel assembly 10, and the edge of the adhesive 13 as will be described later. The processing unit 70 acquires information related to various instructions according to the operation of the operation unit 72, and also provides various information (such as the size of bubbles and foreign matter, the position of the edge of the adhesive 13) from the inspection image. It can be generated and displayed on the display unit 71 as inspection result information.

処理ユニット７０は、図６に示す手順に従って、センサパネルアッセンブリ１０の接着剤１３中に存在する気泡のサイズを検出するための処理を実行する。   The processing unit 70 executes a process for detecting the size of bubbles present in the adhesive 13 of the sensor panel assembly 10 according to the procedure shown in FIG.

図６において、処理ユニット１１は、照明ユニット５１からの照明がなされている状態で、移動機構６０によってセンサパネルアッセンブリ１０を移動させて、ランセンサカメラ５０がセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査するよう制御する（Ｓ１１）。その過程で、ラインセンサカメラ５０の撮影領域ＥＣがカバーガラス１２の透光領域１２ａに対応する部分を移動する際には、センサパネル１１の表面に所定角度αをもって斜めに入射する（図３Ａ参照）照明ユニット５１からの照明光ＲＬ１が、例えば、図７〜図９に示すように、センサパネル１１（透光領域）、接着剤１３及びカバーガラス１２（透光領域１２ａ）内を屈折しつつ通過して反射板５２に達する。そして、その照明光ＲＬ１が反射板５２で乱反射してその反射光の一部が照明光ＲＬ２としてセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２（透光領域１２ａ）側からラインセンサカメラ５０に向けて進む。このように、ラインセンサカメラ５０は、照明ユニット５１によるセンサパネル１１側からの照明（照明光ＲＬ１）と反射板５２によるカバーガラス１２側からの照明（照明光ＲＬ２）とがなされている状態で、センサパネルアッセンブリ１０を走査する。 In FIG. 6, the processing unit 11 moves the sensor panel assembly 10 by the moving mechanism 60 in a state where the illumination unit 51 is illuminated, and the run sensor camera 50 optically scans the sensor panel assembly 10. Control is performed (S11). In the process, when the imaging region E C of the line sensor camera 50 moves in a portion corresponding to the light transmission region 12a of the cover glass 12, it is incident obliquely on the surface of the sensor panel 11 with a predetermined angle α (FIG. 3A). Reference) Illumination light RL1 from the illumination unit 51 is refracted in the sensor panel 11 (translucent region), the adhesive 13 and the cover glass 12 (translucent region 12a) as shown in FIGS. However, it passes through and reaches the reflecting plate 52. Then, the illumination light R L1 is diffusely reflected by the reflector 52, and a part of the reflected light is illuminated light R L2 from the cover glass 12 (translucent region 12a) side of the sensor panel assembly 10 toward the line sensor camera 50. move on. Thus, the line sensor camera 50 is illuminated by the illumination unit 51 from the sensor panel 11 side (illumination light R L1 ) and illuminated from the cover glass 12 side by the reflector 52 (illumination light R L2 ). In the state, the sensor panel assembly 10 is scanned.

前記走査の過程で、反射板５２からの前記照明光ＲＬ２（反射光）は、例えば、図７に示すように、センサパネルアッセンブリ１０における接着剤１３の気泡ＢＬの無い部分を進むとそのままセンサパネル１１を通過してラインセンサカメラ５０に入射する。反射板５２による前記照明光ＲＬ２が、例えば、図８に示すように、接着剤１３中の気泡ＢＬの外表部を通ると、その照明光ＲＬ２は、気泡ＢＬの外表部での屈折や散乱（例えば、ミー散乱）によってラインセンサカメラ５０に十分に入射しない。照明光ＲＬ２が、例えば、図９に示すように、気泡ＢＬの中央部を通ると、その照明光ＲＬ２は、散乱（例えば、ブリルアン散乱）しつつラインセンサカメラ５０に入射し得る。 In the scanning process, the illumination light R L2 (reflected light) from the reflecting plate 52 proceeds as it passes through a part without the bubble BL of the adhesive 13 in the sensor panel assembly 10 as shown in FIG. 7, for example. The light passes through the panel 11 and enters the line sensor camera 50. The illumination light R L2 by the reflection plate 52, for example, as shown in FIG. 8, when passing through the external surface of the bubble BL in the adhesive 13, the illumination light R L2 is Ya refraction at external surface of the bubble BL It does not sufficiently enter the line sensor camera 50 due to scattering (for example, Mie scattering). Illuminating light R L2, for example, as shown in FIG. 9, as it passes through the central portion of the bubble BL, the illumination light R L2 is scattered (e.g., Brillouin scattering) can enter into and while the line sensor camera 50.

