JPH09321013A - 異物除去装置 - Google Patents
異物除去装置Info
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- JPH09321013A JPH09321013A JP13521896A JP13521896A JPH09321013A JP H09321013 A JPH09321013 A JP H09321013A JP 13521896 A JP13521896 A JP 13521896A JP 13521896 A JP13521896 A JP 13521896A JP H09321013 A JPH09321013 A JP H09321013A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、ワークの製造や検査の作業効率に支
障をきたすことなく、確実にワーク面の異物を除去する
ことができる異物除去装置を提供する。 【解決手段】基板2を載置するステージ1端部に設けら
れたエアー射出部3のノズル31よりステージ1上の基
板2面に沿ってクリーンエアーを射出し、ステージ1端
部に基板2を挟んでエアー射出部3と相対向して設けら
れたエアー吸入部4により、クリーンエアーとともに基
板2面上のゴミを吸入する。
障をきたすことなく、確実にワーク面の異物を除去する
ことができる異物除去装置を提供する。 【解決手段】基板2を載置するステージ1端部に設けら
れたエアー射出部3のノズル31よりステージ1上の基
板2面に沿ってクリーンエアーを射出し、ステージ1端
部に基板2を挟んでエアー射出部3と相対向して設けら
れたエアー吸入部4により、クリーンエアーとともに基
板2面上のゴミを吸入する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク面に付着し
たゴミなどの異物を除去するための異物除去装置に関す
るものである。
たゴミなどの異物を除去するための異物除去装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】最近、半導体素子や液晶パネルの製造や
検査の工程の自動化、無人化が進んでおり、このため対
象となる基板(ワーク)上に付着した異物の形状・大き
さによっては、これらの存在に気付くことなくそれぞれ
の工程を実行されることが多々ある。
検査の工程の自動化、無人化が進んでおり、このため対
象となる基板(ワーク)上に付着した異物の形状・大き
さによっては、これらの存在に気付くことなくそれぞれ
の工程を実行されることが多々ある。
【0003】ところが、例えば、液晶パネルにおいて微
細パターンをガラス基板上に形成するためフォトマスク
のパターンをフォトレジストが塗布された基板上に露光
するような場合には、ガラス基板上にゴミなどの異物が
存在していると、このままの状態でパターン形成を実行
すると、その部分のパターン形状に異常が発生するなど
製造上の欠陥が発生し、また、ガラス基板上に形成され
たパターン形状を光学顕微鏡などにより観察や測定など
の検査を行うような場合も、この検査対象点にゴミなど
の異物が存在していると、その部分のパターン形状を正
確に確認することができずに、検査結果異常が発生する
ことがある。
細パターンをガラス基板上に形成するためフォトマスク
のパターンをフォトレジストが塗布された基板上に露光
するような場合には、ガラス基板上にゴミなどの異物が
存在していると、このままの状態でパターン形成を実行
すると、その部分のパターン形状に異常が発生するなど
製造上の欠陥が発生し、また、ガラス基板上に形成され
たパターン形状を光学顕微鏡などにより観察や測定など
の検査を行うような場合も、この検査対象点にゴミなど
の異物が存在していると、その部分のパターン形状を正
確に確認することができずに、検査結果異常が発生する
ことがある。
【0004】そこで、従来、これらの不都合を除去する
ため、前工程として、基板(ワーク)を純水により洗浄
したり、クリーンエアーなどを噴出するノズルを設け、
このノズルからのクリーンエアーを基板上の対象点に吹
き付けてゴミなどの異物を除去するようなことが行われ
ている。
ため、前工程として、基板(ワーク)を純水により洗浄
したり、クリーンエアーなどを噴出するノズルを設け、
このノズルからのクリーンエアーを基板上の対象点に吹
き付けてゴミなどの異物を除去するようなことが行われ
ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、基板を純水
により洗浄するものでは、製造や検査工程のそれぞれの
前工程として、その度に、基板の洗浄工程が入るため、
これら製造や検査の作業効率が著しく低下するという問
題点があった。
により洗浄するものでは、製造や検査工程のそれぞれの
前工程として、その度に、基板の洗浄工程が入るため、
これら製造や検査の作業効率が著しく低下するという問
題点があった。
【0006】また、クリーンエアーを噴出するノズルを
設けたものでは、基板上の対象点にクリーンエアーを吹
