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そして、第2の基板3が指示体により第1の基板2側に押圧されると、第2の基板3は可撓性を有しているために、図14Bにおいて矢印で示すように、押圧位置において第2の基板3が第1の基板2側に撓み、第1の基板2と第2の基板3間の距離が短くなり、その部分の第1の電極5と第2の電極6とで構成される静電容量が、前記C1よりも大きいC2になる。さらに、図14Cにおいて矢印で示すように押圧されると、第1の電極5に第2の電極6が接触することで導通状態になる。
信号供給回路200は、位置検出センサ1Bの指示入力面1BSに対する指示体による指示位置や指示位置に加えられた押圧力の検出を可能にするための信号を、送信導体群11を構成する第1の導体11Xのそれぞれに供給する。信号供給回路200は、図2に示したように、選択回路24と信号発生回路25とを備えている。選択回路24は、制御回路40からの制御に応じて、信号発生回路25からの信号を第1の導体11Xに選択的に供給する。信号発生回路25は、制御回路40の制御に応じて、所定の周波数を有する、正弦波、矩形波などの交流信号を発生させ、これを選択回路24に供給する。
さらに、上側基板10には、この複数個の第1の導体11X〜11Xの全体を覆うように誘電体部材13が設けられる。この誘電体部材13は、例えばPET(polyethylene terephthalate)、PP(polypropylene)、LCP(liquid crystal polymer)などの比誘電率が2〜10程度の誘電体からなる透明の誘電体フィルムで構成される。この誘電体部材13の厚さは、例えば5〜15μmとされる。また、ガラス素材も誘電体部材13として適用しうる。更には、この誘電体部材13は、高誘電率フィラーを高密度に充填した誘電体フィルム(比誘電率が40以上)により構成しても良い。この他、誘電体部材13としては、透明エポキシ樹脂、フォトレジスト用アクリル系樹脂、高光透過性フッ素樹脂、1液性のウレタン系樹脂などの透明性を有する種々の誘電体が適用しうる。
すなわち、本発明では、指示体による押圧力が加わると、第1の導体11Xと第2の導体21Yとの間は、誘電体部材13の厚みを介して、互いが極めて近接する距離関係を形成することでコンデンサとしての静電容量を高め、更には斯かる近接状態において、誘電体部材13と該誘電体部材13に当接した第2の導体21Yとの間で形成される当接面積が押圧力に応じて変化するように構成することで、コンデンサとしての静電容量を押圧力に対応して変化させる。すなわち、押圧力が加えられると、上述の(1)式における距離Dを最小値とすることで大きな静電容量を確保し、しかもこの状態で押圧力に応じたSの変化を引き起こすことで、押圧力の有無ならびに押圧力の大きさを感度良くおよび精度良く検出することができる。
すなわち、図4A、Bに示す本発明の実施の形態を参照してより詳細に説明すると、指示体により位置検出センサ1Bの指示入力面1BSに対して押圧力が加えられていない状態では、送信導体群11に当接した10μm程度の厚みを有する誘電体部材13は、スペーサ23によって受信導体群21とは所定の距離(10μm〜60μm)離間した状態にある。指示体により位置検出センサ1Bの指示入力面1BSに対して押圧力が加えられると、誘電体部材13は受信導体群21を構成する所定の第2の導体21Yと当接するとともに、押圧力に対応して誘電体部材13と所定の第2の導体21Yとの当接面積が変化する。この場合、誘電体部材13所定の第2の導体21Yとは当接した状態にあるため、第1の導体11Xと第2の導体21Yとの間は、10μm程度の厚みを有する誘電体部材13を介して互いが極めて近い距離関係を保持する。