図６に戻って、処理ユニット７０（処理ユニット７０が有する検査画像情報生成手段）は、上述したように、反射板５２からの照明光ＲＬ２により照明がなされている状態でラインセンサカメラ５０がセンサパネルアッセンブリ１０を走査する際に当該ラインセンサカメラ５０から出力される映像信号に基づいて画素（ＣＣＤ素子に対応）単位の濃淡値（例えば、２５６階調）からなる検査画像情報を生成する（Ｓ１２）。反射板５２からの照明光ＲＬ２が図７〜図９に示すように接着剤１３中の気泡ＢＬの有無によって異なった挙動を示すことから、前記検査画像情報にて表される検査画像Ｉでは、例えば、図１０に示すように、各気泡部分ＩＢＬ１、ＩＢＬ２、ＩＢＬ３のそれぞれが、明背景中に暗リングとして表れる。 Returning to FIG. 6, the processing unit 70 (inspection image information generating means included in the processing unit 70) is configured so that the line sensor camera 50 is illuminated with the illumination light R L2 from the reflection plate 52 as described above. Inspection image information composed of grayscale values (for example, 256 gradations) in units of pixels (corresponding to CCD elements) is generated based on the video signal output from the line sensor camera 50 when scanning the sensor panel assembly 10 ( S12). In the inspection image I represented by the inspection image information, the illumination light RL2 from the reflecting plate 52 behaves differently depending on the presence or absence of the bubbles BL in the adhesive 13 as shown in FIGS. For example, as shown in FIG. 10, each of the bubble portions I BL1 , I BL2 , I BL3 appears as a dark ring in the light background.

ランセンサカメラ５０の焦点位置は、センサパネルアッセンブリ１０の接着剤１３の厚さ方向の略中央部に設定されるとともに、ラインセンサカメラ５０の他の光学条件（センサパネルアッセンブリ１０に対する位置、絞り等）及び照明ユニット５１及び反射板５２の光学的な条件（センサパネルアッセンブリ１０に対する位置、傾き、光量等）は、接着剤中の気泡ＢＬが検査画像Ｉにおいて前述したように明背景中に暗リングとしてできるだけ明確に表れるように調整されている。   The focal position of the run sensor camera 50 is set at a substantially central portion in the thickness direction of the adhesive 13 of the sensor panel assembly 10, and other optical conditions (position to the sensor panel assembly 10, aperture, etc.). ) And the optical conditions of the illumination unit 51 and the reflecting plate 52 (position, inclination, light amount, etc. with respect to the sensor panel assembly 10), the bubble BL in the adhesive is a dark ring in the light background as described above in the inspection image I. It has been adjusted so that it appears as clearly as possible.

処理ユニット７０は、上述したように気泡部分が明背景中に暗リングとして表れ得る検査画像Ｉを表す検査画像情報（画素単位の濃淡値）を生成すると（Ｓ１２）、得られた検査画像情報から気泡部分を含む検査領域（例えば、矩形領域）を抽出する（Ｓ１３）。なお、この検査領域は、前記検査画像情報に基づいて表示ユニット７１に表示される検査画像上においてユーザが操作ユニット７２を用いて特定した領域に基づいて抽出することも、また、前述したような暗リングを含む領域を画像処理することにより抽出することもできる。   When the processing unit 70 generates the inspection image information (the grayscale value in pixel units) representing the inspection image I in which the bubble portion can appear as a dark ring in the light background as described above (S12), from the obtained inspection image information An inspection area (for example, a rectangular area) including a bubble portion is extracted (S13). The inspection area may be extracted based on the area specified by the user using the operation unit 72 on the inspection image displayed on the display unit 71 based on the inspection image information. An area including a dark ring can be extracted by image processing.