き付けるためには、基板を載置したステージを移動させ
て基板上の対象点をノズルによるエアー吹き付け範囲に
位置させるなどしなければならないため、かかる作業の
度に製造や検査の工程が中断されることとなり、この場
合もこれら製造や検査の作業効率が著しく低下し、さら
には、クリーンエアーの吹き付けにより舞い上がったゴ
ミなどがその周囲に浮遊して止まり、再び基板上に付着
するという問題点もあった。
設けたものでは、基板上の対象点にクリーンエアーを吹
き付けるためには、基板を載置したステージを移動させ
て基板上の対象点をノズルによるエアー吹き付け範囲に
位置させるなどしなければならないため、かかる作業の
度に製造や検査の工程が中断されることとなり、この場
合もこれら製造や検査の作業効率が著しく低下し、さら
には、クリーンエアーの吹き付けにより舞い上がったゴ
ミなどがその周囲に浮遊して止まり、再び基板上に付着
するという問題点もあった。
【0007】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ワークの製造や検査の作業効率を低下させることな
く、確実にワーク面の異物を除去することができる異物
除去装置を提供することを目的とする。
で、ワークの製造や検査の作業効率を低下させることな
く、確実にワーク面の異物を除去することができる異物
除去装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
ワークを載置するステージと、このステージ端部に設け
られ該ステージ上のワーク面に沿って異物除去媒体を射
出する異物除去媒体射出手段と、前記ステージ端部に前
記ワークを挟んで前記異物除去媒体射出手段と相対向し
て設けられ、前記異物除去媒体とともに前記ワーク面上
の異物を吸入する異物除去媒体吸入手段とにより構成し
ている。
ワークを載置するステージと、このステージ端部に設け
られ該ステージ上のワーク面に沿って異物除去媒体を射
出する異物除去媒体射出手段と、前記ステージ端部に前
記ワークを挟んで前記異物除去媒体射出手段と相対向し
て設けられ、前記異物除去媒体とともに前記ワーク面上
の異物を吸入する異物除去媒体吸入手段とにより構成し
ている。
【0009】請求項2記載の発明は、請求項1記載にお
いて、前記異物除去媒体射出手段は、前記異物除去媒体
の射出角度を任意に選択可能にしている。請求項3記載
の発明は、請求項1または2記載において、前記異物除
去媒体射出手段および前記異物除去媒体吸入手段のうち
少なくとも前記異物除去媒体射出手段を前記ワーク面に
沿って移動可能にしている。
いて、前記異物除去媒体射出手段は、前記異物除去媒体
の射出角度を任意に選択可能にしている。請求項3記載
の発明は、請求項1または2記載において、前記異物除
去媒体射出手段および前記異物除去媒体吸入手段のうち
少なくとも前記異物除去媒体射出手段を前記ワーク面に
沿って移動可能にしている。
【0010】この結果、請求項1記載の発明によれば、
ワークを載置するステージの一方端部に設けられた異物
除去媒体射出手段よりステージ上のワーク面に沿って異
物除去媒体を射出し、ステージの他方端部にワークを挟
んで異物除去媒体射出手段と相対向して設けられた異物
除去媒体吸入手段により、異物除去媒体とともにワーク
面上の異物を吸入している。これにより、ステージ上に
ワークを供給してワーク上の異物を除去した状態から、
続けてパターン形成などの製造やパターン形状の検査な
どの工程を実行できるので、従来のように不必要に製造
工程や検査工程を中断することがなくなり、これらの作
業効率を低下させるような事態を回避することができ
る。また、異物除去媒体の吹き付けにより舞い上がった
異物を異物除去媒体吸入手段により吸入しているので、
異物がワーク周囲に浮遊して止まり、再びワーク上に付
着するようなことも回避することができる。
ワークを載置するステージの一方端部に設けられた異物
除去媒体射出手段よりステージ上のワーク面に沿って異
物除去媒体を射出し、ステージの他方端部にワークを挟
んで異物除去媒体射出手段と相対向して設けられた異物
除去媒体吸入手段により、異物除去媒体とともにワーク
面上の異物を吸入している。これにより、ステージ上に
ワークを供給してワーク上の異物を除去した状態から、
続けてパターン形成などの製造やパターン形状の検査な
どの工程を実行できるので、従来のように不必要に製造
工程や検査工程を中断することがなくなり、これらの作
業効率を低下させるような事態を回避することができ
る。また、異物除去媒体の吹き付けにより舞い上がった
異物を異物除去媒体吸入手段により吸入しているので、
異物がワーク周囲に浮遊して止まり、再びワーク上に付
着するようなことも回避することができる。
【0011】請求項2記載の発明によれば、ワーク面に
対し最適な角度から異物除去媒体を吹き付けるようにで
きるので、ワーク面での異物の除去をさらに効果的に行
うことができる。
対し最適な角度から異物除去媒体を吹き付けるようにで
きるので、ワーク面での異物の除去をさらに効果的に行
うことができる。
【0012】請求項3記載の発明によれば、異物除去媒
体射出手段のワーク面に沿っての移動により、ワーク面
に対し、近い位置から強力に異物除去媒体を吹き付ける
ようにできるので、ワーク面に強固に付着したような異
物は勿論、大き目で重量のある異物についても確実に除
去することができる。
体射出手段のワーク面に沿っての移動により、ワーク面
に対し、近い位置から強力に異物除去媒体を吹き付ける
ようにできるので、ワーク面に強固に付着したような異
物は勿論、大き目で重量のある異物についても確実に除
去することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 (第1の実施の形態)図1は、第1の実施の形態にかか
る異物除去装置の概略構成を示している。
に従い説明する。 (第1の実施の形態)図1は、第1の実施の形態にかか
る異物除去装置の概略構成を示している。
【0014】図において、1はステージで、このステー
ジ1には、パターン形成などの製造工程やパターン検査
などの検査工程に供される基板(ワーク)2を載置して
いる。この場合、ステージ1上の基板2は、手操作によ
る供給でもよいし、図示しない搬送装置により自動的に
供給するようにしてもよい。
ジ1には、パターン形成などの製造工程やパターン検査
などの検査工程に供される基板(ワーク)2を載置して
いる。この場合、ステージ1上の基板2は、手操作によ
る供給でもよいし、図示しない搬送装置により自動的に
供給するようにしてもよい。
【0015】ステージ1の端部には、基板2を挟んでエ
アー射出部3とエアー吸入部4を相対向して配置してい
る。ここで、エアー射出部3は、クリーンエアーを射出
する複数(図示例では4個)のノズル31をステージ1
側縁に沿って所定間隔をおいて配置していて、これらノ
ズル31よりステージ1上の基板2面に沿って均一にク
リーンエアーを射出するようにしている。また、エアー
吸入部4は、エアー射出部3の各ノズル31より基板2
面に均一に射出されたクリーンエアーを吸入口(図示せ
ず)から平均して吸入するようにしている。
アー射出部3とエアー吸入部4を相対向して配置してい
る。ここで、エアー射出部3は、クリーンエアーを射出
する複数(図示例では4個)のノズル31をステージ1
側縁に沿って所定間隔をおいて配置していて、これらノ
ズル31よりステージ1上の基板2面に沿って均一にク
リーンエアーを射出するようにしている。また、エアー
吸入部4は、エアー射出部3の各ノズル31より基板2
面に均一に射出されたクリーンエアーを吸入口(図示せ
ず)から平均して吸入するようにしている。
【0016】この場合、エアー射出部3は、図2に示す
ようにステージ1上の基板2面に対してエアー射出方向
を所定角度に固定し、また、エアー吸入部4もエアー吸
い込み角度を所定角度に固定していて、エアー射出部3
より基板2面に対して所定角度からクリーンエアーを射
出することで、基板2面上のゴミ5を吹上げ、この吹き
上げられたゴミ5を吸い込みやすい角度で設けられたエ
アー吸入部4により吸い取るようになっている。
ようにステージ1上の基板2面に対してエアー射出方向
を所定角度に固定し、また、エアー吸入部4もエアー吸
い込み角度を所定角度に固定していて、エアー射出部3
より基板2面に対して所定角度からクリーンエアーを射
出することで、基板2面上のゴミ5を吹上げ、この吹き
上げられたゴミ5を吸い込みやすい角度で設けられたエ
アー吸入部4により吸い取るようになっている。
【0017】また、図1に戻って、エアー射出部3およ
びエアー吸入部4には、エアー配管6、7を接続すると
ともに、可動ダクト8を介して図示しないエアー圧縮源
およびエアー吸入(真空)源を接続している。ここでの
可動ダクト8は、ステージ1の移動に対しエアー配管
6、7の動きを追従させるためのものである。
びエアー吸入部4には、エアー配管6、7を接続すると
ともに、可動ダクト8を介して図示しないエアー圧縮源
およびエアー吸入(真空)源を接続している。ここでの
可動ダクト8は、ステージ1の移動に対しエアー配管
6、7の動きを追従させるためのものである。
【0018】図3は、エアー射出部3でのエアー配管6
の配管図を示すもので、この場合、エアー圧縮源9で圧
縮されたクリーンエアーを共通配管61を通して分岐点
62に供給し、この分岐点62からエアー射出部3の各
ノズル31に分岐配管63を通してクリーンエアーを供
給するようにしている。ここで、エアー圧縮源9で圧縮
したクリーンエアーを分岐点62の1箇所に集めるの
は、エアー射出部3の各ノズル31より射出するクリー
ンエアーの量を一定にするためである。
の配管図を示すもので、この場合、エアー圧縮源9で圧
縮されたクリーンエアーを共通配管61を通して分岐点
62に供給し、この分岐点62からエアー射出部3の各
ノズル31に分岐配管63を通してクリーンエアーを供
給するようにしている。ここで、エアー圧縮源9で圧縮
したクリーンエアーを分岐点62の1箇所に集めるの
は、エアー射出部3の各ノズル31より射出するクリー
ンエアーの量を一定にするためである。
