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本発明の振動装置の一様態は、電気−機械エネルギー変換素子の固有静電容量と、前記電気−機械エネルギー変換素子に直列に接続された複数のインダクタと、
前記複数のインダクタの間に一端が接続され、且つ、前記電気−機械エネルギー変換素子に並列に接続されたキャパシタと、によって構成された電気的な共振回路を備え、前記電気的な共振回路は、少なくとも第1の周波数と第2の周波数とによる2つの共振周波数を有し、前記第1の周波数をf1とし、前記第2の周波数をf2とし、前記電気−機械エネルギー変換素子に印加される交番電圧の周波数をfdとするとき、次式の関係を満たす振動装置の駆動回路に関する
f1<fd<f2
また、本発明の一様態は、振動装置の電気−機械エネルギー変換素子の固有静電容量に直列に接続された第1のインダクタ及び第2のインダクタと、前記第1のインダクタと第2のインダクタの間に一端が接続され、且つ、前記電気−機械エネルギー変換素子に並列に接続されたキャパシタと、を有し、前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタを介して前記電気−機械エネルギー変換素子に接続され、前記第1のインダクタと前記第2のインダクタはインダクタンス値が異なり、前記電気−機械エネルギー変換素子の静電容量、前記第1のインダクタ、前記第2のインダクタ、及び前記キャパシタは電気的な共振回路を形成し、前記電気的な共振回路は、少なくとも第1の共振周波数f1及び第2の共振周波数f2を有し、前記第1の共振周波数f1、前記第2の共振周波数f2、及び前記電気−機械エネルギー変換素子に印加される交番電圧の周波数fdは、次式の関係を満たすことを特徴とする振動装置の駆動回路に関する。
f1<fd<f2

Claims (21)

  1. 振動装置の電気−機械エネルギー変換素子の固有静電容量と、
    前記電気−機械エネルギー変換素子に直列に接続された複数のインダクタと、
    前記複数のインダクタの間に一端が接続され、且つ、前記電気−機械エネルギー変換素子に並列に接続されたキャパシタと、
    によって構成された電気的な共振回路を備え、
    前記電気的な共振回路は、少なくとも第1の共振周波数と第2の共振周波数とによる2つの共振周波数を有し、
    前記第1の共振周波数をf1とし、前記第2の共振周波数をf2とし、前記電気−機械エネルギー変換素子に印加される交番電圧の周波数をfdとするとき、次式の関係を満たすことを特徴とする振動装置の駆動回路。
    f1<fd<f2
  2. 前記複数のインダクタのインダクタンス値は互いに異なり、前記電気−機械エネルギー変換素子の一端に接続されたインダクタのインダクタンスの値が他のインダクタより大きいことを特徴とする請求項1に記載の振動装置の駆動回路。
  3. 前記キャパシタの値は、前記電気−機械エネルギー変換素子の固有静電容量と同じ大きさの値、またはそれよりも大きい値を有していることを特徴とする請求項1に記載の振動装置の駆動回路。
  4. 前記振動装置は、第1の電気−機械エネルギー変換素子と第2の電気−機械エネルギー変換素子と、前記第1及び第2の電気−機械エネルギー変換素子に接合した弾性体とで構成され、
    前記振動体に、次数の異なる第1の定在波と第2の定在波を同時に発生させるように前記交番電圧の周波数を設定すると共に、
    前記第1及び第2の電気−機械エネルギー変換素子に印加されるそれぞれの交番電圧の位相を異ならせることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  5. 前記振動装置は第1の電気−機械エネルギー変換素子と第2の電気−機械エネルギー変換素子と、前記第1及び第2の電気−機械エネルギー変換素子に接合した弾性体とで構成され、
    前記振動体に、次数の異なる第1の定在波と第2の定在波を時間的に切替えて発生させるように前記交番電圧の周波数を設定する共に、
    前記第1及び第2の電気−機械エネルギー変換素子に印加されるそれぞれの前記交番電圧の位相差を0°又は180°に設定することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  6. 前記弾性体は、光を透過する光学部材で構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  7. 振動装置に励起される振動波により粉体を移動させることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  8. 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路が、前記振動装置に励起される振動波により塵埃を移動させて除去する塵埃除去装置における振動装置の駆動回路を構成していることを特徴とする振動装置の駆動回路。
