本明細書における「前」、「後」、「左」、「右」、「上」、「下」の方向は、図１の状態に加工対象物搭載台装置１を置いて矢印Ｓで示す前側から見た場合に特定される方向である。加工対象物搭載台装置１としては、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持し、テーブルユニット５の周囲に設けられた上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成であれば適用可能である。
「実施形態１」
The directions of “front”, “rear”, “left”, “right”, “upper”, and “lower” in the present specification are indicated by arrows S with the workpiece mounting table device 1 placed in the state of FIG. This is the direction specified when viewed from the front side. As the workpiece mounting base device 1, the table unit 5 supports the center of the workpiece 101 from below, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 provided around the table unit 5 are the workpiece. Any configuration that supports the peripheral portion of 101 so as to be grasped from above and below is applicable.
“Embodiment 1”
図１を参照し、実施形態１の加工対象物搭載台装置１について、ダイシング装置に用いられる加工対象物搭載台装置１を例示して説明する。ダイシング装置は、集積回路の形成された半導体ウエハー１０２を切断してチップ化する装置である。加工対象物搭載台装置１に用いられる加工対象品１０１は、集積回路の形成された半導体ウエハー１０２の裏面とフレーム１０３の裏面とがダイシングテープ１０４に接合され、半導体ウエハー１０２の表面に半導体ウエハー１０２の切断位置を示す切断予定線１０５が格子状に表示され、ダイシングテープ１０４が半導体ウエハー１０２から切断されたチップをばらばらにならないように支持し、フレーム１０３が搬送に用いられる構成になっている。ダイシングテープ１０４は、ダイボンディングテープとしてのダイボンディング剤の機能を持ち合わせたダイシング・ダイボンディングテープでも適用できる。ダイシング装置については、図６で説明する。
With reference to FIG. 1, the workpiece mounting base apparatus 1 of Embodiment 1 is demonstrated and illustrated about the workpiece target mounting apparatus 1 used for a dicing apparatus. The dicing apparatus is an apparatus that cuts a semiconductor wafer 102 on which an integrated circuit is formed into chips. The workpiece 101 used in the workpiece mounting apparatus 1 includes a semiconductor wafer 102 on which an integrated circuit is formed and the back surface of the frame 103 are bonded to a dicing tape 104, and the semiconductor wafer 102 is bonded to the surface of the semiconductor wafer 102. The cutting lines 105 indicating the cutting positions are displayed in a lattice pattern, the dicing tape 104 supports the chips cut from the semiconductor wafer 102 so as not to be separated, and the frame 103 is used for conveyance. The dicing tape 104 can also be applied as a dicing die bonding tape having the function of a die bonding agent as a die bonding tape. The dicing apparatus will be described with reference to FIG.
図１において、加工対象物搭載台装置１の土台を構成する装置本体２には回転駆動機構３と昇降駆動機構４とが設置され、回転駆動機構３の出力部にはテーブルユニット５がテーブルユニット５の上下方向に延びる中心線６を回転中心として水平方向に回転するように連結され、テーブルユニット５の周囲には上クランプユニット７と下クランプユニット８とが配置されたことにより、上クランプユニット７と昇降駆動機構４とが互いに独立した配置になっている。換言するならば、昇降駆動機構４がテーブルユニット５と上クランプユニット７と下クランプユニット８と機構的に分かれて設けられた構成である。実施形態１の場合、上クランプユニット７がテーブルユニット５の周囲に昇降可能に設置され、昇降駆動機構４が装置本体２に固定されたことにより、上クランプユニット７と昇降駆動機構４とが互いに独立した配置になっている。上クランプユニット７には、第１弾性部材９が反発力により下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与するように設けられる。昇降駆動機構４は、上クランプユニット７を開閉する駆動機構である。
In FIG. 1, a rotation drive mechanism 3 and a lift drive mechanism 4 are installed in an apparatus main body 2 that constitutes a base of a workpiece mounting table apparatus 1, and a table unit 5 is a table unit at an output portion of the rotation drive mechanism 3. The upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 are disposed around the table unit 5 so that the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 are arranged around the table unit 5. 7 and the lift drive mechanism 4 are arranged independently of each other. In other words, the elevating drive mechanism 4 has a structure in which the table unit 5, the upper clamp unit 7, and the lower clamp unit 8 are mechanically separated. In the case of the first embodiment, the upper clamp unit 7 is installed around the table unit 5 so as to be movable up and down, and the lift drive mechanism 4 is fixed to the apparatus main body 2, so that the upper clamp unit 7 and the lift drive mechanism 4 are mutually connected. It is an independent arrangement. The upper clamp unit 7 is provided so as to give the upper clamp unit 7 elasticity in a direction in which the first elastic member 9 is lowered by the repulsive force. The elevating drive mechanism 4 is a drive mechanism that opens and closes the upper clamp unit 7.
そして、昇降駆動機構４が上昇駆動するのに伴い第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力に抵抗して上クランプユニット７を下から突き上げて、上クランプユニット７と下クランプユニット８との間に加工対象品１０１を収容し得る上下方向の隙間１０が形成された後、上記昇降駆動機構４の上昇駆動が停止する。次に、前記隙間１０に加工対象品１０１の周縁部が矢印Ｘ１で示す横方向より収容されかつ当該加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上に配置される。その状態において、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴って第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力及び上クランプユニット７の自重で上クランプユニット７が下降して上クランプユニット７と下クランプユニット８とで加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持するとともにテーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持する。さらに、昇降駆動機構４が上クランプユニット７から離れた後に上記昇降駆動機構４の下降駆動が停止するようになっている。
Then, as the elevating drive mechanism 4 is driven to rise, the upper clamp unit 7 is pushed up from below while resisting the elasticity of the first elastic member 9 and the second elastic member 17, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8. After the vertical gap 10 that can accommodate the workpiece 101 is formed, the ascending drive of the elevating drive mechanism 4 stops. Next, the peripheral portion of the workpiece 101 is accommodated in the gap 10 from the lateral direction indicated by the arrow X 1, and the central portion of the workpiece 101 is disposed on the table unit 5. In this state, as the elevating drive mechanism 4 is driven downward, the upper clamp unit 7 is lowered by the elasticity of the first elastic member 9 and the second elastic member 17 and the weight of the upper clamp unit 7 to lower the upper clamp unit 7. And the lower clamp unit 8 support the peripheral portion of the workpiece 101 from above and below, and the table unit 5 supports the central portion of the workpiece 101 from below. Further, after the elevating drive mechanism 4 is separated from the upper clamp unit 7, the lowering drive of the elevating drive mechanism 4 is stopped.
以上のように、昇降駆動機構４がテーブルユニット５と上クランプユニット７と下クランプユニット８と機構的に分かれて設けられた構成になっていて、加工対象品１０１が隙間１０に搬入された後、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７が第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力及び上クランプユニット７の自重により下降して、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持し、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持した後、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となるので、特許文献１で開示された複数個のクランプ機構を開閉する駆動機構がテーブルユニット５に設けられた構造に比べ、上記特許文献１で開示された複数個の駆動機構に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどがテーブルユニット５から除去でき、テーブルユニット５の小型化や軽量化を図ることができる。また、テーブルユニット５を回転駆動機構３で回転する場合でも、テーブルユニット５が小さな駆動力で回転される。
As described above, the elevating drive mechanism 4 is structured to be mechanically separated from the table unit 5, the upper clamp unit 7, and the lower clamp unit 8, and after the workpiece 101 is carried into the gap 10. As the elevating drive mechanism 4 is lowered, the upper clamp unit 7 is lowered by the elasticity of the first elastic member 9 and the second elastic member 17 and the weight of the upper clamp unit 7, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 7 are moved downward. After the clamp unit 8 supports the peripheral portion of the workpiece 101 from above and below and the table unit 5 supports the central portion of the workpiece 101 from below, the lift drive mechanism 4 is connected to the upper clamp unit 7 and Since the edge is separated mechanically from the table unit 5, the drive mechanism for opening and closing the plurality of clamp mechanisms disclosed in Patent Document 1 is a table unit. 5 can be removed from the table unit 5 such as a cable for electric drive and an air tube for air drive necessary for the plurality of drive mechanisms disclosed in Patent Document 1 as compared to the structure provided in FIG. 5 can be reduced in size and weight. Even when the table unit 5 is rotated by the rotation drive mechanism 3, the table unit 5 is rotated with a small driving force.
実施形態１では、第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力が上クランプユニット７を下方に押し下げて上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成であるので、上クランプユニット７の重さを軽くしても、上クランプユニット７が昇降駆動機構４の下降駆動に伴う第１弾性部材９と第２弾性部材１７の弾力で確実に下方に押し下げられて、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持することができる。第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力が上クランプユニット７を下方に押し下げて上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成を例示したが、第１弾性部材９と第２弾性部材１７との何れか一方の弾力を強くして他方を除去してもよく、或いは、上クランプユニット７の重さを重くして第１弾性部材９と第２弾性部材１７とを除去して上クランプユニット７の重さだけで上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成とすることも可能である。
In the first embodiment, the elasticity of the first elastic member 9 and the second elastic member 17 pushes the upper clamp unit 7 downward, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 move the peripheral edge of the workpiece 101 up and down. Therefore, even if the weight of the upper clamp unit 7 is lightened, the upper clamp unit 7 moves the first elastic member 9 and the second elastic member 17 as the elevating drive mechanism 4 moves downward. The upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 can be supported by the elastic force so that the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 can grip the peripheral edge of the workpiece 101 from above and below. The elasticity of the first elastic member 9 and the second elastic member 17 pushes down the upper clamp unit 7 so that the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 support the peripheral portion of the workpiece 101 from above and below. However, the elastic force of one of the first elastic member 9 and the second elastic member 17 may be increased to remove the other, or the upper clamp unit 7 may be increased in weight. The first elastic member 9 and the second elastic member 17 are removed so that only the weight of the upper clamp unit 7 allows the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 to grip the peripheral portion of the workpiece 101 from above and below. It is also possible to adopt a configuration that supports it.
下クランプユニット８がテーブルユニット５に一体に構成されているので、構造が簡単になる。下クランプユニット８がテーブルユニット５に一体に構成されたが、下クランプユニット８がテーブルユニット５と別体に構成され、その下クランプユニット８がテーブルユニット５に高さ調整可能に取り付けられれば、昇降駆動機構４による上クランプユニット７の昇降運動範囲を変更することなく、下クランプユニット８の高さを調整することにより、加工対象品１０１の周縁部の厚さが変更になった場合でも対応可能になる。また、テーブルユニット５は、回転駆動機構３に連結されたチャックベース１１と、チャックベース１１の上に固定されたチャックテーブル１２とを備える。チャックテーブル１２の中央部には、板状の多孔質部材１３が設けられる。多孔質部材１３は、加工対象品１０１の中央部を下から吸引吸着して固定するように支持する部材である。
Since the lower clamp unit 8 is integrally formed with the table unit 5, the structure is simplified. The lower clamp unit 8 is configured integrally with the table unit 5. However, if the lower clamp unit 8 is configured separately from the table unit 5, and the lower clamp unit 8 is attached to the table unit 5 so that the height can be adjusted, Even if the thickness of the peripheral portion of the workpiece 101 is changed by adjusting the height of the lower clamp unit 8 without changing the range of the upper clamp unit 7 to be moved up and down by the lift drive mechanism 4 It becomes possible. The table unit 5 includes a chuck base 11 coupled to the rotation drive mechanism 3 and a chuck table 12 fixed on the chuck base 11. A plate-like porous member 13 is provided at the center of the chuck table 12. The porous member 13 is a member that supports the center portion of the workpiece 101 so as to be sucked and fixed from below.
上クランプユニット７は、クランプ基盤１４を備える。クランプ基盤１４は、テーブルユニット５の下部を囲んでおり、テーブルユニット５の上部と防水カバー２４との間に昇降可能に設けられる。クランプ基盤１４の形状は、テーブルユニット５の下部を途切れずに囲む環状、当該環状の一部が例えば円周の１／５や１／６のように除去されたＣ字形となるような形状、又は、上記環状の一部が直径方向にスリットで除去されて切り離された形状、また、直径方向で２つ又は３以上に分けられた構成でもよい。つまり、クランプ基盤１４は、テーブルユニット５の周囲に配置される形状であればどのような形状でも適用可能である。クランプ基盤１４には、上クランプ部材１５とリフト部材１６とが立設される。上クランプ部材１５は、テーブルユニット５の周囲から外側に離れてテーブルユニット５よりも上方に突出する。この上クランプユニット７のテーブルユニット５よりも上方に突出した上部には、クランプ爪１８が下クランプユニット８のクランプ受部１９に上下方向で向き合うように設けられる。
The upper clamp unit 7 includes a clamp base 14. The clamp base 14 surrounds the lower part of the table unit 5 and is provided between the upper part of the table unit 5 and the waterproof cover 24 so as to be movable up and down. The shape of the clamp base 14 is an annular shape that surrounds the lower portion of the table unit 5 without interruption, and a shape that forms a C shape with a part of the annular shape removed, for example, 1/5 or 1/6 of the circumference, Alternatively, a shape in which a part of the annular shape is removed by a slit in the diametrical direction and separated, or a configuration divided into two or three or more in the diametrical direction may be used. In other words, any shape can be applied to the clamp base 14 as long as the shape is arranged around the table unit 5. An upper clamp member 15 and a lift member 16 are erected on the clamp base 14. The upper clamp member 15 protrudes upward from the table unit 5 away from the periphery of the table unit 5. On the upper part of the upper clamp unit 7 protruding above the table unit 5, a clamp claw 18 is provided so as to face the clamp receiving part 19 of the lower clamp unit 8 in the vertical direction.
上クランプ部材１５の個数は、３個に限定されるものではないが、加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１への搬入又は加工対象物搭載台装置１からの搬出を横方向の１つの位置からできるように、テーブルユニット５の中心を通って前後方向に延びる直線上に配置された前後に対峙する２個、テーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された左側の１個の合計３個になっている。このテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された左側の１個の上クランプ部材１５は、上記加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の右側に設定された場合である。よって、上記加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の右側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された左側となる。加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１に搬入又は加工対象物搭載台装置１から搬出されるテーブルユニット５の右側には、上クランプ部材１５が配置されていない。
Although the number of the upper clamp members 15 is not limited to three, the loading of the workpiece 101 into the workpiece mounting table device 1 or the carrying out of the workpiece mounting table device 1 in the lateral direction is 1. It is arranged on a straight line extending in the left and right direction through the center of the table unit 5 so that it can be formed from two positions. There are 3 on the left. The left upper clamp member 15 arranged on a straight line extending in the left direction through the center of the table unit 5 has a direction in which the workpiece 101 is carried in or taken out of the workpiece mounting table device 1. This is the case when it is set to the right side. Therefore, when the direction of carrying in or carrying out the workpiece 101 is set to the right side of the workpiece mounting table device 1, the one upper clamp member 15 passes leftward through the center of the table unit 5. It becomes the left side arranged on a straight line extending to. The upper clamp member 15 is not disposed on the right side of the table unit 5 in which the workpiece 101 is carried into or out of the workpiece mounting table device 1.