【0019】しかして、このように構成した異物除去装
置では、まず、ステージ1上に基板2が供給される。こ
のステージ1上の基板2の供給は、手操作、または自動
搬送装置による操作により実行される。
置では、まず、ステージ1上に基板2が供給される。こ
のステージ1上の基板2の供給は、手操作、または自動
搬送装置による操作により実行される。
【0020】この状態から、図3に示すようにエアー圧
縮源9で圧縮されたクリーンエアーが共通配管61を通
して分岐点62に供給され、分岐点62からクリーンエ
アーを分岐配管63を通してエアー射出部3の各ノズル
31に供給される。
縮源9で圧縮されたクリーンエアーが共通配管61を通
して分岐点62に供給され、分岐点62からクリーンエ
アーを分岐配管63を通してエアー射出部3の各ノズル
31に供給される。
【0021】すると、図2に示すようにノズル31から
ステージ1上の基板2面に対して所定角度を持ってクリ
ーンエアーが射出され、基板2面に沿って送られ、エア
ー吸入部4の図示しない吸入口(図示せず)により吸入
される。
ステージ1上の基板2面に対して所定角度を持ってクリ
ーンエアーが射出され、基板2面に沿って送られ、エア
ー吸入部4の図示しない吸入口(図示せず)により吸入
される。
【0022】これにより、基板2面上に付着されている
ゴミ5は、ノズル31から射出されるクリーンエアーに
より吹上げられるとともに、この吹き上げられたゴミ5
は、エアー吸入部4により吸い取られつつ除去されるよ
うになる。
ゴミ5は、ノズル31から射出されるクリーンエアーに
より吹上げられるとともに、この吹き上げられたゴミ5
は、エアー吸入部4により吸い取られつつ除去されるよ
うになる。
【0023】従って、このようにすれば、基板2を載置
するステージ1端部に設けられたエアー射出部3のノズ
ル31よりステージ1上の基板2面に沿ってクリーンエ
アーを射出し、ステージ1端部に基板2を挟んでエアー
射出部3と相対向して設けられたエアー吸入部4によ
り、クリーンエアーとともに基板2面上のゴミ5を吸入
するようにしていて、ステージ1上に基板2を供給して
基板2上のゴミ5を除去した状態から、続けて基板2上
でのパターン形成などの製造やパターン形状の検査など
の工程を実行できるので、従来のように不必要に製造工
程や検査工程を中断することがなくなり、これらの作業
効率を低下させるような事態を回避することができる。
また、エアー射出部3のノズル31からのクリーンエア
ーの吹き付けにより基板2上に舞い上がったゴミ5をエ
アー吸入部4により吸入しているので、ゴミ5が基板2
周囲に浮遊して止まり、再び基板2上に付着するような
ことも回避することができる。 (第2の実施の形態)第1の実施の形態では、エアー射
出部3のステージ1上の基板2面に対するエアー射出方
向を所定角度に固定した場合を述べたが、この第2の実
施の形態では、エアー射出部3のエアー射出角度を任意
に選択できるようにしている。
するステージ1端部に設けられたエアー射出部3のノズ
ル31よりステージ1上の基板2面に沿ってクリーンエ
アーを射出し、ステージ1端部に基板2を挟んでエアー
射出部3と相対向して設けられたエアー吸入部4によ
り、クリーンエアーとともに基板2面上のゴミ5を吸入
するようにしていて、ステージ1上に基板2を供給して
基板2上のゴミ5を除去した状態から、続けて基板2上
でのパターン形成などの製造やパターン形状の検査など
の工程を実行できるので、従来のように不必要に製造工
程や検査工程を中断することがなくなり、これらの作業
効率を低下させるような事態を回避することができる。
また、エアー射出部3のノズル31からのクリーンエア
ーの吹き付けにより基板2上に舞い上がったゴミ5をエ
アー吸入部4により吸入しているので、ゴミ5が基板2
周囲に浮遊して止まり、再び基板2上に付着するような
ことも回避することができる。 (第2の実施の形態)第1の実施の形態では、エアー射
出部3のステージ1上の基板2面に対するエアー射出方
向を所定角度に固定した場合を述べたが、この第2の実
施の形態では、エアー射出部3のエアー射出角度を任意
に選択できるようにしている。
【0024】この場合、図1で述べたこの第2の実施の
形態に援用するものとする。そして、このような異物除
去装置において、エアー射出部3を図4に示すように構
成している。
形態に援用するものとする。そして、このような異物除
去装置において、エアー射出部3を図4に示すように構
成している。
【0025】図において、32はエアー射出部本体で、
このエアー射出部本体32は、図1に示すステージ1の
側縁に沿ってエアー吸入部4を相対向して配置してい
る。このエアー射出部本体32には、エアー供給ブロッ
ク34を支持部33を介して回動自在に支持している。
このエアー供給ブロック34には、クリーンエアーを射
出する複数(図示例では4個)のノズル31を所定間隔
をおいて配置していて、エアー供給ブロック34の回動
角度を調整することで、各ノズル31よりステージ1上
の基板2面に対して所定のエアー射出角度で均一なクリ
