JPH09321013A - 異物除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、ワークの製造や検査の作業効率に支
障をきたすことなく、確実にワーク面の異物を除去する
ことができる異物除去装置を提供する。 【解決手段】基板２を載置するステージ１端部に設けら
れたエアー射出部３のノズル３１よりステージ１上の基
板２面に沿ってクリーンエアーを射出し、ステージ１端
部に基板２を挟んでエアー射出部３と相対向して設けら
れたエアー吸入部４により、クリーンエアーとともに基
板２面上のゴミを吸入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク面に付着し
たゴミなどの異物を除去するための異物除去装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、半導体素子や液晶パネルの製造や
検査の工程の自動化、無人化が進んでおり、このため対
象となる基板（ワーク）上に付着した異物の形状・大き
さによっては、これらの存在に気付くことなくそれぞれ
の工程を実行されることが多々ある。

【０００３】ところが、例えば、液晶パネルにおいて微
細パターンをガラス基板上に形成するためフォトマスク
のパターンをフォトレジストが塗布された基板上に露光
するような場合には、ガラス基板上にゴミなどの異物が
存在していると、このままの状態でパターン形成を実行
すると、その部分のパターン形状に異常が発生するなど
製造上の欠陥が発生し、また、ガラス基板上に形成され
たパターン形状を光学顕微鏡などにより観察や測定など
の検査を行うような場合も、この検査対象点にゴミなど
の異物が存在していると、その部分のパターン形状を正
確に確認することができずに、検査結果異常が発生する
ことがある。

【０００４】そこで、従来、これらの不都合を除去する
ため、前工程として、基板（ワーク）を純水により洗浄
したり、クリーンエアーなどを噴出するノズルを設け、
このノズルからのクリーンエアーを基板上の対象点に吹
き付けてゴミなどの異物を除去するようなことが行われ
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、基板を純水
により洗浄するものでは、製造や検査工程のそれぞれの
前工程として、その度に、基板の洗浄工程が入るため、
これら製造や検査の作業効率が著しく低下するという問
題点があった。

【０００６】また、クリーンエアーを噴出するノズルを
設けたものでは、基板上の対象点にクリーンエアーを吹
き付けるためには、基板を載置したステージを移動させ
て基板上の対象点をノズルによるエアー吹き付け範囲に
位置させるなどしなければならないため、かかる作業の
度に製造や検査の工程が中断されることとなり、この場
合もこれら製造や検査の作業効率が著しく低下し、さら
には、クリーンエアーの吹き付けにより舞い上がったゴ
ミなどがその周囲に浮遊して止まり、再び基板上に付着
するという問題点もあった。

【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ワークの製造や検査の作業効率を低下させることな
く、確実にワーク面の異物を除去することができる異物
除去装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ワークを載置するステージと、このステージ端部に設け
られ該ステージ上のワーク面に沿って異物除去媒体を射
出する異物除去媒体射出手段と、前記ステージ端部に前
記ワークを挟んで前記異物除去媒体射出手段と相対向し
て設けられ、前記異物除去媒体とともに前記ワーク面上
の異物を吸入する異物除去媒体吸入手段とにより構成し
ている。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記異物除去媒体射出手段は、前記異物除去媒体
の射出角度を任意に選択可能にしている。請求項３記載
の発明は、請求項１または２記載において、前記異物除
去媒体射出手段および前記異物除去媒体吸入手段のうち
少なくとも前記異物除去媒体射出手段を前記ワーク面に
沿って移動可能にしている。