処理ユニット７０は、検査画像情報から抽出された検査領域に含まれる気泡部分を表す暗リングを、例えば、その最大径位置で横切る主走査方向の濃淡値プロファイルから、当該暗リングに対応した２つの暗部間の距離に基づいて当該気泡のサイズを表す第１気泡サイズ情報Ｄｘを生成する（Ｓ１４）。具体的には、図１１Ａ乃至図１１Ｃに示すように、気泡部分ＩＢＬＳ、ＩＢＬＭ、ＩＢＬＬを表す暗リングをその最大径位置で横切る主走査方向の濃淡値プロファイルＰＦＳ、ＰＦＭ、ＰＦＬ（２５６階調の濃淡値プロファイル）から、当該暗リングの２つのボトム値に対応した画素位置ＰＢ１、ＰＢ２が検出される。そして、その画素位置ＰＢ１、ＰＢ２間の距離に基づいて第１気泡サイズ情報ＤｘＳ、ＤｘＭ、ＤｘＬが生成される。この場合、最も小さい気泡部分ＩＢＬＳ（図１１Ａ参照）から得られる第１気泡サイズ情報ＤｘＳが最も小さい値となり、最も大きい気泡部分ＩＢＬＬ（図１１Ｃ参照）から得られる第１気泡サイズ情報ＤｘＬが最も大きい値となる。そして、最も小さい気泡部分ＩＢＬＳより大きく、最も大きい気泡部分ＩＢＬＬより小さい気泡部分ＩＢＬＭ（図１１Ｂ参照）から得られる第１気泡サイズ情報ＤｘＭがＤｘＳより大きくＤｘＬより小さい値となる。 The processing unit 70, for example, from the gray value profile in the main scanning direction that traverses the dark ring representing the bubble portion included in the inspection region extracted from the inspection image information at the maximum diameter position, the two corresponding to the dark ring. First bubble size information Dx representing the size of the bubble is generated based on the distance between the dark portions (S14). Specifically, as shown in FIG. 11A to FIG. 11C, gray-scale value profiles PF S , PF M , PF in the main scanning direction crossing the dark ring representing the bubble portions I BLS , I BLM , I BLL at the maximum diameter position. Pixel positions P B1 and P B2 corresponding to the two bottom values of the dark ring are detected from L (256-level gray value profile). Then, first bubble size information Dx S , Dx M , and Dx L is generated based on the distance between the pixel positions P B1 and P B2 . In this case, the first bubble size information Dx S obtained from the smallest bubble portion I BLS (see FIG. 11A) is the smallest value, and the first bubble size information Dx obtained from the largest bubble portion I BLL (see FIG. 11C). L is the largest value. Then, the first bubble size information Dx M obtained from the bubble portion I BLM (see FIG. 11B) larger than the smallest bubble portion I BLS and smaller than the largest bubble portion I BLL becomes a value larger than Dx S and smaller than Dx L. .

次に、処理ユニット７０は、前述した主走査方向の場合と同様に、前記検査領域に含まれる気泡部分を表す暗リングをその最大径位置で横切る副走査方向の濃淡プロファイルから、当該暗リングの２つのボトム値に対応した画素位置間の距離に基づいて当該気泡のサイズを表す第２気泡サイズ情報Ｄｙを生成する（Ｓ１５）。そして、処理ユニット７０は、前記第１気泡サイズ情報Ｄｘと前記第２気泡サイズ情報Ｄｙとの差が所定値Δ以下であるか否かを判定する（Ｓ１６）。前記第１気泡サイズ情報Ｄｘと前記第２気泡サイズ情報Ｄｙとの差が所定値Δ以下であると（Ｓ１６でＹＥＳ）、処理ユニット７０は、第１気泡サイズ情報Ｄｘを気泡のサイズについての検査結果情報Ｄとして表示ユニット７１に表示（出力）させる。一方、前記第１気泡サイズ情報Ｄｘと前記第２気泡サイズ情報Ｄｙとの差が所定位置Δを越えている場合（Ｓ１６でＮＯ）、処理ユニット７０は、前記第１気泡サイズ情報Ｄｘと前記第２気泡サイズ情報Ｄｙとの平均値情報（（Ｄｘ＋Ｄｙ）／２）を気泡のサイズについての検査結果情報として表示ユニット７１に表示（出力）させる。つまり、処理ユニット７０は、気泡のサイズを表す気泡サイズ情報を検査結果情報として生成する気泡サイズ情報生成手段を有する。   Next, in the same manner as in the main scanning direction described above, the processing unit 70 determines the dark ring from the density profile in the sub-scanning direction that crosses the dark ring representing the bubble portion included in the inspection region at the maximum diameter position. Based on the distance between the pixel positions corresponding to the two bottom values, second bubble size information Dy representing the size of the bubble is generated (S15). Then, the processing unit 70 determines whether or not the difference between the first bubble size information Dx and the second bubble size information Dy is equal to or less than a predetermined value Δ (S16). When the difference between the first bubble size information Dx and the second bubble size information Dy is equal to or smaller than a predetermined value Δ (YES in S16), the processing unit 70 checks the first bubble size information Dx for the bubble size. The result information D is displayed (output) on the display unit 71. On the other hand, when the difference between the first bubble size information Dx and the second bubble size information Dy exceeds a predetermined position Δ (NO in S16), the processing unit 70 determines that the first bubble size information Dx and the first bubble size information Dx The average value information ((Dx + Dy) / 2) with the two bubble size information Dy is displayed (output) on the display unit 71 as inspection result information about the bubble size. That is, the processing unit 70 has bubble size information generation means for generating bubble size information representing the bubble size as inspection result information.

処理ユニット７０は、前述した処理（Ｓ１３〜Ｓ１７、またはＳ１３〜Ｓ１６、Ｓ１８）を抽出した各検査画像領域について実行する（Ｓ１９）。そして、全ての検査画像領域について処理を終えると（Ｓ１９でＹＥＳ）、処理ユニット７０は、気泡のサイズ検出に係る処理を終了する。   The processing unit 70 executes the above-described processing (S13 to S17, or S13 to S16, S18) for each extracted inspection image region (S19). When all the inspection image areas have been processed (YES in S19), the processing unit 70 ends the process related to the bubble size detection.