ーンエアーを射出できるようにしている。
このエアー射出部本体32は、図1に示すステージ1の
側縁に沿ってエアー吸入部4を相対向して配置してい
る。このエアー射出部本体32には、エアー供給ブロッ
ク34を支持部33を介して回動自在に支持している。
このエアー供給ブロック34には、クリーンエアーを射
出する複数(図示例では4個)のノズル31を所定間隔
をおいて配置していて、エアー供給ブロック34の回動
角度を調整することで、各ノズル31よりステージ1上
の基板2面に対して所定のエアー射出角度で均一なクリ
ーンエアーを射出できるようにしている。
【0026】この場合、エアー供給ブロック34の回動
操作は、手動によってもよいし、あるいはエアー供給ブ
ロック34の回動支持部33に、図示しないモータなど
の駆動源を接続して、図5に示すように各ノズル31よ
りクリーンエアーを射出させながらエアー射出角度を頻
繁に変化させるようにしてもよい。
操作は、手動によってもよいし、あるいはエアー供給ブ
ロック34の回動支持部33に、図示しないモータなど
の駆動源を接続して、図5に示すように各ノズル31よ
りクリーンエアーを射出させながらエアー射出角度を頻
繁に変化させるようにしてもよい。
【0027】なお、35はエアー配管を介してクリーン
エアーが供給されるエアー供給口である。このようにす
れば、エアー供給ブロック34の回動角度を、手動によ
り調整して、各ノズル31のステージ1上の基板2面に
対するエアー射出角度が最適な状態になるように設定す
ることにより、基板2面に対し最適な角度からクリーン
エアーを吹き付けるようにでき、基板2面でのゴミ5の
除去をさらに効果的に行うことができる。
エアーが供給されるエアー供給口である。このようにす
れば、エアー供給ブロック34の回動角度を、手動によ
り調整して、各ノズル31のステージ1上の基板2面に
対するエアー射出角度が最適な状態になるように設定す
ることにより、基板2面に対し最適な角度からクリーン
エアーを吹き付けるようにでき、基板2面でのゴミ5の
除去をさらに効果的に行うことができる。
【0028】また、図5に示すように図示しないモータ
などの駆動源を用いて、エアー供給ブロック34の各ノ
ズル31よりクリーンエアーを射出させながら、エアー
供給ブロック34の回動角度を頻繁に変化させる。この
ようにすれば、基板2面に付着したゴミ5に対して強弱
な風圧が繰り返し作用するため、この風圧の変化に伴い
ゴミ5が基板2上で揺動し、この揺動によりゴミ5に対
する引き剥がし効果が増しゴミ5を効果的に除去するこ
とができる。この場合、図示斜線の範囲がノズル31よ
り射出されるクリーンエアーの範囲となり、この範囲に
おいて、基板2面上でのゴミ5の除去が行われる。 (第3の実施の形態)上述した第1および第2の実施の
形態では、エアー供給ブロック34を有するエアー射出
部3は、ステージ1側縁に固定されているが、この第3
の実施の形態では、エアー射出部3をエアー吸入部4の
対して移動可能にしている。
などの駆動源を用いて、エアー供給ブロック34の各ノ
ズル31よりクリーンエアーを射出させながら、エアー
供給ブロック34の回動角度を頻繁に変化させる。この
ようにすれば、基板2面に付着したゴミ5に対して強弱
な風圧が繰り返し作用するため、この風圧の変化に伴い
ゴミ5が基板2上で揺動し、この揺動によりゴミ5に対
する引き剥がし効果が増しゴミ5を効果的に除去するこ
とができる。この場合、図示斜線の範囲がノズル31よ
り射出されるクリーンエアーの範囲となり、この範囲に
おいて、基板2面上でのゴミ5の除去が行われる。 (第3の実施の形態)上述した第1および第2の実施の
形態では、エアー供給ブロック34を有するエアー射出
部3は、ステージ1側縁に固定されているが、この第3
の実施の形態では、エアー射出部3をエアー吸入部4の
対して移動可能にしている。
【0029】この場合、図6に示すように、エアー射出
部3は、図示しないモータなどの駆動源により、ノズル
31よりクリーンエアーを射出させながらエアー射出角
度を頻繁に変化させ、さらに、このようなエアー射出部
3を基板2面に沿って図示矢印方向に移動可能にしてい
る。
部3は、図示しないモータなどの駆動源により、ノズル
31よりクリーンエアーを射出させながらエアー射出角
度を頻繁に変化させ、さらに、このようなエアー射出部
3を基板2面に沿って図示矢印方向に移動可能にしてい
る。
【0030】このようにすれば、エアー射出部3の基板
2面に沿っての移動により、この基板2面に対し、近い
位置から強力にクリーンエアーを吹き付けることができ
るようになるので、風圧の強弱による効果と相俟って基
板2面に強固に付着したようなゴミ5も勿論、大き目で
重量のあるゴミ5なども確実に除去することができる。 (第4の実施の形態)図7、第4の実施の形態にかかる
異物除去装置の概略構成を示している。
2面に沿っての移動により、この基板2面に対し、近い
位置から強力にクリーンエアーを吹き付けることができ
るようになるので、風圧の強弱による効果と相俟って基
板2面に強固に付着したようなゴミ5も勿論、大き目で
