JP2012129387A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、超音波を発生する超音波振動子と、超音波振動子に固定されて超音波を洗浄液に照射する超音波照射面が扁平な振動体とを具備する振動体ユニットと、振動体ユニットを回転して超音波照射面に交わる方向を軸として超音波照射面の角度を変える照射面角度制御部と、洗浄対象の基板を保持し基板を回転させる基板回転部と、振動体の超音波照射面を洗浄面に向けて一定間隔を保持しながら振動体ユニットを移動させる振動体移動機構と、超音波照射面と洗浄面との間に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備えるよう構成する。
【選択図】 図6
Description
A=(90/L)*X (0≦X≦L)
20 洗浄液
30 超音波ノズル
40 アーム
50 超音波振動子
51 振動体
51a 面
51b 超音波照射面
60 洗浄液供給ノズル
100 振動体ユニット
110 振動体
111 超音波照射面
120 超音波振動子
130 照射面角度制御部
140 支持アーム
150 洗浄液供給ノズル
200 振動体移動機構
210 ビーム
220 ガイドレール
230 スライダー
300 洗浄チャンバー
310 カップ
320 ウエハチャック
330 退避スポット
400 筐体
410 ウエハラック
420 ウエハ搬送機構
430 クリーンブース
440 操作パネル
500 洗浄装置
Claims (5)
- 超音波を発生する超音波振動子と、前記超音波振動子に固定されて前記超音波を洗浄液に照射する超音波照射面が扁平な振動体とを具備する振動体ユニットと、
前記振動体ユニットを回転して、前記超音波照射面に交わる方向を軸として前記超音波照射面の角度を変える照射面角度制御部と、
洗浄対象の基板を保持し、前記基板を回転させる基板回転部と、
前記振動体の超音波照射面を前記基板の洗浄面に向けて一定間隔を保持しながら前記振動体ユニットを移動させる振動体移動機構と、
前記超音波照射面と前記洗浄面との間に前記洗浄液を供給する洗浄液供給部と
を備えることを特徴とする洗浄装置。 - 前記振動体移動機構は、前記振動体ユニットを前記基板の第1の外周位置と前記基板の中心位置の間、または前記第1の外周位置から前記中心位置を通って第2の外周位置までの間を往復移動させる
ことを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。 - 前記振動体ユニットが前記第1または前記第2の外周位置にあるとき、前記振動体の超音波照射面の長手方向は前記振動体ユニットの移動方向に対して直角に向き、前記振動体ユニットが前記中心位置にあるとき、前記長手方向は前記振動体ユニットの移動方向に対して平行に向き、前記移動に伴って前記直角の向きから前記平行の向きに、または前記平行の向きから前記直角の向きに連続して角度を変化させる
ことを特徴とする請求項2に記載の洗浄装置。 - 前記振動体は、超音波照射面の長手寸法が短手寸法に較べて少なくとも3倍の長さを有する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の洗浄装置。 - 洗浄面を上方に向けた基板を保持しながら前記基板を回転させ、
超音波振動子に固定された振動体の扁平な超音波照射面を前記洗浄面に向けて一定間隔を保持し、前記間隔に洗浄液を満たしながら前記振動体を前記基板の半径方向に移動し、
前記移動に伴って前記超音波照射面の角度を前記洗浄面に交わる方向を軸として変化させながら超音波を照射する
ことを特徴とする洗浄方法。
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CN103567187A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-02-12 | 河海大学常州校区 | 吸水贴近式的水下构建物超声清洗装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009238896A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2010532556A (ja) * | 2007-07-05 | 2010-10-07 | エーシーエム リサーチ (シャンハイ) インコーポレーテッド | 半導体ウェハを洗浄する装置及び方法 |
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