JP2012532217A5 - - Google Patents
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Description
全ての部分は、別段の指摘のないかぎり、質量部分である。
次に、本発明の態様を示す。
1.（ａ）約７０ｗｔ％〜約９０ｗｔ％の熱可塑性ポリマーと；
（ｂ）約１０〜約３０ｗｔ％の細断炭素繊維と；
（ｃ）ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、コポリビニルアルコール、酢酸コポリビニル、酢酸コポリビニルアルコールおよびカルボキシメチルセルロースナトリウムからなる群から選択されたサイズ剤０．００１〜約１０％と、
を含み、かつさらに（ｄ）組合せた形で１グラムあたり２０００ナノモル未満のナトリウム、カリウム、カルシウムおよびアルミニウムを含んでいてよい、半導体製造の部品である物品であって、（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の各々における前記ｗｔ％が前記部品の合計重量に基づくものである、物品。
2. 前記熱可塑性ポリマーがコポリ（テトラフルオロエチレン−ペルフルオロ［プロピルビニルエーテル］）を含む、上記１に記載の物品。
3. 前記物品が半導体製造の清浄用部品である、上記１または２に記載の物品。
次に、本発明の態様を示す。
1.（ａ）約７０ｗｔ％〜約９０ｗｔ％の熱可塑性ポリマーと；
（ｂ）約１０〜約３０ｗｔ％の細断炭素繊維と；
（ｃ）ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、コポリビニルアルコール、酢酸コポリビニル、酢酸コポリビニルアルコールおよびカルボキシメチルセルロースナトリウムからなる群から選択されたサイズ剤０．００１〜約１０％と、
を含み、かつさらに（ｄ）組合せた形で１グラムあたり２０００ナノモル未満のナトリウム、カリウム、カルシウムおよびアルミニウムを含んでいてよい、半導体製造の部品である物品であって、（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の各々における前記ｗｔ％が前記部品の合計重量に基づくものである、物品。
2. 前記熱可塑性ポリマーがコポリ（テトラフルオロエチレン−ペルフルオロ［プロピルビニルエーテル］）を含む、上記１に記載の物品。
3. 前記物品が半導体製造の清浄用部品である、上記１または２に記載の物品。
Claims (1)
- （ａ）約７０ｗｔ％〜約９０ｗｔ％の熱可塑性ポリマーと；
（ｂ）約１０〜約３０ｗｔ％の細断炭素繊維と；
（ｃ）ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、コポリビニルアルコール、酢酸コポリビニル、酢酸コポリビニルアルコールおよびカルボキシメチルセルロースナトリウムからなる群から選択されたサイズ剤０．００１〜約１０％と、
を含み、かつさらに（ｄ）組合せた形で１グラムあたり２０００ナノモル未満のナトリウム、カリウム、カルシウムおよびアルミニウムを含んでいてよい、半導体製造の部品である物品であって、（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の各々における前記ｗｔ％が前記部品の合計重量に基づくものである、物品。
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| US4163742A (en) | 1978-02-09 | 1979-08-07 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process and product prepared from tetrafluoroethylene resin and graphite fibers |
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| US4975321A (en) | 1988-06-20 | 1990-12-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Structural composites of fluoropolymers reinforced with continuous filament fibers |
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| JPH02129229A (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-17 | Toho Rayon Co Ltd | 炭素繊維チョップドストランド及びその製造法 |
| US5253571A (en) | 1990-06-01 | 1993-10-19 | Maschinenfabrik J. Dieffenbacher Gmbh & Co. | Method for guiding steel bands about a longitudinal axis of a continuously working press |
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| US5236982A (en) | 1992-07-13 | 1993-08-17 | Owens-Corning Fiberglas Technology, Inc. | Size composition |
| DE4301594C2 (de) | 1993-01-21 | 2002-10-31 | Dieffenbacher Gmbh Maschf | Verfahren und Anlage zur Herstellung von Spanplatten |
| DE4301844C2 (de) | 1993-01-23 | 1996-10-02 | Held Kurt | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung bahnförmiger Gemische bzw. Bahnen |
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| DE9320609U1 (de) | 1993-05-18 | 1994-10-20 | Siempelkamp Gmbh & Co | Kontinuierlich arbeitende Presse für das Pressen von Preßgutmatten und Preßgutbahnen im Zuge der Herstellung von Spanplatten, Faserplatten, Laminatplatten u.dgl. |
| US5462799A (en) | 1993-08-25 | 1995-10-31 | Toray Industries, Inc. | Carbon fibers and process for preparing same |