重量のあるゴミ5なども確実に除去することができる。 (第4の実施の形態)図7、第4の実施の形態にかかる
異物除去装置の概略構成を示している。
【0031】図において、41はステージで、このステ
ージ41には、パターン形成などの製造工程やパターン
検査などの検査工程に供される基板(ワーク)42を載
置している。
ージ41には、パターン形成などの製造工程やパターン
検査などの検査工程に供される基板(ワーク)42を載
置している。
【0032】そして、ステージ41の上方にV字状にエ
アー射出部43とエアー吸入部44を配置し、これらエ
アー射出部43とエアー吸入部44を一体にして基板4
2面に沿ってシリンダ45を駆動源として直線移動でき
るようにしている。
アー射出部43とエアー吸入部44を配置し、これらエ
アー射出部43とエアー吸入部44を一体にして基板4
2面に沿ってシリンダ45を駆動源として直線移動でき
るようにしている。
【0033】この場合、V字状に配置されたエアー射出
部43とエアー吸入部44は、エアー射出部43より基
板42上の局所部分にクリーンエアーを射出し、この局
所部分から舞い上がったゴミ5をエアー吸入部44によ
り吸い込むようにしている。
部43とエアー吸入部44は、エアー射出部43より基
板42上の局所部分にクリーンエアーを射出し、この局
所部分から舞い上がったゴミ5をエアー吸入部44によ
り吸い込むようにしている。
【0034】ここでの、これらエアー射出部43とエア
ー吸入部44のV字角度は、基板2面のゴミ5の吹上げ
と、吸い込みに最適な角度に設定している。この角度
は、任意に調整できるようにしてもよいが、特に、エア
ー射出部43による基板42面への入射角度は、60°
の前後10°の範囲が好ましい。さらに、エアー射出部
43とエアー吸入部44でのクリーンエアーの射出と吸
入の効率を高めるため、それぞれカバーを設けるように
してもよい。この場合、エアー射出部43のカバー内に
短冊状のエアー射出口を形成し、それぞれにレギュレー
タを設けて、射出されるエアー圧力が一様になるように
してもよい。勿論、エアー吸入部44側にもレギュレー
タを設けて射出されるエアー圧力とバランスを取るよう
にしてもよい。
ー吸入部44のV字角度は、基板2面のゴミ5の吹上げ
と、吸い込みに最適な角度に設定している。この角度
は、任意に調整できるようにしてもよいが、特に、エア
ー射出部43による基板42面への入射角度は、60°
の前後10°の範囲が好ましい。さらに、エアー射出部
43とエアー吸入部44でのクリーンエアーの射出と吸
入の効率を高めるため、それぞれカバーを設けるように
してもよい。この場合、エアー射出部43のカバー内に
短冊状のエアー射出口を形成し、それぞれにレギュレー
タを設けて、射出されるエアー圧力が一様になるように
してもよい。勿論、エアー吸入部44側にもレギュレー
タを設けて射出されるエアー圧力とバランスを取るよう
にしてもよい。
【0035】このようにすれば、図8に示すようにエア
ー射出部43とエアー吸入部44を同時に基板42面に
近付け、基板2面に対し近い位置から強力にクリーンエ
アーを吹き付けるとともに、基板2面からのクリーンエ
アーをエアー吸入部44で吸い取ることができるので、
この場合も、基板2面に強固に付着したようなゴミ5も
勿論、大き目で重量のあるゴミ5なども確実に除去する
ことができる。
ー射出部43とエアー吸入部44を同時に基板42面に
近付け、基板2面に対し近い位置から強力にクリーンエ
アーを吹き付けるとともに、基板2面からのクリーンエ
アーをエアー吸入部44で吸い取ることができるので、
この場合も、基板2面に強固に付着したようなゴミ5も
勿論、大き目で重量のあるゴミ5なども確実に除去する
ことができる。
【0036】なお、上述では、エアー射出部43とエア
ー吸入部44をV字状に配置したが、例えば、これらエ
アー射出部43とエアー吸入部44を基板42面に対し
鉛直方向に並べて配置するようにしてもよい。また、エ
アー射出部43とエアー吸入部44の駆動源としては、
シリンダ45に代わって、モータとベルトを組み合わせ
たものを用いることもできる。 (第5の実施の形態)この第5の実施の形態では、第1
の実施の形態で述べた図3に示すエアー配管中のエアー
圧縮源9に接続される共通配管61に図示破線で示す弁
体10を挿入している。この弁体10は、例えば電磁弁
が用いられ、外部から与えられる制御信号により微小時
間間隔で開閉動作を繰り返すようになっている。
ー吸入部44をV字状に配置したが、例えば、これらエ
アー射出部43とエアー吸入部44を基板42面に対し
鉛直方向に並べて配置するようにしてもよい。また、エ
アー射出部43とエアー吸入部44の駆動源としては、
シリンダ45に代わって、モータとベルトを組み合わせ
たものを用いることもできる。 (第5の実施の形態)この第5の実施の形態では、第1
の実施の形態で述べた図3に示すエアー配管中のエアー
圧縮源9に接続される共通配管61に図示破線で示す弁
体10を挿入している。この弁体10は、例えば電磁弁
が用いられ、外部から与えられる制御信号により微小時
