JP2012136414A - Iii族窒化物半導体基板、半導体発光デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
Iii族窒化物半導体基板、半導体発光デバイスおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012136414A JP2012136414A JP2011146633A JP2011146633A JP2012136414A JP 2012136414 A JP2012136414 A JP 2012136414A JP 2011146633 A JP2011146633 A JP 2011146633A JP 2011146633 A JP2011146633 A JP 2011146633A JP 2012136414 A JP2012136414 A JP 2012136414A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group iii
- iii nitride
- plane
- nitride semiconductor
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 159
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 138
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 110
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 36
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 116
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 44
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 35
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 34
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 13
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 12
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 6
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 4
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000004943 liquid phase epitaxy Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/036—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their crystalline structure or particular orientation of the crystalline planes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/38—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
- C30B23/06—Heating of the deposition chamber, the substrate or the materials to be evaporated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/184—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
- H01L31/1856—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP comprising nitride compounds, e.g. GaN
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0075—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds comprising nitride compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】C面以外の面を主面とするIII族窒化物半導体基板(1)であって、主面とC面の交線方向(x方向)における主面のチルト角分布W1と、その交線に直交する方向(y方向)における主面のチルト角分布W2との比(W1/W2)が1未満であることを特徴とするIII族窒化物半導体基板。
【選択図】図1
Description
そこで本発明者らは、このような従来技術の課題を解決するために、主面上に良質な結晶を成長させることが可能なIII族窒化物基板を提供することを本発明の目的として検討を進めた。また、そのような基板上にIII族窒化物結晶を成長させることにより、発光効率が高い半導体発光デバイスを提供することも本発明の目的として検討を進めた。
[2] M面を主面とするか、M面からc軸方向に90°未満傾斜した面を主面とするIII族窒化物半導体基板であって、a軸方向における主面のチルト角分布W1と、a軸に直交する方向における主面のチルト角分布W2との比(W1/W2)が1未満であることを特徴とするIII族窒化物半導体基板。
[3] 前記チルト角分布W1が40mm間隔あたり±1°未満であることを特徴とする[1]または[2]に記載のIII族窒化物半導体基板。
[4] 前記チルト角分布W2が40mm間隔あたり±0.01以上±1°未満であることを特徴とする[1]または[2]に記載のIII族窒化物半導体基板。
[5] [1]〜[4]のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体基板上にIII族窒化物半導体結晶を成長させることを特徴とするIII族窒化物半導体結晶の製造方法。
