JP2012255590A - クライオポンプ及び極低温冷凍機 - Google Patents
クライオポンプ及び極低温冷凍機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012255590A JP2012255590A JP2011128662A JP2011128662A JP2012255590A JP 2012255590 A JP2012255590 A JP 2012255590A JP 2011128662 A JP2011128662 A JP 2011128662A JP 2011128662 A JP2011128662 A JP 2011128662A JP 2012255590 A JP2012255590 A JP 2012255590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacer
- regenerator
- temperature
- refrigerator
- cryopump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
- F04B37/085—Regeneration of cryo-pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
【解決手段】冷凍機50は、長手方向に隣接する2つのディスプレーサを備え、高温側のディスプレーサは蓄冷材のための主収容区画と副収容区画とを含む。2つのディスプレーサの間に作動気体の直通流路が形成されている。クライオポンプ10は、低温クライオパネル60と、低温クライオパネル60よりも高温に冷却される放射シールド40と、冷凍機50と、を備える。
【選択図】図1
Description
、 114 第2蓄冷器、 132 凹部、 134 主蓄冷器、 136 副蓄冷器、 138 主収容区画、 140 副収容区画、 G 隙間。
Claims (8)
- 低温クライオパネルと、
低温クライオパネルよりも高温に冷却される高温クライオパネルと、
低温クライオパネルを冷却するための低温冷却位置と高温クライオパネルを冷却するための高温冷却位置とを提供し、低温冷却位置と高温冷却位置とが長手方向に配列されている冷凍機と、を備え、
該冷凍機は、第1ディスプレーサと、前記長手方向に該第1ディスプレーサの低温側に隣接する第2ディスプレーサと、を備えており、
第1ディスプレーサは、その主蓄冷器から第2ディスプレーサの蓄冷器へ向けて作動気体を案内するための直通流路を有する低温端と、該直通流路に設けられている副蓄冷器と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記直通流路は、第1ディスプレーサの低温端の第2ディスプレーサに面する対向部分に形成されている少なくとも1つの開口を含み、前記副蓄冷器は該少なくとも1つの開口に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 第1ディスプレーサの低温端は、第2ディスプレーサに対する非対向部分を含み、該非対向部分は、前記主蓄冷器から該低温端に隣接する膨張空間へ向けて作動気体を案内するための独立流路を有することを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記主蓄冷器から前記独立流路への流出方向を前記主蓄冷器から前記直通流路への流れ方向にそろえるように、少なくとも前記主蓄冷器から前記独立流路への進入部分の向きが定められていることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。
- 前記直通流路は、前記第2ディスプレーサの高温端を受け入れるために第1ディスプレーサの低温端に形成されている凹部を含み、該高温端と該凹部との隙間は、第1ディスプレーサと第2ディスプレーサとの間で該直通流路を通じた流れが支配的となるよう調整されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 長手方向に隣接する低温側ディスプレーサと高温側ディスプレーサとを備え、
高温側ディスプレーサは蓄冷材のための主収容区画と副収容区画とを含み、
副収容区画は、前記長手方向に垂直な断面積が主収容区画よりも小さく、主収容区画と低温側ディスプレーサとの間に気体流通可能に設けられていることを特徴とする極低温冷凍機。 - 高温側からの作動気体を冷却して低温側に送出するための冷却経路を含む蓄冷器を備え、該蓄冷器は、隣接する膨張空間に作動気体を送出するための冷却経路よりも、隣接する蓄冷器に作動気体を送出するための冷却経路が長いことを特徴とする極低温冷凍機。
- 請求項6または7に記載の冷凍機を備えることを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011128662A JP5660979B2 (ja) | 2011-06-08 | 2011-06-08 | クライオポンプ及び極低温冷凍機 |
TW101120129A TWI490410B (zh) | 2011-06-08 | 2012-06-05 | Low temperature pump and very low temperature freezer |
KR1020120060755A KR101339978B1 (ko) | 2011-06-08 | 2012-06-07 | 크라이오펌프 및 극저온 냉동기 |
CN201210186688.8A CN102817809B (zh) | 2011-06-08 | 2012-06-07 | 低温泵及超低温制冷机 |
US13/490,889 US20120312032A1 (en) | 2011-06-08 | 2012-06-07 | Cryopump and cryogenic refrigerator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011128662A JP5660979B2 (ja) | 2011-06-08 | 2011-06-08 | クライオポンプ及び極低温冷凍機 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012255590A true JP2012255590A (ja) | 2012-12-27 |
JP2012255590A5 JP2012255590A5 (ja) | 2013-11-28 |
JP5660979B2 JP5660979B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=47291977
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011128662A Active JP5660979B2 (ja) | 2011-06-08 | 2011-06-08 | クライオポンプ及び極低温冷凍機 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120312032A1 (ja) |
JP (1) | JP5660979B2 (ja) |
KR (1) | KR101339978B1 (ja) |
CN (1) | CN102817809B (ja) |
TW (1) | TWI490410B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015140991A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
US10281175B2 (en) | 2013-09-17 | 2019-05-07 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Regenerative refrigerator, first stage regenerator, and second stage regenerator |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6057782B2 (ja) * | 2013-03-05 | 2017-01-11 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
CN106679217B (zh) * | 2016-12-16 | 2020-08-28 | 复旦大学 | 一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷*** |