間間隔で開閉動作を繰り返すようになっている。
【0037】しかして、図2に示すようにエアー射出部
3よりクリーンエアーが射出されると、この時のクリー
ンエアーの射出力によりワーク2上のゴミ5は、ワーク
2上から引き離され除去される。ところが、ゴミ5によ
っては、ワーク2への付着が強力でクリーンエアーの射
出力程度では、ワーク2上から離れない場合もある。こ
のような場合、弁体10を微小時間間隔で開閉動作さ
せ、エアー射出部3からのクリーンエアーを断続的に与
える。すると、ワーク2上のゴミ5には、クリーンエア
ーによる風圧が微小時間間隔で断続して加えられること
から、ワーク2上で揺動するようになり、これによりワ
ーク2上に強力に付着していることがあっても、確実に
吹き飛ばすことができるようになる。
3よりクリーンエアーが射出されると、この時のクリー
ンエアーの射出力によりワーク2上のゴミ5は、ワーク
2上から引き離され除去される。ところが、ゴミ5によ
っては、ワーク2への付着が強力でクリーンエアーの射
出力程度では、ワーク2上から離れない場合もある。こ
のような場合、弁体10を微小時間間隔で開閉動作さ
せ、エアー射出部3からのクリーンエアーを断続的に与
える。すると、ワーク2上のゴミ5には、クリーンエア
ーによる風圧が微小時間間隔で断続して加えられること
から、ワーク2上で揺動するようになり、これによりワ
ーク2上に強力に付着していることがあっても、確実に
吹き飛ばすことができるようになる。
【0038】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、テ
ージ上にワークを供給してワーク上の異物を除去した状
態から、続けてパターン形成などの製造やパターン形状
の検査などの工程を実行できるので、不必要に製造工程
や検査工程を中断することがなくなり、これらの作業効
率を低下させるような事態を回避することができる。ま
た、異物除去媒体の吹き付けにより舞い上がった異物を
異物除去媒体吸入手段により吸入しているので、異物が
ワーク周囲に浮遊して止まり、再びワーク上に付着する
ようなことも回避することができる。
ージ上にワークを供給してワーク上の異物を除去した状
態から、続けてパターン形成などの製造やパターン形状
の検査などの工程を実行できるので、不必要に製造工程
や検査工程を中断することがなくなり、これらの作業効
率を低下させるような事態を回避することができる。ま
た、異物除去媒体の吹き付けにより舞い上がった異物を
異物除去媒体吸入手段により吸入しているので、異物が
ワーク周囲に浮遊して止まり、再びワーク上に付着する
ようなことも回避することができる。
【0039】また、ワーク面に対し最適な角度から異物
除去媒体を吹き付けるようにできるので、ワーク面での
異物の除去をさらに効果的に行うことができる。さら
に、異物除去媒体射出手段のワーク面に沿っての移動に
より、ワーク面に対し、近い位置から強力に異物除去媒
体を吹き付けるようにできるので、ワーク面に強固に付
着したような異物は勿論、大き目で重量のある異物につ
いても確実に除去することができる。
除去媒体を吹き付けるようにできるので、ワーク面での
異物の除去をさらに効果的に行うことができる。さら
に、異物除去媒体射出手段のワーク面に沿っての移動に
より、ワーク面に対し、近い位置から強力に異物除去媒
体を吹き付けるようにできるので、ワーク面に強固に付
着したような異物は勿論、大き目で重量のある異物につ
いても確実に除去することができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図2】第1の実施の形態を説明するための図。
【図3】第1の実施の形態のエアー射出部でのエアー配
管を示す図。
管を示す図。
【図4】本発明の第2の実施の形態に用いられるエアー
射出部の概略構成を示す図。
射出部の概略構成を示す図。
【図5】第2の実施の形態を説明するための図。
【図6】本発明の第3の実施の形態を説明するための
図。
図。
【図7】本発明の第4の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図8】第4の実施の形態を説明するための図。
1…ステージ、 2…基板、 3…エアー射出部、 31…ノズル、 32…エアー射出部本体、 33…支持部、 34…エアー供給ブロック、 35…エアー供給口、 4…エアー吸入部、 5…ゴミ、 6、7…エアー配管、 61…共通配管、 62…分岐点、 63…分岐配管、 8…可動ダクト、 9…エアー圧縮源、 41…ステージ、 42…基板、 43…エアー射出部、 44…エアー吸入部、 45…シリンダ。
Claims (3)
- 【請求項1】 ワークを載置するステージと、 このステージ端部に設けられ該ステージ上のワーク面に
沿って異物除去媒体を射出する異物除去媒体射出手段
と、 前記ステージ端部に前記ワークを挟んで前記異物除去媒
体射出手段と相対向して設けられ、前記異物除去媒体と
ともに前記ワーク面上の異物を吸入する異物除去媒体吸
