JP2012216634A - 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持部材23の保持部に水平に保持されたウエハWa(Wb)を昇降ピン37a(37b)を介して載置台3a(3b)に受け渡すにあたって、保持部材23上のウエハWa、Wbの位置を検出し、その検出結果に基づいて保持部材23を移動させると共に、昇降ピン37a(37b)の上昇のタイミングを求め、保持部材23を移動させながら昇降ピン37a(37b)を突き上げてウエハWa(Wb)を受け取るようにしている。そしてウエハWa(Wb)を昇降ピン37a(37b)に受け渡す動作が安定するように減速区間を設定し、それ以外の区間では、従来通り高速で保持部材23を移動させる。
【選択図】図7
Description
基板搬送機構の保持部材に基板を水平に保持し、前記保持部材を水平方向に移動させて載置台に基板を受け渡す基板受け渡し装置において、
前記基板の下面を保持し、前記載置台の上方位置と載置台との間で基板を昇降させるために昇降機構により昇降する昇降部材と、
前記保持部材に保持されている基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する位置検出部と、
この位置検出部にて検出された検出結果に基づいて、保持部材が基板を前記昇降部材に受け渡す位置を算出する位置算出部と、
この位置算出部にて算出された基板の受け渡し位置に保持部材が到達する到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する到達時点算出部と、
前記保持部材が移動しながら基板の受け渡し位置を通過すると共に前記昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の基板を突き上げて受け取るように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
基板の下面を保持し、載置台の上方位置と載置台との間で基板を昇降させるための昇降部材と、保持部材に基板を水平に保持し、前記保持部材を水平方向に移動させる基板搬送機構と、を用い、保持部材から前記昇降部材を介して載置台に基板を受け渡す方法において、
前記保持部材に保持されている基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する工程と、
前記保持位置の検出結果に基づいて、保持部材が基板を前記昇降部材に受け渡す位置を算出する工程と、
算出された基板の受け渡し位置に保持部材が到達する到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する工程と、
前記保持部材が移動しながら、前記昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の基板を突き上げて受け取る工程と、を含むことを特徴とする。
第1の基板及び第2の基板を水平方向に互に離間して保持できるように構成された保持部材を水平方向に移動させる基板搬送機構と、第1の基板及び第2の基板が夫々載置される第1の載置台及び第2の載置台と、第1の載置台及び第2の載置台に夫々対応して設けられ、互に独立して昇降する第1の昇降部材及び第2の昇降部材と、を用い、第1の基板及び第2の基板を前記保持部材から夫々第1の載置台及び第2の載置台に受け渡す方法において、
前記保持部材に保持されている第1の基板及び第2の基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する工程と、
前記保持位置の検出結果に基づいて、保持部材が第1の基板を第1の昇降部材に受け渡す位置と、保持部材が第2の基板を第2の昇降部材に受け渡す位置とを算出する工程と、
算出された第1の基板の受け渡し位置及び第2の基板の受け渡し位置に保持部材が夫々到達する到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する工程と、
前記保持部材が第1の基板の受け渡し位置に到達する前に保持部材の搬送速度を減速する工程と、
その後、前記保持部材が等速で移動しながら、前記第1の昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の第1の基板を突き上げて受け取る工程と、
次いで、前記保持部材が等速で移動しながら、前記第2の昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の第2の基板を突き上げて受け取る工程と、を含むことを特徴とする。
基板を処理するための複数の処理室が基板搬送室に接続され、各処理室には、基板を載置するための第1の載置台及び第2の載置台が設けられた基板処理装置において、
前記基板搬送室内には、第1の基板及び第2の基板を水平方向に互に離間して保持できるように構成された保持部材を水平方向に移動させて、前記複数の処理室の載置台との間で基板の受け渡しをするための基板搬送機構と、
前記基板の下面を保持し、前記第1の載置台の上方位置と当該載置台との間で基板を昇降させるために昇降機構により昇降する第1の昇降部材と、
前記基板の下面を保持し、前記第2の載置台の上方位置と当該載置台との間で基板を昇降させるために昇降機構により前記第1の昇降部材とは独立して昇降する第2の昇降部材と、