なお、加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の左側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された右側となる。また、加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の前側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された後側となる。また、加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の後側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された前側となる。また、テーブルユニット５の左側に配置された上クランプ部材１５は無くてもよいが、上記のように上クランプ部材１５が前後及び左の合計３個設けられれば、加工対象品１０１の周縁部をクランプ受部１９に好適に押さえ付けることができる。上クランプ部材１５は、１個であってもよい。
When the direction of carrying in or carrying out the workpiece 101 is set to the left side of the workpiece mounting table device 1, the one upper clamp member 15 passes leftward through the center of the table unit 5. It becomes the right side arranged on the extending straight line. Further, when the direction of carrying in or carrying out the workpiece 101 is set to the front side of the workpiece mounting table device 1, the one upper clamp member 15 passes leftward through the center of the table unit 5. It becomes the rear side arranged on the extending straight line. When the direction of carrying in or carrying out the workpiece 101 is set to the rear side of the workpiece mounting table device 1, the one upper clamp member 15 passes leftward through the center of the table unit 5. It becomes the front side arrange | positioned on the straight line extended to. Further, the upper clamp member 15 disposed on the left side of the table unit 5 may not be provided. However, if a total of three upper clamp members 15 are provided on the front and rear and the left as described above, the peripheral portion of the workpiece 101 is removed. It can be suitably pressed against the clamp receiving portion 19. There may be one upper clamp member 15.
要するに、上クランプ部材１５の個数は１個又は２個又は３個以上であってもよいが、加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１への搬入又は加工対象物搭載台装置１からの搬出を横方向からできるように配置されていれば適用可能である。また、加工対象品１０１を加工対象物搭載台装置１に搬入する位置と、加工対象品１０１を加工対象物搭載台装置１から搬出する位置とが、異なる位置であってもよいが、その場合には、上クランプ部材１５が加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１への搬入又は加工対象物搭載台装置１からの搬出する部分に設けられていないことが必要である。
In short, the number of the upper clamp members 15 may be one, two, or three or more. However, the workpiece 101 is carried into the workpiece mounting table device 1 or from the workpiece mounting table device 1. It is applicable if it is arranged so that it can be unloaded from the side. Further, the position at which the workpiece 101 is carried into the workpiece mounting device 1 and the position at which the workpiece 101 is carried out from the workpiece mounting device 1 may be different. In this case, it is necessary that the upper clamp member 15 is not provided in a portion where the workpiece 101 is carried into or out of the workpiece mounting table device 1.
リフト部材１６は、加工対象品１０１の周縁部を下から上に持ち上げるものであって、テーブルユニット５の上部に固定されたリフトガイド２０を上下方向に移動可能に貫通する。このようにリフト部材１６の上部がテーブルユニット５に嵌め込まれていることにより、リフト部材１６が、上記加工対象品１０１の周縁部を下から上に持ち上げる機能に加えて、上クランプユニット７をテーブルユニット５の周囲で直線的に昇降する昇降ガイドの機能を有する。このリフト部材１６の昇降ガイドとしての機能により、上クランプユニット７が円滑に昇降することができかつ加工対象品１０１の周縁部を適切に掴むことができる。リフトガイド２０は、テーブルユニット５の上部及び下クランプユニット８に上下方向及び直径方向外側に開口した溝状のガイド収容部２１に装着されている。ガイド収容部２１がテーブルユニット５と下クランプユニット８との直径方向外側に開口しているので、加工屑や加工中の冷却水がガイド収容部２１に溜まることなくテーブルユニット５及び下クランプユニット８から外部に排出できる。ガイド収容部２１の直径方向外側への開口は、テーブルユニット５の上部の上下方向の全部にわたることなく、上部が塞がれ、下部だけが開口した態様でもよい。つまり、ガイド収容部２１は加工屑や加工中の冷却水を下クランプユニット８から外部に排出する構成であればよい。また、ガイド収容部２１はリフトガイド２０を収容する代わりにリフト部材１６を昇降可能に嵌め込む構成でも適用可能である。リフトガイド２０を除去し、リフト部材１６をテーブルユニット５の上部に設けられたガイド収容部２１に相当する空間に昇降可能に嵌め込まれてもよい。リフト部材１６のリフトガイド２０よりも上部に突出する上部は、加工対象品１０１の周縁部の下面を点で支えるように、上に突出する半球形になっている。
The lift member 16 lifts the peripheral edge of the workpiece 101 from the bottom to the top, and penetrates the lift guide 20 fixed to the top of the table unit 5 so as to be movable in the vertical direction. Since the upper part of the lift member 16 is fitted in the table unit 5 in this way, the lift member 16 has the function of lifting the peripheral edge of the workpiece 101 from the bottom up, and the upper clamp unit 7 is mounted on the table. It has a function of a lifting guide that moves up and down linearly around the unit 5. Due to the function of the lift member 16 as the raising / lowering guide, the upper clamp unit 7 can be raised and lowered smoothly and the peripheral portion of the workpiece 101 can be properly grasped. The lift guide 20 is attached to the upper portion of the table unit 5 and the lower clamp unit 8 in a groove-shaped guide accommodating portion 21 that opens in the vertical direction and the outside in the diameter direction. Since the guide accommodating part 21 is opened to the outer side in the diameter direction between the table unit 5 and the lower clamp unit 8, the table unit 5 and the lower clamp unit 8 are not accumulated in the guide accommodating part 21 without processing waste and cooling water being processed. Can be discharged to the outside. The opening to the outer side in the diameter direction of the guide housing portion 21 may be an aspect in which the upper portion is closed and only the lower portion is opened without covering the entire upper and lower directions of the upper portion of the table unit 5. That is, the guide accommodating part 21 should just be the structure which discharges | emits process waste and the cooling water in process from the lower clamp unit 8 to the exterior. Moreover, the guide accommodating part 21 is applicable also in the structure which fits the lift member 16 so that raising / lowering is possible instead of accommodating the lift guide 20. FIG. The lift guide 20 may be removed, and the lift member 16 may be fitted in a space corresponding to the guide accommodating portion 21 provided in the upper part of the table unit 5 so as to be lifted and lowered. The upper part of the lift member 16 that protrudes above the lift guide 20 has a hemispherical shape that protrudes upward so as to support the lower surface of the peripheral edge of the workpiece 101 with a point.
リフト部材１６は、４個に限定されるものではないが、上クランプ部材１５と対応する位置の３個と、テーブルユニット５の中心を通って右方向に延びる直線上に配置された右側の１個の合計４個になっている。このように上クランプ部材１５の個数がリフト部材１６の個数よりも１個少なければ、上クランプ部材１５の個数とリフト部材１６の個数とが同じである場合よりも構造が簡単になる。リフト部材１６が最も上方に突出した場合でも、リフト部材１６の上部は加工対象物搭載台装置１に搬入又は加工対象物搭載台装置１から搬出される加工対象品１０１と衝突しないように加工対象品１０１の搬入経路及び搬出経路よりも下方に位置される。なお、リフト部材１６が３個設けられ、それら３個のリフト部材１６がテーブルユニット５の上下方向に延びる中心線を中心とする円周方向に分かれて設置されれば、加工対象品１０１の周縁部を下から水平状に持ち上げるように支持できるが、上記のように前後左右の合計４個設けられれば加工対象品１０１の周縁部を安定に支持することができる。つまり、リフト部材１６の個数は３個又は４個以上であってもよいが、加工対象品１０１を水平に安定して持ち上げることができるように配置されていれば適用可能である。
The number of the lift members 16 is not limited to four, but three at positions corresponding to the upper clamp member 15 and one on the right side arranged on a straight line extending rightward through the center of the table unit 5. There are a total of four. Thus, if the number of the upper clamp members 15 is one less than the number of the lift members 16, the structure becomes simpler than the case where the number of the upper clamp members 15 and the number of the lift members 16 are the same. Even when the lift member 16 protrudes upwards, the upper part of the lift member 16 is not to collide with the workpiece 101 to be carried into or out of the workpiece mounting table device 1. It is located below the carry-in route and the carry-out route of the product 101. If three lift members 16 are provided, and the three lift members 16 are separately installed in a circumferential direction centering on a center line extending in the vertical direction of the table unit 5, the periphery of the workpiece 101 is obtained. The part can be supported so as to be lifted horizontally from below, but if a total of four front, rear, left and right are provided as described above, the peripheral part of the workpiece 101 can be stably supported. That is, the number of the lift members 16 may be three or four or more, but is applicable as long as the workpiece 101 is arranged so as to be stably lifted horizontally.
テーブルユニット５の上部とクランプ基盤１４との間には、第２弾性部材１７が反発力により下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与するように設けられる。第２弾性部材１７は、２個のリフト部材１６の間に夫々配置される複数個であって、コイルばねになっている。下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与する弾性部材を第１弾性部材９と第２弾性部材１７とに分けて構成したことにより、装置の高さを可及的に小さくしても、第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力で下クランプユニット８のクランプ爪１８が加工対象品１０１の周縁部を適切に掴むことができる。装置の高さは実施形態１よりも大きくなるものの、下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与する弾性部材を第１弾性部材９と第２弾性部材１７とに分けることなく何れか一方の一種類としても適用可能である。
Between the upper part of the table unit 5 and the clamp base | substrate 14, it is provided so that the elasticity of the direction in which the 2nd elastic member 17 descend | falls with a repulsive force may be provided to the upper clamp unit 7. FIG. A plurality of second elastic members 17 are arranged between the two lift members 16 and are coil springs. Even if the height of the device is made as small as possible by dividing the elastic member for applying the elastic force in the descending direction to the upper clamp unit 7 into the first elastic member 9 and the second elastic member 17, The clamp claws 18 of the lower clamp unit 8 can appropriately grasp the peripheral edge of the workpiece 101 by the elasticity of the first elastic member 9 and the second elastic member 17. Although the height of the apparatus is larger than that of the first embodiment, either one of the elastic members for applying the elastic force in the descending direction to the upper clamp unit 7 is not divided into the first elastic member 9 and the second elastic member 17. One type is also applicable.
下クランプユニット８は、チャックベース１１の周縁部として昇降不可能にチャックベース１１と一体に構成されたので、下クランプユニット８がテーブルユニット５から独立して構成された場合に比べ、構造が簡単になるという利点がある。下クランプユニット８のクランプ受部１９は、加工対象品１０１の周縁部を掴む部分であって、チャックテーブル１２を囲む環状の水平面になっているので、加工対象品１０１のフレーム１０３を全体的に下から水平に支持することができる。クランプ受部１９は、チャックテーブル１２を囲む環状の水平面になっていなくてもよい。例えば、クランプ受部１９の環状の水平面に上方及び直径方向に開口する溝が１個又は円周方向に分かれて複数個形成されていてもよい。また、これらの直径方向の溝が円周状の溝で互いに接続されていてもよい。溝が設けられる場合、溝の上方の開口の幅は、フレーム１０３の水平な形状を保持する物性にもよるが、フレーム１０３を全体的に下から水平に支持することが可能な範囲に設定されれば適切であり、加工屑や加工中の冷却水がクランプ受部１９に溜まることなくクランプ受部１９から外部に排出できるうえ、加工済の加工対象品１０１を搬出する場合に溝の分だけクランプ受部１９とフレーム１０３との接触面積が減少していることにより、フレーム１０３をクランプ受部１９から容易に持ち上げることができる。また、クランプ受部１９がクランプ爪１８と対応した部分として設けられれば、下クランプユニット８が軽量となる。
Since the lower clamp unit 8 is configured integrally with the chuck base 11 so as not to move up and down as a peripheral portion of the chuck base 11, the structure is simpler than the case where the lower clamp unit 8 is configured independently of the table unit 5. There is an advantage of becoming. The clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8 is a portion that grips the peripheral portion of the workpiece 101 and has an annular horizontal surface that surrounds the chuck table 12, so that the frame 103 of the workpiece 101 is entirely disposed. It can be supported horizontally from below. The clamp receiving portion 19 may not be an annular horizontal plane surrounding the chuck table 12. For example, a single groove or a plurality of grooves may be formed on the annular horizontal surface of the clamp receiving portion 19 so as to open upward and in the diametrical direction. Further, these diametrical grooves may be connected to each other by a circumferential groove. When the groove is provided, the width of the opening above the groove is set within a range in which the frame 103 can be supported horizontally from the bottom, although it depends on the physical property of maintaining the horizontal shape of the frame 103. In this case, machining scraps and cooling water during processing can be discharged from the clamp receiving part 19 without collecting in the clamp receiving part 19, and when the processed workpiece 101 is carried out, only the amount of the groove is obtained. Since the contact area between the clamp receiving portion 19 and the frame 103 is reduced, the frame 103 can be easily lifted from the clamp receiving portion 19. Moreover, if the clamp receiving part 19 is provided as a part corresponding to the clamp nail | claw 18, the lower clamp unit 8 will become lightweight.
装置本体２は、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構により水平面内で前後方向に可動されるようになっている。装置本体２には、防水壁２３が設けられる。防水壁２３は、上下方向に貫通する筒状であってもよいが、装置本体２に立設された左右に対峙する一対になっている。防水壁２３の上には、防水カバー２４が防水壁２３の間の空間の上部を塞ぐように設けられる。
The apparatus main body 2 is configured to be moved in the front-rear direction within a horizontal plane by a horizontal drive mechanism (not shown) in the workpiece mounting apparatus 1. The apparatus main body 2 is provided with a waterproof wall 23. Although the waterproof wall 23 may have a cylindrical shape penetrating in the vertical direction, the waterproof wall 23 is a pair facing the left and right provided upright on the apparatus main body 2. A waterproof cover 24 is provided on the waterproof wall 23 so as to close an upper portion of the space between the waterproof walls 23.