ところで、ラインセンサカメラ５０の焦点位置は、前述したように、センサパネルアッセンブリ１０の接着剤１３の厚さ方向の略中央部に設定されている。しかし、接着剤１３中には、例えば、図１２に示すように、焦点位置ＳＦＯＣＵＳ上に位置するオン・フォーカス状態の気泡ＢＬＯＮだけでなく、焦点位置ＳＦＯＣＵＳよりラインセンサカメラ５０に近づいた位置にあるイン・フォーカス状態の気泡ＢＬＩＮや焦点位置ＳＦＯＣＵＳよりラインセンサカメラ５０から遠ざかった位置にあるアウト・フォーカス状態の気泡ＢＬＯＵＴも存在し得る。このような場合、焦点位置ＳＦＯＣＵＳにない気泡ＢＬＩＮ、ＢＬＯＵＴを鮮明に撮影することができない。イン・フォーカス状態の気泡ＢＬＩＮは、例えば、図１３Ｂに示すオン・フォーカス状態の気泡ＢＬＯＮ（暗リングＩＢＬＯＮ）に比べて、例えば、図１３Ａに示すように、検査画像上において細い暗リングＩＢＬＩＮとして表れ得る。また、アウト・フォーカス状態の気泡ＢＬＯＵＴについては、前記オン・フォーカス状態の気泡ＢＬＯＮ（暗リングＩＢＬＯＮ）に比べて、例えば、図１３Ｃに示すように、検査画像上においてうすくボケた暗リングＩＢＬＯＵＴとして表れ得る。 By the way, as described above, the focal position of the line sensor camera 50 is set at a substantially central portion in the thickness direction of the adhesive 13 of the sensor panel assembly 10. However, in the adhesive 13, for example, as shown in FIG. 12, not only the bubbles BL ON the on-focus state, located at the focal position S FOCUS, close to the line sensor camera 50 than the focal position S FOCUS There may also be an in-focus bubble BL IN at a position and an out-focus bubble BL OUT at a position farther from the line sensor camera 50 than the focal position S FOCUS . In such a case, the bubbles BL IN and BL OUT that are not at the focal position S FOCUS cannot be clearly photographed. Bubble BL IN of in focus, for example, as compared with the bubble BL ON the on-focus state shown in FIG. 13B (dark ring IBL ON), for example, as shown in FIG. 13A, a thin dark rings on the inspection image It can appear as IBL IN . Further, the out-of-focus state bubble BL OUT is darker than the on-focus state bubble BL ON (dark ring IBL ON ), for example, as shown in FIG. 13C. It can appear as IBL OUT .

このように、気泡の接着剤１３中における厚さ方向の位置に応じて検査画像中の気泡部分の濃淡の状態は異なるが、いずれにしても、図１３Ａ乃至図１３Ｃに示すように、その気泡部分は、暗リングとして表れ得る。このように、暗リングとして表れ得る限りは、前記イン・フォーカス状態、オン・フォーカス状態及びアウト・フォーカス状態のどのような気泡ＢＬＩＮ、ＢＬＯＮ、ＢＬＯＵＴであっても、前述した処理（Ｓ１３〜Ｓ１７、またはＳ１３〜Ｓ１６、Ｓ１８）に従って、図１３Ａ乃至図１３Ｃに示すように、気泡部分ＩＢＬＩＮ、ＩＢＬＯＮ、ＩＢＬＯＵＴを表す暗リングをその最大径位置で横切る主走査方向の濃淡値プロファイルＰＦＩＮ、ＰＦＯＮ、ＰＦＯＵＴから、当該暗リングの２つのボトム値に対応した画素位置ＰＢ１、ＰＢ２が検出される。そして、その画素位置ＰＢ１、ＰＢ２間の距離に基づいて第１気泡サイズ情報ＤｘＩＮ、ＤｘＯＮ、ＤｘＯＵＴが生成される。また、同様にして、暗リングをその最大径位置で横切る副走査方向の濃淡プロファイルから、第２気泡サイズ情報が生成される。 As described above, although the density of the bubble portion in the inspection image varies depending on the position of the bubble in the adhesive 13 in the thickness direction, in any case, as shown in FIGS. The portion can appear as a dark ring. In this way, as long as it can appear as a dark ring, any of the bubbles BL IN , BL ON , BL OUT in the in-focus state, the on-focus state, and the out-focus state is processed as described above (S13). To S17, or S13 to S16, S18), as shown in FIGS. 13A to 13C, the gray value profile in the main scanning direction crossing the dark ring representing the bubble portions I BLIN , I BLON , and I BLOUT at the maximum diameter position. Pixel positions P B1 and P B2 corresponding to the two bottom values of the dark ring are detected from PF IN , PF ON , and PF OUT . Then, the first bubble size information Dx IN , Dx ON , Dx OUT is generated based on the distance between the pixel positions P B1 and P B2 . Similarly, the second bubble size information is generated from the density profile in the sub-scanning direction across the dark ring at the maximum diameter position.