  9. 前記請求項8に記載の塵埃除去装置における振動装置の駆動回路が、
    カメラ、ファクシミリ装置、スキャナ、プロジェクタ、複写機、レーザビームプリンタ、インクジェットプリンタ、レンズ、双眼鏡および画像表示装置のいずれかの光学機器に備えられた塵埃除去装置における振動装置の駆動回路を構成していることを特徴とする振動装置の駆動回路。
  10. 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路が
    動型アクチュエータにおける前記振動体の駆動回路を構成していることを特徴とする振動装置の駆動回路。
  11. 前記振動装置は、弾性体と、振動波を発生させるために交番電圧が印加される電気−機械エネルギー変換素子とを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  12. 振動装置の電気−機械エネルギー変換素子の固有静電容量に直列に接続された第1のインダクタ及び第2のインダクタと、
    前記第1のインダクタと第2のインダクタの間に一端が接続され、且つ、前記電気−機械エネルギー変換素子に並列に接続されたキャパシタと、
    を有し、
    前記第1のインダクタは、前記第2のインダクタを介して前記電気−機械エネルギー変換素子に接続され、
    前記第1のインダクタと前記第2のインダクタはインダクタンス値が異なり、
    前記電気−機械エネルギー変換素子の静電容量、前記第1のインダクタ、前記第2のインダクタ、及び前記キャパシタは電気的な共振回路を形成し、
    前記電気的な共振回路は、少なくとも第1の共振周波数f1及び第2の共振周波数f2を有し、
    前記第1の共振周波数f1、前記第2の共振周波数f2、及び前記電気−機械エネルギー変換素子に印加される交番電圧の周波数fdは、次式の関係を満たすことを特徴とする振動装置の駆動回路。
    f1<fd<f2
  13. 前記第2のインダクタのインダクタンス値は、前記第1のインダクタのインダクタンス値よりも大きいことを特徴とする請求項12に記載の振動装置の駆動回路。
  14. 前記キャパシタは、前記電気−機械エネルギー変換素子の前記静電容量以上であることを特徴とする請求項12または13に記載の振動装置の駆動回路。
  15. 前記振動装置は、第1の電気−機械エネルギー変換素子と第2の電気−機械エネルギー変換素子と、前記第1及び第2の電気−機械エネルギー変換素子に接合した弾性体とを有し、
    前記振動体に、次数の異なる第1の定在波と第2の定在波を同時に発生させるように前記交番電圧の周波数を設定すると共に、
    前記第1及び第2の電気−機械エネルギー変換素子に印加されるそれぞれの交番電圧の位相を異ならせることを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  16. 前記振動装置は、第1の電気−機械エネルギー変換素子と第2の電気−機械エネルギー変換素子と、前記第1及び第2の電気−機械エネルギー変換素子に接合した弾性体とを有し、
    前記振動体に、次数の異なる第1の定在波と第2の定在波を異なるタイミングで切り替え可能に発生させるように、位相が互いに0°または180°異なる前記交番電圧を印加するように構成されていることを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  17. 前記振動装置は、光を透過する光学部材から成る弾性体を含む請求項12乃至16のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  18. 前記振動装置に励起される振動波によって粉体を移動することを特著とする請求項12乃至17のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路。
  19. 請求項12乃至17のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路が、前記振動装置に励起される振動波により塵埃を移動させて除去する塵埃除去装置における振動装置の駆動回路を構成していることを特徴とする振動装置の駆動回路。
  20. 前記請求項19に記載の塵埃除去装置における振動装置の駆動回路が、
    カメラ、ファクシミリ装置、スキャナ、プロジェクタ、複写機、レーザビームプリンタ、インクジェットプリンタ、レンズ、双眼鏡および画像表示装置のいずれかの光学機器に備えられた塵埃除去装置における振動装置の駆動回路を構成していることを特徴とする振動装置の駆動回路。
  21. 請求項12乃至17のいずれか1項に記載の振動装置の駆動回路が、
    振動型アクチュエータにおける前記振動体の駆動回路を構成していることを特徴とする振動装置の駆動回路。
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