JP2012199458A - 異物除去装置及びそれを備えたダイボンダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイを表面に搭載したダイシングフィルムが固定されたピックアップ装置と、前記ダイシングフィルム上より剥離された前記ダイを吸着して接着剤が塗布された基板10上に実装するためのコレットとを備え、前記基板上に前記接着剤を塗布するために前記基板上の異物を除去するための異物除去装置において、前記異物除去装置はエアーの吹き出し孔5dと吸い込み孔5eが一体になったクリーニングノズルで構成されていることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
図1において、ダイボンダはウエハ供給部1と、ワーク供給・搬送部2と、ダイボンディング部3とに大別することができる。ウエハ供給部1は、ウエハカセットリフタ11とピックアップ装置12とを有する。ウエハカセットリフタ11はウエハリングが充填されたウエハカセット(図示せず)を有し,順次ウエハリングをピックアップ装置12に供給する。ピックアップ装置12は、所望するダイをウエハリングからピックアップできるようにウエハリングが移動するようになっている。
図2において、ピックアップ装置12はウエハリング14を保持するエキスパンドリング15と、ウエハリング14に保持され複数のダイ(チップ)4が接着されたダイシングテープ16を水平に位置決めする支持リング(図示せず)が取り付けられている。複数個形成されたダイ4はプリフォーム部31によって1個ずつ取り出され、図1に示した基板ガイド22a、22bにより搬送されてきた基板の表面に接着剤が塗布されて接着されるようになっている。
図4は実施例1に係るクリーニングノズルのエアーノズルの動きと形状を示す図である。
図3、図4において、基板ガイド22a、22bの溝内に支持された基板10は紙面上では奥行き方向に搬送される(図3に示す)ようになっている。クーリングノズル5にはエアー供給配管5aとエアー排出配管5bを備えている。エアー排出配管5bは図3に示すように、エアー供給配管5aより配管径が大きくなっている。これはエアー排出配管5bが異物搬送用として使用するからである。基板10の面に最も接近しているのが図4に示すようにノズル面5cである。
図5において、基板10の移動方向に対して直交する方向に2個で平行にクリーニングノズル53、54を設けたものであり、本実施例ではクリーニングノズル53、54を基板ガイド22a、22bに支持させた。この2個のクリーニングノズル53、54の長辺の向きは基板の移動方向と直交する方向となっており、更に2個のクリーニングノズル53、54は長辺方向に動作するようになっている。
図6において、本実施例は基板10の移動方向に対してクリーニングノズル55,56,57を直交する方向に3個平行かつ、ずらして(千鳥配列)配列させたものである。この3個のクリーニングノズル55,56,57の長辺は実施例2と同じように基板の移動方向と直交する方向となっており、中央のクリーニングノズル57は固定され、両側のクリーニングノズル55,56は実施例2と同じように長辺方向に動作するようになっている。
図7において、本実施例のクリーニングノズル58は支点58aを軸として自動車のワイパーのように回転し、破線で示したように回転後のクリーニングノズル58‘となる。
図8において、本実施例では実施例4のように支点59a,60aを軸として回転するクリーニングノズル59,60を二段階に設けたものである。59‘と60’は回転後のクリーニングノズルである。また基板ガイドは22a‘と22b’で示すように基板の幅に応じて可動するようになっている。
Claims (10)
- ダイを表面に搭載したダイシングフィルムが固定されたピックアップ装置と、前記ダイシングフィルム上より剥離された前記ダイを吸着して接着剤が塗布された基板上に実装するためのコレットと、
前記基板上に前記ダイ接着する前に前記基板上の異物を除去するエアーの吹き出し孔と吸い込み孔が一体になったクリーニングノズルを有することを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1記載の異物除去装置において、
前記クリーニングノズルは複数の吹き出し孔が楕円状に形成され、この吹き出し孔を取り囲むように複数の前記吸い込み孔が楕円状に形成されていることを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1記載の異物除去装置において、
クリーニングノズルは前記基板の移動方向に長く、前記基板の移動方向と直交する方向に移動することを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1記載の異物除去装置において、
前記クリーニングノズルは前記基板に移動方向に対して直交する方向に長く配置され、かつ前記基板の移動方向に対して直交する方向に移動することを特徴とする異物除去装置。 - 請求項4記載の異物除去装置において、
前記クリーニングノズルが千鳥状に配置されていることを特徴とする異物除去装置。 - 請求項3記載の異物除去装置において、
前記クリーニングノズルは長手方向の端部を回転軸として前記基板の移動方向と直交する方向に回転することを特徴とする異物除去装置。 - 請求項6記載の異物除去装置において、
前記クリーニングノズルは前記基板の移動方向と直交する方向に複数配置されていることを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の異物除去装置において、
前記クリーニングノズルによるエアーの吹き出しと吸い込みを断続的に行うことを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1記載の異物除去装置において、
前記クリーニングノズルは、少なくとも距離測定センサ又は流量を測定するセンサの1つを装着することを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1〜9に記載された異物除去装置を備えたことを特徴とするダイボンダ。
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