上述したような検査装置によれば、センサパネル１１とカバーガラス１２とが接着剤１３にて貼り合わされてなるセンサパネルアッセンブリ１０を走査するラインセンサカメラ５０からの映像信号に基づいて検査画像情報が生成され、その検査画像情報にて表される検査画像において気泡部分として表れる暗リングを横切る主走査方向（副走査方向）の濃淡プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部（ボトム値位置）間の検査画像上での距離に基づいて気泡のサイズを表す第１気泡サイズ情報Ｄｘ（第２気泡サイズ情報Ｄｙ）が生成される。これにより、ラインセンサカメラ５０の焦点位置ＳＦＯＣＵＳにある気泡ＢＬＯＮは勿論、その焦点位置ＳＦＯＣＵＳにない種々の気泡ＢＬＩＮ、ＢＬＯＵＴであっても、ラインセンサカメラ５０の光学的条件（例えば、焦点位置）を変えることなく、精度良くそのサイズを表し得る情報を得ることができるようになる。 According to the inspection apparatus as described above, the inspection image information is based on the video signal from the line sensor camera 50 that scans the sensor panel assembly 10 in which the sensor panel 11 and the cover glass 12 are bonded together with the adhesive 13. Two dark portions (bottom value positions) corresponding to the dark ring from the density profile in the main scanning direction (sub-scanning direction) that crosses the dark ring that appears as the bubble portion in the inspection image that is generated and represented by the inspection image information. First bubble size information Dx (second bubble size information Dy) representing the bubble size is generated based on the distance on the inspection image. Thus, air bubbles BL ON in the focal position S FOCUS of the line sensor camera 50, of course, its focal position S FOCUS if not various bubbles BL IN, even BL OUT, optical conditions of the line sensor camera 50 (e.g. , Information that can accurately represent the size can be obtained without changing the focal position.

また、暗リングをその最大径位置で横切る主走査方向の濃淡プロファイルから得られる第１気泡サイズ情報Ｄｘと当該リングをその最大径位置で横切る副走査方向の濃淡プロファイルから得られる第２気泡サイズ情報Ｄｙとから、気泡のサイズを表し得る情報を生成しているので、気泡のサイズを精度良く表し得る情報を得ることができる。   Further, first bubble size information Dx obtained from the density profile in the main scanning direction crossing the dark ring at its maximum diameter position and second bubble size information obtained from the density profile in the sub-scanning direction crossing the ring at its maximum diameter position. Since information that can represent the bubble size is generated from Dy, information that can accurately represent the bubble size can be obtained.

なお、上記検査装置においては、各大きさの気泡に対して、例えば、図１４に示すように、主走査方向の濃淡値プロファイルから得られる第１気泡サイズ情報Ｄｘと副走査方向の濃淡値プロファイルから得られる第２気泡サイズ情報Ｄｙとが略等しくなるように、ラインセンサカメラ５０の姿勢や位置、照明ユニット５１及び反射板５２の傾きや位置等を調整することができる。このようにすることによって、第１気泡サイズ情報Ｄｘと第２気泡サイズ情報Ｄｙとの平均値情報（Ｓ１８参照）を用いることなく、気泡のサイズを比較的高い精度で検査することができるようになる。   In the inspection apparatus, for each size bubble, for example, as shown in FIG. 14, the first bubble size information Dx obtained from the gray value profile in the main scanning direction and the gray value profile in the sub-scanning direction. The posture and position of the line sensor camera 50 and the inclination and position of the illumination unit 51 and the reflecting plate 52 can be adjusted so that the second bubble size information Dy obtained from is substantially equal. In this way, the bubble size can be inspected with relatively high accuracy without using the average value information (see S18) of the first bubble size information Dx and the second bubble size information Dy. Become.