前記保持部材に保持されている第1の基板及び第2の基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する位置検出部と、
この位置検出部にて検出された検出結果に基づいて、保持部材が第1の基板を第1の昇降部材に受け渡す第1の受け渡し位置と、保持部材が第2の基板を第2の昇降部材に受け渡す第2の受け渡し位置と、を算出する位置算出部と、
この位置算出部にて算出された第1の受け渡し位置及び第2の受け渡し位置に保持部材が夫々到達する第1の到達時点及び第2の到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する時点算出部と、
前記保持部材が移動しながら基板の受け渡し位置を通過すると共に、前記第1の昇降部材が第1の到達時点にて保持部材上の第1の基板を突き上げて受け取り、次いで前記第2の昇降部材が第2の到達時点にて保持部材上の第2の基板を突き上げて受け取るように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
今、図9に示すように、保持部材23の座標について、搬送アーム20が伸び出す方向及び右側を「+」、その逆側を「−」とし、ウエハWaの中心位置について理想位置に対する変位が(+Xa、−Ya)であり、ウエハWbの中心位置について理想位置に対する変位が(−Xb、+Yb)であったとする。この場合、ウエハWaの受け渡し位置Paは{(X0−Xa)、(Y0+Ya)}、ウエハWbの受け渡し位置Pbは{(X0+Xb)、(Y0−Yb)}と算出される。
開始点P1のX座標: X0−Xa−[L/{(Xa+Xb)2+(Ya+Yb)2}1/2]・(Xa+Xb)
開始点P1のY座標: Y0+Ya−[L/{(Xa+Xb)2+(Ya+Yb)2}1/2]・(Ya+Yb)
終了点P2のX座標: X0+Xb+[L/{(Xa+Xb)2+(Ya+Yb)2}1/2]・(Xa+Xb)
終了点P2のY座標: Y0−Yb+[L/{(Xa+Xb)2+(Ya+Yb)2}1/2]・(Ya+Yb)
また本発明者は、受け渡し位置Pa、Pb夫々において、ウエハWa、Wbを保持した保持部材23を受け渡し位置Pa、Pbに移動させ、そこに停止させてから昇降ピン37a、37bを上昇させてウエハWa、Wbを受け取らせる場合と、上述の実施形態の受け渡し手法とについて、2枚のウエハWの受け渡しに要する時間を計算したところ、上述の実施形態の方が約1秒早いことを確認した。この結果は、1時間あたりに処理できるウエハWの枚数が1割程度多くなることを意味する。
上述の実施形態では、1台の搬送アーム20により2枚のウエハWを同時搬送する場合について記載しているが、本発明はそれに限らず、1台の搬送アームにより1枚のウエハを搬送する場合に用いてもよいし、3枚以上のウエハを搬送する場合でもよい。また本発明は、搬送アーム20として多関節アームに限らず、搬送基体に対して保持部材23が前後にスライドするスライド型搬送機構であってもよい。
上述の実施形態では、真空処理を行うマルチチャンバシステムに適用した場合について記載しているが、本発明はそれに限らず、常圧雰囲気の処理例えばレジストパターンを形成する処理装置(レジストの塗布、現像装置)、ウエハの洗浄装置、ウエハの検査装置(プローバ)などにおいて、処理モジュールや受け渡し台などにウエハを受け渡す場合に対して適用してもよい。
本発明は、半導体ウエハに限らず、例えばフラットパネルディスプレイ用などのガラス基板を被処理基板とする基板処理装置に適用してもよい。
P1 保持部材の等速運動開始点
P2 保持部材の等速運動終了点
P0 保持部材におけるウエハ受け渡しの理想位置
Pa 保持部材におけるウエハWaの受け渡し位置
Pb 保持部材におけるウエハWbの受け渡し位置
1 真空搬送室
23 保持部材
2a 第1の保持部
2b 第2の保持部
3 真空処理室
3a、3b 載置台
37a、37b 昇降ピン
4 位置検出部
5 制御部
Claims (9)
- 基板搬送機構の保持部材に基板を水平に保持し、前記保持部材を水平方向に移動させて載置台に基板を受け渡す基板受け渡し装置において、
前記基板の下面を保持し、前記載置台の上方位置と載置台との間で基板を昇降させるために昇降機構により昇降する昇降部材と、
前記保持部材に保持されている基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する位置検出部と、
この位置検出部にて検出された検出結果に基づいて、保持部材が基板を前記昇降部材に受け渡す位置を算出する位置算出部と、
この位置算出部にて算出された基板の受け渡し位置に保持部材が到達する到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する到達時点算出部と、
前記保持部材が移動しながら基板の受け渡し位置を通過すると共に前記昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の基板を突き上げて受け取るように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする基板受け渡し装置。 - 前記制御部は、保持部材が基板の受け渡し位置に到達する前に保持部材の搬送速度を減速するように制御することを特徴とする請求項1記載の基板受け渡し装置。
- 前記制御部は、基板の受け渡し位置に応じて保持部材の減速位置を設定することを特徴とする請求項2記載の基板受け渡し装置。
- 前記保持部材は、第1の基板及び第2の基板を水平方向に互に離間して保持できるように構成され、