上述の記載から明らかなように、本発明では、コンデンサの原理を応用して、第1の導体11Xと第2の導体21Yとの間に形成される静電容量に大きな変化を引き起こす構成を有している。すなわち、指示体により位置検出センサ1Bの指示入力面1BSに対して押圧力が加えられると、第1の導体11Xと第2の導体21Yとの間は、誘電体部材13を介して、互いが極めて近接する距離関係を形成することでコンデンサとしての静電容量を高める。更には斯かる近接状態において、誘電体部材13と該誘電体部材13に当接した第2の導体21Yとの間で形成される当接面積が押圧力に応じて変化するように構成することで、コンデンサとしての静電容量を押圧力に対応して変化させる。すなわち、押圧力が加えられると、上述の(1)式における距離Dを、誘電体部材13の厚みに対応した、最小値とすることで大きな静電容量を確保し、しかもこの状態で押圧力に応じたSの変化を引き起こすことで、押圧力の有無ならびに押圧力の大きさを感度良くおよび精度良く検出することができる。
なお、図10に示した4つの形態の位置検出センサにおいても、スペーサ23c、23d、23eu、23ed、23fは、図8等に示した第1の実施の形態の位置検出センサ1Bの場合と同様な位置に配置される。また、図10においても、上側基板10と下側基板20を互いに張り合わせるための張り合わせ部材30a、30bが使用されている。
次に、位置検出センサ1BXの指示入力面1BSに対して指示体により押圧力が加えられると、上述したように、保護層15、送信導体群11、誘電体部材13が撓むことにより、誘電体部材13は受信導体群21を構成する第2の導体21Yに当接するようになる。すなわち、指示体としての指が位置検出センサ1BXの指示入力面1BSを押圧すると、保護層15、送信導体群11、誘電体部材13が撓むことにより、最終的には、誘電体部材13と、受信導体群21を構成する第2の導体21Yとが当接する状態となる。このように、第1の導体11Xと第2の導体21Yとが誘電体部材13の厚みを介して近接した状態において、誘電体部材13と、受信導体群21を構成する第2の導体21Yとの当接面積は押圧力に対応して変化する。
例えば、図12Aに示すように、スペーサ23xを導体上、例えば第2の導体21Y上に設けるようにしてもよい。すなわち、第1の導体11Xと第2の導体21Yとが対向する部分にも、スペーサ23xを設けるようにしてもよい。この場合、スペーサ23xの大きさや高さは必要に応じ種々に調整される。
また、上述した実施の形態において、位置検出センサ1B、1BXは、LCD1Cの表示画面側に設けられるものであるため、位置検出センサ1B、1BXを構成する各部分は、光透過性のあるもの(透明なもの)として形成するようにした。しかし、これに限るものではない。例えば、LCD、有機ELディスプレイなどの表示装置を備えていない、タブレット型の位置入力装置であって、パーソナルコンピュータなどに接続されて用いられる場合には、位置検出センサ1B、1BXは、光透過性のある材料(透明な材料)で形成される必要はない。
[実施の形態の効果]
従来の静電容量方式の位置検出センサは、指などの指示体を通じてグラウンドに逃げる電荷による静電容量の変化を検出していたが、上述した実施の形態の位置検出センサ1B、1BXは、第1の導体11Xと第2の導体21Yとが構成するコンデンサの自己容量の変化を検出するものである。このため、上述した実施の形態の位置検出センサ1B、1BXの場合には、指示体が導電性を有するものでなくてもよい。例えば、ゴムなどの絶縁体を指示体として用いて指示入力を行っても適切に検出できる。したがって、上述した実施の形態の位置検出センサ1B、1BXは、ゴム手袋をして作業する作業所や手術室などにおいても利用することができるなど、位置検出センサの活用範囲を大幅に広げることができる。また、上述した実施の形態の位置検出センサ1B、1BXは、第1の導体11Xと第2の導体21Yとが構成するコンデンサの静電容量の変化幅(ダイナミックレンジ)を大きくすることができ、これによって感度の良い位置検出センサが実現できる。実験による一例では、上述した位置検出センサ1B、1BXを指示体によって押圧していない状態で、第1の導体11Xと第2の導体21Yとによって構成されるコンデンサとしての初期容量は約1.4pF程度である。これに対して、指示体で押圧した状態では、第1の導体11Xと第2の導体21Yとによって構成するコンデンサの容量は約8.4pFである。したがって、変化レンジは8.4−1.4=7.0pFとなり、従来の静電容量型の位置検出センサに比べ、大幅に静電容量を変化させることができる。
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