具体的には、例えば、ラインセンサカメラ５０の姿勢や位置を、ラインセンサ５０ａの延びる方向がセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａを横切り（例えば、移動方向Ａと直交し）、かつ、その光軸ＡＯＰＴ１がセンサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面と反射板５２に直交するように精度よく調整し、照明ユニット５１からの照明光ＲＬ１とラインセンサカメラ５０の光軸ＡＯＰＴ１とが、反射板５２の表面で精度良く交差する（図７〜図９参照）ように調整すればよい。このような調整により、例えば、図９に示すように、照明光ＲＬ１が反射板５２の表面で乱反射し、その反射光の一部である照明光ＲＬ２が、ラインセンサカメラ５０の光軸ＡＯＰＴ１に沿って進んで気泡ＢＬを真下から照明し、ラインセンサカメラ５０は気泡ＢＬの真下から当該気泡ＢＬを通過した照明光ＲＬ２を受光するようになる。その結果、ラインセンサカメラ５０から出力される映像信号に基づいて生成された検査画像情報において、気泡ＢＬの２方向（主走査方向、副走査方向）の径は略等しくなり得る。これは、気泡ＢＬを完全な球体とみなした場合は勿論のことであるが、多少いびつな形状の気泡ＢＬであっても、その気泡ＢＬが斜め方向から照射される場合に比べて、第１気泡サイズ情報Ｄｘと第２気泡サイズ情報Ｄｙとの差が小さくなり、それらの差が所定値Δ以下になる確率が高くなる。その結果、第１気泡サイズ情報Ｄｘと第２気泡サイズ情報Ｄｙとの平均値情報を用いることなく、気泡のサイズを比較的高い精度で検査することができる確率が高くなる。 Specifically, for example, the orientation and position of the line sensor camera 50 are such that the direction in which the line sensor 50a extends traverses the movement direction A of the sensor panel assembly 10 (for example, orthogonal to the movement direction A) and its optical axis. A OPT1 is accurately adjusted so as to be orthogonal to the surface of the sensor panel assembly 10 (sensor panel 11) and the reflecting plate 52, and the illumination light RL1 from the illumination unit 51 and the optical axis A OPT1 of the line sensor camera 50 are reflected. What is necessary is just to adjust so that it may cross | intersect with the surface of the board 52 accurately (refer FIGS. 7-9). By such adjustment, for example, as shown in FIG. 9, the illumination light R L1 is diffusely reflected on the surface of the reflection plate 52, and the illumination light R L2 that is a part of the reflection light is reflected on the optical axis of the line sensor camera 50. illuminated from beneath the bubble BL proceed along the a OPT1, the line sensor camera 50 comes to receive the illumination light R L2 which passes through the air bubble BL from below the bubble BL. As a result, in the inspection image information generated based on the video signal output from the line sensor camera 50, the diameters of the bubbles BL in the two directions (main scanning direction and sub-scanning direction) can be substantially equal. This is a matter of course when the bubble BL is regarded as a perfect sphere, but even if the bubble BL has a somewhat distorted shape, the first is compared with the case where the bubble BL is irradiated from an oblique direction. The difference between the bubble size information Dx and the second bubble size information Dy is reduced, and the probability that the difference is equal to or less than the predetermined value Δ is increased. As a result, there is a high probability that the bubble size can be inspected with relatively high accuracy without using the average value information of the first bubble size information Dx and the second bubble size information Dy.

また、ラインセンサカメラ５０の姿勢や位置、照明ユニット５１及び反射板５２の傾きや位置等を調整する際に、予め球体であると分かっている気泡の存在するセンサパネルアッセンブリ１０（貼り合せ基板）を用い、得られる前記第１気泡サイズ情報Ｄｘと前記第２気泡サイズ情報Ｄｙとが略等しければ、精度の良い前記調整がなされたと判断することができる。   In addition, when adjusting the posture and position of the line sensor camera 50 and the inclination and position of the illumination unit 51 and the reflecting plate 52, the sensor panel assembly 10 (bonded substrate) containing bubbles that are known to be spherical in advance. If the obtained first bubble size information Dx and the second bubble size information Dy are substantially equal, it can be determined that the adjustment with high accuracy has been made.

前述した例では、照明ユニット５１からの光を反射する反射板５２を照明手段としてカバーガラス１２側からセンサパネル１１に対向するラインセンサカメラ５０に向けて照明がなされているが、照明ユニットをカバーガラス１２に対向するように配置し、その照明ユニットが直接カバーガラス１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明するようにしてもよい。   In the above-described example, illumination is performed from the cover glass 12 side toward the line sensor camera 50 facing the sensor panel 11 using the reflection plate 52 that reflects light from the illumination unit 51 as illumination means, but the illumination unit is covered. You may arrange | position so that it may oppose to the glass 12, and you may make it the illumination unit illuminate directly toward the line sensor camera 50 from the cover glass 12 side.

また、暗リングをその最大径位置で横切る主走査方向や副走査方向の濃淡プロファイルから気泡サイズ情報（第１気泡サイズ情報、第２気泡サイズ情報）を得るようにしているが、これに限られず、暗リングを横切る任意の方向の濃淡プロファイルから気泡サイズ情報を得ることも、また、最大径位置以外の所定位置にて横切る方向の濃淡プロファイルから気泡サイズ情報を得ることもできる。   Further, the bubble size information (first bubble size information, second bubble size information) is obtained from the density profile in the main scanning direction and the sub-scanning direction that crosses the dark ring at the maximum diameter position, but the present invention is not limited to this. The bubble size information can be obtained from the density profile in an arbitrary direction crossing the dark ring, and the bubble size information can be obtained from the density profile in a direction crossing at a predetermined position other than the maximum diameter position.

