JP2012510156A5

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Info

Publication number: JP2012510156A5
Application number: JP2011537421A
Authority: JP
Filing date: 2009-11-19
Publication date: 2012-12-13
Anticipated expiration: 2029-11-19

Claims

経路の少なくとも一部が線形軸に沿って整列したビーム経路に沿って進むレーザビームと、
ＥＵＶ光放射プラズマを生成するために照射部位で前記レーザビームと相互作用する材料と、
焦点を有し、該焦点が前記線形軸上にあるように位置決めされ、前記ビーム経路に沿ってレーザ光を受け取る第１の反射器と、
前記第１の反射器によって反射されたレーザ光を受け取って前記照射部位に向けて該レーザ光を誘導する第２の反射器と、
前記第１の反射器での前記レーザビームのビーム幅及び発散を選択的に変えるように調節可能な適応光学系と、
を含むことを特徴とするＵＶ光源。
容器を更に含み、
前記照射部位は、前記容器内にあり、前記第１の反射器は、該容器に位置決めされ、かつ該照射部位と流体連通している、
ことを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
前記照射部位の第１の焦点、及び第２の焦点を有するＥＵＶ反射ミラーを更に含み、
前記ＥＵＶ反射ミラーは、前記線形軸に沿って前記第１の反射器と前記照射部位の間に該ＥＵＶ反射ミラーを挿入するように位置決めされる、
ことを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
前記レーザビームを発生するレーザデバイスを更に含み、
前記レーザデバイスは、前記照射部位を通るビーム経路を確立する少なくとも１つの反射光学系を含み、
前記材料は、該材料が前記照射部位にある時に前記光学系と協働してその間に光キャビティを確立し、
前記レーザデバイスは、前記材料を照射するレーザビームを発生させるために前記キャビティにおける光損失を超える光学利得を確立するように励起可能な利得媒体を更に含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
前記反射光学系は、波長λの光を透過し、
波長λを有するアラインメントレーザビームを前記反射光学系に通すアラインメントレーザ、及び前記第２の反射器からの反射後に該アラインメントレーザビームを受け取るモニタ、
を更に含むことを特徴とする請求項４に記載のＥＵＶ光源。
前記第２の反射器は、先端／傾斜アクチュエータ上に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
前記第１の反射器は、補正された放物面形状を有することを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
前記第２の反射器は、平坦な反射面を用いて形成されることを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
前記第２の反射器は、湾曲反射面を用いて形成されることを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
前記レーザデバイスは、ＣＯ₂を含む利得媒体を有し、前記材料は、錫を含むことを特徴とする請求項１に記載のＥＵＶ光源。
λ₁≠λ₂の時に波長λ₁の光を反射して波長λ₂の光を透過する光学系と、
材料が照射部位にある時に前記光学系と協働してその間に光キャビティを確立する材料と、
前記材料を照射してＥＵＶ光放射を生成するためのレーザビームを発生させるために前記キャビティにおける光損失を超える光学利得を確立するように励起可能な利得媒体と、波長λ₂を有するアラインメントレーザビームを前記反射光学系に通すように位置決めされたアラインメントレーザと、
前記キャビティにおける少なくとも１つの光学系のアラインメントを検証するために前記アラインメントレーザビームを受け取るモニタと、
を含むことを特徴とするＥＵＶ光源。
前記材料は、液滴であることを特徴とする請求項１１に記載のＥＵＶレーザ光源。
λ₁＞５μｍかつλ₂＜１μｍであることを特徴とする請求項１１に記載のＥＵＶレーザ光源。
ビーム経路に沿って進むレーザビームと、
前記ビーム経路上の照射部位に前記レーザビームを集束させる光学系と、
ＥＵＶ光放射プラズマを生成するために前記照射部位で前記レーザビームと相互作用する材料と、
ビームパラメータを測定してそれを示す信号を出力するモニタと、
前記信号に応答して、前記集束光学系で予め選択されたビーム発散及びビーム幅を有するように前記レーザビームを修正するための適応光学系と、
を含むことを特徴とするＥＵＶ光源。
前記適応光学系は、第１及び第２の光学構成要素を含み、該第１の光学構成要素は、該第２の光学構成要素に対して移動可能であることを特徴とする請求項１４に記載のＥＵＶレーザ光源。
前記適応光学系は、少なくとも１つの変形可能な光学構成要素を含むことを特徴とする請求項１４に記載のＥＵＶレーザ光源。
前記ビームパラメータは、発散であることを特徴とする請求項１４に記載のＥＵＶレーザ光源。
前記ビームパラメータは、波面であることを特徴とする請求項１４に記載のＥＵＶ光源。
前記ビームパラメータは、ビーム幅であることを特徴とする請求項１４に記載のＥＵＶ光源。