JP2018127943A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06207754A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Daikin Ind Ltd | 冷凍機の再生器及びその製造方法 |
JPH09178278A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Ebara Corp | 蓄冷器 |
JP2002243294A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-08-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
JP2006090648A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Aisin Seiki Co Ltd | 蓄冷器及び蓄冷型冷凍機 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2966034A (en) * | 1959-06-16 | 1960-12-27 | Little Inc A | Reciprocating flow gas expansion refrigeration apparatus and device embodying same |
US3218815A (en) * | 1964-06-17 | 1965-11-23 | Little Inc A | Cryogenic refrigeration apparatus operating on an expansible fluid and embodying a regenerator |
JP2000161214A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-13 | Applied Materials Inc | クライオポンプ |
DE10114207B4 (de) * | 2000-03-24 | 2007-10-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba, Kawasaki | Regenerator und Kältespeicherkühlanlage, die denselben verwendet |
JP2006242484A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 蓄冷材、蓄冷器及び極低温蓄冷式冷凍機 |
KR100706818B1 (ko) | 2005-11-07 | 2007-04-12 | 박병직 | 크라이오 펌프 |
JP2011521201A (ja) * | 2008-05-21 | 2011-07-21 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | リニア駆動を利用した極低温冷凍機 |
-
2011
- 2011-06-08 JP JP2011128662A patent/JP5660979B2/ja active Active
-
2012
- 2012-06-05 TW TW101120129A patent/TWI490410B/zh active
- 2012-06-07 CN CN201210186688.8A patent/CN102817809B/zh active Active
- 2012-06-07 US US13/490,889 patent/US20120312032A1/en not_active Abandoned
- 2012-06-07 KR KR1020120060755A patent/KR101339978B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06207754A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Daikin Ind Ltd | 冷凍機の再生器及びその製造方法 |
JPH09178278A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Ebara Corp | 蓄冷器 |
JP2002243294A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-08-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
JP2006090648A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Aisin Seiki Co Ltd | 蓄冷器及び蓄冷型冷凍機 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10281175B2 (en) | 2013-09-17 | 2019-05-07 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Regenerative refrigerator, first stage regenerator, and second stage regenerator |
JP2015140991A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101339978B1 (ko) | 2013-12-10 |
TW201319395A (zh) | 2013-05-16 |
CN102817809A (zh) | 2012-12-12 |
CN102817809B (zh) | 2016-02-03 |
TWI490410B (zh) | 2015-07-01 |
US20120312032A1 (en) | 2012-12-13 |
KR20120136298A (ko) | 2012-12-18 |
JP5660979B2 (ja) | 2015-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5632241B2 (ja) | クライオポンプ及び極低温冷凍機 | |
JP5660979B2 (ja) | クライオポンプ及び極低温冷凍機 | |
WO2006054488A1 (ja) | 圧電ポンプおよびスターリング冷却庫 | |
GB2265449A (en) | Cryostat for cooling a superconducting magnet | |
CN100458310C (zh) | 蓄冷器及克莱欧泵 | |
US6263677B1 (en) | Multistage low-temperature refrigeration machine | |
JP2011017457A (ja) | 蓄冷式冷凍機 | |
JP3625511B2 (ja) | ガスサイクル冷凍機 | |
JP6117090B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
JP2015169340A (ja) | 蓄冷式冷凍機 | |
KR102059088B1 (ko) | 하이브리드 브레이튼-기퍼드-맥마흔 팽창기 | |
JP6013257B2 (ja) | 極低温冷凍機、 | |
US10520226B2 (en) | Cryocooler | |
JP3936117B2 (ja) | パルス管冷凍機および超電導磁石装置 | |
JP2014526012A (ja) | 圧縮機デバイス、圧縮機デバイスを備える冷却デバイス、および圧縮機デバイスを備える冷却ユニット | |
JP2013217516A (ja) | 蓄冷式冷凍機 | |
JPH11304271A (ja) | 蓄冷型冷凍機およびそれを用いた超電導マグネットシステム | |
JP6911649B2 (ja) | 多段型蓄冷式冷凍機 | |
JP2008215783A (ja) | 極低温冷凍機および極低温冷凍方法 | |
JP2002243294A (ja) | クライオポンプ | |
CN110081630B (zh) | 脉冲管制冷机 | |
JP2015137798A (ja) | 極低温冷凍機 | |
JP3643761B2 (ja) | スターリング冷凍機 | |
JPH10253186A (ja) | 蓄冷型冷凍機 | |
JPH04251165A (ja) | 極低温冷凍装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130809 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5660979 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |