JP2013000809A - 研磨用構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持体と、研磨材と、これらを接合する粘着剤層と、を備える研磨用構造体であって、上記粘着剤層は、第一のモノマー58〜85質量%、第二のモノマー2〜7質量%及び第三のモノマー10〜40質量%を含むモノマーの重合体を含有し、上記第一のモノマーは、ガラス転移温度が0℃以下のホモポリマーを与える、炭素数8〜18のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステルであり、上記第二のモノマーは、ガラス転移温度が50℃以上のホモポリマーを与える、極性モノマーであり、上記第三のモノマーは、ガラス転移温度が10℃以上のホモポリマーを与える、炭素数4〜18のアルキル基又は炭素数7〜18のアラルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステルである、研磨用構造体。
【選択図】図1
Description
サンプルの作成:下記製造例1〜11で作製した粘着シートから、剥離フィルムを除去し、16枚積層した約3mm厚のシートを7.9mmφの抜き刃で打ち抜いて、円柱状のサンプルを得た。
下記実施例及び比較例で得られた研磨用構造体について、ぞれぞれ25×150mmにカッターでカットし、引張試験機AG−IS(島津製作所製:京都府中央区)にて、5mm/minの剥離速度でポリカーボネートフィルムと研磨パッドを引張り、最大強度を記録し、粘着シートの剥離力とした。
下記実施例及び比較例で得られた研磨用構造体について、50℃の研削液(SabrelubeTM 9016 Chemetal Oakite社製の重量濃度10%水溶液)に7日間および14日間浸漬し、純水でリンスし、30分後に接着力を測定した。接着力の測定は上記と同じ方法で行った。なお、十分な接着力を出すためには、少なくとも初期、14日浸漬後とも20N/25mm以上あることが望ましい。
下記製造例で得られた粘着シートを、25×70mmにカッターでカットし、粘着シートの両面に存在する剥離フィルムのうち一方の剥離フィルムを剥がした後、重量を測定した。セイバールーブ(Sabrelube)(商標)9016 10%水溶液に23℃で10日間し浸漬した。純水でリンス、ついで圧空で水分を飛ばし、30分後に重量を測定した。膨潤により被研磨物等に接触しないようにするためには、浸漬後の増加率が好ましくは10%より好ましくは5%未満であることが望まれる。表2に示す結果から、研削液吸収率は粘着剤のアクリル酸量や架橋性モノマー量により変化することがわかる。
2−エチルヘキシルアクリレート(日本触媒株式会社製:東京都千代田区)70質量部、イソボルニルアクリレート(大阪有機化学工業株式会社製:大阪府大阪市)25質量部、アクリル酸(東亜合成株式会社:東京港区)5質量部、及び、光重合開始剤としてイルガキュア651(2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、BASFジャパン株式会社:東京都港区)0.04質量部を、ガラス容器中でよく混合し、窒素ガスにて溶存酸素を置換した後、低圧水銀ランプ(Sylyania TMF20T12B:OSRAMSYLVANIA Inc.米国マサチューセッツ州)で数分間紫外線を照射して部分的に重合させ、粘度2500cP程度の粘性液体を得た。得られた粘性液体に架橋剤としてHDDA(1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ライトアクリレートTM1.6HX−A:共栄社化学株式会社:大阪府大阪市)0.06質量部、追加の重合開始剤(イルガキュア651:BASFジャパン株式会社:東京都港区)0.15質量部を加えて、十分に攪拌した。この混合物を剥離処理した50μm厚のポリエステルフィルム(セラピールMIB(T):東レフィルム加工株式会社:東京都港区)の上に250μm厚になるよう塗工し、さらに上記フィルムを被せ、両面から低圧水銀ランプで2000mJ/cm2照射し、粘着シートを得た。
各モノマーの配合比(質量比)を表1に記載のとおり変更したこと以外は、製造例1と同様にして粘着シートをそれぞれ得た。
製造例1で得られた粘着シートを1200×120mmにカッターでカットし、粘着シートの両面に存在する剥離フィルムのうち一方の剥離フィルムを剥がした後、寸法1200mm×1200mm×0.75mmのポリカーボネートフィルム(GE社製:米国コネチカット州)に貼り付けた。次いで、透明粘着シートにおける残りの剥離フィルムを剥がし、これをロールから1200mmに切断された研磨パッド(住友スリーエム製トライザクトタイル DT4M AA1HD:250mm幅×50mm巻:住友スリーエム株式会社;東京都世田谷区)にゴムローラーを用いて貼りつけた。その後、ラミネーター(ARCTICEAGLE1600:日本ジー・ビー・シー株式会社;東京都中野区)にて、80℃、0.5MPaにてラミネート処理を行って、研磨用構造体を得た。
製造例1で得られた粘着シートにかえて、製造例2〜7で得られた粘着シートをそれぞれ用いたこと以外は、実施例1と同様にして、研磨用構造体を得た。
製造例1で得られた粘着シートにかえて、製造例8〜11で得られた粘着シートをそれぞれ用いたこと以外は、実施例1と同様にして、研磨用構造体を得た。
Claims (5)
- 支持体と、研磨材と、これらを接合する粘着剤層と、を備える研磨用構造体であって、
前記粘着剤層は、第一のモノマー58〜85質量%、第二のモノマー2〜7質量%及び第三のモノマー10〜40質量%を含むモノマーの重合体を含有し、
前記第一のモノマーは、ガラス転移温度が0℃以下のホモポリマーを与える、炭素数8〜18のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステルであり、
前記第二のモノマーは、ガラス転移温度が50℃以上のホモポリマーを与える、極性モノマーであり、
前記第三のモノマーは、ガラス転移温度が10℃以上のホモポリマーを与える、炭素数4〜18のアルキル基又は炭素数7〜18のアラルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステルである、研磨用構造体。 - 前記重合体のガラス転移温度が、−15〜10℃である、請求項1に記載の研磨用構造体。
- 前記研磨材が、基材と、該基材上に規則的に複数配置された砥粒及びその結合剤を含む立体要素と、を有する、請求項1又は2に記載の研磨用構造体。
- 前記粘着剤層の厚みが、50〜500μmである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の研磨用構造体。
- 前記支持体の他方面上に設けられた再剥離性粘着剤層をさらに備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨用構造体。
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