【００１０】この結果、請求項１記載の発明によれば、
ワークを載置するステージの一方端部に設けられた異物
除去媒体射出手段よりステージ上のワーク面に沿って異
物除去媒体を射出し、ステージの他方端部にワークを挟
んで異物除去媒体射出手段と相対向して設けられた異物
除去媒体吸入手段により、異物除去媒体とともにワーク
面上の異物を吸入している。これにより、ステージ上に
ワークを供給してワーク上の異物を除去した状態から、
続けてパターン形成などの製造やパターン形状の検査な
どの工程を実行できるので、従来のように不必要に製造
工程や検査工程を中断することがなくなり、これらの作
業効率を低下させるような事態を回避することができ
る。また、異物除去媒体の吹き付けにより舞い上がった
異物を異物除去媒体吸入手段により吸入しているので、
異物がワーク周囲に浮遊して止まり、再びワーク上に付
着するようなことも回避することができる。

【００１１】請求項２記載の発明によれば、ワーク面に
対し最適な角度から異物除去媒体を吹き付けるようにで
きるので、ワーク面での異物の除去をさらに効果的に行
うことができる。

【００１２】請求項３記載の発明によれば、異物除去媒
体射出手段のワーク面に沿っての移動により、ワーク面
に対し、近い位置から強力に異物除去媒体を吹き付ける
ようにできるので、ワーク面に強固に付着したような異
物は勿論、大き目で重量のある異物についても確実に除
去することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、第１の実施の形態にかか
る異物除去装置の概略構成を示している。

【００１４】図において、１はステージで、このステー
ジ１には、パターン形成などの製造工程やパターン検査
などの検査工程に供される基板（ワーク）２を載置して
いる。この場合、ステージ１上の基板２は、手操作によ
る供給でもよいし、図示しない搬送装置により自動的に
供給するようにしてもよい。

【００１５】ステージ１の端部には、基板２を挟んでエ
アー射出部３とエアー吸入部４を相対向して配置してい
る。ここで、エアー射出部３は、クリーンエアーを射出
する複数（図示例では４個）のノズル３１をステージ１
側縁に沿って所定間隔をおいて配置していて、これらノ
ズル３１よりステージ１上の基板２面に沿って均一にク
リーンエアーを射出するようにしている。また、エアー
吸入部４は、エアー射出部３の各ノズル３１より基板２
面に均一に射出されたクリーンエアーを吸入口（図示せ
ず）から平均して吸入するようにしている。

【００１６】この場合、エアー射出部３は、図２に示す
ようにステージ１上の基板２面に対してエアー射出方向
を所定角度に固定し、また、エアー吸入部４もエアー吸
い込み角度を所定角度に固定していて、エアー射出部３
より基板２面に対して所定角度からクリーンエアーを射
出することで、基板２面上のゴミ５を吹上げ、この吹き
上げられたゴミ５を吸い込みやすい角度で設けられたエ
アー吸入部４により吸い取るようになっている。

【００１７】また、図１に戻って、エアー射出部３およ
びエアー吸入部４には、エアー配管６、７を接続すると
ともに、可動ダクト８を介して図示しないエアー圧縮源
およびエアー吸入（真空）源を接続している。ここでの
可動ダクト８は、ステージ１の移動に対しエアー配管
６、７の動きを追従させるためのものである。

【００１８】図３は、エアー射出部３でのエアー配管６
の配管図を示すもので、この場合、エアー圧縮源９で圧
縮されたクリーンエアーを共通配管６１を通して分岐点
６２に供給し、この分岐点６２からエアー射出部３の各
ノズル３１に分岐配管６３を通してクリーンエアーを供
給するようにしている。ここで、エアー圧縮源９で圧縮
したクリーンエアーを分岐点６２の１箇所に集めるの
は、エアー射出部３の各ノズル３１より射出するクリー
ンエアーの量を一定にするためである。

【００１９】しかして、このように構成した異物除去装
置では、まず、ステージ１上に基板２が供給される。こ
のステージ１上の基板２の供給は、手操作、または自動
搬送装置による操作により実行される。

【００２０】この状態から、図３に示すようにエアー圧
縮源９で圧縮されたクリーンエアーが共通配管６１を通
して分岐点６２に供給され、分岐点６２からクリーンエ
アーを分岐配管６３を通してエアー射出部３の各ノズル
３１に供給される。