更に、前記暗リングの２つのボトム値に対応した画素位置ＰＢ１、ＰＢ２間の距離が、当該暗リングに対応した２つの暗部間の距離として検出されているが、これに限定されない。例えば、図１５に示すように、暗リングをその最大径位置で横切る方向の濃淡プロファイルＰＦから、当該暗リングの２つの暗部の幅Ｗ１、Ｗ２を検出し、各幅Ｗ１、Ｗ２の中心位置Ｐ１、Ｐ２間の距離を、当該暗リングに対応した２つの暗部間の距離として検出することもできる。 Further, although the distance between the pixel positions P B1 and P B2 corresponding to the two bottom values of the dark ring is detected as the distance between the two dark portions corresponding to the dark ring, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 15, the widths W1 and W2 of the two dark portions of the dark ring are detected from the density profile PF in the direction crossing the dark ring at the maximum diameter position, and the center position P1 of each width W1 and W2 is detected. , P2 can also be detected as a distance between two dark parts corresponding to the dark ring.

１０ センサパネルアッセンブリ（貼り合せ板状体）
１１ センサパネル（板状体）
１２ カバーガラス（板状体）
１２ａ 透光領域
１２ｂ 不透光領域
１３、１５ 接着剤
２０ 液晶パネルアッセンブリ
５０ ラインセンサカメラ
５０ａ ラインセンサ
５１ 照明ユニット（照明手段）
５２ 反射板（照明手段）
６０ 移動機構
７０ 処理ユニット
７１ 表示ユニット
７２ 操作ユニット 10 Sensor panel assembly (bonded plate)
11 Sensor panel (plate-shaped body)
12 Cover glass (plate)
12a Translucent area 12b Non-transparent area 13, 15 Adhesive 20 Liquid crystal panel assembly 50 Line sensor camera 50a Line sensor 51 Illumination unit (illumination means)
52 Reflector (lighting means)
60 moving mechanism 70 processing unit 71 display unit 72 operation unit

Claims (9)