[6] [1]〜[4]のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体基板上にIII族窒化物半導体結晶を成長させる工程を含むことを特徴とする半導体発光デバイスの製造方法。
[7] [6]に記載の製造方法により製造される半導体発光デバイス。
[8] LEDであることを特徴とする[7]に記載の半導体発光デバイス。
(主面)
本発明のIII族窒化物半導体基板は、C面以外の面を主面とするIII族窒化物半導体基板である。本発明のIII族窒化物半導体基板の主面は、非極性面であっても、半極性面であってもよく、またこれらの面から傾斜した面であってもよい。本明細書において「非極性面」とは、表面にIII族元素と窒素元素の両方が存在しており、かつその存在比が1:1である面を意味する。具体的には、M面やA面を好ましい面として挙げることができる。本明細書において「半極性面」とは、例えば、III族窒化物が六方晶であってその主面が(hklm)で表される場合、h,i,kのうち少なくとも2つが0でなく、且つlが0でない面をいう。また、半極性面は、c面、すなわち(0001)面に対して傾いた面で、表面にIII族元素と窒素元素の両方あるいはC面のように片方のみが存在する場合で、かつその存在比が1:1でない面を意味する。h、k、l、mはそれぞれ独立に−5〜5のいずれかの整数であることが好ましく、−2〜2のいずれかの整数であることがより好ましく、低指数面であることが好ましい。本発明のIII族窒化物半導体基板の主面として好ましく採用できる半極性面として、例えば(10−11)面、(10−1−1)面、(20−21)面、(20−2−1)面、(10−12)面、(10−1−2)面などを挙げることができる。
なお、本明細書においてC面、M面、A面や特定の指数面を称する場合には、±0.01°以内の精度で計測される各結晶軸から10°以内のオフ角を有する範囲内の面を含む。好ましくはオフ角が5°以内であり、より好ましくは3°以内である。
本発明のIII族窒化物半導体基板は、主面とC面の交線方向における主面のチルト角分布W1と、その交線に直交する方向における主面のチルト角分布W2との比(W1/W2)が1未満であることを特徴とする。図1のIII族窒化物半導体基板(1)で説明すると、主面とC面の交線方向がx方向であるとき、x方向における主面のチルト角分布W1と、x方向に直交するy方向における主面のチルト角分布W2との比が上記の規定値未満であることを特徴とする。例えば、主面がM面である場合、主面とC面の交線方向はa軸方向となり、比(W1/W2)はa軸方向の主面のチルト角分布をc軸方向の主面のチルト角分布で除することにより求めることができる。また、主面がA面である場合、主面とC面の交線方向はm軸方向となり、比(W1/W2)はm軸方向の主面のチルト角分布をc軸方向の主面のチルト角分布で除することにより求めることができる。
上述の本発明のIII族窒化物半導体基板におけるチルト角分布W1は、主面とC面の交線方向の基板の反りに言い換えられる。前記交線方向の基板の反りは、40mmあたり2°未満であることが好ましく、1°未満であることがより好ましく、0.85°未満であることがより好ましく、0.65°未満であることがより好ましく、0.45°未満であることがより好ましく、0.4°未満であることがさらに好ましく、0.25°未満であることが特に好ましい。
上述の本発明のIII族窒化物半導体基板におけるチルト角分布W2は、前記交線に直交する方向の基板の反りに言い換えられる。前記交線に直交する方向の基板の反りは、40mmあたり2°未満であることが好ましく、1.6°未満であることがより好ましく、1°未満であることがよりに好ましく、0.80°未満であることがより好ましく、0.60°未満であることがさらに好ましく、0.40°未満であることが特に好ましい。
また、主面とC面の交線方向の40mmあたりの基板の反りと前記交線に直交する方向の40mmあたりの基板の反りとの差は、通常0.02〜1.0°であり、0.03〜0.75°であることが好ましく、0.05〜0.5°であることがより好ましい。なお、基板の反りは、後述する実施例におけるチルト角分布の測定方法と同方法により測定することができる。
本発明の基板を構成するIII族窒化物半導体の種類は特に制限されない。例えば、窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化インジウム(InN)、またはこれらの混晶などを挙げることができる。混晶としては、AlGaN、InGaN、AlInN、AlInGaNなどを挙げることができる。好ましいのは窒化ガリウム(GaN)およびGaを含む混晶であり、より好ましいのは窒化ガリウム(GaN)である。
(III族窒化物自立基板)
本発明のIII族窒化物半導体基板の製造方法は、本発明の条件を満たす基板を製造することができるものであれば、特に制限されない。本発明のIII族窒化物半導体基板は、例えば同種のIII族窒化物自立基板上にIII族窒化物半導体を成長させる工程を経て製造することが可能である。
なお、III族窒化物結晶塊からIII族窒化物自立基板を切り出す際には、(0001)面の総面積よりも(000−1)面の総面積が大きくなるように切り出すことが、その上に成長させる結晶のW1/W2比をより小さくするうえで好ましい。
切り出すIII族窒化物自立基板のサイズは、その自立基板上に結晶を成長させることができるものであることが必要とされる。通常は、製造しようとしているIII族窒化物半導体基板の形状に対応した形状とサイズを選択する。例えば、長方形、立方径、円柱状のIII族窒化物自立基板とすることができる。長方形のIII族窒化物自立基板を製造する場合は、主面とC面の交線方向の長さ(L1)が、それに直交する主面内の方向の長さ(L2)よりも長いことが好ましい。具体的には、長さの比(L1/L2)が1以上であることが好ましく、1.5以上であることがより好ましく、2以上であることがさらに好ましい。また、長さの比(L1/L2)は10以下であることが好ましく、7以下であることがより好ましく、5以下であることがさらに好ましい。III族窒化物自立基板の厚みは取り扱いの容易性や自立基板上への結晶の成長容易性等を考慮して適宜決定することができるが、例えば0.2mm以上にし、さらには0.3mm以上にすることができ、また、例えば5mm以下にし、さらには2mm以下にすることができる。