【００２１】すると、図２に示すようにノズル３１から
ステージ１上の基板２面に対して所定角度を持ってクリ
ーンエアーが射出され、基板２面に沿って送られ、エア
ー吸入部４の図示しない吸入口（図示せず）により吸入
される。

【００２２】これにより、基板２面上に付着されている
ゴミ５は、ノズル３１から射出されるクリーンエアーに
より吹上げられるとともに、この吹き上げられたゴミ５
は、エアー吸入部４により吸い取られつつ除去されるよ
うになる。

【００２３】従って、このようにすれば、基板２を載置
するステージ１端部に設けられたエアー射出部３のノズ
ル３１よりステージ１上の基板２面に沿ってクリーンエ
アーを射出し、ステージ１端部に基板２を挟んでエアー
射出部３と相対向して設けられたエアー吸入部４によ
り、クリーンエアーとともに基板２面上のゴミ５を吸入
するようにしていて、ステージ１上に基板２を供給して
基板２上のゴミ５を除去した状態から、続けて基板２上
でのパターン形成などの製造やパターン形状の検査など
の工程を実行できるので、従来のように不必要に製造工
程や検査工程を中断することがなくなり、これらの作業
効率を低下させるような事態を回避することができる。
また、エアー射出部３のノズル３１からのクリーンエア
ーの吹き付けにより基板２上に舞い上がったゴミ５をエ
アー吸入部４により吸入しているので、ゴミ５が基板２
周囲に浮遊して止まり、再び基板２上に付着するような
ことも回避することができる。 （第２の実施の形態）第１の実施の形態では、エアー射
出部３のステージ１上の基板２面に対するエアー射出方
向を所定角度に固定した場合を述べたが、この第２の実
施の形態では、エアー射出部３のエアー射出角度を任意
に選択できるようにしている。

【００２４】この場合、図１で述べたこの第２の実施の
形態に援用するものとする。そして、このような異物除
去装置において、エアー射出部３を図４に示すように構
成している。

【００２５】図において、３２はエアー射出部本体で、
このエアー射出部本体３２は、図１に示すステージ１の
側縁に沿ってエアー吸入部４を相対向して配置してい
る。このエアー射出部本体３２には、エアー供給ブロッ
ク３４を支持部３３を介して回動自在に支持している。
このエアー供給ブロック３４には、クリーンエアーを射
出する複数（図示例では４個）のノズル３１を所定間隔
をおいて配置していて、エアー供給ブロック３４の回動
角度を調整することで、各ノズル３１よりステージ１上
の基板２面に対して所定のエアー射出角度で均一なクリ
ーンエアーを射出できるようにしている。

【００２６】この場合、エアー供給ブロック３４の回動
操作は、手動によってもよいし、あるいはエアー供給ブ
ロック３４の回動支持部３３に、図示しないモータなど
の駆動源を接続して、図５に示すように各ノズル３１よ
りクリーンエアーを射出させながらエアー射出角度を頻
繁に変化させるようにしてもよい。

【００２７】なお、３５はエアー配管を介してクリーン
エアーが供給されるエアー供給口である。このようにす
れば、エアー供給ブロック３４の回動角度を、手動によ
り調整して、各ノズル３１のステージ１上の基板２面に
対するエアー射出角度が最適な状態になるように設定す
ることにより、基板２面に対し最適な角度からクリーン
エアーを吹き付けるようにでき、基板２面でのゴミ５の
除去をさらに効果的に行うことができる。

