JP4427632B2 - 高精度三次元形状測定装置 - Google Patents
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Description
本発明は、上記従来の問題を解決することを目的とするものであり、全体形状と欠陥などの微細形状とを同時にオンラインで高精度に測定する装置を提供するものである。
なお、二光束干渉縞も多光束干渉縞も縞の周期は同じで、例えば二つの反射面が10秒角の楔に、波長500nmの青色単色光を照射すると、得られる縞間隔は、5mmである。
2 レーザービーム
3 レーザー光源
4 顕微鏡対物レンズ
5 コリメートレンズ
6 直進機構
7 両面高反射率平行平面ガラス
8 x軸回りの回転による傾斜機構
9 y軸回りの回転による傾斜機構
10 投影レンズ
11 多光束干渉縞投影装置の第二の例
12 両面高反射率楔平面ガラス
13 多光束干渉縞投影装置の第三の例
14 一枚目の片面高反射率平面ガラス板
15 二枚目の片面高反射率平面ガラス板
16 波長選択フィルター
17 TVカメラ
18 形状解析装置
19 被測定物
20 精度三次元形状測定装置
Claims (4)
- レーザー光源と顕微鏡対物レンズとコリメートレンズとコリメートレンズの直進機構と平面ガラスと該平面ガラスの微調傾斜機構と投影レンズとを備え、直線状で平行かつ等間隔な、線幅が狭く輝度およびコントラストの強い多光束干渉縞格子を被測定物に投影する投影用の多光束干渉計と、該被測定物に投影された該多光束干渉縞格子によって生じる変形格子画像を撮影するテレビカメラと、該変形格子像を取り込んで画像処理および解析するパーソナルコンピュータとから成る高精度三次元形状測定装置。
- 多光束干渉計のレーザー光源を一定の発光スペクトル分布を有する被測定物の該発光スペクトル分布と重複しない波長のレーザー光とすることを特徴とする請求項1に記載の高精度三次元形状測定装置。
- 平面ガラスの両面を平行またはくさび状とした請求項1または2に記載の高精度三次元形状測定装置。
- 平面ガラスが、光軸に対して垂直に配置される第1の平面鏡と、微調傾斜機構によりわずかに傾斜可能であり、該第1の平面鏡と対向して配置される第2の高反射率平面鏡とからなることを特徴とする請求項1または2に記載の高精度三次元形状測定装置。
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