JP2012150865A - 磁気記録媒体用ガラス基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用ガラス基板の上下主平面を研磨する研磨工程において、ガラス基板を研磨する両面研磨装置の上定盤及び下定盤は、内周端と外周端のある円盤形状を有し、該外周端により形成される外径が0.6m〜2mであり、下定盤は回転速度33〜49rpmで回転駆動し、上定盤は下定盤と反対方向に回転速度10〜21rpmで回転駆動し、ガラス基板を保持するキャリアは下定盤と同方向に速度2〜16rpmで公転し、ガラス基板の両主平面を押圧する上定盤と下定盤の圧力は8.0〜16.0MPaである研磨方法を有することを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。
【選択図】図3
Description
外径65mm、内径20mm、板厚0.635mmの磁気記録媒体用ガラス基板用に、フロート法で成形されたSiO2を主成分とするガラス基板を中央部に円孔を有する円盤形状ガラス基板に加工した。
端面加工後のガラス基板は、研磨具として硬質ウレタン製の研磨パッドと酸化セリウム砥粒を含有する研磨液(平均粒子直径、以下、平均粒径と略す、約1.3μmの酸化セリウムを主成分した研磨液組成物)を用いて、22B型両面研磨装置(スピードファム社製、製品名:DSM22B−6PV−4MH)により上下主平面を1次研磨した。本実施例で用いた22B型両面研磨装置の上定盤と下定盤の外周端により形成される外径は1.7mであった。
A1とA6:磁気記録媒体用ガラス基板の外径側領域の板厚、A2とA5:磁気記録媒体用ガラス基板の中間領域の板厚、A3とA4:磁気記録媒体用ガラス基板の内径側領域の板厚、
20:両面研磨装置、30:上定盤の研磨面、40:下定盤の研磨面、50:キャリア、201:上定盤、202:下定盤、203:サンギア、204:インターナルギア、
tp1:上定盤の内周端側の研磨面温度測定領域、tp2:上定盤の外周端側の研磨面温度測定領域、
D:定盤面内の任意の位置における上定盤の研磨面30と下定盤の研磨面40との距離、D1:内周端側における上定盤の研磨面30と下定盤の研磨面40との距離、D2:外周端側における上定盤の研磨面30と下定盤の研磨面40との距離。
Claims (10)
- 板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の主平面の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法において、
前記研磨工程は、両面研磨装置の上定盤と下定盤の対向する面にそれぞれ研磨パッドを装着し、上定盤に装着した研磨パッドの研磨面と下定盤に装着した研磨パッドの研磨面との間に板形状を有するガラス基板を保持したキャリアを配置し、ガラス基板の両主平面に上定盤の研磨パッドの研磨面と下定盤の研磨パッドの研磨面を互いに押圧させた状態で、ガラス基板の主平面に研磨液を供給するとともに、ガラス基板と研磨面を相対的に動かして、ガラス基板の両主平面を同時に研磨するものであり、
前記上定盤及び前記下定盤は、内周端と外周端のある円盤形状を有し、該外周端により形成される外径が0.6m〜2mであって、
前記下定盤は回転速度33〜49rpmで回転駆動し、前記上定盤は下定盤と反対方向に回転速度10〜21rpmで回転駆動し、前記キャリアは下定盤と同方向に速度2〜16rpmで公転し、ガラス基板の両主平面を押圧する上定盤と下定盤の圧力は8.0〜16.0MPaである研磨方法でガラス基板を研磨することを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 研磨されているガラス基板の主平面に供給される研磨液の温度Tsは、前記上定盤の研磨面温度Tpより低い温度(Ts<Tp)である請求項1に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨液の温度Tsと前記上定盤の研磨面温度Tpとの温度差ΔTps(=Tp−Ts)は、1℃〜12℃である請求項1または2に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 研磨されているガラス基板の主平面に供給される研磨液の供給流量Vは、2L/min・m2〜21L/min・m2である請求項1〜3に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- ガラス基板を研磨する前において、前記上定盤の研磨面と前記下定盤の研磨面との距離Dの定盤面内における研磨面間距離偏差ΔDの絶対値は70μm以下である請求項1〜4に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法で製造した磁気記録媒体用ガラス基板であって、同一バッチで研磨加工されたガラス基板間の板厚偏差が1.0μm以下である磁気記録媒体用ガラス基板。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法で製造した磁気記録媒体用ガラス基板であって、前記磁気記録媒体用ガラス基板の記録再生領域の中間部において、中心角が0°、90°、180°、270°である計4箇所の位置で測定した板厚の最大板厚値と最小板厚値との差(同一ガラス基板面内の板厚偏差)である平行度aが0.6μm以下である磁気記録媒体用ガラス基板。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法で製造した磁気記録媒体用ガラス基板であって、レーザ干渉計を用いて測定した、前記磁気記録媒体用ガラス基板の少なくとも記録再生領域における両主平面の平行度bが0.7μm以下である磁気記録媒体用ガラス基板。
- 中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板であって、前記磁気記録媒体用ガラス基板は内周側面と外周側面と両主平面とを有し、磁気記録媒体用ガラス基板の記録再生領域の中間部において、中心角が0°、90°、180°、270°である計4箇所の位置で測定した板厚の最大板厚値と最小板厚値との差(同一ガラス基板面内の板厚偏差)である平行度aが0.6μm以下である磁気記録媒体用ガラス基板。
- 中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板であって、前記磁気記録媒体用ガラス基板は内周側面と外周側面と両主平面とを有し、レーザ干渉計を用いて測定した、磁気記録媒体用ガラス基板の少なくとも記録再生領域における前記両主平面の平行度bが0.7μm以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。
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