【００２８】また、図５に示すように図示しないモータ
などの駆動源を用いて、エアー供給ブロック３４の各ノ
ズル３１よりクリーンエアーを射出させながら、エアー
供給ブロック３４の回動角度を頻繁に変化させる。この
ようにすれば、基板２面に付着したゴミ５に対して強弱
な風圧が繰り返し作用するため、この風圧の変化に伴い
ゴミ５が基板２上で揺動し、この揺動によりゴミ５に対
する引き剥がし効果が増しゴミ５を効果的に除去するこ
とができる。この場合、図示斜線の範囲がノズル３１よ
り射出されるクリーンエアーの範囲となり、この範囲に
おいて、基板２面上でのゴミ５の除去が行われる。 （第３の実施の形態）上述した第１および第２の実施の
形態では、エアー供給ブロック３４を有するエアー射出
部３は、ステージ１側縁に固定されているが、この第３
の実施の形態では、エアー射出部３をエアー吸入部４の
対して移動可能にしている。

【００２９】この場合、図６に示すように、エアー射出
部３は、図示しないモータなどの駆動源により、ノズル
３１よりクリーンエアーを射出させながらエアー射出角
度を頻繁に変化させ、さらに、このようなエアー射出部
３を基板２面に沿って図示矢印方向に移動可能にしてい
る。

【００３０】このようにすれば、エアー射出部３の基板
２面に沿っての移動により、この基板２面に対し、近い
位置から強力にクリーンエアーを吹き付けることができ
るようになるので、風圧の強弱による効果と相俟って基
板２面に強固に付着したようなゴミ５も勿論、大き目で
重量のあるゴミ５なども確実に除去することができる。 （第４の実施の形態）図７、第４の実施の形態にかかる
異物除去装置の概略構成を示している。

【００３１】図において、４１はステージで、このステ
ージ４１には、パターン形成などの製造工程やパターン
検査などの検査工程に供される基板（ワーク）４２を載
置している。

【００３２】そして、ステージ４１の上方にＶ字状にエ
アー射出部４３とエアー吸入部４４を配置し、これらエ
アー射出部４３とエアー吸入部４４を一体にして基板４
２面に沿ってシリンダ４５を駆動源として直線移動でき
るようにしている。

【００３３】この場合、Ｖ字状に配置されたエアー射出
部４３とエアー吸入部４４は、エアー射出部４３より基
板４２上の局所部分にクリーンエアーを射出し、この局
所部分から舞い上がったゴミ５をエアー吸入部４４によ
り吸い込むようにしている。

【００３４】ここでの、これらエアー射出部４３とエア
ー吸入部４４のＶ字角度は、基板２面のゴミ５の吹上げ
と、吸い込みに最適な角度に設定している。この角度
は、任意に調整できるようにしてもよいが、特に、エア
ー射出部４３による基板４２面への入射角度は、６０°
の前後１０°の範囲が好ましい。さらに、エアー射出部
４３とエアー吸入部４４でのクリーンエアーの射出と吸
入の効率を高めるため、それぞれカバーを設けるように
してもよい。この場合、エアー射出部４３のカバー内に
短冊状のエアー射出口を形成し、それぞれにレギュレー
タを設けて、射出されるエアー圧力が一様になるように
してもよい。勿論、エアー吸入部４４側にもレギュレー
タを設けて射出されるエアー圧力とバランスを取るよう
にしてもよい。

【００３５】このようにすれば、図８に示すようにエア
ー射出部４３とエアー吸入部４４を同時に基板４２面に
近付け、基板２面に対し近い位置から強力にクリーンエ
アーを吹き付けるとともに、基板２面からのクリーンエ
アーをエアー吸入部４４で吸い取ることができるので、
この場合も、基板２面に強固に付着したようなゴミ５も
勿論、大き目で重量のあるゴミ５なども確実に除去する
ことができる。

【００３６】なお、上述では、エアー射出部４３とエア
ー吸入部４４をＶ字状に配置したが、例えば、これらエ
アー射出部４３とエアー吸入部４４を基板４２面に対し
鉛直方向に並べて配置するようにしてもよい。また、エ
アー射出部４３とエアー吸入部４４の駆動源としては、
シリンダ４５に代わって、モータとベルトを組み合わせ
たものを用いることもできる。 （第５の実施の形態）この第５の実施の形態では、第１
の実施の形態で述べた図３に示すエアー配管中のエアー
圧縮源９に接続される共通配管６１に図示破線で示す弁
体１０を挿入している。この弁体１０は、例えば電磁弁
が用いられ、外部から与えられる制御信号により微小時
間間隔で開閉動作を繰り返すようになっている。