透光性を有する２枚の板状体が接着剤にて貼り合わされてなる貼り合せ板状体を撮影して得られる検査画像情報に基づいて前記接着剤中の気泡についての検査を行う貼り合せ板状体検査装置であって、
前記貼り合せ板状体の一方の板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、
前記貼り合せ板状体の他方の板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する照明手段と、
前記照明手段により照明がなされている状態で前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査する際に当該ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、前記ラインセンサカメラからの映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段を有し、
前記照明手段及び前記ラインセンサカメラの光学的条件が、前記画素単位の濃淡値からなる前記検査画像情報にて表される検査画像において前記気泡部分が明背景中に暗リングとして表れるように調整され、
前記処理ユニットは、更に、前記検査画像情報から得られる前記暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の前記検査画像上での距離に基づいて気泡のサイズを表す気泡サイズ情報を検査結果情報として生成する気泡サイズ情報生成手段を有する貼り合せ板状体検査装置。 Bonding for inspecting bubbles in the adhesive based on inspection image information obtained by photographing a laminated plate obtained by bonding two light-transmitting plates with an adhesive A plate inspection apparatus,
A line sensor camera arranged to face one plate-like body of the bonded plate-like body;
Illuminating means for illuminating from the other plate-shaped body side of the bonded plate-shaped body toward the line sensor camera;
A processing unit for processing a video signal output from the line sensor camera when the line sensor camera scans the bonded plate-like body in a state where illumination is performed by the illumination unit;
The processing unit includes inspection image information generation means for generating inspection image information composed of grayscale values in pixel units based on a video signal from the line sensor camera,
The optical conditions of the illumination means and the line sensor camera are adjusted so that the bubble portion appears as a dark ring in the light background in the inspection image represented by the inspection image information composed of the grayscale value of the pixel unit. ,
The processing unit is further configured to calculate a bubble size based on a distance on the inspection image between two dark portions corresponding to the dark ring from a gray value profile in a direction across the dark ring obtained from the inspection image information. A bonded plate-like body inspection device having bubble size information generation means for generating bubble size information representing the inspection result information. 前記気泡サイズ情報生成手段は、前記濃淡値プロファイルから得られる前記暗リングに対応した２つの暗部におけるボトム値に対応する画素位置間の距離を前記２つの暗部間の距離として用いる請求項１記載の貼り合せ板状体検査装置。   The said bubble size information generation means uses the distance between the pixel positions corresponding to the bottom value in the two dark parts corresponding to the said dark ring obtained from the said gradation value profile as a distance between the said two dark parts. Bonded plate inspection device. 前記気泡サイズ情報生成手段は、前記検査画像情報から得られる前記暗リングを横切る前記ラインセンサカメラの主走査方向の濃淡値プロファイルから前記気泡サイズ情報を生成する請求項１または２記載の貼り合せ板状体検査装置。   3. The bonded plate according to claim 1, wherein the bubble size information generation unit generates the bubble size information from a gray value profile in a main scanning direction of the line sensor camera crossing the dark ring obtained from the inspection image information. Inspection device. 前記気泡サイズ情報生成手段は、前記検査結果情報から得られる前記暗リングを横切る前記ラインセンサカメラの副走査方向の濃淡値プロファイルから前記気泡サイズ情報を生成する請求項１または２記載の貼り合せ板状体検査装置。   The bonded plate according to claim 1 or 2, wherein the bubble size information generating unit generates the bubble size information from a grayscale value profile in a sub-scanning direction of the line sensor camera crossing the dark ring obtained from the inspection result information. Inspection device. 前記気泡サイズ情報生成手段は、前記検査画像情報から得られる前記暗リングを横切る複数の方向の濃淡値プロファイルから前記気泡サイズ情報を生成する請求項１または２記載の貼り合せ板状体検査装置。   The bonded plate-shaped body inspection device according to claim 1 or 2, wherein the bubble size information generation unit generates the bubble size information from gray level profile profiles in a plurality of directions across the dark ring obtained from the inspection image information. 前記暗リングを横切る複数の方向は、前記ラインセンサカメラの主走査方向及び副走査方向を含む請求項５記載の貼り合せ板状体検査装置。   The bonded plate-shaped body inspection device according to claim 5, wherein the plurality of directions crossing the dark ring include a main scanning direction and a sub-scanning direction of the line sensor camera. 前記気泡サイズ情報生成手段は、前記複数の方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の前記検査画像上での複数の距離を取得し、該複数の距離に基づいて前記気泡サイズ情報を生成する請求項５または６記載の貼り合せ板状体検査装置。   The bubble size information generating means acquires a plurality of distances on the inspection image between two dark parts corresponding to the dark ring from the gray value profiles in the plurality of directions, and based on the plurality of distances, The bonded plate-shaped body inspection device according to claim 5 or 6, wherein the bubble size information is generated. 透光性を有する２枚の板状体が接着剤にて貼り合わされてなる貼り合せ板状体の一方の板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の他方の板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する照明手段と、前記照明手段により照明がなされている状態で前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査する際に当該ラインセンサカメラから出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有する貼り合せ板状体検査装置を用い、前記接着剤中の気泡についての検査を行う貼り合せ板状体検査方法であって、
前記処理ユニットが前記ラインセンサカメラからの映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成ステップを有し、
前記照明手段及び前記ラインセンサカメラの光学的条件が、前記画素単位の濃淡値からなる前記検査画像情報にて表される検査画像において前記気泡部分が明背景中に暗リングとして表れるように調整されており、
前記処理ユニットが、更に、前記検査画像情報から得られる前記暗リングを横切る方向の濃淡値プロファイルから、前記暗リングに対応した２つの暗部間の距離に基づいて気泡のサイズを表す気泡サイズ情報を検査結果情報として生成する気泡サイズ情報生成ステップを有す貼り合せ板状体検査方法。 A line sensor camera disposed opposite to one plate-like body of a bonded plate-like body formed by bonding two plate-like bodies having translucency with an adhesive; and Illuminating means for illuminating the other plate-shaped body toward the line sensor camera, and when the line sensor camera scans the bonded plate-shaped body in a state where illumination is performed by the illuminating means, the line sensor camera A bonded plate inspection apparatus using a bonded plate inspection apparatus having a processing unit for processing a video signal output from a bonding plate inspection method for inspecting bubbles in the adhesive,
The processing unit has an inspection image information generation step of generating inspection image information composed of grayscale values in pixel units based on a video signal from the line sensor camera,
The optical conditions of the illumination means and the line sensor camera are adjusted so that the bubble portion appears as a dark ring in the light background in the inspection image represented by the inspection image information composed of the grayscale value of the pixel unit. And
The processing unit further includes bubble size information representing a bubble size based on a distance between two dark portions corresponding to the dark ring from a gray value profile in a direction across the dark ring obtained from the inspection image information. A bonded plate-like body inspection method having a bubble size information generation step for generating inspection result information. 前記気泡サイズ情報生成ステップは、前記濃淡値プロファイルから得られる前記暗リングに対応した２つの暗部におけるボトム値に対応する画素位置間の距離を前記２つの暗部間の距離として用いる請求項８記載の貼り合せ板体検査方法。   The said bubble size information generation step uses the distance between the pixel positions corresponding to the bottom value in the two dark parts corresponding to the said dark ring obtained from the said gradation value profile as a distance between the said two dark parts. Bonded plate inspection method.
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