本発明では、III族窒化物自立基板上にIII族窒化物結晶を成長させることができる製造装置を適宜選択して用いることができる。以下では、好ましい製造装置の一例として、図3を参照しながらHVPE法の製造装置を説明する。
図3の製造装置は、リアクター100内に、シード110を載置するためのサセプター108と、成長させるIII族窒化物半導体の原料を入れるリザーバー106とを備えている。また、リアクター100内にガスを導入するための導入管101〜105と、排気するための排気管109が設置されている。さらに、リアクター100を側面から加熱するためのヒーター107が設置されている。
リアクター100の材質としては、石英、焼結体窒化ホウ素、ステンレス等が用いられる。好ましい材質は石英である。リアクター100内には、反応開始前にあらかじめ雰囲気ガスを充填しておく。雰囲気ガス(キャリアガス)としては、例えば、水素、窒素、He、Ne、Arのような不活性ガス等を挙げることができる。これらのガスは混合して用いてもよい。
サセプター108の材質としてはカーボンが好ましく、SiCで表面をコーティングしているものがより好ましい。サセプター108の形状は、本発明で用いるIII族窒化物シードを設置することができる形状であれば特に制限されないが、結晶成長する際に結晶成長面付近に構造物が存在しないものであることが好ましい。結晶成長面付近に成長する可能性のある構造物が存在すると、そこに多結晶体が付着し、その生成物としてHClガスが発生して結晶成長させようとしている結晶に悪影響が及んでしまう。シード110とサセプター108の接触面は、シードの主面(結晶成長面)から1mm以上離れていることが好ましく、3mm以上離れていることがより好ましく、5mm以上離れていることがさらに好ましい。
リザーバー106には、成長させるIII族窒化物半導体の原料を入れる。具体的には、III族源となる原料を入れる。そのようなIII族源となる原料として、Ga、Al、Inなどを挙げることができる。リザーバー106にガスを導入するための導入管103からは、リザーバー106に入れた原料と反応するガスを供給する。例えば、リザーバー106にIII族源となる原料を入れた場合は、導入管103からHClガスを供給することができる。このとき、HClガスとともに、導入管103からキャリアガスを供給してもよい。キャリアガスとしては、例えば水素、窒素、He、Ne、Arのような不活性ガス等を挙げることができる。これらのガスは混合して用いてもよい。
導入管104からは、窒素源となる原料ガスを供給する。通常はNH3を供給する。また、導入管101からは、キャリアガスを供給する。キャリアガスとしては、導入管103から供給するキャリアガスと同じものを例示することができる。このキャリアガスは原料ガス同士の気相での反応を抑制し、ノズル先端にポリ結晶が付着することを防ぐ効果もある。また、導入管102からは、ドーパントガスを供給することもできる。例えば、SiH4やSiH2Cl2、H2S等のn型のドーパントガスを供給することができる。
導入管101〜104から供給する上記ガスは、それぞれ互いに入れ替えて別の導入管から供給しても構わない。また、窒素源となる原料ガスとキャリアガスは、同じ導入管から混合して供給してもよい。さらに他の導入管からキャリアガスを混合してもよい。これらの供給態様は、リアクター100の大きさや形状、原料の反応性、目的とする結晶成長速度などに応じて、適宜決定することができる。
ガス排気管109は、リアクター内壁の上面、底面、側面に設置することができる。ゴミ落ちの観点から結晶成長端よりも下部にあることが好ましく、図3のようにリアクター底面にガス排気管109が設置されていることがより好ましい。
上記の製造装置を用いた結晶成長は、950℃以上で行うことが好ましく、970℃以上で行うことがより好ましく、980℃以上で行うことがさらに好ましい。また、1120℃以下で行うことが好ましく、1100℃以下で行うことがより好ましく、1090℃以下で行うことがさらに好ましい。W1/W2比をより低減するためには、結晶成長中の温度が徐々に低下しないように制御することが好ましい。結晶成長中の温度低下は60℃以内に制御することが好ましく、40℃以内に制御することがより好ましく、20℃以内に制御することがさらに好ましい。リアクター内の圧力は10kPa以上とすることが好ましく、30kPa以上とすることがより好ましく、50kPa以上とすることがさらに好ましい。また、200kPa以下とすることが好ましく、150kPa以下とすることがより好ましく、120kPa以下とすることがさらに好ましい。
上記の製造装置を用いた結晶成長の成長速度は、成長方法、成長温度、原料ガス供給量、結晶成長面方位等により異なるが、一般的には5μm/h〜500μm/hの範囲であり、10μm/h以上が好ましく、50μm/h以上がより好ましく、70μm以上であることがさらに好ましい。成長速度は、上記の他、キャリアガスの種類、流量、供給口−結晶成長端距離等を適宜設定することによって制御することができる。
結晶成長後に所望の形状のIII族窒化物半導体基板を得るために、スライス、外形加工、表面研磨などを適宜行うことが好ましい。これらの方法は、いずれか1つだけを選択して用いてもよいし、組み合わせて用いてもよい。組み合わせて用いる場合は、例えば、スライス、外形加工、表面研磨の順に行うことができる。各処理について詳しく説明すると、スライスは、例えばワイヤーで切断することにより行うことができる。外形加工とは、基板形状を円形にしたり、長方形にしたりすることを意味し、例えばダイシング、外周研磨、ワイヤーで切断する方法などを挙げることができる。表面研磨の例として、ダイヤモンド砥粒などの砥粒を用いて表面を研磨する方法、CMP(chemical mechanical polishing)、機械研磨後のRIEでのダメージ層エッチングなどを挙げることができる。
本発明のIII族窒化物半導体基板の主面上に結晶を成長させることにより、III族窒化物半導体結晶を製造することができる。III族窒化物半導体基板上にIII族窒化物結晶を成長させる方法としては、例えば、ハイドライド気相成長法(HVPE)法、有機金属化学気相堆積法(MOCVD法)、LPE法などの液相法、アモノサーマル法などを採用することが可能であり、HVPE法を好ましく用いることができる。HVPE法の製造装置については、図3に示すものを例示することができる。製造条件については、通常のIII族窒化物結晶の成長条件を適宜選択して採用することができる。本発明のIII族窒化物半導体基板を用いて成長させたIII族窒化物半導体結晶は、結晶品質が高くて半導体発光デバイス等に好ましく用いることができる。
