JP6777977B2 - インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 - Google Patents
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Claims (14)
- モールドを用いて基板上の複数のショット領域の上のインプリント材に順次モールドを接触させることでパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記モールドを保持する保持部と、
前記保持部に前記モールドが保持された状態で前記モールドのパターン面の一部分を洗浄するクリーニング部と、
前記モールドの前記パターン面に付着した異物の位置を特定する特定部と、
前記特定部によって特定された前記異物の位置を示す情報を生成する生成部と、
前記情報に基づいて前記クリーニング部が前記異物に対応して位置するように前記クリーニング部を移動させることによって前記クリーニング部を位置決めし、前記クリーニング部による洗浄によって当該異物を除去する処理を行う処理部と、
前記保持部に保持された前記モールドの前記パターン面に付着した異物を検出する検出部と、
を有し、
前記処理部は、前記モールドと、前記複数のショット領域のうちの対象ショット領域の上のインプリント材との接触を開始してから終了するまでの期間において、前記保持部に保持された前記モールドの前記パターン面に異物が付着しているかを前記検出部に検出させ、当該検出で得られた検出結果に基づいて、前記対象ショット領域の上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離した後であって、前記対象ショット領域の次のショット領域に対するインプリント処理を行う前に、前記異物を除去する処理を行うことを特徴とするインプリント装置。 - 前記特定部は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記異物の位置を特定することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記基板を保持して移動するステージを更に有し、
前記クリーニング部は、前記ステージに配置され、
前記処理部は、前記情報に基づいて、前記異物の下に前記クリーニング部が位置するように、前記ステージを移動させることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記モールドを保持して前記保持部に搬送する搬送部を更に有し、
前記クリーニング部は、前記搬送部に配置され、
前記処理部は、前記情報に基づいて、前記異物の下に前記クリーニング部が位置するように、前記搬送部を移動させることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記クリーニング部及び前記検出部を保持して移動する移動部を更に有し、
前記処理部は、前記情報に基づいて、前記異物の下に前記クリーニング部が位置するように、前記移動部を移動させることを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 前記クリーニング部は、プラズマによって前記パターン面の一部分を洗浄し、
前記インプリント装置は、前記パターン面の一部分の洗浄によって生じるガスを回収する回収部を更に有することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記処理部は、前記インプリント処理を行う前であって、前記モールド及び前記基板の少なくとも一方を搬送している期間において、前記処理を行うことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記処理部は、前記基板上にインプリント材を供給している期間において、前記処理を行うことを特徴とする請求項1、2、4乃至7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記処理部は、前記モールドと前記基板上のインプリント材とを接触させる前に前記モールドと前記基板との位置合わせを行う期間において、前記処理を行うことを特徴とする請求項1、2、4乃至8のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記処理部は、
前記モールドと前記基板上のインプリント材との接触を開始してから終了するまでの期間において、前記検出部に前記保持部に保持された前記モールドの前記パターン面に付着した異物の検出を行わせ、
前記期間における前記検出部の検出結果に基づいて、前記パターン面の一部分の洗浄を行うかどうかを判定し、
前記パターン面の一部分の洗浄を行うと判定した場合に、前記基板上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離した後で、前記処理を行うことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、前記モールドの前記パターン面を撮像して画像を取得するカメラを含み、前記モールドとインプリント材との接触を開始してから終了するまでの期間において、前記モールドと前記基板との間の距離に応じた干渉縞を前記カメラで観察し、
前記処理部は、前記カメラで観察された前記干渉縞に基づいて、前記異物を除去する処理を行うことを特徴とする請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記クリーニング部は、互いに異なる洗浄方式を含む複数のクリーニング部を有し、
前記処理部は、前記特定部によって位置を特定された前記異物の大きさ、及び、前記特定部によって位置を特定された前記異物が前記モールドの前記パターン面に付着したタイミングの少なくとも一方に基づいて、前記複数のクリーニング部から前記処理に用いるクリーニング部を選択することを特徴とする請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - モールドを用いて基板上の複数のショット領域の上のインプリント材に順次モールドを接触させることでパターンを形成するインプリント方法であって、
前記モールドのパターン面に付着した異物を検出して前記異物の位置を特定する工程と、
前記特定する工程によって特定された前記異物の位置を示す情報を生成する工程と、
前記情報に基づいてクリーニング部が前記異物に対応して位置するように前記クリーニング部を移動させることによって前記クリーニング部を位置決めし、前記クリーニング部によって前記モールドのパターン面の一部分を洗浄することにより前記異物を除去する工程と、
前記異物が除去された前記モールドを用いて前記基板上にパターンを形成する工程と、
を有し、
前記モールドと、前記複数のショット領域のうちの対象ショット領域の上のインプリント材との接触を開始してから終了するまでの期間において、前記モールドの前記パターン面に異物が付着しているかを検出させ、当該検出で得られた検出結果に基づいて、前記対象ショット領域の上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離した後であって、前記対象ショット領域の次のショット領域に対するインプリント処理を行う前に、前記異物を除去する工程を行うことを特徴とするインプリント方法。 - 請求項1乃至12のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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