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| US5451784A (en) | 1994-10-31 | 1995-09-19 | Applied Materials, Inc. | Composite diagnostic wafer for semiconductor wafer processing systems |
| DE19518879A1 (de) | 1995-05-28 | 1996-12-05 | Dieffenbacher Gmbh Maschf | Verfahren und Anlage zur Herstellung von Spanplatten |
| JP3496347B2 (ja) | 1995-07-13 | 2004-02-09 | 株式会社デンソー | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP3562152B2 (ja) * | 1995-07-14 | 2004-09-08 | 三菱化学株式会社 | 炭素短繊維集合体及びその製造方法並びに繊維強化樹脂組成物 |
| US5759927A (en) | 1995-07-24 | 1998-06-02 | Meeker; Brian L. | Glass-fiber-containing non-woven polymer web, and process for preparing same |
| US5803968A (en) | 1995-08-21 | 1998-09-08 | Schwartz; Vladimir | Compact disc spin coater |
| DE19627024B4 (de) | 1996-07-04 | 2007-08-02 | Dieffenbacher Gmbh + Co. Kg | Verfahren und Anlage zum kontinuierlichen Zusammenlegen und Verleimen von Furniertafeln zu Furnierschichtplatten |
| US6066395A (en) | 1997-05-23 | 2000-05-23 | Toray Industries, Inc. | Chopped carbon fibers and a production process there of |
| US6032446A (en) | 1998-04-06 | 2000-03-07 | Deere & Company | Densification method and apparatus for harvested cotton or other similar fibrous material |
| DE1165209T1 (de) | 1998-12-08 | 2002-07-04 | Unifrax Corp | Amorphe und nicht schwellfähige anorganische faserlatte für vorrichtung zur behandlung von abgasen bei niedrigen teperaturen |
| JP4643007B2 (ja) * | 1998-12-09 | 2011-03-02 | 株式会社クレハ | 合成樹脂組成物 |
| CA2325374C (en) | 1999-06-21 | 2007-11-27 | Andrzej Marek Klemarewski | System and method for making compressed wood product |
| US6520843B1 (en) | 1999-10-27 | 2003-02-18 | Strasbaugh | High planarity chemical mechanical planarization |
| US20060105164A1 (en) * | 2000-06-06 | 2006-05-18 | Nitto Denko Corporation | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them |
| JP2002266173A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-18 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 炭素繊維および炭素繊維強化複合材料 |
| TW591157B (en) | 2001-05-25 | 2004-06-11 | Mitsubishi Rayon Co | Sizing agent for carbon fiber, its water dispersing solution, carbon fiber with sizing handling, sheet matter with using the carbon fiber and carbon fiber reinforced composite |
| TWI220147B (en) | 2001-07-24 | 2004-08-11 | Mitsubishi Rayon Co | Sizing agent for carbon fibers and water dispersion thereof, sized carbon fibers, sheet-like articles using said carbon fibers, and carbon fiber enhanced composite material |
| CN1261637C (zh) | 2001-07-31 | 2006-06-28 | 三菱丽阳株式会社 | 碳纤维用上浆剂、使用该上浆剂的碳纤维上浆方法、上浆剂处理过的碳纤维和使用该碳纤维的编织物 |
| AT411258B (de) | 2001-11-07 | 2003-11-25 | Hoerbiger Kompressortech Serv | Dichtelemente für kompressorventile |
| US7371022B2 (en) | 2004-12-22 | 2008-05-13 | Sokudo Co., Ltd. | Developer endpoint detection in a track lithography system |
| US20090062426A1 (en) | 2005-03-25 | 2009-03-05 | Teijin Techno Products Limited | Carbon Fiber Strand for Reinforcing Thermoplastic Resins and Method of Producing the Same |
| KR20070121773A (ko) * | 2005-04-19 | 2007-12-27 | 데이진 가부시키가이샤 | 탄소 섬유 복합 시트, 그 전열체 용도 및 그것에 이용하는피치계 탄소 섬유 매트용 시트 |
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