本発明の半導体発光デバイスは、上記の本発明のIII族窒化物半導体基板を用いている点に特徴がある。通常は、本発明のIII族窒化物半導体基板の主面上に上記方法によりIII族窒化物半導体結晶を成長させることにより、LEDなどの半導体発光デバイスを製造する。成長させるIII族窒化物半導体結晶としては、例えばGaN、AlGaN、InGaN、AlInN、AlInGaNなどを挙げることができる。本発明のIII族窒化物半導体基板上に結晶を成長させれば、主面のチルト角分布の比(W1/W2)が大きな従来のIII族窒化物半導体基板上に結晶を成長させた場合に比べて、発光効率が高い半導体発光デバイスを提供することができる。
(実施例1)
(0001)面成長により作製されたGaN結晶塊から、(20−21)面から<0001>(c軸)方向に1°のオフ角を有する主面を有する長方体のGaN自立基板を8枚切り出した。各GaN自立基板は、<11−20>(a軸)方向に30mm、主面内においてa軸に直交する方向に17mmとなるように切り出した。このGaN自立基板をシードとして、サセプター上に<11−20>(a軸)方向に2列、a軸に直交する方向に4列に並べた(図2参照)。その後、図3に示すように、シード110を搭載したサセプター108をリアクター100内に配置し、反応室の温度を970℃まで上げ、HVPE法にてGaN単結晶膜の成長を開始した。成長開始と同時に、反応室の温度を970℃から1020℃まで1時間で昇温させた後、1020℃一定で77時間成長させた。この単結晶成長工程においては成長開始から成長終了まで成長圧力を1.01×105Paとし、GaClガスG3の分圧を5.96×102Paとし、NH3ガスG4の分圧を5.34×103Paとした。単結晶成長工程が終了後、室温まで降温し、GaN結晶を得た。得られたGaN結晶は<20−21>方向に最大で12.0mm、最小で8.1mm成長していた。成長膜厚分布には傾向がなく、ランダムな膜厚分布であった。
実施例1と同じ方法にしたがって、(20−21)面から<0001>(c軸)方向に1°のオフ角を有する主面を有する8枚のGaN自立基板上にGaN結晶を成長させた。得られたGaN結晶を、ワイヤーで切断することによりスライスし、ダイシングすることにより外形加工し、さらにダイヤモンド砥粒を用いた研磨とCMPにより表面研磨して、厚さ400μmの(20−21)面を主面とする55mm角の正方形のGaN自立基板を作製した。基板面内における<11−20>(a軸)方向および主面内においてa軸に直交する方向のチルト角分布を、X線回折法のωスキャンを実施例1と同様に各方向に3点実施することにより測定したところ、40mm間隔換算で<11−20>(a軸)方向は±0.11°、a軸に直交する方向は±0.33°であった。<11−20>(a軸)方向のチルト角分布をa軸に直交する方向のチルト角分布で割った値は、0.33であった。なお、2つの軸方向のチルト角分布は主面中でほぼ一定であった。
(20−21)面から<11−20>(a軸)方向に−1°から1°のオフ角を有する主面を有する8枚のGaN自立基板を用意し、<11−20>側に−1°のオフ角を有する基板を置き、<−1−120>側に行くにつれ、徐々にオフ角がプラス側に変化するようにサセプター上に並べた。図3の結晶製造装置を用いて、実施例1と同様の条件でGaN結晶を成長させた。得られたGaN結晶を、ワイヤーで切断することによりスライスし、ダイシングにより外形加工し、さらにダイヤモンド砥粒を用いた研磨とCMPにより表面研磨して、厚さ400μmの(10−10)面(M面)を主面とする55mm角の正方形のGaN自立基板を作製した。基板面内における<11−20>(a軸)方向および<0001>(c軸)方向のチルト角分布を、X線回折法のωスキャンを実施例1と同様に各方向に3点実施することにより測定したところ、40mm間隔換算で<11−20>(a軸)方向は±0.81°、<0001>(c軸)方向は±0.41°であった。<11−20>(a軸)方向のチルト角分布を<0001>(c軸)方向のチルト角分布で割った値は、1.84であった。なお、2つの軸方向のチルト角分布は主面中でほぼ一定であった。
主面が(10−1−1)面であり、<0001>(c軸)方向の長さが5mmで、<11−20>(a軸)方向の長さが20mmである長方形のGaN自立基板を用意し、これをシード110としてサセプター108上に置いた。シード110を搭載したサセプター108を図1に示すようにリアクター100内に配置して、反応室の温度を1020℃まで上げ、HVPE法にてGaN単結晶膜を54時間成長させた。この単結晶成長工程においては成長圧力を1.01×105Paとし、GaClガスG3の分圧を5.96×102Paとし、NH3ガスG4の分圧を6.98×103Paとした。単結晶成長工程が終了後、室温まで降温し、GaN結晶を得た。結晶は[10−1−1]方向に最大4.5mm成長していた。
得られたGaN結晶について外形加工、表面研磨処理を行った後、通常の手法でこれをスライスし、研磨を行って、厚さ330μmの(10−10)面を主面とするGaN自立基板を3枚作製した。得られた3枚のGaN自立基板のうち、シード側から2番目の基板の評価を実施した。基板面内における<11−20>(a軸)方向および主面内においてa軸に直交する方向のチルト角分布を、X線回折法のωスキャンを実施例1と同様に各方向に3点実施することにより測定したところ、40mm間隔換算で<11−20>(a軸)方向は±0.21°、a軸に直交する方向は±0.26°であった。<11−20>(a軸)方向のチルト角分布をa軸に直交する方向のチルト角分布で割った値は、0.81であった。なお、2つの軸方向のチルト角分布は主面中でほぼ一定であった。