【００３７】しかして、図２に示すようにエアー射出部
３よりクリーンエアーが射出されると、この時のクリー
ンエアーの射出力によりワーク２上のゴミ５は、ワーク
２上から引き離され除去される。ところが、ゴミ５によ
っては、ワーク２への付着が強力でクリーンエアーの射
出力程度では、ワーク２上から離れない場合もある。こ
のような場合、弁体１０を微小時間間隔で開閉動作さ
せ、エアー射出部３からのクリーンエアーを断続的に与
える。すると、ワーク２上のゴミ５には、クリーンエア
ーによる風圧が微小時間間隔で断続して加えられること
から、ワーク２上で揺動するようになり、これによりワ
ーク２上に強力に付着していることがあっても、確実に
吹き飛ばすことができるようになる。

【００３８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、テ
ージ上にワークを供給してワーク上の異物を除去した状
態から、続けてパターン形成などの製造やパターン形状
の検査などの工程を実行できるので、不必要に製造工程
や検査工程を中断することがなくなり、これらの作業効
率を低下させるような事態を回避することができる。ま
た、異物除去媒体の吹き付けにより舞い上がった異物を
異物除去媒体吸入手段により吸入しているので、異物が
ワーク周囲に浮遊して止まり、再びワーク上に付着する
ようなことも回避することができる。

【００３９】また、ワーク面に対し最適な角度から異物
除去媒体を吹き付けるようにできるので、ワーク面での
異物の除去をさらに効果的に行うことができる。さら
に、異物除去媒体射出手段のワーク面に沿っての移動に
より、ワーク面に対し、近い位置から強力に異物除去媒
体を吹き付けるようにできるので、ワーク面に強固に付
着したような異物は勿論、大き目で重量のある異物につ
いても確実に除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態を説明するための図。

【図３】第１の実施の形態のエアー射出部でのエアー配
管を示す図。

【図４】本発明の第２の実施の形態に用いられるエアー
射出部の概略構成を示す図。

【図５】第２の実施の形態を説明するための図。

【図６】本発明の第３の実施の形態を説明するための
図。

【図７】本発明の第４の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図８】第４の実施の形態を説明するための図。

【符号の説明】

１…ステージ、 ２…基板、 ３…エアー射出部、 ３１…ノズル、 ３２…エアー射出部本体、 ３３…支持部、 ３４…エアー供給ブロック、 ３５…エアー供給口、 ４…エアー吸入部、 ５…ゴミ、 ６、７…エアー配管、 ６１…共通配管、 ６２…分岐点、 ６３…分岐配管、 ８…可動ダクト、 ９…エアー圧縮源、 ４１…ステージ、 ４２…基板、 ４３…エアー射出部、 ４４…エアー吸入部、 ４５…シリンダ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを載置するステージと、 このステージ端部に設けられ該ステージ上のワーク面に
   沿って異物除去媒体を射出する異物除去媒体射出手段
   と、 前記ステージ端部に前記ワークを挟んで前記異物除去媒
   体射出手段と相対向して設けられ、前記異物除去媒体と
   ともに前記ワーク面上の異物を吸入する異物除去媒体吸
   入手段とを具備したことを特徴とする異物除去装置。
2. 【請求項２】 前記異物除去媒体射出手段は、前記異物
   除去媒体の射出角度を任意に選択可能にしたことを特徴
   とする請求項１記載の異物除去装置。
3. 【請求項３】 前記異物除去媒体射出手段および前記異
   物除去媒体吸入手段のうち少なくとも前記異物除去媒体
   射出手段を前記ワーク面に沿って移動可能にしたことを
   特徴とする請求項１または２記載の異物除去装置。