入手段とを具備したことを特徴とする異物除去装置。 - 【請求項2】 前記異物除去媒体射出手段は、前記異物
除去媒体の射出角度を任意に選択可能にしたことを特徴
とする請求項1記載の異物除去装置。 - 【請求項3】 前記異物除去媒体射出手段および前記異
物除去媒体吸入手段のうち少なくとも前記異物除去媒体
射出手段を前記ワーク面に沿って移動可能にしたことを
特徴とする請求項1または2記載の異物除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13521896A JPH09321013A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 異物除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13521896A JPH09321013A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 異物除去装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09321013A true JPH09321013A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15146597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13521896A Pending JPH09321013A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 異物除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09321013A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001194801A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Toshiba Corp | 露光装置 |
JP2002049144A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-02-15 | Toppan Printing Co Ltd | 基板端面洗浄装置 |
JP2007311757A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Ind Technol Res Inst | フィルム除去方法およびフィルム除去装置 |
US7552503B2 (en) | 2003-07-17 | 2009-06-30 | Sony Corporation | Apparatus and method for cleaning a surface with high pressure air |
WO2011111139A1 (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-15 | シャープ株式会社 | 清掃装置及び偏光板貼付装置 |
JP2012199458A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-18 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 異物除去装置及びそれを備えたダイボンダ |
KR101429545B1 (ko) * | 2013-04-19 | 2014-08-12 | 주식회사 아이엠텍 | 무선 안테나용 크리닝 장치 및 이를 갖는 무선 안테나 제조 설비 |
JP2019160948A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 |
-
1996
- 1996-05-29 JP JP13521896A patent/JPH09321013A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8075790B2 (en) | 2006-05-15 | 2011-12-13 | Industrial Technology Research Institute | Film removal method and apparatus |
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CN110265318A (zh) * | 2018-03-12 | 2019-09-20 | 捷进科技有限公司 | 芯片贴装装置及半导体装置的制造方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041028 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050419 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050823 |