シードとして主面が(20−2−1)面であるGaN自立基板を用いた点を変更して、実施例3と同じ条件でGaN結晶を得た。結晶は[20−2−1]方向に最大4.8mm成長していた。この結晶から実施例3と同じ方法により厚さ330μmの3枚のGaN自立基板を得て、シード側から2番目の基板の反りを測定した。基板面内における<11−20>(a軸)方向および主面内においてa軸に直交する方向のチルト角分布を、X線回折法のωスキャンを実施例1と同様に各方向に3点実施することにより測定したところ、40mm間隔換算で<11−20>(a軸)方向は±0.08°、a軸に直交する方向は±0.14°であった。<11−20>(a軸)方向のチルト角分布をa軸に直交する方向のチルト角分布で割った値は、0.57であった。なお、2つの軸方向のチルト角分布は主面中でほぼ一定であった。
シードとして主面が(10−10)面であるGaN自立基板を用いた点を変更して、実施例3と同じ条件でGaN結晶を得た。結晶は[10−10]方向に最大4.7mm成長していた。この結晶から実施例3と同じ方法により厚さ330μmの3枚のGaN自立基板を得て、シード側から2番目の基板の反りを測定した。基板面内における<11−20>(a軸)方向および主面内においてa軸に直交する方向のチルト角分布を、X線回折法のωスキャンを実施例1と同様に各方向に3点実施することにより測定したところ、40mm間隔換算で<11−20>(a軸)方向は±0.15°、a軸に直交する方向は±0.60°であった。<11−20>(a軸)方向のチルト角分布をa軸に直交する方向のチルト角分布で割った値は、0.25であった。なお、2つの軸方向のチルト角分布は主面中でほぼ一定であった。
シードとして、主面が(20−21)面であり、c軸方向の長さが17mmで、a軸方向の長さが25mmの長方形であるGaN自立基板を8枚用意し、これらをc軸方向に4列、a軸方向に2列に並べて使用した点を変更して、実施例3と同じ条件でGaN結晶を得た。結晶は[20−21]方向に最大17mm成長していた。(10−10)面でスライスし、複数枚の基板を得て、そのうち39mm×53mmの基板の反りを測定した。基板面内における<11−20>(a軸)方向および主面内においてa軸に直交する方向のチルト角分布を、X線回折法のωスキャンを実施例1と同様に各方向に3点実施することにより測定したところ、40mm間隔換算で<11−20>(a軸)方向は±0.033°、a軸に直交する方向は±0.22°であった。<11−20>(a軸)方向のチルト角分布をa軸に直交する方向のチルト角分布で割った値は、0.15であった。なお、2つの軸方向のチルト角分布は主面中でほぼ一定であった。
(実施例11)
実施例1で製造した(10−10)面を主面とする基板上に、MOCVD法により405nm発光を目標にしたInGaN系のLED構造を作製した。具体的には、基板にInGaN/GaN量子井戸を含んだ構造を成長することによってLED構造を作製した。作製したLED構造は、光学顕微鏡で50倍から1000倍の倍率まで確認したところ平坦に作製されていることが確認された。作製したLEDについて、中心波長325nmのHe−Cdレーザーを励起光源として用いて室温にてPL(photo-luminescence)測定を実施したところ、ウェハ全面から、発光波長405nm付近の量子井戸からの発光が観測された。
実施例2で製造した(20−21)面を主面とする基板を用いた点を変更して、実施例11と同様にしてLED構造を作製した。作製したLED構造は、光学顕微鏡で50倍から1000倍の倍率まで確認したところ平坦に作製されていることが確認された。作製したLEDについて、中心波長325nmのHe−Cdレーザーを励起光源として用いて室温にてPL測定を実施したところ、ウェハ全面から、発光波長405nm付近の量子井戸からの発光が観測された。
比較例1で製造した(10−10)面を主面とする基板を用いた点を変更して、実施例11と同様にしてLED構造を作製した。作製したLED構造の表面を光学顕微鏡で50倍の倍率で観察したところ、非常に荒れた表面になっていることが確認された。作製したLEDについて、中心波長325nmのHe−Cdレーザーを励起光源として用いて室温にてPL測定を実施したところ、ウェハ全面で発光波長405nm付近の量子井戸からの発光が全く観測されず、440nmより長波長側の発光のみ観測された。
実施例3で製造した(10−1−1)面を主面とする基板を用いた点を変更して、実施例11と同様にしてLED構造を作製した。作製したLEDについて、中心波長325nmのHe−Cdレーザーを励起光源として用いて室温にてPL測定を実施したところ、ウェハ全面から、発光波長405nm付近の量子井戸からの発光が観測された。
実施例4で製造した(20−21)面を主面とする基板を用いた点を変更して、実施例11と同様にしてLED構造を作製した。作製したLEDについて、中心波長325nmのHe−Cdレーザーを励起光源として用いて室温にてPL測定を実施したところ、ウェハ全面から、発光波長405nm付近の量子井戸からの発光が観測された。
100 リアクター
101 キャリアガス用配管
102 ドーパントガス用配管
103 III族原料用配管
104 窒素原料用配管
105 HClガス用配管
106 III族原料用リザーバー
107 ヒーター
108 サセプター
109 排気管
110 シード
G1 キャリアガス
G2 ドーパントガス
G3 III族原料ガス
G4 窒素原料ガス
G5 HClガス
Claims (8)
- C面以外の面を主面とするIII族窒化物半導体基板であって、主面とC面の交線方向における主面のチルト角分布W1と、その交線に直交する方向における主面のチルト角分布W2との比(W1/W2)が1未満であることを特徴とするIII族窒化物半導体基板。
- M面を主面とするか、M面からc軸方向に90°未満傾斜した面を主面とするIII族窒化物半導体基板であって、a軸方向における主面のチルト角分布W1と、a軸に直交する方向における主面のチルト角分布W2との比(W1/W2)が1未満であることを特徴とするIII族窒化物半導体基板。
- 前記チルト角分布W1が40mm間隔あたり±1°未満であることを特徴とする請求項1または2に記載のIII族窒化物半導体基板。
- 前記チルト角分布W2が40mm間隔あたり±0.01以上±1°未満であることを特徴とする請求項1または2に記載のIII族窒化物半導体基板。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体基板上にIII族窒化物半導体結晶を成長させることを特徴とするIII族窒化物半導体結晶の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体基板上にIII族窒化物半導体結晶を成長させる工程を含むことを特徴とする半導体発光デバイスの製造方法。
- 請求項6に記載の製造方法により製造される半導体発光デバイス。
- LEDであることを特徴とする請求項7に記載の半導体発光デバイス。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011146633A JP5830973B2 (ja) | 2010-12-01 | 2011-06-30 | GaN自立基板および半導体発光デバイスの製造方法 |
KR1020137014593A KR20130141576A (ko) | 2010-12-01 | 2011-11-30 | Ⅲ 족 질화물 반도체 기판 및 그 제조 방법, 그리고 반도체 발광 디바이스 및 그 제조 방법 |
PCT/JP2011/077727 WO2012074031A1 (ja) | 2010-12-01 | 2011-11-30 | Iii族窒化物半導体基板及びその製造方法、並びに半導体発光デバイス及びその製造方法 |
US13/908,428 US20130264606A1 (en) | 2010-12-01 | 2013-06-03 | Group iii nitride semiconductor substrate and method for producing the same, and semiconductor light-emitting device and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010268598 | 2010-12-01 | ||
JP2010268598 | 2010-12-01 | ||
JP2010273221 | 2010-12-08 | ||
JP2010273221 | 2010-12-08 | ||
JP2011146633A JP5830973B2 (ja) | 2010-12-01 | 2011-06-30 | GaN自立基板および半導体発光デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012136414A true JP2012136414A (ja) | 2012-07-19 |
JP5830973B2 JP5830973B2 (ja) | 2015-12-09 |
Family
ID=46171956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011146633A Active JP5830973B2 (ja) | 2010-12-01 | 2011-06-30 | GaN自立基板および半導体発光デバイスの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130264606A1 (ja) |
JP (1) | JP5830973B2 (ja) |
KR (1) | KR20130141576A (ja) |
WO (1) | WO2012074031A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018180673A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 古河機械金属株式会社 | Iii族窒化物半導体基板の製造方法、iii族窒化物半導体基板、及び、バルク結晶 |
JP2021008399A (ja) * | 2020-10-07 | 2021-01-28 | 三菱ケミカル株式会社 | GaN単結晶およびGaN単結晶製造方法 |
JP2022050535A (ja) * | 2020-10-07 | 2022-03-30 | 三菱ケミカル株式会社 | GaN単結晶およびGaN単結晶製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9404197B2 (en) * | 2008-07-07 | 2016-08-02 | Soraa, Inc. | Large area, low-defect gallium-containing nitride crystals, method of making, and method of use |
JP5929599B2 (ja) * | 2012-07-31 | 2016-06-08 | 三菱化学株式会社 | 第13族窒化物基板及びその製造方法 |
WO2014097931A1 (ja) | 2012-12-17 | 2014-06-26 | 三菱化学株式会社 | 窒化ガリウム基板、および、窒化物半導体結晶の製造方法 |
TWI679320B (zh) * | 2013-08-08 | 2019-12-11 | 日商三菱化學股份有限公司 | 自立GaN基板、GaN結晶、GaN單結晶之製造方法及半導體裝置之製造方法 |
WO2017010166A1 (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-19 | 三菱化学株式会社 | 非極性または半極性GaNウエハ |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006143581A (ja) * | 2004-11-23 | 2006-06-08 | Samsung Corning Co Ltd | 窒化ガリウム単結晶厚膜およびその製造方法 |
JP2006290677A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物系化合物半導体結晶の製造方法及び窒化物系化合物半導体基板の製造方法 |
JP2006315947A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-11-24 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体ウエハ及びその製造方法 |
JP2008143772A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
JP2008169075A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
WO2009039408A1 (en) * | 2007-09-19 | 2009-03-26 | The Regents Of The University Of California | Method for increasing the area of non-polar and semi-polar nitride substrates |
JP2009286652A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶、iii族窒化物結晶基板および半導体デバイスの製造方法 |
WO2010007867A1 (ja) * | 2008-07-17 | 2010-01-21 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶の製造方法およびiii族窒化物結晶 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6083812A (en) * | 1993-02-02 | 2000-07-04 | Texas Instruments Incorporated | Heteroepitaxy by large surface steps |
TW418549B (en) * | 1998-06-26 | 2001-01-11 | Sharp Kk | Crystal growth method for nitride semiconductor, nitride semiconductor light emitting device, and method for producing the same |
US7221037B2 (en) * | 2003-01-20 | 2007-05-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing group III nitride substrate and semiconductor device |
JP4276020B2 (ja) * | 2003-08-01 | 2009-06-10 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物系化合物半導体の製造方法 |
JP5125098B2 (ja) * | 2006-12-26 | 2013-01-23 | 信越半導体株式会社 | 窒化物半導体自立基板の製造方法 |
JP5053893B2 (ja) * | 2008-03-07 | 2012-10-24 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物半導体レーザを作製する方法 |
JP5420281B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2014-02-19 | 日立金属株式会社 | Iii族窒化物半導体単結晶の製造方法、及びiii族窒化物半導体単結晶基板の製造方法 |
JP5446622B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2014-03-19 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶およびその製造方法 |
JP2011016676A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化物半導体基板の製造方法 |
-
2011
- 2011-06-30 JP JP2011146633A patent/JP5830973B2/ja active Active
- 2011-11-30 WO PCT/JP2011/077727 patent/WO2012074031A1/ja active Application Filing
- 2011-11-30 KR KR1020137014593A patent/KR20130141576A/ko not_active Application Discontinuation
-
2013
- 2013-06-03 US US13/908,428 patent/US20130264606A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006143581A (ja) * | 2004-11-23 | 2006-06-08 | Samsung Corning Co Ltd | 窒化ガリウム単結晶厚膜およびその製造方法 |
JP2006290677A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物系化合物半導体結晶の製造方法及び窒化物系化合物半導体基板の製造方法 |
JP2006315947A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-11-24 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体ウエハ及びその製造方法 |
JP2008143772A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
JP2008169075A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
WO2009039408A1 (en) * | 2007-09-19 | 2009-03-26 | The Regents Of The University Of California | Method for increasing the area of non-polar and semi-polar nitride substrates |
JP2009286652A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶、iii族窒化物結晶基板および半導体デバイスの製造方法 |
WO2010007867A1 (ja) * | 2008-07-17 | 2010-01-21 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶の製造方法およびiii族窒化物結晶 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018180673A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 古河機械金属株式会社 | Iii族窒化物半導体基板の製造方法、iii族窒化物半導体基板、及び、バルク結晶 |
JP2018165226A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 古河機械金属株式会社 | Iii族窒化物半導体基板の製造方法、iii族窒化物半導体基板、及び、バルク結晶 |
CN110462114A (zh) * | 2017-03-28 | 2019-11-15 | 古河机械金属株式会社 | Iii族氮化物半导体基板的制造方法、iii族氮化物半导体基板及块状晶体 |
JP7046496B2 (ja) | 2017-03-28 | 2022-04-04 | 古河機械金属株式会社 | Iii族窒化物半導体基板の製造方法、iii族窒化物半導体基板、及び、バルク結晶 |
US11680339B2 (en) | 2017-03-28 | 2023-06-20 | Furukawa Co., Ltd. | Method of manufacturing group III nitride semiconductor substrate, group III nitride semiconductor substrate, and bulk crystal |
JP2021008399A (ja) * | 2020-10-07 | 2021-01-28 | 三菱ケミカル株式会社 | GaN単結晶およびGaN単結晶製造方法 |
JP7006751B2 (ja) | 2020-10-07 | 2022-01-24 | 三菱ケミカル株式会社 | GaN単結晶およびGaN単結晶製造方法 |
JP2022050535A (ja) * | 2020-10-07 | 2022-03-30 | 三菱ケミカル株式会社 | GaN単結晶およびGaN単結晶製造方法 |
JP7327532B2 (ja) | 2020-10-07 | 2023-08-16 | 三菱ケミカル株式会社 | GaN単結晶およびGaN単結晶製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130141576A (ko) | 2013-12-26 |
JP5830973B2 (ja) | 2015-12-09 |
WO2012074031A1 (ja) | 2012-06-07 |
US20130264606A1 (en) | 2013-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5830973B2 (ja) | GaN自立基板および半導体発光デバイスの製造方法 | |
JP5725086B2 (ja) | Iii族窒化物半導体結晶の製造方法、iii族窒化物半導体基板および半導体発光デバイス | |
JP5370613B2 (ja) | 窒化物半導体結晶およびその製造方法 | |
WO2010140564A1 (ja) | 窒化物半導体結晶およびその製造方法 | |
JP5509680B2 (ja) | Iii族窒化物結晶及びその製造方法 | |
JP6704387B2 (ja) | 窒化物半導体成長用基板及びその製造方法、並びに半導体デバイス及びその製造方法 | |
WO2016136548A1 (ja) | 窒化物半導体テンプレート及びその製造方法、並びにエピタキシャルウエハ | |
JP5445105B2 (ja) | Iii族窒化物結晶の製造方法及びiii族窒化物結晶 | |
JP4915282B2 (ja) | Iii族窒化物半導体成長用の下地基板およびiii族窒化物半導体の成長方法 | |
WO2013147203A1 (ja) | 周期表第13族金属窒化物結晶及び周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法 | |
JP5446945B2 (ja) | 窒化物半導体単結晶及び窒化物半導体基板の製造方法 | |
WO2013058352A1 (ja) | Iii族窒化物半導体結晶 | |
JP2014047097A (ja) | 窒化物半導体結晶の製造方法 | |
JP2013082611A (ja) | Iii族窒化物半導体結晶とその製造方法、およびiii族窒化物基板 | |
JP2013075791A (ja) | Iii族窒化物半導体結晶の製造方法、iii族窒化物半導体基板およびiii族窒化物半導体結晶 | |
JP2009114061A (ja) | Iii−v族窒化物系半導体自立基板の製造方法 | |
JP2014088272A (ja) | 周期表第13族金属窒化物半導体結晶 | |
JP2013040059A (ja) | Iii族窒化物半導体結晶の製造方法、及び該製造方法により製造されるiii族窒化物半導体結晶 | |
JP2011195388A (ja) | Iii族窒化物半導体結晶とその製造方法、およびiii族窒化物半導体結晶の成長用下地基板 | |
JP2013170096A (ja) | 第13族窒化物結晶の製造方法 | |
JP2012006830A (ja) | Iii族窒化物半導体成長用の下地基板およびiii族窒化物半導体の成長方法 | |
JP2014028722A (ja) | 第13族窒化物結晶の製造方法 | |
JP2012136418A (ja) | Iii族窒化物半導体基板とその製造方法 | |
JP2013035696A (ja) | Iii族窒化物半導体単結晶の製造方法 | |
JP5942547B2 (ja) | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150428 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150929 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151012 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5830973 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |