JP2007147407A - 外観検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査物1をTVカメラ2で撮像することにより得られた濃淡画像である原画像から、エッジ抽出部4においてエッジ画像が生成される。エリア設定部6は、エッジ画像の中で検査領域の境界線上に複数個の検査スタートポイントを設定し、かつ各検査スタートポイントごとに直線状かつ一定幅である検出エリアを設定する。また、それぞれの検査スタートポイントを中心とし検出エリアが検査領域の範囲内で回転走査される。欠陥候補抽出部は、検出エリアの各位置において、クラックのエッジ上の画素である条件が満たされるときに当該画素を欠陥候補点とし、クラック判定部8は、欠陥候補点の総数と欠陥候補点の微分絶対値の総和とが規定したしきい値を超える場合に、当該検出エリアにおいて被検査物の表面にクラックが存在すると判別する。
【選択図】図1
Description
2 TVカメラ
3 記憶装置
4 エッジ抽出部
5 領域設定部
6 エリア設定部
7 欠陥候補抽出部
8 クラック判定部
9 検証処理部
Dd 検査領域
Ed 検出エリア
F1〜F7 小区画
K1 クラック
K1a〜K1g クラック
K2 異物
Lb 境界線
SP 検査スタートポイント
Claims (3)
- 被検査物の濃淡画像である原画像から生成したエッジ画像について検査領域の境界線上に複数個の検査スタートポイントを設定するとともに、各検査スタートポイントごとに直線状かつ一定幅である検出エリアを設定し、さらに、それぞれの検査スタートポイントを中心とし検出エリアを検査領域の範囲内で回転走査し、検出エリアの各位置において微分絶対値が規定値を超えかつ微分方向値が検出エリアの角度に対して所定の角度範囲内である画素が検出エリア内に存在するときに当該画素を欠陥候補点とし、いずれかの検出エリア内において欠陥候補点の総数と欠陥候補点の微分絶対値の総和とがともに規定した第1のしきい値を超える場合に、当該検出エリアにおいて被検査物の表面にクラックが存在すると判別することを特徴とする外観検査方法。
- 前記被検査物においてクラックが発生可能な場所および方向が既知であるときに、前記検査スタートポイントごとに前記検出エリアを回転走査する角度範囲を規定していることを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 前記被検査物にクラックが存在すると判別された後に、前記検査領域を複数個の小区画に分割し、当該クラックと判別された連続する画素群が2個以上の小区画にまたがり、しかも、各小区画ごとに欠陥候補点の総数と微分絶対値の総和とを規定した第2のしきい値を超えているときに、当該画素群をクラックの画素群と判断することを特徴とする請求項1または請求項2記載の外観検査方法。
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