JP2013015359A - 欠陥検査方法および欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査方法および欠陥検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013015359A JP2013015359A JP2011147131A JP2011147131A JP2013015359A JP 2013015359 A JP2013015359 A JP 2013015359A JP 2011147131 A JP2011147131 A JP 2011147131A JP 2011147131 A JP2011147131 A JP 2011147131A JP 2013015359 A JP2013015359 A JP 2013015359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- value
- differential
- defect
- pixel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】画像メモリ5に記憶した撮像画像の各画素の濃度に基づく微分演算を行い微分絶対値および微分方向値を算出し、微分絶対値に、各画素の微分方向値に対応する重み付け値を乗じて、ノイズ成分の除去または前記直線状の欠陥の境界を強調する強度値をそれぞれ算出し、直線状の欠陥の長手方向に連続し、幅手方向に並設する複数の検査領域を、撮像画像に設定し、該検査領域に配置された各画素の強度値を合算した積算値を、前記検査領域に配置された画素数で除算し、前記検査領域における強度値の特徴量Fを、検査領域ごとに算出し、特徴量Fのいずれか1つが所定の閾値以上である場合、検査対象物2が直線状の欠陥を有する不良品であると判定する判定ステップとを含む。
【選択図】 図1
Description
(1) 検査対象物が撮像された撮像画像を画像メモリに記憶し当該検査対象物の表面に生じる直線状の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、前記画像メモリに記憶した撮像画像の各画素の濃度に基づく微分演算を行い画素間の濃度変化の強さを表わす微分絶対値および濃度変化の方向を表す微分方向値を各画素に対して算出する微分演算ステップと、前記微分演算ステップで算出された各画素の前記微分絶対値に、各画素の前記微分方向値に対応する重み付け値を乗じて、ノイズ成分の除去または前記直線状の欠陥の境界を強調する強度値をそれぞれ算出する強度演算ステップと、前記直線状の欠陥の長手方向に連続し、幅手方向に並設する複数の検査領域を、前記撮像画像に設定し、該検査領域に配置された各画素の前記強度値を合算した積算値を、前記検査領域に配置された画素数で除算し、前記検査領域における強度値の特徴量を、前記検査領域ごとに算出する特徴量演算ステップと、前記特徴量演算ステップで算出された複数の特徴量のいずれか1つが所定の閾値以上である場合、前記検査対象物が直線状の欠陥を有する不良品であると判定する判定ステップとを含むものとする。
図1に示すように、欠陥検査装置1は、検査対象物2を含む空間領域を撮像する撮像装置3からアナログ−デジタル変換部4を介して撮像画像を取得し、検査対象物2の表面上の直線状の欠陥2a、2bを検出する装置である。
h(x、y)=−(A+F+K+P+U)+(E+J+O+T+Y)… 式1
v(x、y)=−(A+B+C+D+E)+(U+V+W+X+Y)… 式2
g(x、y)={h(x、y)2+v(x、y)2}1/2… 式3
a(x、y)=tan-1{v(x、y)/h(x、y)}… 式4
F=(1/N)×Σ{w×g(x、y)}… 式5
検査対象物2は、例えばマスクに囲まれた領域に導電層が形成される場合、検査対象物2の外周部に直線状の欠陥が存在しても機械的および電気的な不良が生じないため、微分演算する画素範囲を絞り込むことができる。
図中では、縦軸に特徴量演算ステップS5により得られた特徴量Fを表し、横軸に特徴量演算ステップS5が取得する画素群の水平ライン番号を表している。
図中では、縦軸に画素の濃度値を水平方向に平均した濃度平均値を表し、横軸に図7と同様の画素群の水平ライン番号を表している。
2 検査対象物
2a直線状の欠陥
2b直線状の欠陥
2c検査領域
3 撮像装置(カメラ)
4 アナログ−デジタル変換部
5 画像メモリ
6 中央処理装置(CPU)
7 読み出し専用メモリ(ROM)
8 メインメモリ
8a微分値領域
8b強度値領域
8c特徴量値領域
8d検査処理プログラム領域
9 モニタ
10 デジタル−アナログ変換部
11 操作部
12 バス
Claims (6)
- 検査対象物が撮像された撮像画像を画像メモリに記憶し当該検査対象物の表面に生じる直線状の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
前記画像メモリに記憶した撮像画像の各画素の濃度に基づく微分演算を行い画素間の濃度変化の強さを表わす微分絶対値および濃度変化の方向を表す微分方向値を各画素に対して算出する微分演算ステップと、
前記微分演算ステップで算出された各画素の前記微分絶対値に、各画素の前記微分方向値に対応する重み付け値を乗じて、ノイズ成分の除去または前記直線状の欠陥の境界を強調する強度値をそれぞれ算出する強度演算ステップと、
前記直線状の欠陥の長手方向に連続し、幅手方向に並設する複数の検査領域を、前記撮像画像に設定し、該検査領域に配置された各画素の前記強度値を合算した積算値を、前記検査領域に配置された画素数で除算し、前記検査領域における強度値の特徴量を、前記検査領域ごとに算出する特徴量演算ステップと、
前記特徴量演算ステップで算出された複数の特徴量のいずれか1つが所定の閾値以上である場合、前記検査対象物が直線状の欠陥を有する不良品であると判定する判定ステップと
を含むことを特徴とする欠陥検査方法。 - 撮像画像に設定された複数の検査領域における強度値の特徴量のすべてが所定の閾値未満である場合、検査対象物が良品であると判定する請求項1記載の欠陥検査方法。
- 強度演算ステップは、画素の微分方向値が直線状の欠陥における境界に直交する角度に近いほど強度値を大とし、前記微分方向値が直線状の欠陥における境界の接線の角度に近いほど強度値を小とする請求項1または2記載の欠陥検査方法。
- 画像メモリは、撮像装置が撮像する検査対象物を、垂直方向または/および水平方向に圧縮された撮像画像を記憶する請求項1〜3のいずれかに記載の欠陥検査方法。
- 特徴量演算ステップは、直線状の欠陥の長手方向に直線状または帯状に並ぶ複数の画素からなる検査領域ごとに強度値の特徴量を算出する請求項1〜4のいずれかに記載の欠陥検査方法。
- 検査対象物が撮像された撮像画像を画像メモリに記憶し当該検査対象物の表面に生じる直線状の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、
前記画像メモリに記憶した撮像画像の各画素の濃度に基づく微分演算を行い画素間の濃度変化の強さを表わす微分絶対値および濃度変化の方向を表す微分方向値を各画素に対して算出する微分演算手段と、
前記微分演算手段で算出された各画素の前記微分絶対値に、各画素の前記微分方向値に対応する重み付け値を乗じて、ノイズ成分の除去または前記直線状の欠陥の境界を強調する強度値をそれぞれ算出する強度演算手段と、
前記直線状の欠陥の長手方向に連続し、幅手方向に並設する複数の検査領域を、前記撮像画像に設定し、該検査領域に配置された各画素の前記強度値を合算した積算値を、前記検査領域に配置された画素数で除算し、前記検査領域における強度値の特徴量を、前記検査領域ごとに算出する特徴量演算手段と、
前記特徴量演算手段で算出された複数の特徴量のいずれか1つが所定の閾値以上である場合、前記検査対象物が直線状の欠陥を有する不良品であると判定する判定手段と
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011147131A JP5806866B2 (ja) | 2011-07-01 | 2011-07-01 | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011147131A JP5806866B2 (ja) | 2011-07-01 | 2011-07-01 | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013015359A true JP2013015359A (ja) | 2013-01-24 |
JP5806866B2 JP5806866B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=47688174
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011147131A Active JP5806866B2 (ja) | 2011-07-01 | 2011-07-01 | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5806866B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04350546A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 異物検出方法 |
JPH08101916A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Omron Corp | 不良検査方法およびその装置 |
JP2000132684A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法 |
JP2000221111A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表示画面の検査方法と装置 |
JP2007147407A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法 |
US20080008375A1 (en) * | 2006-07-06 | 2008-01-10 | Petersen Russell H | Method for inspecting surface texture direction of workpieces |
-
2011
- 2011-07-01 JP JP2011147131A patent/JP5806866B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04350546A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 異物検出方法 |
JPH08101916A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Omron Corp | 不良検査方法およびその装置 |
JP2000132684A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法 |
JP2000221111A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表示画面の検査方法と装置 |
JP2007147407A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法 |
US20080008375A1 (en) * | 2006-07-06 | 2008-01-10 | Petersen Russell H | Method for inspecting surface texture direction of workpieces |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5806866B2 (ja) | 2015-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109059770B (zh) | 一种基于tof深度相机的包裹体积测量方法 | |
CN109584215A (zh) | 一种电路板在线视觉检测*** | |
Fan et al. | Development of auto defect classification system on porosity powder metallurgy products | |
JP5705711B2 (ja) | ひび割れ検出方法 | |
JPH03160349A (ja) | ひび検出装置 | |
JP2009010890A (ja) | 撮像装置および方法 | |
JP5520005B2 (ja) | 木材欠陥検出装置およびその方法 | |
JP2009139133A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP4823996B2 (ja) | 輪郭検出方法及び輪郭検出装置 | |
JP6624911B2 (ja) | 計測装置、計測方法および物品の製造方法 | |
JP2017062181A (ja) | 表面疵検査装置及び表面疵検査方法 | |
JP2019174931A (ja) | 輪郭抽出装置及び輪郭抽出方法 | |
JP5806866B2 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP2012088199A (ja) | 異物検査装置および異物検査方法 | |
JP5452035B2 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP5346304B2 (ja) | 外観検査装置、外観検査システムおよび外観検査方法 | |
JP7003786B2 (ja) | 粒子径測定装置及び粒子径測定方法 | |
JP2008185510A (ja) | ひび割れ検出方法 | |
JP2711649B2 (ja) | 検査対象物の表面傷検出方法 | |
KR101581260B1 (ko) | 동적 계획법 기반의 마이크로 크랙 검사 방법 | |
JP2008014907A (ja) | 表面評価装置及び塗装標本 | |
JP2009145161A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JPH0735699A (ja) | 表面欠陥検出方法およびその装置 | |
JP2005128635A (ja) | 画像処理装置 | |
CN110111321B (zh) | 一种非接触式多尺度裂纹识别方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150907 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5806866 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |