JP2012132827A - オゾン濃度計測方法ならびにオゾン濃度計測装置ならびにオゾン濃度計測装置付きオゾンガス貯留槽 - Google Patents
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Abstract
200g/Nm3以上の高濃度オゾンガス濃度を測定する場合、従来の紫外線吸光式オゾン濃度計でオゾン吸光のための紫外線光路長を非常に短くする必要があったため、オゾンガスを流すための圧力損失が大きく、また、オゾンが紫外線により光解離し濃度低下が生じる恐れがあった。
【解決手段】
可視光光源、特に、波長550〜630nmnm付近の光を用いると、200g/Nm3以上の高濃度オゾンガス濃度も、広い空間でオゾンガスを流通させたり滞留させて計測でき、かつ、オゾン分解を生ずることなく、精度良くオゾンガス濃度を計測できる。
【選択図】図1
Description
また、このオゾン計測装置を組み込み、オゾン濃度が保証されたオゾンガスを供給するためのオゾンガス貯留槽に関するものである。
2 オゾンガス濃度計制御・算出部
3 遮光器
4 光透過窓
5 オゾンガス入口
6 温度センサー
7 圧力センサー
8 光透過窓
9 遮光器
10 駆動電流
11 可視光光源
12 フィルター
13 遮光容器
14 オゾンガス濃度計測用光学系
15 可視光光路
16 オゾンガス
17 オゾンガス出口
18 受光素子
21 オゾンガス
22 酸素ガス
23 入口切換バルブ
24 出口切換バルブ
25 オゾン処理槽へ
26 排気
31 オゾンガス入口
32 オゾンガス流入制御バルブ
33 マスフローコントローラ
34 オゾンガス出口
35 オゾンガス貯留槽容器
36 オゾンガス貯留槽
41 圧力リリーフバルブ
42 オゾンガス流出通路
Claims (11)
- 遮光した容器中のオゾンガスに、可視光光源からの光を照射しそれに対向して置いた受光素子により、オゾンガスの吸光度を測定することによりオゾン濃度を計測することを特徴とするオゾン濃度計測方法。
- 遮光した容器中に酸素ガスとオゾンガスを交互に導入し、酸素ガスとオゾンガスの吸光度を交互に測定することでオゾン濃度を求めることを特徴とする請求項1に記載のオゾン濃度計測方法。
- 該可視光光源の発光スペクトルが550〜630nmnm付近に最大発光強度を有する可視光LED又は半導体レーザであることを特徴とする請求項1から2に記載のオゾン濃度計測方法。
- 該可視光光源から該受光素子間の光路中に550〜630nm間に光を通過させる帯域を有するフィルターを設けたことを特徴とする請求項1から3に記載のオゾン濃度計測方法。
- 該可視光光源が連続的に一定の強度で連続的に発光することを特徴とするとする請求項1から4に記載のオゾン濃度計測方法。
- 該可視光光源がパルス状に点滅し、若しくは、一定間隔で点灯と消灯を繰り返すことを特徴とするとする請求項1から4に記載のオゾン濃度計測方法。
- 該可視光光源の発光強度が周期的に変動することを特徴とするとする請求項1から4に記載のオゾン濃度計測方法。
- 該可視光光源の発光強度が遮光した容器内のオゾンガスの濃度や圧力に応じて変動することを特徴とする請求項1から7に記載のオゾン濃度計測方法。
- 遮光した密閉容器に、オゾンガスの流入口と流出口を設けるとともに、温度センサーと圧力センサーを取り付け、さらに、一対の光透過窓を対向して設け、一方の光透過窓の外部から外光を遮りつつ可視光光源を他方の光透過窓に向け照射し、他方の光透過窓の外部に外光を遮りつつ可視光光源に受光面を向けて受光素子を設置することを特徴とするオゾン濃度計測装置。
- 該密閉容器のオゾンガス流入口に酸素ガスとオゾンガスを交互に導入するための切換バルブを設けたことを特徴とする請求項9に記載のオゾン濃度計測装置。
- オゾンガス貯留槽に設けたオゾンガス流入口およびオゾンガス流出口にオゾンガスの流入流出を制御するバルブが設けられ、また、オゾンガス貯留槽の一部、または、その流路に可視光光源の光路を形成するように1対の窓を設け、一方の光透過窓の外部から可視光光源を他方の光透過窓に向け照射し、他方の光透過窓の外部に該可視光光源に受光面を向けて該可視光光源からの光のみを受光するように受光素子を設置し、オゾンガス貯留槽に温度センサーと圧力センサーを設けたことを特徴とするオゾン濃度計測装置付きオゾンガス貯留槽。
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