防水カバー２４の上面は、左右方向の中心部から左側に下り勾配となりかつ中心部から右側に下り勾配となる水切り斜面に構成される。防水カバー２４の防水壁２３よりも左側に突出した左部には、防水突条２５が下方に突出し前後方向に連続して設けられて防水壁２３の方向への冷却水の回り込みを防ぐ。防水カバー２４の防水壁２３よりも右側に突出した右部には、防水突条２５が下方に突出し前後方向に連続して設けられて防水壁２３の方向への冷却水の回り込みを防ぐ。つまり、加工中の冷却水は、テーブルユニット５の上方から防水カバー２４に落下して水切り斜面の上を左側又は右側に流れて防水突条２５の外側面から装置本体２の側に落下し、防水壁２３の間の空間に入らない。
The upper surface of the waterproof cover 24 is configured as a draining slope having a downward slope from the center in the left-right direction to the left and a downward slope from the center to the right. On the left portion of the waterproof cover 24 that protrudes to the left of the waterproof wall 23, a waterproof protrusion 25 protrudes downward and is provided continuously in the front-rear direction to prevent cooling water from flowing in the direction of the waterproof wall 23. On the right part of the waterproof cover 24 that protrudes to the right of the waterproof wall 23, a waterproof protrusion 25 protrudes downward and is provided continuously in the front-rear direction to prevent the cooling water from flowing in the direction of the waterproof wall 23. That is, the cooling water being processed falls from above the table unit 5 to the waterproof cover 24, flows on the draining slope to the left or right, falls from the outer surface of the waterproof ridge 25 to the apparatus body 2, It does not enter the space between the waterproof walls 23.
上クランプユニット７に第１弾性部材９を設置した構造は、次のようになっている。第１弾性部材９は、テーブルユニット５に固定されたリフトガイド２０とリフト部材１６との内部に格納された、コイルばねになっている。リフト部材１６は、上部の小径部２６と下部の大径部２７とを備え、大径部２７の下部がクランプ基盤１４の上に固定される。リフトガイド２０の内部には弾性体収容部２８が設けられる。弾性体収容部２８は、リフトガイド２０の小径ガイド孔２９と大径ガイド孔３０との間に配置され、小径ガイド孔２９と大径ガイド孔３０との双方に貫通する。小径ガイド孔２９にはリフト部材１６の小径部２６が上下方向に移動可能に嵌め込まれ、大径ガイド孔３０にはリフト部材１６の大径部２７が上下方向に移動可能に嵌め込まれる。
The structure in which the first elastic member 9 is installed in the upper clamp unit 7 is as follows. The first elastic member 9 is a coil spring housed inside a lift guide 20 and a lift member 16 fixed to the table unit 5. The lift member 16 includes an upper small-diameter portion 26 and a lower large-diameter portion 27, and the lower portion of the large-diameter portion 27 is fixed on the clamp base 14. An elastic body accommodating portion 28 is provided inside the lift guide 20. The elastic body accommodating portion 28 is disposed between the small diameter guide hole 29 and the large diameter guide hole 30 of the lift guide 20 and penetrates both the small diameter guide hole 29 and the large diameter guide hole 30. A small diameter portion 26 of the lift member 16 is fitted in the small diameter guide hole 29 so as to be movable in the vertical direction, and a large diameter portion 27 of the lift member 16 is fitted in the large diameter guide hole 30 so as to be movable in the vertical direction.
第１弾性部材９が小径部２６の周囲を囲むように弾性体収容部２８に収容され、第１弾性部材９の上部が弾性体収容部２８の天井に接触し、第１弾性部材９の下部が大径部２７の上面に接触し、第１弾性部材９が上クランプユニット７に下降する方向の弾力を付与するようになっている。第１弾性部材９は、上クランプユニット７に内蔵される以外に、上クランプユニット７とテーブルユニット５又は下クランプユニット８とにわたり設けられるか又は昇降ガイドとテーブルユニット５とにわたり設けても適用可能である。
The first elastic member 9 is accommodated in the elastic body accommodating portion 28 so as to surround the small diameter portion 26, the upper portion of the first elastic member 9 contacts the ceiling of the elastic body accommodating portion 28, and the lower portion of the first elastic member 9 Is in contact with the upper surface of the large-diameter portion 27, and the first elastic member 9 is provided with elasticity in a downward direction to the upper clamp unit 7. The first elastic member 9 may be provided between the upper clamp unit 7 and the table unit 5 or the lower clamp unit 8 or may be provided between the lifting guide and the table unit 5 in addition to being incorporated in the upper clamp unit 7. It is.
なお、リフトガイド２０には、リフトガイド２０をテーブルユニット５に固定するための取付部３１が設けられる。例えば、ボルトが下方から取付部３１を経由してテーブルユニット５の上部に装着されてリフトガイド２０をテーブルユニット５に固定する。
The lift guide 20 is provided with an attachment portion 31 for fixing the lift guide 20 to the table unit 5. For example, a bolt is attached to the upper portion of the table unit 5 from below through the attachment portion 31 to fix the lift guide 20 to the table unit 5.
図２を参照し、加工対象物搭載台装置１の内部構造について説明する。図２は、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止しかつ加工対象品１０１が配置されていない状態である。チャックテーブル１２の多孔質部材１３で覆われた上面には、上方に開口する多数の溝３５が左右方向及び前後方向に交差する格子状に設けられる。多数の溝３５の左右方向の端部及び前後方向の端部は塞がれている。多数の溝３５は、左右方向及び前後方向に交差した部分で互いにつながっている。図２には、左右方向に延びた１つの溝３５と前後方向に延びた多数の溝３５とが互いに交差した部分でつながった状態の図示は省略されていない。チャックテーブル１２とチャックベース１１と接触する部分を構成するチャックテーブル１２の下面とチャックベース１１の上面との間には、図外のパッキンを設けて、気密性、水密性を持たせてもよい。
With reference to FIG. 2, the internal structure of the workpiece mounting base apparatus 1 will be described. FIG. 2 shows a state in which the lift drive mechanism 4 stops at the lift limit position and the workpiece 101 is not arranged. On the upper surface of the chuck table 12 covered with the porous member 13, a large number of grooves 35 that open upward are provided in a lattice shape that intersects in the left-right direction and the front-rear direction. The end portions in the left-right direction and the end portions in the front-rear direction of the numerous grooves 35 are closed. The multiple grooves 35 are connected to each other at portions intersecting in the left-right direction and the front-rear direction. In FIG. 2, the illustration of a state in which one groove 35 extending in the left-right direction and a large number of grooves 35 extending in the front-rear direction are connected at portions intersecting each other is not omitted. An unillustrated packing may be provided between the lower surface of the chuck table 12 and the upper surface of the chuck base 11 that constitutes a portion in contact with the chuck table 12 and the chuck base 11 to provide airtightness and watertightness. .
チャックテーブル１２の中央部、チャックベース１１の中央部、回転駆動機構３の出力部の中央部には、吸引孔部３６；３７；３８が個別に設けられる。これらの吸引孔部３６乃至３８は、互いに接続されている。回転駆動機構３の吸引孔部３８は、図外の真空ポンプのような吸引発生源に図外のバルブを介して接続される。そして、図外のバルブが大気開放側から吸引側に切り替わることで、吸引発生源からの吸引動作により多孔質部材１３の周囲に存在する外部の空気が多孔質部材１３と多数の溝３５及び吸引孔部３６乃至３８を経由して吸引されて加工対象品１０１の中央部を多孔質部材１３に吸着し、バルブが吸引側から大気開放側に切り替わることで、多孔質部材１３と多数の溝３５及び吸引孔部３６乃至３８が大気に満たされて加工対象品１０１の中央部を解放する。
Suction hole portions 36; 37; 38 are individually provided in the central portion of the chuck table 12, the central portion of the chuck base 11, and the central portion of the output portion of the rotation drive mechanism 3. These suction holes 36 to 38 are connected to each other. The suction hole 38 of the rotation drive mechanism 3 is connected to a suction generation source such as a vacuum pump (not shown) via a valve (not shown). Then, when the valve (not shown) is switched from the atmosphere opening side to the suction side, external air existing around the porous member 13 is sucked from the porous member 13 by the suction operation from the suction generation source and the numerous grooves 35 and the suction. The porous member 13 and the plurality of grooves 35 are sucked through the holes 36 to 38 to adsorb the central portion of the workpiece 101 to the porous member 13 and the valve is switched from the suction side to the atmosphere opening side. In addition, the suction holes 36 to 38 are filled with the air to release the central portion of the workpiece 101.
チャックベース１１の中央部、回転駆動機構３の出力部の中央部には、吸引孔部３６乃至３８に置換される図外の貫通孔を設け、チャックテーブル１２の中央部に図外のホース装着部を設け、そのホース装着部に真空用ホースを接続し、その真空用ホースを上記貫通孔を経由して回転駆動機構３の外部に引き出して上記バルブに接続することも考えられる。
An unillustrated through hole is provided in the central portion of the chuck base 11 and the central portion of the output portion of the rotary drive mechanism 3, and a non-illustrated hose is attached to the central portion of the chuck table 12. It is also conceivable that a vacuum hose is connected to the hose mounting portion, and the vacuum hose is pulled out of the rotary drive mechanism 3 via the through hole and connected to the valve.
チャックテーブル１２の加工対象品１０１を下から支える部分を構成する上面は、多孔質部材１３の上面及び多孔質部材１３の上面と同一の水平面に位置する環状面３９とにより構成されていて、加工対象品１０１の中央部を下から支える部分を構成する。
The upper surface that constitutes the portion of the chuck table 12 that supports the workpiece 101 from below is formed by an upper surface of the porous member 13 and an annular surface 39 that is located on the same horizontal plane as the upper surface of the porous member 13. The part which supports the center part of the target product 101 from below is configured.
また、下クランプユニット８のクランプ受部１９は、多孔質部材１３の上面と環状面３９とよりも下位に設けられる。クランプ受部１９と環状面３９とが互いに斜面４０で繋がっている。斜面４０は、環状面３９からクランプ受部１９へ下り勾配になっている。
The clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8 is provided below the upper surface of the porous member 13 and the annular surface 39. The clamp receiving portion 19 and the annular surface 39 are connected to each other by a slope 40. The inclined surface 40 is inclined downward from the annular surface 39 to the clamp receiving portion 19.
チャックベース１１は、上部の直径が最大で、下部の直径が最小で、中間部の直径が上部の直径と下部の直径との中間になっている。チャックベース１１の下部は、防水カバー２４に設けられた貫通孔４１を上下方向に貫通する。防水カバー２４の貫通孔４１の周囲には環状壁４２が上方に突出するように設けられる。チャックベース１１の中間部には、防水カバー２４の環状壁４２を囲む環状壁４３が下方に突出するように設けられる。このように環状壁４２と環状壁４３とが上下方向で互い違いとなって直径方向で対峙した構造になっているので、冷却水がチャックベース１１の中間部の外側からチャックベース１１の下部の方向に侵入しないようになっている。
The chuck base 11 has a maximum diameter at the top, a minimum diameter at the bottom, and a middle diameter between the upper diameter and the lower diameter. The lower part of the chuck base 11 penetrates a through hole 41 provided in the waterproof cover 24 in the vertical direction. An annular wall 42 is provided around the through hole 41 of the waterproof cover 24 so as to protrude upward. An annular wall 43 surrounding the annular wall 42 of the waterproof cover 24 is provided at an intermediate portion of the chuck base 11 so as to protrude downward. As described above, the annular wall 42 and the annular wall 43 are alternately arranged in the vertical direction so as to face each other in the diametrical direction, so that the cooling water flows from the outside of the intermediate portion of the chuck base 11 to the lower portion of the chuck base 11. It is designed not to invade.
昇降駆動機構４は、昇降駆動源４４とプッシュユニット４５とを備える。昇降駆動源４４は、エアーシリンダーを例示したが、エアーシリンダーの出力部材であるピストンロッド４６に相当するロッドをモータの回転運動で直線的に昇降駆動する電動式にしても適用できる。ピストンロッド４６が垂直状に昇降駆動されるように、昇降駆動源４４としてのエアーシリンダーのシリンダー容器が装置本体２又は防水壁２３に固定される。昇降駆動源４４は複数個でもよいが、実施形態１では昇降駆動源４４が１個であるので、複数個の場合に比べて昇降駆動に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどの構造が簡単になる。
The lift drive mechanism 4 includes a lift drive source 44 and a push unit 45. The elevating drive source 44 is an air cylinder. However, the elevating drive source 44 can be applied to an electric type in which a rod corresponding to the piston rod 46, which is an output member of the air cylinder, is linearly driven up and down by the rotational movement of the motor. A cylinder container of an air cylinder as the lifting drive source 44 is fixed to the apparatus main body 2 or the waterproof wall 23 so that the piston rod 46 is vertically driven. There may be a plurality of elevating drive sources 44, but in the first embodiment, there is one elevating drive source 44. Therefore, as compared with a plurality of elevating drive sources 44, a cable for electric drive required for elevating drive and an air drive source are required. The structure of an air tube etc. becomes simple.
プッシュユニット４５は、上クランプユニット７を昇降駆動機構４の昇降駆動に伴って昇降させるものであって、プッシュ基盤４７とプッシュ部材４８とを備える。プッシュ基盤４７は、装置本体２と防水カバー２４と防水壁２３と囲まれる空間に、防水カバー２４の貫通孔４１よりも下方に突出するチャックベース１１の下部を囲むように配置された部材であって、ピストンロッド４６の上部に結合される。プッシュ部材４８は、上クランプユニット７、具体的にはクランプ基盤１４を下から突き上げるものであって、プッシュ基盤４７に立設され、防水カバー２４に固定されたプッシュガイド４９を上下方向に移動可能に貫通する。要するに、昇降駆動機構４の出力部材であるピストンロッド４６には上クランプユニット７を昇降駆動源４４の昇降駆動に伴って昇降させるプッシュユニット４５が設けられているので、上クランプユニット７が加工対象品１０１の周縁部を水平に支持するようにプッシュユニット４５で上クランプユニット７を昇降することができる。プッシュガイド４９の上部は、防水カバー２４よりも上方に突出し、冷却水がプッシュガイド４９とプッシュ部材４８との間の隙間や防水カバー２４とプッシュガイド４９との間の隙間から防水カバー２４の下方に侵入しないようになっている。なお、チャックベース１１とチャックテーブル１２の接触面間、リフト部材１６とリフトガイド２０と接触面間、プッシュ部材４８とプッシュガイド４９との接触面間などには、図外のパッキンを設けて防水性能を高くしてもよい。
The push unit 45 raises and lowers the upper clamp unit 7 with the raising / lowering drive of the raising / lowering drive mechanism 4, and includes a push base 47 and a push member 48. The push base 47 is a member disposed in a space surrounded by the apparatus main body 2, the waterproof cover 24, and the waterproof wall 23 so as to surround a lower portion of the chuck base 11 that protrudes downward from the through hole 41 of the waterproof cover 24. And coupled to the upper portion of the piston rod 46. The push member 48 pushes up the upper clamp unit 7, specifically, the clamp base 14 from below. The push member 48 stands on the push base 47 and can move a push guide 49 fixed to the waterproof cover 24 in the vertical direction. To penetrate. In short, the piston rod 46, which is an output member of the lifting drive mechanism 4, is provided with a push unit 45 that lifts and lowers the upper clamp unit 7 in accordance with the lifting drive of the lifting drive source 44. The upper clamp unit 7 can be moved up and down by the push unit 45 so as to horizontally support the peripheral portion of the product 101. The upper part of the push guide 49 protrudes above the waterproof cover 24, and the cooling water is below the waterproof cover 24 from the gap between the push guide 49 and the push member 48 and the gap between the waterproof cover 24 and the push guide 49. It is designed not to invade. In addition, a non-illustrated packing is provided between the contact surfaces of the chuck base 11 and the chuck table 12, between the lift member 16 and the lift guide 20 and the contact surface, and between the contact surfaces of the push member 48 and the push guide 49. The performance may be increased.
次に、図２乃至図５を参照し、加工対象物搭載台装置１の動作について、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態から下降限度位置に停止するまでを例示して説明する。先ず、図２に示すように、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態では、昇降駆動機構４のピストンロッド４６がシリンダー容器よりも最も上方に突出し、プッシュ部材４８が第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力に抵抗して上クランプユニット７を下から突き上げて、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の最も上の位置に存在する多孔質部材１３の上面よりも上方に突出して停止し、上クランプユニット７のクランプ爪１８と下クランプユニット８のクランプ受部１９との間、具体的には、クランプ爪１８とリフト部材１６との上下方向の間には加工対象品１０１の周縁部の収容可能な上下方向の隙間１０が形成された態様である。
Next, with reference to FIG. 2 thru | or FIG. 5, operation | movement of the workpiece mounting base apparatus 1 is demonstrated exemplifying from the state which the raising / lowering drive mechanism 4 stopped to the raise limit position to the fall limit position. First, as shown in FIG. 2, in a state where the elevating drive mechanism 4 is stopped at the ascending limit position, the piston rod 46 of the elevating drive mechanism 4 protrudes upwards from the cylinder container, and the push member 48 is the first elastic member 9. The upper clamp unit 7 is pushed up from below while resisting the elastic force of the second elastic member 17 and the upper end of the lift member 16 is above the upper surface of the porous member 13 present at the uppermost position of the table unit 5. It protrudes and stops and is a workpiece to be processed between the clamp claw 18 of the upper clamp unit 7 and the clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8, specifically between the clamp claw 18 and the lift member 16. 101 is a mode in which a gap 10 in the vertical direction that can be accommodated in the peripheral portion of 101 is formed.
そして、図３に示すように、クランプ爪１８とリフト部材１６との間の上下方向の隙間１０には、加工対象品１０１が横方向（図３では右側）より搬入され、加工対象品１０１の周縁部が上記隙間１０に配置され、加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上に配置されると、上記加工対象品１０１の搬入動作が停止する。その後、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載される。その場合、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の最も上の位置に存在する多孔質部材１３の上面よりも上方に突出して停止しているので、加工対象品１０１の中央部はテーブルユニット５より上方に離れている。つまり、リフト部材１６が加工対象品１０１をテーブルユニット５から離して下から支持した態様である。
As shown in FIG. 3, the workpiece 101 is carried into the vertical gap 10 between the clamp claw 18 and the lift member 16 from the lateral direction (right side in FIG. 3), and the workpiece 101 When the peripheral edge portion is disposed in the gap 10 and the center portion of the workpiece 101 is disposed on the table unit 5, the carry-in operation of the workpiece 101 is stopped. Thereafter, the peripheral edge of the workpiece 101 is mounted on the lift member 16. In that case, since the upper end of the lift member 16 protrudes above the upper surface of the porous member 13 existing at the uppermost position of the table unit 5 and stops, the center portion of the workpiece 101 is more than the table unit 5. Separated upward. In other words, the lift member 16 is a mode in which the workpiece 101 is separated from the table unit 5 and supported from below.
次に、図３に示す状態から昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７が自重及び第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力で下降し、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の多孔質部材１３の上面と同一の高さより下方に引き込まれることにより、加工対象品１０１の中央部が多孔質部材１３の上に搭載される。
Next, as the elevating drive mechanism 4 is driven downward from the state shown in FIG. 3, the upper clamp unit 7 is lowered by its own weight and the elasticity of the first elastic member 9 and the second elastic member 17. By pulling the upper end downward from the same height as the upper surface of the porous member 13 of the table unit 5, the central portion of the workpiece 101 is mounted on the porous member 13.
さらに、図４に示すように、昇降駆動機構４の下降駆動に伴い上クランプユニット７が下降し続けるので、リフト部材１６の上端が下クランプユニット８のクランプ受部１９より下方に引き込まれた後、上クランプユニット７のクランプ爪１８が加工対象品１０１の周縁部を上からクランプ受部１９の方向に押しつつ、上クランプユニット７のクランプ爪１８と下クランプユニット８のクランプ受部１９とで加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する。これにより、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持し、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の上下方向から支持した態様になる。
Further, as shown in FIG. 4, the upper clamp unit 7 continues to descend as the elevating drive mechanism 4 is lowered, so that the upper end of the lift member 16 is pulled downward from the clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8. The clamp claw 18 of the upper clamp unit 7 pushes the peripheral edge of the workpiece 101 from above in the direction of the clamp receiver 19, and the clamp claw 18 of the upper clamp unit 7 and the clamp receiver 19 of the lower clamp unit 8 The peripheral part of the workpiece 101 is supported so as to be grasped from the vertical direction. Thus, the table unit 5 supports the center of the workpiece 101 from below, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 support the workpiece 101 from the vertical direction.
図４に示すように、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から支持した場合において、クランプ爪１８がチャックテーブル１２の加工対象品１０１の中央部を下から支える部分を構成する上面よりも上方に突出しないようになっている。このようにクランプ爪１８とクランプ受部１９とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する場合において、クランプ爪１８がチャックテーブル１２の加工対象品１０１の中央部を下から支える部分を構成する上面つまり多孔質部材１３の上面及び環状面３９よりも上方に突出しないことにより、加工対象品１０１を図６に示すダイシング装置５１で切断する場合、ダイシング装置５１の水平面で左右方向又は前後方向に直線的に移動するダイシングブレード６２がクランプ爪１８に干渉しないようになる。
As shown in FIG. 4, when the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 support the peripheral portion of the workpiece 101 from above and below, the clamp pawl 18 moves the central portion of the workpiece 101 on the chuck table 12. It does not protrude upward from the upper surface constituting the portion supported from below. In this way, when the clamp claw 18 and the clamp receiving portion 19 support the peripheral portion of the workpiece 101 from above and below, the clamp claw 18 supports the central portion of the workpiece 101 of the chuck table 12 from below. When the workpiece 101 is cut by the dicing device 51 shown in FIG. 6 by not projecting upward from the upper surface constituting the supporting portion, that is, the upper surface of the porous member 13 and the annular surface 39, the horizontal surface of the dicing device 51 The dicing blade 62 that moves linearly in the direction or the front-rear direction does not interfere with the clamp pawl 18.
さらに続き、図４に示す状態から昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、図５に示すように、プッシュユニット４５が上クランプユニット７から下方に離れることにより、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となった後、上記昇降駆動機構４の下降駆動が停止する。この停止した位置が昇降駆動機構４の下降限度位置である。
Further, as the elevating drive mechanism 4 is driven to descend from the state shown in FIG. 4, the elevating drive mechanism 4 is moved upward from the upper clamp unit 7 as shown in FIG. After reaching the edge-cut state mechanically separated from the unit 7 and the table unit 5, the descending drive of the lifting drive mechanism 4 is stopped. This stopped position is the lower limit position of the elevating drive mechanism 4.
また、図５に示す状態において、加工対象品１０１に加工が行われる。その後、昇降駆動機構４が上昇駆動して上クランプユニット７を上クランプユニット７の自重と第１弾性部材９の弾力及び第２弾性部材１７の弾力に抵抗しつつ下から突き上げ、図３に示すように、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の最も上の位置に存在する多孔質部材１３の上面よりも上方に突出して加工済の加工対象品１０１をテーブルユニット５より離して加工対象品１０１の周縁部を下から支持し、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止する。そして、加工対象品１０１がクランプ爪１８とリフト部材１６との間の上下方向の隙間１０から横方向(図３では右側）に搬出されることにより、図２に示す状態になる。
Further, in the state shown in FIG. 5, the workpiece 101 is processed. Thereafter, the elevation drive mechanism 4 is driven upward to push up the upper clamp unit 7 from below while resisting the weight of the upper clamp unit 7, the elasticity of the first elastic member 9, and the elasticity of the second elastic member 17, as shown in FIG. As described above, the upper end of the lift member 16 protrudes upward from the upper surface of the porous member 13 present at the uppermost position of the table unit 5, and the processed workpiece 101 is separated from the table unit 5 to be processed 101. Is supported from below, and the elevating drive mechanism 4 stops at the upper limit position. Then, the workpiece 101 is unloaded from the gap 10 in the vertical direction between the clamp claw 18 and the lift member 16 in the lateral direction (right side in FIG. 3), and the state shown in FIG.
図６を参照し、実施形態１の加工対象物搭載台装置１を有するダイシング装置５１の構成について説明する。ダイシング装置５１は、土台としての装置躯体５２に、加工対象物搭載台装置１、キャリアユニット５３、搬送ロボット５４、工具ユニット５５を備える。例えば、加工対象物搭載台装置１が装置躯体５２の左側に配置され、キャリアユニット５３が装置躯体５２の前部右側に配置され、搬送ロボット５４がキャリアユニット５３よりも後側に配置され、工具ユニット５５が加工対象物搭載台装置１や搬送ロボット５４よりも上方で装置躯体５２の後部に配置される。工具ユニット５５を昇降する駆動機構や工具ユニット５５を左右に可動する駆動機構は、装置躯体５２に設けられたカバー５６で被覆される。カバー５６の前面には操作パネル５７が設けられる。キャリアユニット５３は加工前材料収容部５８と加工済材料収容部５９とを備える。
With reference to FIG. 6, the structure of the dicing apparatus 51 which has the workpiece mounting base apparatus 1 of Embodiment 1 is demonstrated. The dicing device 51 includes a workpiece mounting base device 1, a carrier unit 53, a transfer robot 54, and a tool unit 55 in an apparatus housing 52 as a base. For example, the workpiece mounting base device 1 is disposed on the left side of the device housing 52, the carrier unit 53 is disposed on the front right side of the device housing 52, the transfer robot 54 is disposed on the rear side of the carrier unit 53, and the tool The unit 55 is disposed behind the apparatus housing 52 above the workpiece mounting table device 1 and the transfer robot 54. A drive mechanism that moves the tool unit 55 up and down and a drive mechanism that moves the tool unit 55 to the left and right are covered with a cover 56 provided on the apparatus housing 52. An operation panel 57 is provided on the front surface of the cover 56. The carrier unit 53 includes a pre-processing material container 58 and a processed material container 59.
多数の加工対象品１０１がキャリアユニット５３の加工前材料収容部５８に上下方向に別々に水平に離れた板状となって積層状に収容される。加工対象品１０１が加工前材料収容部５８に収容される場合、加工対象品１０１における半導体ウエハー１０２の切断予定線１０５の描かれた表面が上方に向けられ、加工対象品１０１におけるフレーム１０３の左右部が加工前材料収容部５８における左右の縦壁の対峙する内面に上下方向に別々に離れて設けられた溝に嵌め込まれた態様である。フレーム１０３は、加工対象品１０１の周縁部に相当する。
A large number of workpieces 101 are accommodated in a laminated form in the pre-processing material accommodating portion 58 of the carrier unit 53 in the form of plates that are separated horizontally in the vertical direction. When the workpiece 101 is accommodated in the pre-processing material receptacle 58, the surface of the workpiece 101 on which the planned cutting line 105 of the semiconductor wafer 102 is drawn is directed upward, and the left and right sides of the frame 103 in the workpiece 101 are left and right. This is a mode in which the portion is fitted in a groove provided separately in the vertical direction on the opposing inner surfaces of the left and right vertical walls in the pre-processing material container 58. The frame 103 corresponds to the peripheral edge of the workpiece 101.
加工対象物搭載台装置１の動作について説明する。先ず、加工対象品１０１が加工前材料収容部５８に収容された状態において、人が操作パネル５７の加工開始スイッチのような操作部を操作する。すると、搬送ロボット５４のロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の回転駆動機構により加工対象物搭載台装置１の方向に向いた実線で示す状態から水平方向で例えば左側に９０度回転して加工前材料収容部５８の方向に向きを変えつつ搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工前材料収容部５８の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０が加工前材料収容部５８の積層された最上位置における加工対象品１０１と対応するように搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。また、ロボットハンド６０は開閉駆動機構６１により開いている。開いた状態のロボットハンド６０が加工前材料収容部５８の最上位置の加工対象品１０１におけるフレーム１０３の一部を上下方向から掴むことが可能なようにフレーム１０３の一部と対応した位置で停止し、ロボットハンド６０は開閉駆動機構６１により閉じてフレーム１０３の一部を上下方向から掴むように支持する。
Operation | movement of the workpiece mounting base apparatus 1 is demonstrated. First, a person operates an operation unit such as a processing start switch of the operation panel 57 in a state where the workpiece 101 is stored in the pre-processing material storage unit 58. Then, the robot hand 60 of the transfer robot 54 is rotated 90 degrees in the horizontal direction from the state indicated by the solid line facing the direction of the workpiece mounting table device 1 by a rotation driving mechanism (not shown) in the transfer robot 54, for example, to the left. The material is moved in the direction of the pre-processing material container 58 by a horizontal driving mechanism (not shown) in the transport robot 54 while changing the direction in the direction of the front material container 58. In that case, the position of the robot hand 60 is adjusted in the vertical direction by a lifting drive mechanism (not shown) in the transport robot 54 so as to correspond to the workpiece 101 at the uppermost position where the pre-processing material container 58 is stacked. The robot hand 60 is opened by an opening / closing drive mechanism 61. The robot hand 60 in the opened state stops at a position corresponding to a part of the frame 103 so that the part of the frame 103 in the workpiece 101 at the uppermost position of the pre-processing material container 58 can be grasped from the vertical direction. Then, the robot hand 60 is closed by the opening / closing drive mechanism 61 and supported so as to grasp a part of the frame 103 from above and below.
次に、フレーム１０３を支持したままロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工前材料収容部５８から後方へと移動して加工対象品１０１が加工前材料収容部５８から引き抜かれた後、当該ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の回転駆動機構により加工前材料収容部５８の方向に向いた状態からロボットハンド６０を水平方向で例えば右側に９０度回転して実線で示すように加工対象物搭載台装置１の方向に向きを変えつつ搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０に支持された加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７と下クランプユニット８との間の上下方向の隙間１０に搬入されように、ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。
Next, the robot hand 60 is moved backward from the pre-processing material container 58 by the horizontal drive mechanism (not shown) of the transport robot 54 while supporting the frame 103, and the workpiece 101 is pulled from the pre-processing material container 58. After being pulled out, the robot hand 60 is rotated 90 degrees in the horizontal direction, for example, 90 degrees in the right direction from the state in which the robot hand 60 is directed toward the pre-processing material container 58 by a rotation driving mechanism (not shown) in the transport robot 54, and is indicated by a solid line. As shown in the figure, the transfer robot 54 moves in the direction of the workpiece mounting table apparatus 1 by a horizontal drive mechanism (not shown) while changing its direction in the direction of the workpiece mounting table apparatus 1. In that case, the robot hand 60 so that the workpiece 101 supported by the robot hand 60 is carried into the vertical gap 10 between the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 in the workpiece mounting apparatus 1. Is adjusted in the vertical direction by a lift drive mechanism (not shown) in the transport robot 54.
そして、ロボットハンド６０に支持された加工対象品１０１のフレーム１０３が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７と下クランプユニット８との間の上下方向の隙間１０に収容され、当該加工対象品１０１の半導体ウエハー１０２が加工対象物搭載台装置１におけるテーブルユニット５の上に配置された位置でロボットハンド６０が停止した後、ロボットハンド６０は開閉駆動機構６１により開くことにより、加工対象品１０１の半導体ウエハー１０２の裏面に接合されたダイシングテープ１０４の部分がテーブルユニット５で下から支持される。その後、加工対象物搭載台装置１における図１に示す昇降駆動機構４が下降駆動し、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１のフレーム１０３を上下方向から掴むように支持する。その後、図６に示すロボットハンド６０が開いたまま搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１から右側へと実線で示す転回位置に移動する。
Then, the frame 103 of the workpiece 101 supported by the robot hand 60 is accommodated in the vertical gap 10 between the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 in the workpiece mounting device 1, and the workpiece After the robot hand 60 stops at a position where the semiconductor wafer 102 of the product 101 is placed on the table unit 5 in the workpiece mounting table apparatus 1, the robot hand 60 is opened by the opening / closing drive mechanism 61, thereby A portion of the dicing tape 104 bonded to the back surface of the semiconductor wafer 102 is supported from below by the table unit 5. Thereafter, the lift drive mechanism 4 shown in FIG. 1 in the workpiece mounting device 1 is driven downward, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 support the frame 103 of the workpiece 101 so as to grip the frame 103 from above and below. . Thereafter, the robot hand 60 shown in FIG. 6 is moved to the turning position indicated by the solid line from the workpiece mounting table device 1 to the right side by the horizontal drive mechanism (not shown) in the transport robot 54 with the robot hand 60 open.
上記のように加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１に搭載され、ロボットハンド６０が実線で示す転回位置に移動した後、加工対象物搭載台装置１が加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構により実線で示す転回位置から工具ユニット５５の方向に移動し、加工対象品１０１が工具ユニット５５の真下に到達すると、加工対象物搭載台装置１が停止する。また、加工対象物搭載台装置１における図外の吸引発生源による吸引動作により半導体ウエハー１０２の裏面に接合されたダイシングテープ１０４の部分がテーブルユニット５の多孔質部材１３に吸引吸着されるように支持される。この吸引発生源による吸引動作は、段落００４３における上クランプユニット７と下クランプユニット８とによる支持から下記撮像ユニットによる撮像開始前までに行われば、加工対象物搭載台装置１に対する加工対象品１０１の位置がずれるこがなく、撮像による位置調整が正確になる。
As described above, after the workpiece 101 is mounted on the workpiece mounting table device 1 and the robot hand 60 moves to the turning position indicated by the solid line, the workpiece mounting device 1 is in the workpiece mounting table device 1. When the workpiece 101 moves from the turning position indicated by the solid line to the tool unit 55 by a horizontal driving mechanism (not shown) and reaches directly below the tool unit 55, the workpiece mounting table device 1 stops. Further, the portion of the dicing tape 104 bonded to the back surface of the semiconductor wafer 102 by the suction operation by the suction generation source (not shown) in the workpiece mounting device 1 is sucked and sucked to the porous member 13 of the table unit 5. Supported. If the suction operation by the suction source is performed from the support by the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 in the paragraph 0043 to before the start of imaging by the imaging unit described below, the workpiece 101 for the workpiece mounting device 1 is processed. Therefore, the position adjustment by imaging is accurate.
上記のように加工対象物搭載台装置１が停止した状態において、工具ユニット５５の周囲に配置されたデジタルカメラのような図外の撮像ユニットが加工対象品１０１の切断予定線１０５の描かれた表面を撮像した検出画像を図外の画像処理ユニットに出力し、当該画像処理ユニットが上記撮像ユニットから入力された検出画像の切断予定線１０５を上記画像処理ユニットのメモリにデータとして格納された切断予定基準位置と比較し、その比較結果に基づき上記画像処理ユニットが工具ユニット５５における図外の水平駆動機構を駆動して工具ユニット５５における切断工具であるダイシングブレード６２が加工対象品１０１における切断予定線１０５の最も左又は右に位置する１本から後方に延びる仮想直線上に到達するように工具ユニット５５を位置調整する。
In the state where the workpiece mounting device 1 is stopped as described above, an imaging unit (not shown) such as a digital camera arranged around the tool unit 55 is drawn with the planned cutting line 105 of the workpiece 101. A detected image obtained by imaging the surface is output to an image processing unit (not shown), and the image processing unit stores the planned cutting line 105 of the detected image input from the imaging unit as data stored in the memory of the image processing unit. The image processing unit drives a horizontal drive mechanism (not shown) in the tool unit 55 based on the comparison result, and the dicing blade 62 as a cutting tool in the tool unit 55 is scheduled to cut in the workpiece 101. The tool unit so as to reach a virtual straight line extending backward from the one located on the leftmost or right side of the line 105. The door 55 to adjust position.
この位置調整により、例えば、ダイシングブレード６２の真下には加工対象品１０１のフレーム１０３の一部が配置され、ダイシングブレード６２が加工対象品１０１の半導体ウエハー１０２よりも後方に外れた位置に位置している。また、工具ユニット５５における図外の昇降駆動機構は、ダイシングブレード６２の最も下部が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７の加工対象品１０１を支持している部分の上面よりも上位でかつ半導体ウエハー１０２を切断することが可能な位置となるように、工具ユニット５５を位置調整する。上記上クランプユニット７の加工対象品１０１を支持している部分の上面は、図４に示すクランプ爪１８の上面である。
By this position adjustment, for example, a part of the frame 103 of the workpiece 101 is disposed immediately below the dicing blade 62, and the dicing blade 62 is positioned at a position behind the semiconductor wafer 102 of the workpiece 101. ing. Further, the lifting drive mechanism (not shown) in the tool unit 55 is higher than the upper surface of the part where the lowermost part of the dicing blade 62 supports the workpiece 101 of the upper clamp unit 7 in the workpiece mounting device 1. Further, the position of the tool unit 55 is adjusted so that the semiconductor wafer 102 can be cut. The upper surface of the portion supporting the workpiece 101 of the upper clamp unit 7 is the upper surface of the clamp claw 18 shown in FIG.
図６に戻り、上記各位置調整が終了すると、工具ユニット５５の回転駆動機構３がダイシングブレード６２を工具ユニット５５の左右方向に延びる中心線を回転中心として垂直方向に回転するともに、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構が加工対象物搭載台装置１を後方に移動する。このダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方への移動とにより、ダイシングブレード６２が加工対象品１０１における切断予定線１０５の最も左又は右に位置する１本に沿って半導体ウエハー１０２を切断する。この１回目の切断が終了し、ダイシングブレード６２が半導体ウエハー１０２よりも前方に外れた位置に位置すると、工具ユニット５５における図外の水平駆動機構を駆動して工具ユニット５５のダイシングブレード６２が上記加工対象品１０１の切断の済んだ切断予定線１０５の隣に位置する１本から前方に延びる仮想直線上に到達するように工具ユニット５５を位置調整する。
Returning to FIG. 6, when each position adjustment is completed, the rotation drive mechanism 3 of the tool unit 55 rotates the dicing blade 62 in the vertical direction around the center line extending in the left-right direction of the tool unit 55 and the workpiece. A horizontal driving mechanism (not shown) in the mounting table device 1 moves the workpiece mounting table device 1 backward. Due to the rotation of the dicing blade 62 and the rearward movement of the workpiece mounting table device 1, the semiconductor wafer is moved along the one where the dicing blade 62 is located on the leftmost or right side of the planned cutting line 105 in the workpiece 101. 102 is cut. When the first cutting is completed and the dicing blade 62 is positioned forward of the semiconductor wafer 102, the horizontal driving mechanism (not shown) in the tool unit 55 is driven to cause the dicing blade 62 of the tool unit 55 to move to the above position. The position of the tool unit 55 is adjusted so as to reach a virtual straight line extending forward from one next to the planned cutting line 105 where the workpiece 101 has been cut.
その状態において、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の前方への移動とにより、ダイシングブレード６２が上記隣に位置する１本の切断予定線１０５に沿って半導体ウエハー１０２を切断する。この２回目の切断が終了し、ダイシングブレード６２が半導体ウエハー１０２よりも後方に外れた位置に位置すると、工具ユニット５５における図外の水平駆動機構を駆動して工具ユニット５５のダイシングブレード６２が上記加工対象品１０１の切断の済んだ切断予定線１０５の隣に位置する１本から後方に延びる仮想直線上に到達するように工具ユニット５５を位置調整した後に、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方への移動とにより、ダイシングブレード６２が上記隣に位置する１本の切断予定線１０５に沿って半導体ウエハー１０２を切断する。このように、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方又は前方への移動とを繰り返すことにより、左右方向に並んだ切断予定線１０５の全部について右隣り又は左隣りへと１本ずつ位置をずらしながら半導体ウエハー１０２を切断する。なお、ダイシングブレード６２により半導体ウエハー１０２を切断する場合、ダイシングブレード６２が超音波振動に共振して直径方向に振動するようにしてもよい。
In this state, the dicing blade 62 cuts the semiconductor wafer 102 along one scheduled cutting line 105 located adjacent to the above by rotating the dicing blade 62 and moving the workpiece mounting table device 1 forward. . When the second cutting is completed and the dicing blade 62 is located at a position rearward of the semiconductor wafer 102, the horizontal driving mechanism (not shown) in the tool unit 55 is driven, and the dicing blade 62 of the tool unit 55 is After adjusting the position of the tool unit 55 so as to reach a virtual straight line extending backward from one next to the planned cutting line 105 after the workpiece 101 has been cut, the rotation of the dicing blade 62 and the workpiece Due to the backward movement of the mounting table device 1, the dicing blade 62 cuts the semiconductor wafer 102 along the one scheduled cutting line 105 located adjacent to the above. In this way, by repeating the rotation of the dicing blade 62 and the movement of the workpiece mounting table device 1 to the rear or the front, all of the planned cutting lines 105 arranged in the left-right direction are set to 1 to the right or left. The semiconductor wafer 102 is cut while shifting the position one by one. When the semiconductor wafer 102 is cut by the dicing blade 62, the dicing blade 62 may resonate with ultrasonic vibration and vibrate in the diameter direction.
そして、左右方向に並んだ切断予定線１０５の全部に対する切断が終了し、ダイシングブレード６２が半導体ウエハー１０２よりも前方又は後方に外れた位置に位置した状態において、加工対象物搭載台装置１の図１に示す回転駆動機構３が駆動してテーブルユニット５を左側又は右側に９０度回転して停止する。図６に戻り、テーブルユニット５が左側又は右側に９０度回転して停止した状態において、再び、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方又は前方への移動とを繰り返すことにより、新たに左右方向に並んだ切断予定線１０５の全部について右隣り又は左隣りへと１本ずつ位置をずらしながら半導体ウエハー１０２を切断する。その結果、半導体ウエハー１０２が格子状に描かれた切断予定線１０５の位置で多数のチップに切断された態様になる。このように切断された多数のチップは、切断されたままダイシングテープ１０４でばらばらにならないように支持されている。ダイシングブレード６２による切断中は、冷却水が工具ユニット５５の周囲に配置された図外のパイプから切断部分に掛けられる。この掛けられた冷却水は、加工対象物搭載台装置１の上の加工対象品１０１から下方に落下して防水パン６３に捕集される。
Then, the cutting of all of the planned cutting lines 105 arranged in the left-right direction is finished, and the dicing blade 62 is located at a position deviating forward or backward from the semiconductor wafer 102. FIG. 1 is driven, the table unit 5 is rotated 90 degrees to the left or right, and stopped. Returning to FIG. 6, in the state where the table unit 5 is rotated 90 degrees to the left or right and stopped, the rotation of the dicing blade 62 and the movement of the workpiece mounting table device 1 backward or forward are repeated again. Then, the semiconductor wafer 102 is cut while shifting the positions of all the newly planned cutting lines 105 arranged in the left-right direction one by one to the right side or the left side. As a result, the semiconductor wafer 102 is cut into a large number of chips at the position of the planned cutting line 105 drawn in a lattice shape. A large number of chips cut in this way are supported by the dicing tape 104 so that they do not fall apart. During cutting by the dicing blade 62, cooling water is applied to the cut portion from a pipe (not shown) arranged around the tool unit 55. The applied cooling water falls downward from the workpiece 101 on the workpiece mounting table device 1 and is collected by the waterproof pan 63.
ダイシングブレード６２による切断が終了すると、ダイシングブレード６２の回転駆動が停止し、工具ユニット５５における図外の昇降駆動機構によりダイシングブレード６２の最も下部が切断の終了した加工対象品１０１よりも上方に離れるように工具ユニット５５が初期位置に停止して次の切断に備える。また、冷却水の供給も停止される。その後、加工対象物搭載台装置１が図１に示す回転駆動機構３により回転される。この回転による遠心力により、切断の完了した加工済の加工対象品１０１及びテーブルユニット５の水切りが行われる。これにより、テーブルユニット５や上クランプユニット７及び下クランプユニット８並びに加工対象品１０１が水切りを行わない場合よりも早く乾燥する。この水切りに対する回転が停止した後、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１が図６に示す工具ユニット５５の方向から前方に移動して実線で示す材料供給排出位置に停止し、加工対象物搭載台装置１における図外の吸引発生源による吸引動作が停止する。この吸引動作の停止は、上記水切りの停止から下記ロボットハンド６０による支持開始前までに行われれば、加工の済んだ加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１からの搬出が適切に行われる。
When the cutting by the dicing blade 62 is completed, the rotational drive of the dicing blade 62 is stopped, and the lowermost part of the dicing blade 62 is separated upward from the workpiece 101 that has been cut by the lifting / lowering driving mechanism (not shown) in the tool unit 55. Thus, the tool unit 55 stops at the initial position and prepares for the next cutting. Further, the supply of cooling water is also stopped. Thereafter, the workpiece mounting table device 1 is rotated by the rotation drive mechanism 3 shown in FIG. By the centrifugal force due to the rotation, the processed workpiece 101 and the table unit 5 that have been cut are drained. Thereby, the table unit 5, the upper clamp unit 7, the lower clamp unit 8, and the workpiece 101 are dried faster than the case where the drainage is not performed. After the rotation with respect to the draining is stopped, the workpiece mounting table device 1 is moved forward from the direction of the tool unit 55 shown in FIG. 6 by a horizontal drive mechanism (not shown) in the workpiece mounting table device 1 and indicated by a solid line. The operation stops at the material supply / discharge position, and the suction operation by the suction generation source (not shown) in the workpiece mounting table device 1 stops. If the suction operation is stopped before the water draining is stopped and before the support by the robot hand 60 is started, the processed workpiece 101 is appropriately carried out from the workpiece mounting table 1. .
次に、加工対象物搭載台装置１における図１に示す昇降駆動機構４が上昇駆動し、上クランプユニット７が加工対象品１０１のフレーム１０３から上方に離れた後にリフト部材１６がフレーム１０３を下から上に持ち上げる。その後、図６に示すロボットハンド６０が開いたまま実線で示すように加工対象物搭載台装置１の方向に向いたまま搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により実線で示す転回位置から加工対象物搭載台装置１の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０に支持された加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７と下クランプユニット８との間の上下方向の隙間１０に搬入されように、ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。
Next, the lift drive mechanism 4 shown in FIG. 1 in the workpiece mounting device 1 is driven up, and the lift member 16 moves down the frame 103 after the upper clamp unit 7 moves away from the frame 103 of the workpiece 101. Lift up from. Thereafter, the robot hand 60 shown in FIG. 6 is opened and the object to be machined from the turning position shown by the solid line by the horizontal drive mechanism outside the figure in the transport robot 54 while facing the direction of the workpiece mounting base device 1 as shown by the solid line. It moves in the direction of the object mounting table device 1. In that case, the robot hand 60 so that the workpiece 101 supported by the robot hand 60 is carried into the vertical gap 10 between the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 in the workpiece mounting apparatus 1. Is adjusted in the vertical direction by a lift drive mechanism (not shown) in the transport robot 54.
そして、開いた状態のロボットハンド６０が隙間１０に横方向から進入して加工対象物搭載台装置１の加工対象品１０１におけるフレーム１０３の一部を上下方向から掴むことが可能なようにフレーム１０３と対応した位置で停止し、ロボットハンド６０が開閉駆動機構６１により閉じてフレーム１０３の一部を上下方向から掴むように支持する。その後、フレーム１０３を支持したロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１から実線で示す転回位置に移動する。この転回位置において、フレーム１０３を支持したロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の回転駆動機構により加工対象物搭載台装置１の方向に向いた実線で示す状態から水平方向で例えば左側に９０度回転して加工済材料収容部５９の方向に向きを変えつつ搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工済材料収容部５９の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０が加工済材料収容部５９の上に加工対象品１０１を置けるように搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。
Then, the frame 103 is configured so that the opened robot hand 60 can enter the gap 10 from the lateral direction and grasp a part of the frame 103 in the workpiece 101 of the workpiece mounting table device 1 from above and below. The robot hand 60 is closed by the opening / closing drive mechanism 61 and supported so as to grasp a part of the frame 103 from above and below. Thereafter, the robot hand 60 supporting the frame 103 is moved from the workpiece mounting table device 1 to a turning position indicated by a solid line by a horizontal drive mechanism (not shown) in the transport robot 54. At this turning position, the robot hand 60 supporting the frame 103 is rotated 90 degrees in the horizontal direction, for example, 90 degrees to the left from the state indicated by the solid line facing the direction of the workpiece mounting table device 1 by the rotation driving mechanism (not shown) in the transport robot 54. The transport robot 54 moves in the direction of the processed material container 59 by a horizontal driving mechanism (not shown) while rotating and changing the direction in the direction of the processed material container 59. In that case, the position of the robot hand 60 is adjusted in the vertical direction by a lift drive mechanism (not shown) in the transport robot 54 so that the workpiece 101 can be placed on the processed material container 59.
そして、加工対象品１０１が加工済材料収容部５９の上に到達し、ロボットハンド６０が開閉駆動機構６１により開くと、加工済の加工対象品１０１がロボットハンド６０から解放されて加工済材料収容部５９の上に搭載される。その後、ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工済材料収容部５９から実線で示す転回位置の方向に移動して加工済材料収容部５９から引き抜かれた後、搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構がロボットハンド６０を加工前材料収容部５８の方向に移動して、次に切断を行うための加工前の加工対象品１０１を加工前材料収容部５８に取りに行くことにより、加工対象品１０１に対する切断が繰り返される。このようにロボットハンド６０が加工前の加工対象品１０１を取りに行く場合、段落００４１における搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構によるロボットハンド６０の加工前材料収容部５８の積層された最上位置における加工対象品１０１に対する上下方向への位置調整が行われる。
When the workpiece 101 reaches the processed material container 59 and the robot hand 60 is opened by the opening / closing drive mechanism 61, the processed workpiece 101 is released from the robot hand 60 and accommodates the processed material. Mounted on the part 59. After that, the robot hand 60 is moved from the processed material container 59 in the direction of the turning position indicated by the solid line by the horizontal drive mechanism (not shown) in the transport robot 54 and pulled out from the processed material container 59, and then the transport robot 54. The horizontal drive mechanism (not shown) moves the robot hand 60 in the direction of the pre-processing material container 58, and then takes the unprocessed product 101 to be cut next to the pre-processing material container 58. Thereby, the cutting | disconnection with respect to the workpiece 101 is repeated. In this way, when the robot hand 60 takes the workpiece 101 before processing, the uppermost stacked position of the material processing portion 58 before processing of the robot hand 60 by the lifting drive mechanism (not shown) in the transport robot 54 in the paragraph 0041. The vertical position adjustment with respect to the workpiece 101 is performed.
図７を参照し、ロボットハンド６０の構成について説明する。ロボットハンド６０は、上部の可動アーム６５と下部の固定アーム６６とを備える。可動アーム６５は開閉駆動機構６１における図外の可動部材に連結され、固定アーム６６は開閉駆動機構６１における図外の固定部材に結合されている。そして、開閉駆動機構６１における図外の可動部材の開駆動により可動アーム６５が上方に開くように動作し、開閉駆動機構６１における図外の可動部材の閉駆動により可動アーム６５が下方に閉じるように動作する。可動アーム６５の先端部には、一対のフィンガー６７が水平方向に逃げ溝６８を持って対峙するように設けられる。固定アーム６６はフィンガー６７の対峙する方向の横幅が可動アーム６５よりも大きな寸法になっており、これにより固定アーム６６は加工対象品１０１のフレーム１０３の円周方向の１／３を占める部分を下から支持することが可能になっている。
The configuration of the robot hand 60 will be described with reference to FIG. The robot hand 60 includes an upper movable arm 65 and a lower fixed arm 66. The movable arm 65 is connected to a movable member (not shown) in the opening / closing drive mechanism 61, and the fixed arm 66 is coupled to a fixed member (not shown) in the opening / closing drive mechanism 61. Then, the opening / closing drive mechanism 61 operates to open the movable arm 65 by opening the movable member (not shown), and the opening / closing drive mechanism 61 closes the movable arm 65 by closing the movable member (not shown). To work. A pair of fingers 67 are provided at the tip of the movable arm 65 so as to face each other with a relief groove 68 in the horizontal direction. The width of the fixed arm 66 in the direction in which the fingers 67 face each other is larger than that of the movable arm 65, so that the fixed arm 66 occupies a portion occupying 1/3 of the circumferential direction of the frame 103 of the workpiece 101. It is possible to support from below.
フレーム１０３の円周方向の１／３を占める部分に相当する固定アーム６６の先端部には、上弧状部６９と下弧状部７０とを有するフィンガー７１が設けられる。上弧状部６９は、フレーム１０３の外縁部１０６に沿う弧形状を形成する。下弧状部７０は、フレーム１０３の内縁部１０７に沿う弧形状を形成する。フィンガー７１は、上弧状部６９と下弧状部７０とに繋がる水平面を形成する。固定アーム６６には、逃げ溝７２が逃げ溝６８と上下方向に対向する位置で、上下方向及び下弧状部７０に開口するように設けられる。逃げ溝６８；７２は、ロボットハンド６０がフレーム１０３を上下方向から掴むように支持して加工対象品１０１を図６に示すテーブルユニット５に搬入したりテーブルユニット５から搬出したりする際に、リフト部材１６のテーブルユニット５より上方に突出した部分を衝突しないように逃げる空間である。
A finger 71 having an upper arc-shaped portion 69 and a lower arc-shaped portion 70 is provided at the distal end portion of the fixed arm 66 corresponding to a portion occupying 1/3 of the circumferential direction of the frame 103. The upper arc-shaped portion 69 forms an arc shape along the outer edge portion 106 of the frame 103. The lower arc-shaped portion 70 forms an arc shape along the inner edge portion 107 of the frame 103. The finger 71 forms a horizontal plane connected to the upper arc portion 69 and the lower arc portion 70. In the fixed arm 66, the escape groove 72 is provided at a position facing the escape groove 68 in the vertical direction so as to open in the vertical direction and the lower arc portion 70. The escape grooves 68; 72 support the robot hand 60 so as to grasp the frame 103 from above and below, and when the workpiece 101 is carried into or out of the table unit 5 shown in FIG. This is a space that escapes so as not to collide with the portion of the lift member 16 that protrudes above the table unit 5.
図８を参照し、ロボットハンド６０が加工対象品１０１を支持した状態について説明する。フレーム１０３の一部が固定アーム６６のフィンガー７１の上に接触して搭載され、フレーム１０３の外縁部１０６が固定アーム６６の下弧状部７０の方向から上弧状部６９に接触して受け止められており、可動アーム６５のフィンガー６７がフレーム１０３の一部を上から押さえ付けたことにより、可動アーム６５と固定アーム６６とでフレーム１０３を上下方向から掴むように支持した状態である。
A state in which the robot hand 60 supports the workpiece 101 will be described with reference to FIG. A part of the frame 103 is mounted in contact with the finger 71 of the fixed arm 66, and the outer edge portion 106 of the frame 103 is received in contact with the upper arc-shaped portion 69 from the direction of the lower arc-shaped portion 70 of the fixed arm 66. The finger 67 of the movable arm 65 presses a part of the frame 103 from above, so that the movable arm 65 and the fixed arm 66 support the frame 103 so as to be grasped from above and below.
図９乃至図１２を参照し、前記段落００３４及び図３で説明した加工対象品１０１の搬入からリフト部材１６に搭載されるまでの動作について詳述する。図９に示すように、ロボットハンド６０が矢印Ｘ２で示す右から左方向に移動して加工対象品１０１がテーブルユニット５の上に到達し、加工対象品１０１の中心がテーブルユニット５の上下方向に延びる中心と重なる位置で上記ロボットハンド６０による搬入が停止する。このロボットハンド６０の搬入の停止により、可動アーム６５及び固定アーム６６が上クランプ部材１５と干渉しないように上クランプ部材１５よりも手前の位置に停止し、固定アーム６６のフィンガー７１と可動アーム６５のフィンガー６７とが下クランプユニット８のクランプ受部１９の真上に配置され、右側のリフト部材１６が逃げ溝７２に取り込まれてフィンガー７１がリフト部材１６と干渉しない。
With reference to FIG. 9 to FIG. 12, the operation from carrying in the workpiece 101 described in the paragraph 0034 and FIG. 3 to mounting on the lift member 16 will be described in detail. As shown in FIG. 9, the robot hand 60 moves from the right to the left indicated by the arrow X <b> 2, the workpiece 101 reaches the table unit 5, and the center of the workpiece 101 is the vertical direction of the table unit 5. The robot hand 60 stops loading at a position that overlaps the center extending to. By stopping the loading of the robot hand 60, the movable arm 65 and the fixed arm 66 are stopped at a position before the upper clamp member 15 so as not to interfere with the upper clamp member 15, and the finger 71 and the movable arm 65 of the fixed arm 66 are stopped. The finger 67 is disposed directly above the clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8, and the right lift member 16 is taken into the escape groove 72 so that the finger 71 does not interfere with the lift member 16.
このようにロボットハンド６０が停止した場合、図１０に示すように、加工対象品１０１が隙間１０に配置されてリフト部材１６とクランプ爪１８及びテーブルユニット５から離れており、固定アーム６６のフィンガー７１が下クランプユニット８のクランプ受部１９から上に離れている。なお、ロボットハンド６０が停止した場合において、固定アーム６６の下弧状部７０がクランプ受部１９と環状面３９との境界部分の真上に位置するか又はクランプ受部１９と環状面３９との境界部分よりもロボットハンド６０の矢印Ｘ２で示す搬入方向に位置する。仮想線Ｌは、固定アーム６６の下弧状部７０がクランプ受部１９と環状面３９との境界部分の真上に位置したことを示すために、クランプ受部１９と環状面３９との境界部分と当該境界部分の真上に位置する固定アーム６６の下弧状部７０とを結んだ線である。
When the robot hand 60 stops in this way, as shown in FIG. 10, the workpiece 101 is disposed in the gap 10 and is away from the lift member 16, the clamp claw 18, and the table unit 5, and the fingers of the fixed arm 66 71 is separated upward from the clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8. When the robot hand 60 is stopped, the lower arc portion 70 of the fixed arm 66 is located immediately above the boundary portion between the clamp receiving portion 19 and the annular surface 39 or the clamp receiving portion 19 and the annular surface 39 It is located in the loading direction indicated by the arrow X2 of the robot hand 60 from the boundary portion. The phantom line L indicates the boundary portion between the clamp receiving portion 19 and the annular surface 39 in order to indicate that the lower arc-shaped portion 70 of the fixed arm 66 is located immediately above the boundary portion between the clamp receiving portion 19 and the annular surface 39. And a lower arcuate portion 70 of the fixed arm 66 located immediately above the boundary portion.
次に、図１１に示すように、加工対象品１０１を掴んだロボットハンド６０が矢印Ｘ３で示すように下降し、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６に接触する程度まで接近する。そのように接近した位置において、図１２に示すように、可動アーム６５が上方に開いてから、ロボットハンド６０が矢印Ｘ４で示すように下降し、固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置で上記ロボットハンド６０の矢印Ｘ４で示す下降が停止する。このように上記接近した位置での可動アーム６５が開いてから、固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置までへの下降までの間において、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載され、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６で下から支持され、可動アーム６５が加工対象品１０１の周縁部から上に離れ、固定アーム６６が加工対象品１０１の周縁部から下に離れる。
Next, as shown in FIG. 11, the robot hand 60 that has grasped the workpiece 101 moves down as indicated by an arrow X <b> 3 and approaches to the extent that the peripheral edge of the workpiece 101 contacts the lift member 16. In such a close position, as shown in FIG. 12, after the movable arm 65 opens upward, the robot hand 60 moves down as indicated by the arrow X4, and the fixed arm 66 does not collide with the lower clamp unit 8. Then, the lowering of the robot hand 60 indicated by the arrow X4 stops. In this manner, the peripheral portion of the workpiece 101 is lifted by the lift member 16 during the period from when the movable arm 65 at the approached position is opened to when the fixed arm 66 is lowered to a position where it does not collide with the lower clamp unit 8. The peripheral portion of the workpiece 101 is mounted from above and supported by the lift member 16 from below, the movable arm 65 is separated from the peripheral portion of the workpiece 101, and the fixed arm 66 is separated from the peripheral portion of the workpiece 101. Move down.
このように加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載される場合において、リフト部材１６がテーブルユニット５の上面よりも突出していて加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載されても加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上面より上に離れている一方、上記加工対象品１０１の周縁部から下に離れた固定アーム６６が下クランプユニット８の上面から上に離れている。つまり、接近した位置での可動アーム６５の開きから、固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置までへの下降までの間において、リフト部材１６が加工対象品１０１の周縁部を下から支えるように、リフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出している。上記のように加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６で支えられたから固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置まで下降することにより、開いた可動アーム６５のフィンガー６７と固定アーム６６のフィンガー６７とが加工対象品１０１から離れた態様なる。その後、図１３に示すように、可動アーム６５が開いたままロボットハンド６０が矢印Ｘ５で示すように横方に移動し、可動アーム６５と固定アーム６６とが加工対象品１０１の周縁部から横方に離れる。
Thus, when the peripheral portion of the workpiece 101 is mounted on the lift member 16, the lift member 16 protrudes from the upper surface of the table unit 5, and the peripheral portion of the workpiece 101 is above the lift member 16. The center portion of the workpiece 101 is separated above the upper surface of the table unit 5, while the fixed arm 66 that is spaced downward from the peripheral edge of the workpiece 101 is separated from the upper surface of the lower clamp unit 8. Are far above. That is, the lift member 16 supports the peripheral portion of the workpiece 101 from below from the opening of the movable arm 65 at the approached position to the lowering to the position where the fixed arm 66 does not collide with the lower clamp unit 8. As described above, the upper portion of the lift member 16 projects upward from the clamp receiving portion 19 that is the upper surface of the table unit 5 and the upper surface of the lower clamp unit 8. As described above, since the peripheral portion of the workpiece 101 is supported by the lift member 16, the fixed arm 66 is lowered to a position where it does not collide with the lower clamp unit 8. The finger 67 is separated from the workpiece 101. Thereafter, as shown in FIG. 13, the robot hand 60 moves sideways as indicated by an arrow X5 with the movable arm 65 open, and the movable arm 65 and the fixed arm 66 move laterally from the peripheral edge of the workpiece 101. Get away.
上記図９乃至図１３を用いて説明したように、加工対象品１０１がロボットハンド６０でテーブルユニット５の上に搬入されてから、ロボットハンド６０の停止と下降、可動アーム６５の開き、ロボットハンド６０の更なる下降、横移動可動することより、加工対象品１０１がリフト部材１６で水平状に受け止められるので、加工対象品１０１がロボットハンド６０からリフト部材１６の上に落下される場合に比べ、加工対象品１０１への衝撃が少なくなる。
As described with reference to FIGS. 9 to 13, after the workpiece 101 is carried onto the table unit 5 by the robot hand 60, the robot hand 60 stops and descends, the movable arm 65 opens, and the robot hand Since the workpiece 101 is horizontally received by the lift member 16 by further lowering the 60 and moving laterally, the workpiece 101 is compared with the case where the workpiece 101 is dropped from the robot hand 60 onto the lift member 16. The impact on the workpiece 101 is reduced.
また、前記段落００５２と段落００５３及び図５で説明した加工済の加工対象品１０１がロボットハンド６０によりテーブルユニット５から搬出される動作について説明すると、先ず、図１３に示すように、リフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出して停止した状態においては、リフト部材１６の上端とクランプ受部１９との間に固定アーム６６のフィンガー７１が横方向から挿入し得る空間７３が形成された状態である。この状態は、前記段落００５９乃至及び段落００６１図１０乃至図１３で説明した際のリフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出して停止した状態と同じである。つまり、図１３に示すように、リフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出して停止した場合、ロボットハンド６０による加工対象品１０１のテーブルユニット５への搬入とテーブルユニット５からの搬出とにおいて、リフト部材１６の上端とクランプ受部１９との間に固定アーム６６のフィンガー７１が横方向から挿入し得る空間７３が形成されているので、固定アーム６６が下クランプユニット８と干渉することがない。空間７３は、リフト部材１６の加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げる部分としてのリフト部材１６の最上部と下クランプユニット８のクランプ受部１９との間に加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を行うために上下方向に掴むアームの下側部分を構成する固定アーム６６のフィンガー７１を取り込む隙間である。実施形態１では、加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を行う要素はロボットハンド６０であって、上下方向に掴むアームは可動アーム６５と固定アーム６６とである。
The operation of carrying out the processed workpiece 101 described in the paragraphs 0052 and 0053 and FIG. 5 from the table unit 5 by the robot hand 60 will be described. First, as shown in FIG. In a state where the upper portion of the upper portion protrudes upward from the clamp receiving portion 19 which is the upper surface of the table unit 5 and the upper surface of the lower clamp unit 8 and stops, the fixed arm 66 is interposed between the upper end of the lift member 16 and the clamp receiving portion 19. This is a state in which a space 73 into which the fingers 71 can be inserted from the lateral direction is formed. In this state, the upper part of the lift member 16 as described in the paragraphs 0059 to 0061 and FIGS. 10 to 13 projects upward from the clamp receiving portion 19 which is the upper surface of the table unit 5 and the upper surface of the lower clamp unit 8. It is the same as the stopped state. That is, as shown in FIG. 13, when the upper part of the lift member 16 protrudes and stops above the clamp receiving part 19 that is the upper surface of the table unit 5 and the upper surface of the lower clamp unit 8, the workpiece to be processed by the robot hand 60. A space 73 into which the finger 71 of the fixed arm 66 can be inserted from the lateral direction is formed between the upper end of the lift member 16 and the clamp receiving portion 19 when the 101 is carried into and out of the table unit 5. Therefore, the fixed arm 66 does not interfere with the lower clamp unit 8. The space 73 has a peripheral portion of the workpiece 101 between the uppermost portion of the lift member 16 as a portion for lifting the peripheral portion of the workpiece 101 of the lift member 16 from below and the clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8. It is a gap for taking in the fingers 71 of the fixed arm 66 that constitutes the lower portion of the arm that is gripped in the vertical direction in order to carry in and out. In the first embodiment, the element that carries in and out the peripheral edge of the workpiece 101 is the robot hand 60, and the arms that are gripped in the vertical direction are the movable arm 65 and the fixed arm 66.
そして、図１３において、先ず、可動アーム６５が開いたままロボットハンド６０が矢印Ｘ５で示す方向の逆方向からテーブルユニット５に近づくように横方に移動する。次に、図１２に示すように、固定アーム６６が空間７３に取り込まれ、加工対象品１０１の周縁部が可動アーム６５と固定アーム６６との間に取り込まれる。その後、ロボットハンド６０が矢印Ｘ４で示す方向の逆方向に上昇し、図１１に示すように、ロボットハンド６０が矢印Ｘ３で示す方向の逆方向に上昇し、固定アーム６６が加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げて、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６から上にわずかに（リフト部材１６に接触する程度に）離れたら、可動アーム６５が閉じて、固定アーム６６と可動アーム６５とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する。そして、図１０に示すように、加工対象品１０１が隙間１０の上下方向の中間の位置に到達すると、ロボットハンド６０が停止した後、矢印Ｘ２で示す方向の逆方向へとテーブルユニット５から離れるように横方に移動することにより、加工済の加工対象品１０１がロボットハンド６０によりテーブルユニット５から搬出される。
In FIG. 13, first, the robot hand 60 moves sideways so as to approach the table unit 5 from the reverse direction indicated by the arrow X5 with the movable arm 65 open. Next, as shown in FIG. 12, the fixed arm 66 is taken into the space 73, and the peripheral portion of the workpiece 101 is taken between the movable arm 65 and the fixed arm 66. Thereafter, the robot hand 60 is raised in the direction opposite to the direction indicated by the arrow X4, and the robot hand 60 is raised in the direction opposite to the direction indicated by the arrow X3 as shown in FIG. When the peripheral edge is lifted from below and the peripheral edge of the workpiece 101 is slightly separated from the lift member 16 (so as to contact the lift member 16), the movable arm 65 is closed, and the fixed arm 66 and the movable arm are closed. 65 supports the peripheral portion of the workpiece 101 so as to be grasped from above and below. Then, as shown in FIG. 10, when the workpiece 101 reaches the middle position in the vertical direction of the gap 10, the robot hand 60 stops and then moves away from the table unit 5 in the direction opposite to the direction indicated by the arrow X2. Thus, the machined workpiece 101 that has been processed is carried out of the table unit 5 by the robot hand 60.
上記のように、上クランプユニット７が加工対象品１０１の周縁部を掴むクランプ爪１８を有する上クランプ部材１５と加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げるリフト部材１６とを備え、上クランプユニット７が昇降駆動機構４の上昇駆動で下から突き上げられることにより、クランプ爪１８と下クランプユニット８との間に加工対象品１０１の周縁部の収容可能な上下方向の隙間１０が形成され、当該隙間１０においてリフト部材１６の上部が下クランプユニット８よりも上方に突出し、そのリフト部材１６の加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げる部分と下クランプユニット８との間に加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を行うために上下方向に掴むアームを構成するロボットハンド６０の下側部分を構成する固定アーム６６を取り込むこと可能な空間７３（図１３参照）が形成されているので、下クランプユニット８の加工対象品１０１の周縁部を掴む部分を構成するクランプ受部１９が加工対象品１０１の周縁部と全面的に接触するような形状であっても、加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を適切に行うことができる。
As described above, the upper clamp unit 7 includes the upper clamp member 15 having the clamp claw 18 that grips the peripheral edge of the workpiece 101 and the lift member 16 that lifts the peripheral edge of the workpiece 101 from below. 7 is pushed up from below by the ascending drive of the lift drive mechanism 4, and a vertical gap 10 that can be accommodated in the peripheral portion of the workpiece 101 is formed between the clamp claw 18 and the lower clamp unit 8. In the gap 10, the upper part of the lift member 16 protrudes upward from the lower clamp unit 8, and the work piece 101 is between the lower clamp unit 8 and the portion of the lift member 16 that lifts the peripheral edge of the work object 101 from below. Fixed arm that forms the lower part of the robot hand 60 that constitutes the arm that holds the peripheral part up and down to carry it in and out Since the space 73 (see FIG. 13) capable of taking in 66 is formed, the clamp receiving portion 19 that constitutes a portion for gripping the peripheral edge of the workpiece 101 of the lower clamp unit 8 is the peripheral edge of the workpiece 101. Even if the shape is such that the entire peripheral surface of the workpiece 101 is brought into contact with the entire surface, it is possible to appropriately carry in and carry out the peripheral portion of the workpiece 101.
「実施形態２」
図１４を参照し、実施形態２の加工対象物搭載台装置１について説明する。図１４に示す加工対象物搭載台装置１は、図１に示すリフト部材１６とリフトガイド２０及びガイド収容部２１が除去されかつガイド部材７４を設けてクランプ基盤１４とテーブルユニット５との位置関係を固定的に保って上クランプユニット７を常に円滑に昇降し得るようにしたことが図１に示す加工対象物搭載台装置１の構成と異なる。また、図１５に示す加工対象物搭載台装置１は、プッシュ部材４８がピストンロッド４６に結合されたこと、図２に示す第１弾性部材９とリフト部材１６とリフトガイド２０とプッシュ基盤４７とが除去されたことが図２に示す加工対象物搭載台装置１の構成と異なる。ガイド部材７４はクランプ基盤１４に立設される。テーブルユニット５の上部にはガイド収容部７５が設けられる。ガイド収容部７５は、テーブルユニット５の上部の下面から上方に窪みかつテーブルユニット５の上部の上面に貫通していない窪みになっている。そして、クランプ基盤１４が昇降する範囲において、ガイド部材７４の上部が上下方向に移動可能に常に挿入されている。これにより、テーブルユニット５とクランプ基盤１４との位置関係を固定的に保つことができる。なお、実施形態２でも、上クランプユニット７の重さを重くして第２弾性部材１７を除去して上クランプユニット７の重さで上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成とすること可能である。
“Embodiment 2”
With reference to FIG. 14, the workpiece mounting base apparatus 1 of Embodiment 2 is demonstrated. 14 has the lift member 16, the lift guide 20, and the guide accommodating portion 21 shown in FIG. 1 removed, and a guide member 74 is provided to provide a positional relationship between the clamp base 14 and the table unit 5. Is different from the configuration of the workpiece mounting table device 1 shown in FIG. 1 in that the upper clamp unit 7 can be moved up and down smoothly. Further, the workpiece mounting table device 1 shown in FIG. 15 includes the push member 48 coupled to the piston rod 46, the first elastic member 9, the lift member 16, the lift guide 20, and the push base 47 shown in FIG. Is different from the configuration of the workpiece mounting table apparatus 1 shown in FIG. The guide member 74 is erected on the clamp base 14. A guide accommodating portion 75 is provided on the upper portion of the table unit 5. The guide accommodating portion 75 is recessed from the upper lower surface of the table unit 5 upward and does not penetrate the upper upper surface of the table unit 5. And in the range which the clamp base | substrate 14 raises / lowers, the upper part of the guide member 74 is always inserted so that it can move to an up-down direction. Thereby, the positional relationship between the table unit 5 and the clamp base 14 can be kept fixed. Even in the second embodiment, the upper clamp unit 7 is increased in weight to remove the second elastic member 17, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 are processed by the weight of the upper clamp unit 7. It can be set as the structure supported so that the peripheral part of may be grasped from an up-down direction.
次に、図１５乃至図１８を参照し、加工対象物搭載台装置１の動作について、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態から下降限度位置に停止するまでを例示して説明する。なお、図１５乃至図１８では図１４から防水壁２３と防水カバー２４と防水突条２５との図示を省略してある。先ず、図１５に示すように、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態では、プッシュ部材４８が第２弾性部材１７の弾力に抵抗して上クランプユニット７を下から突き上げて、クランプ爪１８とクランプ受部１９との間に隙間１０が形成されている。
Next, with reference to FIG. 15 to FIG. 18, the operation of the workpiece mounting table device 1 will be described by exemplifying from the state in which the elevating drive mechanism 4 is stopped at the ascending limit position to the descent limit position. 15 to 18, the illustration of the waterproof wall 23, the waterproof cover 24, and the waterproof protrusion 25 is omitted from FIG. First, as shown in FIG. 15, in a state where the elevating drive mechanism 4 is stopped at the upper limit position, the push member 48 resists the elasticity of the second elastic member 17 and pushes the upper clamp unit 7 from below, A gap 10 is formed between 18 and the clamp receiving portion 19.
そして、図１６に示すように、隙間１０には加工対象品１０１が横方向（図１６では右側）より搬入され、加工対象品１０１の周縁部が上記隙間１０に配置され、加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上に配置されると、上記加工対象品１０１の搬入動作が停止した後、加工対象品１０１の周縁部がクランプ受部１９の上に搭載される。
Then, as shown in FIG. 16, the workpiece 101 is carried into the gap 10 from the lateral direction (right side in FIG. 16), the peripheral portion of the workpiece 101 is arranged in the gap 10, and the workpiece 101 When the central portion is arranged on the table unit 5, after the operation of carrying in the workpiece 101 is stopped, the peripheral portion of the workpiece 101 is mounted on the clamp receiving portion 19.
次に、図１７に示すように、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７の自重と第２弾性部材１７の弾力とで上クランプユニット７が下降し、クランプ爪１８が加工対象品１０１の周縁部を上からクランプ受部１９の方向に押しつつ、クランプ爪１８とクランプ受部１９とで加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する。これにより、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持し、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の上下方向から支持した態様になり、クランプ爪１８がチャックテーブル１２の加工対象品１０１を下から支える部分を構成する上面よりも上方に突出しないようになっている。
Next, as shown in FIG. 17, as the elevating drive mechanism 4 is driven downward, the upper clamp unit 7 is lowered by the weight of the upper clamp unit 7 and the elasticity of the second elastic member 17. While pressing the peripheral edge of the workpiece 101 from above in the direction of the clamp receiver 19, the clamp pawl 18 and the clamp receiver 19 support the peripheral edge of the workpiece 101 from above and below. As a result, the table unit 5 supports the central portion of the workpiece 101 from below, and the upper clamp unit 7 and the lower clamp unit 8 support the workpiece 101 from the vertical direction. The table 12 does not protrude upward from the upper surface constituting the portion that supports the workpiece 101 from below.
さらに続き、図１７に示す状態から昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、図１８に示すように、プッシュユニット４５が上クランプユニット７から下方に離れることにより、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となった後、上記昇降駆動機構４の下降駆動が停止する。この停止した位置が昇降駆動機構４の下降限度位置である。
Further, as the lifting drive mechanism 4 is driven downward from the state shown in FIG. 17, the push unit 45 is moved downward from the upper clamp unit 7 as shown in FIG. After reaching the edge-cut state mechanically separated from the unit 7 and the table unit 5, the descending drive of the lifting drive mechanism 4 is stopped. This stopped position is the lower limit position of the elevating drive mechanism 4.
実施形態１及び実施形態２では、加工対象品１０１の中央部を吸引吸着する構成について説明したが、テーブルユニット５から加工対象品１０１の中央部を吸引吸着する機能を除去し、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支えるだけの構成でも適用できる。また、回転駆動機構３を除去し、テーブルユニット５を水平状に回転しないようにしても適用できる。昇降駆動機構４を装置本体２に設ける代わりに装置本体２よりも下部の部材に設けてもよい。例えば、加工対象物搭載台装置１が図６に実線で示す材料供給排出位置おいて昇降駆動機構４が作動するだけであるので、図６に示す装置躯体５２の上記材料供給排出位置に停止した加工対象物搭載台装置１よりも下部における部分に昇降駆動機構４を設け、昇降駆動機構４の図２に示すピストンロッド４６に相当する出力部材が装置本体２に設けられた図外の貫通孔を経由して上クランプユニット７を下から突き上げるようにすれば、加工対象物搭載台装置１が軽量となり、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構の動力が小さくて済む。
In the first and second embodiments, the configuration in which the central portion of the workpiece 101 is sucked and sucked has been described. However, the function of sucking and sucking the central portion of the workpiece 101 is removed from the table unit 5, and the table unit 5 The present invention can also be applied to a configuration in which the center part of the workpiece 101 is supported from below. Further, the present invention can be applied even if the rotary drive mechanism 3 is removed and the table unit 5 is not rotated horizontally. The elevating drive mechanism 4 may be provided on a member lower than the apparatus main body 2 instead of being provided in the apparatus main body 2. For example, since the workpiece mounting base device 1 only operates the elevating drive mechanism 4 at the material supply / discharge position indicated by the solid line in FIG. 6, the workpiece mounting table device 1 stops at the material supply / discharge position of the device housing 52 shown in FIG. A lifting drive mechanism 4 is provided at a lower portion than the workpiece mounting table device 1, and an output member corresponding to the piston rod 46 shown in FIG. 2 of the lifting drive mechanism 4 is provided in the apparatus main body 2. If the upper clamp unit 7 is pushed upward from below, the workpiece mounting base device 1 becomes lighter and the power of the horizontal drive mechanism (not shown) in the workpiece mounting base device 1 can be reduced.
図６において、加工対象物搭載台装置１を前後方向に水平状に移動することにより、回転するダイシングブレード６２で半導体ウエハー１０２を切断する構成について説明したが、加工対象物搭載台装置１を前後方向に水平状に移動しないで定位置に停止した状態において、回転するダイシングブレード６２を有する工具ユニット５５が前後方向に水平状に移動して回転するダイシングブレード６２で半導体ウエハー１０２を切断することも適用できる。また、図２に示すプッシュユニット４５は除去し、昇降駆動源４４のピストンロッド４６に相当する出力部材で上クランプユニット７を下から突き上げるようにしても適用できる。図１において、下クランプユニット８がチャックテーブル１２に一体に設けられた構成を例示したが、下クランプユニット８をチャックテーブル１２から別の部材として設け、この別部材である下クランプユニット８をテーブルユニット５から独立して周囲に配置するようテーブルユニット５に設けることも適用できる。
In FIG. 6, although the structure which cut | disconnects the semiconductor wafer 102 with the rotating dicing blade 62 by moving the workpiece target mounting apparatus 1 horizontally in the front-back direction was demonstrated, the workpiece target mounting apparatus 1 is moved back and forth. The tool unit 55 having the rotating dicing blade 62 may move horizontally in the front-rear direction and cut the semiconductor wafer 102 with the rotating dicing blade 62 in a state where the tool unit 55 does not move horizontally in the direction and stops at a fixed position. Applicable. Further, the push unit 45 shown in FIG. 2 may be removed and the upper clamp unit 7 may be pushed up from below with an output member corresponding to the piston rod 46 of the lifting drive source 44. In FIG. 1, the configuration in which the lower clamp unit 8 is integrally provided on the chuck table 12 is illustrated. However, the lower clamp unit 8 is provided as a separate member from the chuck table 12, and the lower clamp unit 8 that is the separate member is attached to the table. It is also possible to provide the table unit 5 so as to be arranged around the unit 5 independently.
「実施形態３」
図１９を参照し、実施形態３のテーブルユニット５の上部について説明する。図１９に示すテーブルユニット５の上部は、ガイド部材７４とガイド収容部７５とに第１弾性部材９を設けた構成になっている。具体的には、ガイド部材７４の上部にはガイド部材７４よりも直径の小さな小径ガイド部７６が設けられる。テーブルユニット５の上部に設けられたガイド収容部７５の上部には、小径ガイド部７６を昇降可能に収容する小径ガイド孔７７がガイド収容部７５よりも直径の小さな穴として繋がって設けられる。第１弾性部材９は、小径ガイド部７６を囲むコイルばねとして構成され、小径ガイド孔７７とガイド収容部７５との双方に貫通する弾性体収容部８０に配置される。弾性体収容部８０の直径は、小径ガイド孔７７の直径とガイド収容部７５の直径との間の寸法になっている。弾性体収容部８０に配置された第１弾性部材９の上部が弾性体収容部８０と小径ガイド孔７７とを繋ぐ段差部に接触し、第１弾性部材９の下部がガイド部材７４と小径ガイド部７６とを繋ぐ段差部に接触している。よって、第１弾性部材９は、反発力により下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与するように、ガイド部材７４とテーブルユニット５とにわたり設けられている。
“Embodiment 3”
The upper part of the table unit 5 of Embodiment 3 is demonstrated with reference to FIG. The upper part of the table unit 5 shown in FIG. 19 has a configuration in which the first elastic member 9 is provided in the guide member 74 and the guide accommodating portion 75. Specifically, a small-diameter guide portion 76 having a smaller diameter than the guide member 74 is provided on the upper portion of the guide member 74. A small-diameter guide hole 77 for accommodating the small-diameter guide portion 76 so as to be movable up and down is connected to the upper portion of the guide accommodating portion 75 provided at the upper portion of the table unit 5 as a hole having a smaller diameter than the guide accommodating portion 75. The first elastic member 9 is configured as a coil spring that surrounds the small diameter guide portion 76, and is disposed in the elastic body accommodating portion 80 that penetrates both the small diameter guide hole 77 and the guide accommodating portion 75. The diameter of the elastic body accommodating portion 80 is a dimension between the diameter of the small diameter guide hole 77 and the diameter of the guide accommodating portion 75. The upper portion of the first elastic member 9 disposed in the elastic body accommodating portion 80 contacts a stepped portion connecting the elastic body accommodating portion 80 and the small diameter guide hole 77, and the lower portion of the first elastic member 9 is the guide member 74 and the small diameter guide. The stepped portion connecting the portion 76 is in contact. Therefore, the first elastic member 9 is provided across the guide member 74 and the table unit 5 so as to give the upper clamp unit 7 an elastic force in a direction of lowering due to the repulsive force.
「実施形態４」
図２０を参照し、実施形態４の加工対象物搭載台装置１について説明する。図２０に示す加工対象物搭載台装置１は、リフト部材１６の位置が上クランプ部材１５の位置とテーブルユニット５の円周方向にずれて設けられた構成になっている。リフト部材１６の個数は、４個に限定されるものではなく、３個以上であればよい。
“Embodiment 4”
With reference to FIG. 20, the workpiece mounting base apparatus 1 of Embodiment 4 is demonstrated. The workpiece mounting table device 1 shown in FIG. 20 is configured such that the position of the lift member 16 is shifted from the position of the upper clamp member 15 in the circumferential direction of the table unit 5. The number of lift members 16 is not limited to four, and may be three or more.
「実施形態５」
図２１を参照し、実施形態５の加工対象物搭載台装置１について説明する。図２１に示す加工対象物搭載台装置１は、１個のリフト部材１６が下クランプユニット８に昇降可能に設けられる。その１個のリフト部材１６の上部には１本のステー部材７８が固定される。ステー部材７８は、リフト部材１６からテーブルユニット５の円周方向に沿って両側に水平に延びる弧状になっている。下クランプユニット８のクランプ受部１９には、ステー部材７８を収容するステー収容部７９がクランプ受部１９の上面から下方に窪む凹部として設けられる。そして、リフト部材１６が昇降駆動機構４の下降駆動に伴い下降した場合にはステー部材７８がステー収容部７９に収容されてクランプ受部１９の上面に突出しないようになっており、フト部材１６が昇降駆動機構４の上昇駆動に伴い上昇する場合にはステー部材７８がステー収容部７９からクランプ受部１９の上面よりも上方に突出するようになっている。なお、ステー収容部７９に繋がる図外の貫通孔又は溝をクランプ受部１９に設けて、切削屑や冷却水をテーブルユニット５や下クランプユニット８から外部に排出することも考えられる。
“Embodiment 5”
With reference to FIG. 21, the workpiece mounting base apparatus 1 of Embodiment 5 is demonstrated. In the workpiece mounting table device 1 shown in FIG. 21, one lift member 16 is provided on the lower clamp unit 8 so as to be movable up and down. One stay member 78 is fixed to the upper part of the one lift member 16. The stay member 78 has an arc shape extending horizontally from the lift member 16 to both sides along the circumferential direction of the table unit 5. The clamp receiving portion 19 of the lower clamp unit 8 is provided with a stay receiving portion 79 for receiving the stay member 78 as a concave portion that is recessed downward from the upper surface of the clamp receiving portion 19. When the lift member 16 is lowered as the elevating drive mechanism 4 is lowered, the stay member 78 is accommodated in the stay accommodating portion 79 so as not to protrude from the upper surface of the clamp receiving portion 19. When the ascending drive mechanism 4 moves upward, the stay member 78 projects from the stay accommodating portion 79 above the upper surface of the clamp receiving portion 19. It is also conceivable that a through hole or groove (not shown) connected to the stay accommodating portion 79 is provided in the clamp receiving portion 19 so that cutting waste and cooling water are discharged from the table unit 5 and the lower clamp unit 8 to the outside.
図示は省略するが、図１又は図２０又は図２１に示す加工対象物搭載台装置１からリフト部材１６とリフトガイド２０とを除去し、図１４に示す加工対象物搭載台装置１からガイド部材７４とガイド収容部７５とを除去し、昇降ガイドを上クランプ部材１５とテーブルユニット５とに設けてもよい。その場合、ガイド部が上クランプ部材１５に設けられ、ガイドレールに昇降可能に嵌め合わされる被ガイド部がテーブルユニット５に設けられることにより、ガイド部と被ガイド部とが昇降ガイドを構成する。要するに、昇降ガイドは、テーブルユニット５の周囲に昇降可能に設置した上クランプユニット７を円滑に昇降しえるものであればよい。
Although illustration is omitted, the lift member 16 and the lift guide 20 are removed from the workpiece mounting table apparatus 1 shown in FIG. 1 or FIG. 20 or FIG. 21, and the guide member is removed from the workpiece mounting table apparatus 1 shown in FIG. 74 and the guide accommodating portion 75 may be removed, and an elevation guide may be provided on the upper clamp member 15 and the table unit 5. In that case, a guide part is provided in the upper clamp member 15, and a guided part fitted to the guide rail so as to be movable up and down is provided in the table unit 5, so that the guide part and the guided part constitute an elevation guide. In short, the raising / lowering guide should just be able to raise / lower smoothly the upper clamp unit 7 installed in the circumference | surroundings of the table unit 5 so that raising / lowering is possible.