前記載置台として、第1の基板及び第2の基板が夫々載置される第1の載置台及び第2の載置台が設けられ、
前記昇降部材は、第1の載置台及び第2の載置台に夫々対応して設けられ、互に独立して昇降する第1の昇降部材及び第2の昇降部材として構成され、
前記制御部は、前記第1の基板及び第2の基板の各々について得られた基板の受け渡し位置に基づいて保持部材の移動軌跡を作成し、
前記到達時点算出部は、前記移動軌跡に基づいて保持部材が第1の基板の受け渡し位置及び第2の基板の受け渡し位置に到達する各到達時点を算出するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の基板受け渡し装置。 - 基板の下面を保持し、載置台の上方位置と載置台との間で基板を昇降させるための昇降部材と、保持部材に基板を水平に保持し、前記保持部材を水平方向に移動させる基板搬送機構と、を用い、保持部材から前記昇降部材を介して載置台に基板を受け渡す方法において、
前記保持部材に保持されている基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する工程と、
前記保持位置の検出結果に基づいて、保持部材が基板を前記昇降部材に受け渡す位置を算出する工程と、
算出された基板の受け渡し位置に保持部材が到達する到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する工程と、
前記保持部材が移動しながら、前記昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の基板を突き上げて受け取る工程と、を含むことを特徴とする基板受け渡し方法。 - 前記保持部材が基板の受け渡し位置に到達する前に保持部材の搬送速度を減速することを特徴とする請求項5記載の基板受け渡し方法。
- 第1の基板及び第2の基板を水平方向に互に離間して保持できるように構成された保持部材を水平方向に移動させる基板搬送機構と、第1の基板及び第2の基板が夫々載置される第1の載置台及び第2の載置台と、第1の載置台及び第2の載置台に夫々対応して設けられ、互に独立して昇降する第1の昇降部材及び第2の昇降部材と、を用い、第1の基板及び第2の基板を前記保持部材から夫々第1の載置台及び第2の載置台に受け渡す方法において、
前記保持部材に保持されている第1の基板及び第2の基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する工程と、
前記保持位置の検出結果に基づいて、保持部材が第1の基板を第1の昇降部材に受け渡す位置と、保持部材が第2の基板を第2の昇降部材に受け渡す位置とを算出する工程と、
算出された第1の基板の受け渡し位置及び第2の基板の受け渡し位置に保持部材が夫々到達する到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する工程と、
前記保持部材が第1の基板の受け渡し位置に到達する前に保持部材の搬送速度を減速する工程と、
その後、前記保持部材が等速で移動しながら、前記第1の昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の第1の基板を突き上げて受け取る工程と、
次いで、前記保持部材が等速で移動しながら、前記第2の昇降部材が前記到達時点にて保持部材上の第2の基板を突き上げて受け取る工程と、を含むことを特徴とする基板受け渡し方法。 - 基板を処理するための複数の処理室が基板搬送室に接続され、各処理室には、基板を載置するための第1の載置台及び第2の載置台が設けられた基板処理装置において、
前記基板搬送室内には、第1の基板及び第2の基板を水平方向に互に離間して保持できるように構成された保持部材を水平方向に移動させて、前記複数の処理室の載置台との間で基板の受け渡しをするための基板搬送機構と、
前記基板の下面を保持し、前記第1の載置台の上方位置と当該載置台との間で基板を昇降させるために昇降機構により昇降する第1の昇降部材と、
前記基板の下面を保持し、前記第2の載置台の上方位置と当該載置台との間で基板を昇降させるために昇降機構により前記第1の昇降部材とは独立して昇降する第2の昇降部材と、
前記保持部材に保持されている第1の基板及び第2の基板について、当該保持部材に対する保持位置を検出する位置検出部と、
この位置検出部にて検出された検出結果に基づいて、保持部材が第1の基板を第1の昇降部材に受け渡す第1の受け渡し位置と、保持部材が第2の基板を第2の昇降部材に受け渡す第2の受け渡し位置と、を算出する位置算出部と、
この位置算出部にて算出された第1の受け渡し位置及び第2の受け渡し位置に保持部材が夫々到達する第1の到達時点及び第2の到達時点を、保持部材の移動軌跡と速度とに基づいて算出する時点算出部と、
前記保持部材が移動しながら基板の受け渡し位置を通過すると共に、前記第1の昇降部材が第1の到達時点にて保持部材上の第1の基板を突き上げて受け取り、次いで前記第2の昇降部材が第2の到達時点にて保持部材上の第2の基板を突き上げて受け取るように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部は、保持部材が前記第1の受け渡し位置に到達する前に保持部材の搬送速度を減速するように制御することを特徴とする請求項8記載の基板処理装置。
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