JP4936221B2 - メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器 - Google Patents
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Description
(mλ/2)−0.05λ≦L4≦(mλ/2)+0.05λ、但し、mは正の整数、
(pλ/2)−0.05λ≦L5≦(pλ/2)+0.05λ、但し、pは正の整数、
L4−L5=q×λ、但し、qは整数、
を満たしていることを特徴としている。メサ型振動片は、励振電極が大きくなるのに伴って等価直列容量C1も大きくなるので、等価直列容量C1に比例する周波数可変感度を高くできる。これによりメサ型振動片を発振させ易くでき、負荷容量に対する周波数変化の幅を広くできる。また隣り合う端部同士では、不要振動の腹の向きが互い違いになっている。これによりメサ型振動片は、不要な振動を抑圧できる。
L1=(n+1/2)λ (nは正の整数)
の関係を満たしていることを特徴としている。これにより主振動の変位方向における肉厚部の端部同士では、不要振動の腹の凸になる方向が異なる。よってメサ型振動片は、不要な振動を抑圧できる。
L2−L1=nλ±0.1λ ・・・(1)
ここでnは正の整数、λは屈曲振動の波長である。このλは、λ=2.6/F(Fはメサ型振動片10に生じる厚み滑り振動の共振周波数)の関係を満たすようになっている。
L4=(mλ/2)±0.05λ ・・・(2)
L5=(pλ/2)±0.05λ ・・・(3)
L4−L5=q×λ ・・・・・・・・(4)
ここでm,pは正の整数であり、qは整数である。
L1=(n+1/2)λ ・・・(5)
ここでnは正の整数である。
Claims (10)
- 厚み滑り振動を主振動として励振する肉厚部と、前記肉厚部の厚みよりも厚みが薄く少なくとも前記主振動の変位方向に沿って配置されている肉薄部と、を含む素板と、
前記肉厚部の主面と前記肉薄部の主面に設けられている励振電極と、
を含み、
前記主振動の変位方向に沿って前記素板に生じる屈曲振動の腹となる位置に、
前記主振動の変位方向における前記励振電極の一方の端部と、前記肉厚部の一方の端部と、前記肉厚部の他方の端部と、前記励振電極の他方の端部とが、それぞれ配置されており、
前記主振動の変位方向に沿って隣り合う前記端部同士は前記屈曲振動の腹の向きが互い違いになっている、
ことを特徴とするメサ型圧電振動片。 - 厚み滑り振動を主振動として励振する肉厚部と、前記肉厚部の厚みよりも厚みが薄く、少なくとも前記主振動の変位方向に沿って配置されている肉薄部と、
を含む素板と、
前記肉厚部の主面と前記肉薄部の主面に設けられている励振電極と、
を含み、
前記主振動の変位方向における前記励振電極の一方の端部と、前記肉厚部の一方の端部と、前記肉厚部の他方の端部と、前記励振電極の他方の端部とが、順に前記素板に配置されており、
前記励振電極の前記一方の端部と前記肉厚部の前記一方の端部との間の距離をL4とし、前記肉厚部の前記他方の端部と前記励振電極の前記他方の端部との間の距離をL5とし、
前記主振動の変位方向に沿って前記素板に生じる屈曲振動の波長をλとしたとき、
(mλ/2)−0.05λ≦L4≦(mλ/2)+0.05λ、但し、mは正の整数、
(pλ/2)−0.05λ≦L5≦(pλ/2)+0.05λ、但し、pは正の整数、
L4−L5=q×λ、但し、qは整数、
を満たしていることを特徴とするメサ型圧電振動片。 - 請求項2において、
前記肉厚部の前記一方の端部と前記他方の端部との間の距離をL1としたとき、
L1=(n+1/2)λ、但し、nは正の整数、
を満たしていることを特徴とするメサ型圧電振動片。 - 請求項1乃至3の何れか一項において、
前記励振電極における前記一方の端部と前記他方の端部との距離をL2とし、
前記肉厚部の厚さをtとしたとき、
L2/t≦11
を満たしていることを特徴とするメサ型圧電振動片。 - 請求項1乃至4の何れか一項において、
前記素板は水晶素板であることを特徴とするに記載のメサ型圧電振動片。 - 請求項5において、
前記水晶素板はATカット水晶素板であることを特徴とするに記載のメサ型圧電振動片。 - 請求項6において、
前記主振動の変位方向は、水晶結晶のX軸方向であることを特徴とするに記載のメサ型圧電振動片。 - 請求項1乃至6の何れか一項に記載のメサ型圧電振動片をパッケージに収容していることを特徴とするメサ型圧電振動デバイス。
- 請求項1乃至6の何れか一項に記載のメサ型圧電振動片と、
発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項1乃至6の何れか一項に記載のメサ型圧電振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
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