JP2012191299A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 圧電基板と、前記圧電基板の主面に配置された励振電極と、を備えた圧電振動素子であって、
   前記圧電基板は、励振部と、前記励振部の厚さより薄く、前記励振部の周縁に設けられた周辺部と、を有し、
   前記励振部は、前記励振部において最大の厚さの箇所である第１部分、および前記第１部分の主面と前記周辺部の主面との間に側面を有し、
   前記側面は、段差を有する段差部を含み、
   前記主面を平面視して、前記段差部は、前記第１部分を挟む２つの位置に配置されており、
   厚さ方向に沿って、前記周辺部から突出している突起部を少なくとも一つ備えていることを特徴とする圧電振動素子。
2. 前記側面は、前記第１部分の主面から前記周辺部の主面までの間が無段差状の面を有し、
   前記無段差状の面は、前記２つの位置の並び方向に沿って延在し、かつ前記段差部と連結していることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動素子。
3. 前記圧電基板は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系の前記Ｘ軸を中心として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ傾けた軸をＺ’軸とし、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｙ´軸に沿った平面視において、前記主面は前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸に平行な面で構成され、前記Ｙ’軸に平行な方向を厚さとする水晶基板であり、
   前記段差部は、前記Ｚ´軸に沿って延在していることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動素子。
4. 前記側面は、前記第１部分の主面と前記周辺部との間に無段差状の面を有し、
   前記無段差状の面は、前記Ｘ軸に沿って延在し、かつ前記段差部と連結していることを特徴とする請求項３に記載の圧電振動素子。
5. 前記圧電基板は、複数の角隅部を有し、
   前記複数の角隅部のうち一部の角隅部には、パッドを有し、
   前記突起部は、前記パッドを有する前記角隅部以外の角隅部に設けられていること特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の圧電振動素子。
6. 前記圧電基板は、複数の角隅部を有し、
   前記複数の角隅部のうち一部の角隅部には、パッドを有し、
   前記突起部は、前記パッドを有する前記角隅部以外の角隅部にあって、前記Ｚ’軸に沿った端縁に沿って設けられていることを特徴とする請求項３又は４に記載の圧電振動素子。
7. 前記圧電基板は、複数の角隅部を有し、
   前記複数の角隅部のうち一部の角隅部には、パッドを有し、
   前記突起部は、前記パッドを有する前記角隅部以外の角隅部にあって、前記Ｚ’軸に沿った端縁に沿って設けられている第１の突起部分と、該第１の突起部分と連設しており、前記Ｘ軸に沿って設けられている第２の突起部分と、を備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載の圧電振動素子。
8. 前記突起部は、前記周辺部の表裏主面に夫々備えており、前記表主面側の前記突起部の頂点から前記裏面側の前記突起部の頂点までの厚さに沿った長さは、前記第１部分の厚さと等しいことを特徴とする請求項１乃至７何れかの１項に記載の圧電振動素子。
9. 前記圧電基板の前記Ｚ’軸に平行な方向の寸法をＺとし、前記励振部の短辺の寸法をＭｚとし、前記第１部分の厚さをｔとするとき、
   ８≦Ｚ／ｔ≦１１、かつ、０．６≦Ｍｚ／Ｚ≦０．８の関係を満たすことを特徴とする請求項３乃至７の何れか一項に記載の圧電振動素子。
10. 前記圧電基板の前記Ｘ軸に平行な方向の寸法をＸとするとき、
    Ｘ／ｔ≦１７の関係を満たすことを特徴とする請求項３乃至７の何れか一項に記載の圧電振動素子。
11. 請求項１乃至１０のうち何れか一項に記載の圧電振動素子と、前記圧電振動素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする圧電振動子。
12. 請求項１乃至１０のうち何れか一項に記載の圧電振動素子と、該圧電振動素子を駆動する発振回路と、パッケージと、を備えたことを特徴とする圧電発振器。
13. 請求項１１に記載の圧電振動子と、該圧電振動子を駆動する発振回路と、を備えたことを特徴とする圧電発振器。
14. 前記発振回路はＩＣに搭載されていることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の圧電発振器。
15. 請求項１乃至１０のうち何れか一項に記載の圧電振動素子と、少なくとも一つ以上の電子部品と、をパッケージに備えたことを特徴とする電子デバイス。
16. 請求項１５に記載の電子デバイスにおいて、前記電子部品が、サーミスタ、コンデンサ、リアクタンス素子、及び半導体素子のうちのいずれかであることを特徴とする電子デバイス。